TWI541179B - 非接觸搬運裝置 - Google Patents

Description

非接觸搬運裝置

本發明，是有關於非接觸搬運裝置，特別是有關於大型的液晶顯示器(LCD)和等離子顯示器(PDP)等的FPD(平面顯示器)和太陽能電池板(太陽能面板)等的生產所使用的非接觸搬運裝置。

習知，FPD和太陽能電池板等的生產時，被採用藉由將1枚的面板大型化來提高生產效率的方法。例如，液晶面板的情況時，於第10世代已成為2850×3050×0.7mm的大小。因此，如習知，在複數個並列的滾子上載置液晶玻璃進行滾動搬運的話，因為將滾子支撐的軸的撓曲和滾子高度的尺寸的參差不一會局部且強的力會作動於液晶玻璃，而有可能弄傷該液晶玻璃。

上述滾子的滾動搬運裝置，就無法使用於被要求該裝置及面板非接觸的例如FPD的流程步驟，近年來，開始採用空氣懸浮的搬運裝置。非接觸搬運裝置，是在板狀的搬運用軌道的一部分使用多孔質材料(多孔質燒結金屬等)，藉由與空氣供給路徑連通地進行給氣，藉由噴出空氣將FPD懸浮搬運。但是，使用此非接觸搬運裝置的話，因為FPD是成為一邊朝上下方向動作一邊浮遊的狀態，雖可使用在搬運步驟，但是對於要求例如30～50μm的高精度的懸浮高度的流程步驟中是絕對無法採用。

且，為了在使用上述多孔質材料的板狀的搬運用軌道高精度地維持懸浮量的目的而設置抽真空用的孔的話，裝置的構成成為複雜並且裝置本身是變高價，且，為了高精度地維持懸浮高度而提高給氣壓的話，高剛性空氣的壓縮性的自激振動會發生，而有無法高精度地保持懸浮高度的問題。

進一步，雖也存在取代多孔質材料而將小孔(小徑的孔)與抽真空用的孔交互地穿設形成的裝置，但是由來自小孔的強力的噴出空氣會發生靜電，而會擾亂清淨室的環境，且具有因消耗電流變大導致運轉成本高騰的問題。

在此，在專利文獻1中，被提案一種非接觸搬運裝置，可減少流體流量及能量消耗量，且可以高精度地維持懸浮高度的非接觸搬運裝置，是藉由將流體從流體噴出口噴出，而在環狀構件的表面側產生朝向遠離該表面側的方向的迴旋流，並且將在環狀構件的表面側的開口部附近產生朝背面方向的流體流動的迴旋流形成體，在搬運用軌道的搬運面設置2個以上。

[先行技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]國際公開第2009/119377號

被揭示於上述專利文獻1的非接觸搬運裝置，雖是在環狀構件的表面側產生朝向遠離該表面側的方向的迴旋流來使搬運物(面板等)懸浮，但是發現：迴旋流的中心部會有負壓發生，其雖具有可防止搬運物的懸浮超過的效果的反面，但具有搬運物的端部的振幅變大的缺點，且由流程步驟中的迴旋流所產生的負壓及抽真空的負壓若重疊的話，迴旋流的懸浮功能會喪失，而會局部地與搬運用軌道接觸的問題。

且也被發現，因為由將抽真空用的孔連通的1個連續的吸引路徑連結，使與該吸引路徑將結合的1個真空吸引口成為開閉狀態，所以會有使真空壓力變化，使被搬運物的懸浮量的變動變大的問題。

本發明是有鑑於上述諸點者，其目的是提供一種非接觸搬運裝置，防止負壓的發生，可以減小被搬運的被搬運物的端部的振幅並且可以加大懸浮量，即使藉由真空吸引口的開閉操作也可以將被搬運物的懸浮量的變動極力減小。

為了達成上述目的，本發明是一種非接觸搬運裝置，其特徵為，由：搬運軌道、及被裝設於該搬運軌道的上板的收容孔部的上昇流形成體所構成，該搬運軌道，是由上板、中板、下板所構成，該上板，是沿著長度方向及寬度方向交互地設有複數個收容孔部及吸引孔，該收容孔部，具有：朝上面開口且平面視形成圓形的開口部之圓筒壁面部、及從該圓筒壁面部透過環狀肩部擴徑並且朝下面開口之擴徑圓筒壁面部，該吸引孔，是鄰接於該收容孔部地被穿設形成並朝上、下面開口，該中板，具備：朝上面開口並與前述上板的各收容孔部連通的連續的空氣供給路徑、及一方的端部是朝該空氣供給路徑開口而另一方的端部是朝下面開口的連通孔、及鄰接於該連通孔且一方的端部是與前述上板的吸引孔連通而另一方的端部朝下面開口的貫通孔，該下板，具備：被結合在該中板的連通孔之1個空氣供給口、及朝上面開口並且與前述中板的貫通孔連通的空氣吸引路徑、及與該空氣吸引路徑結合的真空吸引口，形成於前述下板的空氣吸引路徑，是沿著長度方向被分割成至少2個以上的塊體，在各塊體的空氣吸引路徑中各別結合1個真空吸引口。

