TWI519461B - 上昇流形成體及使用此上昇流形成體的非接觸搬運裝置 - Google Patents

Description

上昇流形成體及使用此上昇流形成體的非接觸搬運裝置

本發明，是有關上昇流形成體及使用此上昇流形成體的非接觸搬運裝置，特別是有關於大型的液晶顯示器(LCD)和等離子顯示器(PDP)等的FPD(平面顯示器)和太陽能電池板(太陽能面板)等的生產所使用的非接觸搬運裝置。

習知，FPD和太陽能電池板等的生產時，被採用藉由將1枚的面板大型化來提高生產效率的方法。例如，液晶面板的情況時，於第10世代已成為2850×3050×0.7mm的大小。因此，如習知，在複數個並列的滾子上載置液晶玻璃進行滾動搬運的話，因為將滾子支撐的軸的撓曲和滾子高度的尺寸的參差不一會局部且強的力會作動於液晶玻璃，而有可能弄傷該液晶玻璃。

上述滾子的滾動搬運裝置，就無法使用於被要求該裝置及面板非接觸的例如FPD的流程步驟，近年來，開始採用空氣懸浮的搬運裝置。非接觸搬運裝置，是在板狀的搬運用軌道的一部分使用多孔質材料(多孔質燒結金屬等)，藉由與空氣供給路徑連通地進行給氣，藉由噴出空氣將FPD懸浮搬運。但是，使用此非接觸搬運裝置的話，因為FPD是成為一邊朝上下方向動作一邊浮游的狀態，雖可使用在搬運步驟，但是對於要求例如30～50μm的高精度的懸浮高度的流程步驟中是絕對無法採用。

且，為了在使用上述多孔質材料的板狀的搬運用軌道高精度地維持懸浮量的目的而設置抽真空用的孔的話，裝置的構成成為複雜並且裝置本身是變高價，且，為了高精度地維持懸浮高度而提高給氣壓的話，高剛性空氣的壓縮性的自激振動會發生，而有無法高精度地保持懸浮高度的問題。

進一步，雖也存在取代多孔質材料而將小孔(小徑的孔)與抽真空用的孔交互地穿設的裝置，但是由來自小孔的強力的噴出空氣會發生靜電，而會擾亂清淨室的環境，且具有因消耗電流變大導致運轉成本高騰的問題。

在此，在專利文獻1中，被提案一種非接觸搬運裝置，可減少流體流量及能量消耗量，且可以高精度地維持懸浮高度的非接觸搬運裝置，是藉由將流體從流體噴出口噴出，而在環狀構件的表面側產生朝向遠離該表面側的方向的迴旋流，並且將在環狀構件的表面側的開口部附近產生朝背面方向的流體流動的迴旋流形成體，在搬運用軌道的搬運面設置2個以上。

[先行技術文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1]國際公開第2009/119377號

被揭示於上述專利文獻1的非接觸搬運裝置，雖是在環狀構件的表面側產生朝向遠離該表面側的方向的迴旋流來使搬運物(面板等)懸浮，但是發現：迴旋流的中心部會有負壓發生，其雖具有可防止搬運物的懸浮超過的效果的反面，但具有搬運物的端部的振幅變大的缺點，且由流程步驟中的迴旋流所產生的負壓及抽真空的負壓若重疊的話，迴旋流的懸浮功能會喪失，而會局部地與搬運用軌道接觸的問題。

本發明，是有鑑於上述諸點，其目的是提供一種可以防止負壓的發生，減小被搬運的搬運物的端部的振幅，並且可以加大懸浮量的上昇流形成體及使用此上昇流形成體的非接觸搬運裝置。

為了達成上述目的，本發明是一種上昇流形成體，其特徵為，具備：在內面具有圓筒內壁面的有底的圓筒狀基體部；及在該圓筒狀基體部的開口部的周緣朝徑方向外方伸出環狀鍔部；及沿著該環狀鍔部的外周緣的圓周方向，且在徑方向相面對地朝下方延伸的複數個的卡合垂下部；及在該卡合垂下部的下端朝外方突出的卡合突起部；及從前述圓筒狀基體部的外周面朝圓筒內壁面開口，並且先端部是朝向該圓筒狀基體部的中心的至少1個流體噴出孔。