依據本發明的非接觸搬運裝置的話，因為抽真空用的空氣吸引路徑，是沿著長度方向(被搬運物的搬運方向)被分割成至少2個以上的塊體，且在各塊體的空氣吸引路徑各別與1個真空吸引口結合，所以不需藉由真空吸引口的開閉操作使空氣吸引路徑全開或全閉，就可沿著搬運方向在各塊體進行真空吸引口的開閉操作，因此可以將被搬運物的懸浮量的變動極力減小。

可發揮上述作用效果的本發明的非接觸搬運裝置，其特徵為，由：搬運軌道、及被裝設於前述上板的收容孔部的上昇流形成體所構成，該搬運軌道，是由上板、中板、下板所構成，該上板是沿著長度方向及寬度方向交互地設有複數個收容孔部及吸引孔，該收容孔部，具有：朝上面開口且平面視形成圓形的開口部之圓筒壁面部、及從該圓筒壁面部透過環狀肩部擴徑並且朝下面開口之擴徑圓筒壁面部，該吸引孔，是鄰接於該收容孔部地被穿設形成並朝上、下面開口，該中板，具備：朝上面開口並與前述上板的收容孔部連通的連續的空氣供給路徑、及一方的端部是朝該空氣供給路徑開口而另一方的端部是朝下面開口的1個連通孔、及一方的端部是朝前述上板的吸引孔開口而另一方的端部對於朝下面開口的空氣吸引路徑開口的連通孔，該下板，具備：朝該中板的連通孔開口的空氣供給口、及被結合在前述中板的空氣吸引路徑之真空吸引口，形成於前述中板的空氣吸引路徑，是沿著長度方向被分割成至少2個以上的塊體，在各塊體的空氣吸引路徑中各別結合1個真空吸引口也可以。

對於本發明的非接觸搬運裝置，藉由將搬運軌道由上板、中板及下板的3層構造形成，且將空氣供給路徑設在中板的上面，將空氣吸引路徑設在下板的上面，或將空氣供給路徑及空氣吸引路徑設在中板的上、下面，就可使空氣供給路徑及空氣吸引路徑的製作成為容易，可以更減少製造成本。且，由上述構成所構成的被接觸搬運裝置，特別適合被使用於要求搬運步驟的高精度的平面度的流程步驟。

被裝設於上述非接觸搬運裝置的上板的收容孔部中的上昇流形成體，具備：在內面具有圓筒內壁面的有底的圓筒狀基體部；及在該圓筒狀基體部的開口部的周緣朝徑方向外方伸出的環狀鍔部；及沿著該環狀鍔部的外周緣的圓周方向，且在徑方向相面對地朝下方延伸的複數個卡合垂下部；及在該卡合垂下部的下端朝外方突出的卡合突起部；及從前述圓筒狀基體部的外周面朝圓筒內壁面開口，並且先端部朝向該圓筒狀基體部的中心的至少1個流體噴出孔；且在前述搬運軌道的上板的收容孔部，將前述環狀鍔部的外周面朝該收容孔部的圓筒壁面部壓入嵌合，將前述卡合垂下部的卡合突起部卡合於前述環狀肩部地被裝設。

對於該上昇流形成體，流體噴出孔，是先端部朝向該圓筒狀基體部的中心的1個流體噴出孔也可以，且從圓筒狀基體部的外周面朝圓筒內壁面開口並且先端部是朝向該圓筒狀基體部的中心相面對的2個流體噴出孔也可以。

在具備1個流體噴出孔的上昇流形成體中，從流體噴出孔噴出的空氣，是與圓筒狀基體的圓筒內壁面衝突，呈噴霧狀朝上方分散形成上昇流，且在具備2個流體噴出孔的上昇流形成體中，從流體噴出孔噴出的空氣，是彼此衝突，呈噴霧狀朝上方分散形成上昇流。

藉由上述的上昇流形成體發生的噴出空氣，因為是呈噴霧狀分散形成上昇流，所以被搬運物(面板等)不會受壓，可以減小被搬運物的振幅，進一步因為不會發生負壓所以可以加大被搬運物的懸浮量。

上述上昇流形成體，是由熱可塑性合成樹脂射出成形而形成被較佳，熱可塑性合成樹脂，可舉例聚苯硫樹脂(PPS)。

如以上，依據本發明的話，被搬運物不會受壓，可以減小被搬運物的振幅，進一步因為負壓不會發生所以可以提供可以加大被搬運物的懸浮量的非接觸搬運裝置。

接著，對於本發明的實施例一邊參照圖面一邊詳細說明。且，在以下的說明中，使用空氣作為搬運用流體，所搬運的被搬運物為液晶玻璃(以下簡稱「玻璃」)的情況。

非接觸搬運裝置1，是如第1圖所示，為了由非接觸將玻璃G搬運而被使用，由：2個搬運步驟2及3用的非接觸搬運裝置2a及3a、及在這些搬運步驟2及3之間的流程步驟4用的非接觸搬運裝置4a所構成。

在搬運步驟2及3用的非接觸搬運裝置2a及3a中，其搬運軌道5是在第1圖的紙面上的上、下方向配置有2列的後述的上昇流形成體6，且在第1圖的搬運步驟2及3中，各別將非接觸搬運裝置2a及3a並列配置3組。

非接觸搬運裝置1的流程步驟4用的非接觸搬運裝置4a，是如第2圖(a)、(b)所示，是沿著搬運軌道8的長度方向及寬度方向交互地配置複數個：使空氣的上昇流發生的上昇流形成體6、及將空氣吸入的真空吸引用的直徑1～2mm程度的吸引孔7。

搬運軌道8，是如第2圖(b)所示，具有由上板9及中板10及下板11所構成的3層構造。

上板9，是如第3圖(a)所示，如第2圖所示，沿著該上板9的長度方向X及寬度方向Y交互地具備複數個：收容孔部9g，具有：設有被穿設形成於作為搬運面的上面9a並朝該上面9a開口的平面視圓形的開口部9b的圓筒內壁面部9c、及從該圓筒內壁面部9c透過環狀肩部9d擴徑並朝該上板9的下面9e開口的擴徑圓筒內壁面部9f的收容孔部9g；及吸引孔7，是與該收容孔部9g鄰接並從上板9的上面9a朝向下面9e貫通形成的吸引孔7。

返回至第3圖，在該上板9的收容孔部9g中，裝設有由例如聚苯硫樹脂(PPS)等的熱可塑性合成樹脂所形成的上昇流形成體6。上昇流形成體6，是如第9圖(a)至(d)所示，具備：設有朝上面開口的平面的圓形的開口部6a，並且具有與該開口部6a連通的圓筒內壁面6b的有底的圓筒狀基體部6c；及在該圓筒狀基體部6c的開口部6a的周緣朝徑方向外方伸出的環狀鍔部6d；及在該環狀鍔部6d的外周面6e沿著該外周面6e的圓周方向，且在徑方向相面對地朝下方延伸的複數個(本實施例中4個)的卡合垂下部6f；及在該卡合垂下部6f的下端朝外方突出的卡合突起部6g；及從圓筒狀基體部6c的外周面6h朝圓筒內壁面6b開口，並且先端部6i是朝向該圓筒狀基體部6c的中心O的至少1個(本實施例中1個)的流體噴出孔6j。

該上昇流形成體6，是如第3圖(b)所示，將環狀鍔部6d的外周面6e朝該上板9的收容孔部9g的圓筒內壁面部9c壓入嵌合，將卡合垂下部6f的卡合突起部6g卡合於該收容孔部9g的環狀肩部9d，並且將該環狀鍔部6d的上面6k與該上板9的上面9a作為同一面地裝設於該收容孔部9g。

此上昇流形成體6，是如第10圖(a)及(b)所示，使從流體噴出孔6j噴出的空氣與圓筒狀基體部6c的圓筒內壁面6b衝突，在該空氣在圓筒內壁面6b的開口部6a的上方使產生呈噴霧狀分散的上昇流(第10圖(a)及(b)中的箭頭)，藉由該上昇流將玻璃G由非接觸搬運。

在此上昇流形成體6中，因為不會產生負壓所以可以加大被搬運物也就是玻璃G的搬運時的懸浮量，且因為從流體噴出孔6j噴出的空氣，是藉由與圓筒狀基體部6c的圓筒內壁面6b衝突而使空氣的噴出速度下降，並且成為呈噴霧狀分散的上昇流，所以可以極力抑制玻璃G受壓。

中板10，是如第4圖及第7圖所示，具備：在中板10的上面10a各別與形成於前述上板9的複數個收容孔部9g連通的1個連續的剖面半圓狀的作為空氣供給路徑的空氣供給凹溝10b；及一方的端部是朝該空氣供給凹溝10b開口，另一方的端部是朝該中板10的下面10c開口的1個連通孔10d；及一方的端部是朝形成於前述上板9的吸引孔7開口，另一方的端部是朝該中板10的下面10c開口的複數個貫通孔10e。

下板11，是如第5圖、第6圖及第8圖所示，具備：在該下板11的上面11a將形成於前述中板10的複數個貫通孔10e…10e的中板10的下面10c側的開口部沿著長度方向分割成4個塊體11b1、11b2、11b3及11b4(第7圖及第8圖參照)，各別與位於被分割的各塊體11b1、11b2、11b3及11b4的貫通孔10e1、10e2、10e3、10e4的開口部連通的連續的四個剖面半圓狀的作為空氣吸引路徑的空氣吸引凹溝11c1，11c2、11c3及11c4；及各別與各塊體11b1、11b2、11b3及11b4的空氣吸引凹溝11c1、11c2、11c3及11c4結合的真空吸引口11d1、11d2、11d3及11d4；及與形成於前述中板10的1個連通孔10d結合的空氣給氣口11e。