且，本發明的上昇流形成體，是當形成於該上昇流形成體的流體噴出孔是1個的情況時，從該流體噴出孔噴出的流體，會與該圓筒狀基體部的圓筒內壁面衝突，呈噴霧狀朝上方分散地形成上昇流。

且，本發明的上昇流形成體，是當形成於該上昇流形成體的流體噴出孔是從圓筒狀基體部的外周面朝圓筒內壁面開口，並且先端部是朝向該圓筒狀基體部的中心相面對的2個流體噴出孔的情況時，從該流體噴出孔噴出的流體，會彼此衝突，呈噴霧狀朝上方分散地形成上昇流。

因為藉由上昇流形成體發生的噴出流體，呈噴霧狀分散地形成上昇流，所以搬運物(面板)不會受壓，且可以減小搬運物的振幅，進一步因為負壓不會發生所以可以發揮加大搬運物的懸浮量等的作用效果。

本發明的上昇流形成體，是藉由熱可塑性合成樹脂射出成形而形成較佳，熱可塑性合成樹脂，可舉例聚苯硫樹脂(PPS)。

且，本發明，是非接觸搬運裝置，其特徵為：使設有具有朝上面開口且平面視形成圓形的開口部的圓筒壁面部及從該圓筒壁面部透過環狀肩部擴徑的帶狀的擴徑圓筒壁面部之收容孔部沿著搬運用軌道的長度方向及寬度方向形成複數個，該搬運用軌道，是具備：沿著其長度方向形成的流體通路、及與該流體通路連通地朝該收容孔部開口的貫通孔，前述上昇流形成體是對於該收容孔部，將環狀鍔部的外周面朝該收容孔部的圓筒壁面部壓入嵌合，將卡合垂下部的卡合突起部卡合裝設在收容孔部的環狀肩部。

對於上述本發明的非接觸搬運裝置，可取代沿著搬運用軌道的長度方向形成的流體通路透過貫通孔與收容孔部連通，而使沿著搬運用軌道的長度方向形成的流通路的一部分朝該收容孔部開口，而省略貫通孔的構成也可以。

依據本發明的非接觸搬運裝置的話，從上昇流形成體的流體噴出孔噴出的流體，會與上昇流形成體的圓筒壁面部衝突(流體噴出孔是1個的情況)，或彼此衝突(流體噴出孔是2個的情況)，而呈噴霧狀朝上方分散地形成上昇流，因為該上昇流不會產生負壓所以可以加大搬運物的懸浮量地進行搬運。

上昇流形成體，是藉由對於搬運用軌道的搬運用軌道基體的收容孔部，將環狀鍔部的外周面朝該收容孔部的圓筒壁面部壓入嵌合，將卡合垂下部的卡合突起部卡合在收容孔部的環狀肩部，就可簡單地被裝設於該收容孔部。

進一步，本發明的非接觸搬運裝置，其特徵為：具有搬運用軌道，該搬運用軌道是由上板、中板、下板所構成，該上板，設有：由具有朝上面開口且平面視形成圓形的開口部之圓筒內壁部及從該圓筒內壁部透過環狀肩部擴徑並朝下面開口的擴徑圓筒壁面部所構成收容孔部、及鄰接地穿設於該收容孔部的吸引孔，該中板，設有：朝上面開口並與前述上板的收容孔部連通的流體供給凹溝、及與該流體供給凹溝連通並朝下面開口的連通孔、及鄰接地穿設於該流體供給凹溝並和與前述上板的吸引孔連通的連通孔連通並朝下面開口的流體吸引凹溝，該下板，設有與該中板的連通孔連通的流體供給口及與流體吸引凹溝連通的真空吸引口，前述上昇流形成體是對於該搬運用軌道的該上板的收容孔部，將環狀鍔部的外周面朝該收容孔部的圓筒壁面部壓入嵌合，將卡合垂下部的卡合突起部卡合裝設在收容孔部的環狀肩部。