且，如第2圖(b)所示，使形成於上板9的複數個收容孔部9g與朝中板10的上面10a開口的1個連續的剖面半圓狀的空氣供給凹溝10b連通，使複數個吸引孔7與朝中板10的上面10a開口的複數個貫通孔10e連通，使該上板9位於中板10的上面10a，使被設在下板11的空氣給氣口11e與朝中板10的下面10c開口的連通孔10d結合，並且使剖面半圓狀的空氣吸引凹溝11c1、11c2、11c3及11c4與朝中板10的下面10c開口的各塊體11b1、11b2、11b3及11b4的貫通孔10e1、10e2、10e3及10e4連通，並且使真空吸引口11d1、11d2、11d3及11d4與空氣吸引凹溝11c1、11c2、11c3及11c4結合，藉由使中板10位於下板11的上面11a而形成搬運軌道8。該搬運軌道8，是藉由螺栓等的固定手段將上板9、中板10及下板11結合固定而形成。

在顯示由上述構成所構成的流程步驟4用的非接觸搬運裝置4a的第11圖中，被供給至搬運軌道8的空氣給氣口11e的壓縮空氣，是透過與空氣給氣口11e連通的連通孔10d被供給至形成於搬運軌道8的中板10的上面10a的1個連續的空氣供給凹溝10b。被供給至空氣供給凹溝10b的壓縮空氣，是被供給至形成於搬運軌道8的上板9的複數個收容孔部9g，從被裝設於該收容孔部9g的上昇流形成體6的流體噴出孔6j各別噴出並與圓筒狀基體部6c(第3圖(b)參照)的圓筒內壁面6b衝突，在該圓筒內壁面6b的開口部6a的上方成為呈噴霧狀分散的上昇流，藉由該上昇流將玻璃G懸浮的同時，在朝搬運軌道8的上板9的上面9a開口的吸引孔7中，如第8圖所示，進行從與各塊體11b1、11b2、11b3及11b4的給氣吸引凹溝11c1、11c2、11c3及11c4結合的真空吸引口11d1、11d2、11d3及11d4的吸引，藉由該上昇流的懸浮力及吸引孔的吸引力之間的平衡，形成高精度的平面度地使該玻璃G由非接觸被搬運。

如上述，在上述非接觸搬運裝置4a中，因為作為空氣吸引路徑的空氣吸引凹溝11c，是沿著長度方向X被分割成塊體11b1、11b2、11b3及11b4的4個塊體，在各塊體11b1、11b2、11b3及11b4的空氣吸引凹溝11c1、11c2、11c3及11c4各別結合1個真空吸引口11d1、11d2、11d3及11d4，且使真空吸引口11d1、11d2、11d3及11d4的開閉操作在各空氣吸引凹溝11c1、11c2、11c3及11c4進行，所以真空吸引力不會下降，且因為沿著搬運方向在各塊體進行真空吸引口11d1、11d2、11d3及11d4的開閉操作，所以可以極力減小玻璃G的懸浮量的變動。

且，在上述非接觸搬運裝置4a中的上昇流形成體6中，因為不會產生負壓所以可以加大玻璃G的搬運時的懸浮量，且從流體噴出孔6j噴出的空氣，是藉由與圓筒狀基體部6c的圓筒內壁面6b衝突使空氣的噴出速度下降，並且成為呈噴霧狀分散的上昇流，所以可以極力抑制玻璃G受壓。

第12圖(a)、(b)，是顯示上昇流形成體6的其他的實施例，上昇流形成體60，是具備：設有朝上面開口的平面視圓形的開口部60a，並且與該開口部60a具有連通的圓筒內壁面60b的有底的圓筒狀基體部60c；及在該圓筒狀基體部60c的開口部60a在周緣朝徑方向外方伸出的環狀鍔部60d；及在該環狀鍔部60d的外周面60e沿著該外周面60e的圓周方向，且在徑方向相面對地朝下方延伸的複數個(本實施例中4個)卡合垂下部60f；及在該卡合垂下部60f的下端朝外方突出的卡合突起部60g；及從該圓筒狀基體部60c的外周面60h朝圓筒內壁面60b開口，並且將先端部60i朝向該圓筒狀基體部60c的中心O相面對的2個流體噴出孔60j及60j。

該上昇流形成體60，雖無圖示但是與如前述第2圖(b)所示的朝上昇流形成體6的收容孔部9g的裝設同樣，將環狀鍔部60d的外周面60e朝該收容孔部9g的圓筒內壁面部9c壓入嵌合，將卡合垂下部60f的卡合突起部60g卡合於該收容孔部9g的環狀肩部9d，並且將該環狀鍔部60d的上面60k與該上板9的上面9a作為同一面地裝設於該收容孔部9g。

此上昇流形成體60，是如第12圖及第13圖(a)、(b)所示，使從流體噴出孔60j、60j噴出的空氣，由從圓筒狀基體部60c的外周面60h朝圓筒內壁面60b開口並且先端部60i、60i是朝向該圓筒狀基體部60c的中心O地相面對的流體噴出孔60j、60j噴出並彼此衝突，而在該空氣在圓筒內壁面60b的開口部60a的上方產生呈噴霧狀分散的上昇流者，藉由該上昇流將玻璃G由非接觸搬運。

在此上昇流形成體60，因為也與前述的上昇流形成體6同樣，不會發生負壓所以可以加大搬運時的玻璃G的懸浮量，且從流體噴出孔60j、60j噴出的空氣，是藉由彼此衝突使空氣的噴出速度下降，並且成為呈噴霧狀分散的上昇流，所以可以極力抑制玻璃G受壓。

第14圖(a)、(b)，是顯示前述第1圖所示的非接觸搬運裝置1的流程步驟4用的非接觸搬運裝置4a中的搬運軌道8的其他的實施例者，搬運軌道80，是與前述搬運軌道8同樣，具有由上板90、中板100及下板110所構成的3層構造。

搬運軌道80的上板90，是如第15圖(a)、(b)所示，與前述搬運軌道8的上板9同樣，將：收容孔部90g，具有：在作為搬運面的上面90a被穿設形成並設有朝該上面90a開口的平面視圓形的開口部90b的圓筒內壁面部90c、及從該圓筒內壁面部90c透過環狀肩部90d擴徑並朝上板90的下面90e開口的擴徑圓筒內壁面部90f；及吸引孔70，是鄰接於該收容孔部90g並從該上板90的上面90a朝向下面90e貫通形成；如第14圖所示，沿著該上板90的長度方向X及寬度方向Y交互地具備複數個。

在該上板90的收容孔部90g中，前述上昇流形成體6是將環狀鍔部6d的外周面6e朝該收容孔部90g的圓筒內壁面部90c壓入嵌合，將卡合垂下部6f的卡合突起部6g與該收容孔部90g的環狀肩部90d卡合，並且將該環狀鍔部6d的上面6k與該上板90的上面90a作為同一面地裝設於該收容孔部90g。

中板100，是如第16圖(a)、(b)所示，具備：朝形成於中板100的上面100a的上方開口的剖面半圓狀的作為空氣供給路徑的空氣供給凹溝100b、及朝形成於該中板100的下面100c的下方開口的剖面半圓狀的作為空氣吸引路徑的空氣吸引凹溝100d。

空氣供給凹溝100b，是如第17圖所示，配合上昇流形成體6的配置(第14圖(a))，形成平面視菱形格子狀。在空氣供給凹溝100b的底部中，如第16圖(b)所示，與朝中板100的下面100c開口的連通孔100e連通設置，此連通孔100e，是如第17圖所示，中板100整體只設有1個。空氣供給凹溝100b，是如第14圖(b)所示，將上板90、中板100及下板110層疊時，各別與上板90的收容孔部90g連通。

空氣吸引凹溝100d1、100d2，是如第14圖(b)，第16圖(a)、(b)，第17圖及第18圖所示，與形成於上板90的吸引孔70同徑，使一方的端部朝中板100的上面100a開口地形成的複數個連通孔100f的另一方的端部的開口部沿著該中板100的長度方向被分割成2個塊體100g、100h，並使位於被分割的各塊體100g、100h的複數個連通孔100f1…100f1、…100f2的開口部各別連通地形成。

下板110，是如第14圖(b)所示，具備：1個空氣給氣口110c，是朝下板110的上面110a開口，且朝與前述中板100的空氣供給凹溝100b連通的連通孔100e開口，並且朝下板110的下面110b開口；及真空吸引口110d1(未圖示)、110d2，是朝下板110的上面110a開口，且與朝前述中板100的下面100c開口形成的各塊體100g、100h的空氣吸引凹溝100d1、100d2連通，並且朝下板110的下面110b開口。

且，如第14圖(b)所示，在上板90沿著該上板90的長度方向X及寬度方向Y由複數個形成的各收容孔部90g使朝中板100的上面100a開口的連續的1個空氣供給凹溝100b連通，將吸引孔70與朝中板100的上面100a開口的複數個連通孔100f連通使該上板90位在中板100的上面100a，與形成於中板100的空氣供給凹溝100b連通，並且將形成於下板110的空氣給氣口110c與朝該中板100的下面100c開口的1個連通孔100e結合，中板100的下面100c在位於由被分割形成的2個塊體100g、100h所構成的空氣吸引凹溝100d1、100d2的各塊體100g、100h的連通孔100f1、100f2將形成於下板110的真空吸引口110d結合，藉由使該中板100位在下板110的上面110a而形成搬運軌道80。搬運軌道80，是藉由螺栓等的固定手段將上板90、中板100及下板110結合固定而形成。

在顯示由上述構成所構成的流程步驟4用的非接觸搬運裝置4a的第19圖中，被供給至被設在搬運軌道80的下板110的空氣給氣口110c的壓縮空氣，是透過與空氣給氣口110c連通的連通孔100e被供給至形成於搬運軌道80的中板100的上面100a的1個連續的作為空氣供給路徑的剖面半圓狀的空氣供給凹溝100b。被供給至空氣供給凹溝100b的壓縮空氣，是被供給至形成於搬運軌道80的上板90的複數個收容孔部90g，並從被裝設於該收容孔部90g的上昇流形成體6的流體噴出孔6j噴出，且從該流體噴出孔6j噴出的空氣，是如第10圖所示，與圓筒狀基體部6c的圓筒內壁面6b衝突並在圓筒內壁面6b的開口部6a的上方產生呈噴霧狀分散的上昇流，藉由此上昇流將玻璃G懸浮的同時，在朝搬運軌道80的上板90的上面90a開口的吸引孔70，如第18圖所示，進行從與形成於搬運軌道80的中板100的下面100c的各塊體100g及100h的空氣吸引凹溝100d1、100d2被結合的真空吸引口110d1(未圖示)、110d2的吸引，在該上昇流形成體6中藉由上昇流的懸浮力及吸引孔的吸引力的平衡，就可形成高精度的平面度地由非接觸搬運玻璃G。

在上述非接觸搬運裝置4a中，因為空氣吸引凹溝100d，是沿著長度方向X被分割成塊體100g、100h的2個塊體，在各塊體100g、100h的空氣吸引凹溝100d1、100d2各別結合1個真空吸引口110d1、110d2，且將真空吸引口110d1、110d2的開閉操作在各空氣吸引凹溝100d1、100d2進行，所以真空吸引力不會下降，且因為沿著搬運方向在各塊體進行真空吸引口110d1、110d2的開閉操作，所以可以極力減小玻璃G的懸浮量的變動。

且，在上述非接觸搬運裝置4a中的上昇流形成體6中，因為不會產生負壓所以可以加大玻璃G的搬運時的懸浮量，且從流體噴出孔6j噴出的空氣，是藉由與圓筒狀基體部6c的圓筒內壁面6b衝突使空氣的噴出速度下降，並且成為呈噴霧狀分散的上昇流，所以可以極力抑制玻璃G受壓。且，作為上昇流形成體6，使用即使上昇流形成體60可以獲得同樣的作用效果。

在上述的流程步驟4被搬運的玻璃G，是藉由上昇流形成體6或60朝上方呈噴霧狀分散的上昇流懸浮，並且藉著由位於各上昇流形成體6或60間的吸引孔7或70將周圍的空氣真空吸引，高精度地被控制在30～50μm的懸浮高度。在此流程步驟4中，對於玻璃G進行各種檢查和加工。檢查和加工終了的玻璃G，是朝搬運步驟3被搬運，其後，在懸浮的狀態下朝次步驟被搬運。

如以上說明，本發明的非接觸搬運裝置，是具備：在搬運軌道的搬運面沿著該搬運軌道的長度方向及寬度方向交互地設置的複數個上昇流形成體及吸引孔；及和與各上昇流形成體連通的1個連續的作為空氣供給路徑的空氣供給凹溝及該空氣供給凹溝結合的空氣給氣口；及將朝搬運面開口的吸引孔的另一方的端部的開口部沿著該搬運軌道的長度方向分割成至少2個塊體，和各別與位於被分割的各塊體的吸引孔的開口部連通的連續的1個作為空氣供給路徑的空氣供給凹溝及該空氣吸引凹溝結合的真空吸引口；且從空氣給氣口被供給的壓縮空氣是通過空氣供給凹溝被供給至上昇流形成體，在上昇流形成體中在該上昇流形成體的開口部的上方產生呈噴霧狀分散的上昇流，藉由此上昇流將被搬運物懸浮，並且在吸引孔中，透過空氣吸引凹溝進行從真空吸引口的吸引，藉由在該上昇流形成體的懸浮力及吸引孔的吸引力的平衡，將被搬運物由高精度的平面度的非接觸搬運。

依據由上述構成所構成的本發明的非接觸搬運裝置，因為空氣吸引凹溝，是沿著長度方向被分割成至少2個塊體，在各塊體的空氣吸引凹溝各別結合1個真空吸引口，且將真空吸引口的開閉操作在各空氣吸引凹溝進行，所以真空吸引力不會下降，可以將被搬運物的懸浮量的變動極力減小。

且，在上述非接觸搬運裝置中的上昇流形成體中，因為不會產生負壓所以可以加大被搬運物的搬運時的懸浮量，且因為從流體噴出孔噴出的空氣，會使空氣的噴出速度下降，並且成為呈噴霧狀分散的上昇流，所以可以極力抑制被搬運物受壓。

X．．．長度方向

Y．．．寬度方向

1．．．非接觸搬運裝置

2．．．搬運步驟

2a．．．非接觸搬運裝置

3．．．搬運步驟

4．．．流程步驟

4a．．．流程步驟用非接觸搬運裝置

5．．．搬運軌道

6．．．上昇流形成體

6a．．．開口部

6b．．．圓筒內壁面

6c．．．．．．圓筒狀基體部

6d．．．環狀鍔部

6e．．．外周面

6f．．．卡合垂下部

6g．．．卡合突起部

6h．．．外周面

6i．．．先端部

6j．．．流體噴出孔

6k．．．上面

7．．．吸引孔

8．．．搬運軌道

9．．．．．．上板

9a．．．上面

9b．．．開口部

9c．．．圓筒內壁面部

9d．．．環狀肩部

9e．．．下面

9f．．．擴徑圓筒內壁面部

9g．．．收容孔部

10．．．中板

10a．．．上面

10b．．．空氣供給凹溝

10c．．．下面

10d．．．連通孔

10e．．．貫通孔

10e1，10e2，10e3，10e4．．．貫通孔

11．．．下板

11a．．．上面

11b1，11b2，11b3．．．塊體

11c．．．空氣吸引凹溝

11c1，11c2，11c3，11c4．．．空氣吸引凹溝

11d1，11d2，11d3．．．真空吸引口

11e．．．空氣給氣口

60．．．上昇流形成體

60a．．．開口部

60b．．．圓筒內壁面

60c．．．圓筒狀基體部

60d．．．環狀鍔部

60e．．．外周面

60f．．．卡合垂下部

60g．．．卡合突起部

60h．．．外周面

60i．．．先端部

60j．．．流體噴出孔

60k．．．上面

70．．．吸引孔

80．．．搬運軌道

90．．．上板

90a．．．上面

90b．．．開口部

90c．．．圓筒內壁面部

90d．．．環狀肩部

90e．．．下面

90f．．．擴徑圓筒內壁面部

90g．．．收容孔部

100．．．中板

100a．．．上面

100b．．．空氣供給凹溝

100c．．．下面

100d．．．空氣吸引凹溝

100d1，100d2．．．空氣吸引凹溝

100e．．．連通孔

100f．．．連通孔

100f1，100f2．．．連通孔

100g，100h．．．塊體

110．．．下板

110a．．．上面

110b．．．下面

110c．．．空氣給氣口

110d．．．真空吸引口

110d1．．．真空吸引口

[第1圖]顯示本發明的非接觸搬運裝置的一實施例的圖，且顯示由搬運步驟及流程步驟所構成的整體構成的平面圖。

[第2圖]顯示第1圖的流程步驟用的非接觸搬運裝置的圖，(a)是平面圖，(b)是(a)的A-A線剖面圖。

[第3圖]顯示第2圖(b)的上板的圖，(a)是顯示未裝設有上昇流形成體的狀態的剖面圖，(b)是顯示裝設有上昇流形成體的狀態的剖面圖。

[第4圖]顯示第2圖(b)的中板的圖，第7圖的B-B線剖面圖。

[第5圖]顯示第2圖(b)的下板的圖，第8圖的C-C線剖面圖。

[第6圖]顯示第2圖(b)的下板的圖，第8圖的D-D線剖面圖。

[第7圖]第2圖(b)的中板的俯視圖。

[第8圖]第2圖(b)的下板的俯視圖。

[第9圖]顯示使用於本發明的非接觸搬運裝置之上昇流形成體的圖，(a)是前視圖，(b)是平面圖，(c)是底面圖，(d)是(c)的E-E線剖面圖。

[第10圖]透過上昇流形成體使空氣呈噴霧狀朝上方分散形成上昇流的說明圖，(a)是平面圖，(b)是剖面圖。

[第11圖]顯示流程步驟用的非接觸搬運裝置中的玻璃的懸浮搬運的剖面圖。

[第12圖]顯示被使用在本發明的非接觸搬運裝置之其他的形態的上昇流形成體的圖，(a)是底面圖，(b)是(a)的F-F線剖面圖。

[第13圖]透過其他的形態的上昇流形成體使空氣呈噴霧狀朝上方分散形成上昇流的說明圖，(a)是平面圖，(b)是剖面圖。

[第14圖]顯示第1圖的流程步驟的其他的形態的非接觸搬運裝置的圖，(a)是平面圖，(b)是(a)的G-G線剖面圖。

[第15圖]顯示第14圖(b)的上板的圖，(a)是未裝設有上昇流形成體的狀態的上板的剖面圖，(b)是裝設有上昇流形成體的狀態的上板的剖面圖。

[第16圖]第14圖(b)的中板的剖面圖，(a)是第17圖的H-H線剖面圖，(b)是第17圖的I-I線剖面圖。

[第17圖]第14圖(b)的中板的俯視圖。

[第18圖]第14圖(b)的中板的下面圖。

[第19圖]顯示第14圖的流程步驟用的其他的形態的非接觸搬運裝置中的玻璃的懸浮搬運的剖面圖。

X．．．長度方向

Y．．．寬度方向

4a．．．流程步驟用非接觸搬運裝置

6．．．上昇流形成體

6j．．．流體噴出孔

7．．．吸引孔

8．．．搬運軌道

9．．．上板

9a．．．上面

9c．．．圓筒內壁面部

9d．．．環狀肩部

9e．．．下面

9g．．．收容孔部

10．．．中板

10a．．．上面

10b．．．空氣供給凹溝

10c．．．下面

10d．．．連通孔

10e．．．貫通孔

11．．．下板

11c2．．．空氣吸引凹溝

11d2．．．真空吸引口

11e．．．空氣給氣口

Claims (5)

1. 一種非接觸搬運裝置，其特徵為，由：搬運軌道、及被裝設於該搬運軌道的上板的收容孔部的上昇流形成體所構成，該搬運軌道，是由上板、中板、下板所構成，該上板，是沿著長度方向及寬度方向交互地設有複數個收容孔部及吸引孔，該收容孔部，具有：朝上面開口且平面視形成圓形的開口部之圓筒壁面部、及從該圓筒壁面部透過環狀肩部擴徑並且朝下面開口之擴徑圓筒壁面部，該吸引孔，是鄰接於該收容孔部地被穿設形成並朝上、下面開口，該中板，具備：朝上面開口並與前述上板的各收容孔部連通的連續的空氣供給路徑、及一方的端部是朝該空氣供給路徑開口而另一方的端部是朝下面開口的連通孔、及鄰接於該連通孔且一方的端部是與前述上板的吸引孔連通而另一方的端部朝下面開口的貫通孔，該下板，具備：被結合在該中板的連通孔之1個空氣供給口、及朝上面開口並且與前述中板的貫通孔連通的空氣吸引路徑、及與該空氣吸引路徑結合的真空吸引口，形成於前述下板的空氣吸引路徑，是沿著長度方向被分割成至少2個以上的塊體，在各塊體的空氣吸引路徑中各別結合1個真空吸引口，前述上昇流形成體，是具備：在內面具有圓筒內壁面的有底的圓筒狀基體部；及 在該圓筒狀基體部的開口部的周緣朝徑方向外方伸出的環狀鍔部；及沿著該環狀鍔部的外周緣的圓周方向，且在徑方向相面對地朝下方延伸的複數個卡合垂下部；及在該卡合垂下部的下端朝外方突出的卡合突起部；及從前述圓筒狀基體部的外周面朝圓筒內壁面開口，並且先端部朝向該圓筒狀基體部的中心的至少1個流體噴出孔；且在前述搬運軌道的上板的收容孔部，將前述環狀鍔部的外周面朝該收容孔部的圓筒壁面部壓入嵌合，將前述卡合垂下部的卡合突起部卡合於前述環狀肩部地被裝設。
2. 一種非接觸搬運裝置，其特徵為，由：搬運軌道、及被裝設於上板的收容孔部的上昇流形成體所構成，該搬運軌道，是由上板、中板、下板所構成，該上板是沿著長度方向及寬度方向交互地設有複數個收容孔部及吸引孔，該收容孔部，具有：朝上面開口且平面視形成圓形的開口部之圓筒壁面部、及從該圓筒壁面部透過環狀肩部擴徑並且朝下面開口之擴徑圓筒壁面部，該吸引孔，是鄰接於該收容孔部地被穿設形成並朝上、下面開口，該中板，具備：朝上面開口並與前述上板的收容孔部連通的連續的空氣供給路徑、及一方的端部是朝該空氣供給路徑開口而另一方的端部是朝下面開口的1個連通孔、及一方的端部是朝前述上板的吸引孔開口而另一方的端部 對於朝下面開口的空氣吸引路徑開口的連通孔，該下板，具備：朝該中板的連通孔開口的空氣供給口、及被結合在前述中板的空氣吸引路徑之真空吸引口，形成於前述中板的空氣吸引路徑，是沿著長度方向被分割成至少2個以上的塊體，在各塊體的空氣吸引路徑中各別結合1個真空吸引口，前述上昇流形成體，是具備：在內面具有圓筒內壁面的有底的圓筒狀基體部；及在該圓筒狀基體部的開口部的周緣朝徑方向外方伸出的環狀鍔部；及沿著該環狀鍔部的外周緣的圓周方向，且在徑方向相面對地朝下方延伸的複數個卡合垂下部；及在該卡合垂下部的下端朝外方突出的卡合突起部；及從前述圓筒狀基體部的外周面朝圓筒內壁面開口，並且先端部朝向該圓筒狀基體部的中心的至少1個流體噴出孔；且在前述搬運軌道的上板的收容孔部，將前述環狀鍔部的外周面朝該收容孔部的圓筒壁面部壓入嵌合，將前述卡合垂下部的卡合突起部卡合於前述環狀肩部地被裝設。
3. 如申請專利範圍第1項的非接觸搬運裝置，其中，具備1個前述流體噴出孔，且從該流體噴出孔噴出的流體，是與該圓筒狀基體部的圓筒內周壁衝突，並呈噴霧狀朝上方分散形成上昇流。
4. 如申請專利範圍第1項的非接觸搬運裝置，其中， 前述流體噴出孔，是從圓筒狀基體部的外周面朝圓筒內壁面開口，並且先端部是朝向該圓筒狀基體部的中心相面對的方式被設置2個，從該2個流體噴出孔噴出的流體，是彼此衝突而呈噴霧狀朝上方分散形成上昇流。
5. 如申請專利範圍第1或2項的非接觸搬運裝置，其中，前述上昇流形成體，是由熱可塑性合成樹脂形成。