且，本發明的其他的非接觸搬運裝置，其特徵為：具有搬運用軌道，該搬運用軌道是由上板、中板、下板所構成，該上板，是沿著長度方向及寬度方向交互地設有複數個：具有朝上面開口且平面視形成圓形的開口部之圓筒壁面部及從該圓筒壁面部透過環狀肩部擴徑並且朝下面開口之擴徑圓筒壁面部之收容孔部、及鄰接地穿設於該收容孔部並朝上、下面開口的吸引孔，該中板，設有：朝上面開口並與前述上板的各收容孔部連通的流體供給凹溝、及朝該流體供給凹溝開口並且朝下面開口的1個連通孔、及鄰接於該流體供給凹溝並和與前述上板的吸引孔連通並朝上、下面開口的貫通孔，該下板，設有：與該中板的連通孔結合的流體供給口、及朝上面開口並且與前述中板的貫通孔連通的流體吸引凹溝、及與該流體吸引凹溝結合的真空吸引口，前述上昇流形成體是對於該搬運用軌道的該上板的收容孔部，將環狀鍔部的外周面朝該收容孔部的圓筒壁面部壓入嵌合，將卡合垂下部的卡合突起部卡合裝設在收容孔部的環狀肩部。

依據上述非接觸搬運裝置的話，搬運用軌道，是藉由形成上板、中板及下板的3層構造，且將流體供給凹溝及流體吸引凹溝設在中板的上、下面，就可使流體供給凹溝及流體吸引凹溝的製作成為容易，並可以更降低製造成本，且由上述構成所構成的非接觸搬運裝置，是被使用在搬運步驟的流程步驟最佳。

如以上，依據本發明的話，可以提供一種：被搬運物不會受壓，可以減小被搬運物的振幅，進一步因為負壓不會發生所以可以加大被搬運物的懸浮量的上昇流形成體及使用此上昇流形成體的非接觸搬運裝置。

接著，對於本發明的實施例一邊參照圖面一邊詳細說明。又，在以下的說明中，使用作為搬運用流體的空氣，搬運作為被搬運物的液晶玻璃(以下簡稱為「玻璃」)的情況的例。

非接觸搬運裝置1，是如第1圖所示，為了將玻璃G由非接觸搬運而被使用，且由：2個搬運步驟2及3用的非接觸搬運裝置2a及3a、及在這些搬運步驟2及3之間的流程步驟4用的非接觸搬運裝置4a所構成。

搬運步驟2及3用的非接觸搬運裝置2a及3a，是將2列後述的上昇流形成體6橫跨搬運用軌道5配置於第2圖的紙面上、下方向，在第1圖的搬運步驟2及3中，各別將非接觸搬運裝置2a及3a並列配置3組。

非接觸搬運裝置2a及3a的搬運用軌道5，是如第3圖(a)及(b)所示，具備收容孔部5g，其設有：穿設於搬運用軌道基體5a及該軌道基體5a的上面的搬運面5b且朝該搬運面5b開口的平面視形成圓形的開口部5c之圓筒壁面部5d、及從該圓筒壁面部5d透過環狀肩部5e擴徑的帶狀的擴徑圓筒壁面部5f，該收容孔部5g，是沿著搬運用軌道基體5a的長度方向X及寬度方向Y形成複數個。該搬運用軌道5，具備：沿著該搬運用軌道基體5a的長度方向X形成，使空氣從供給泵(無圖示)被供給的流體通路5h；及與該流體通路5h連通，朝該收容孔部5g開口將來自流體通路5h的空氣供給至收容孔部5g用的貫通孔5i。

在形成於該搬運用軌道基體5a的收容孔部5g中，裝設有由例如聚苯硫樹脂(PPS)等的熱可塑性合成樹脂形成的上昇流形成體6。

上昇流形成體6，是如第4圖(a)至(d)所示，具備：朝上面開口且平面視形成圓形的開口部6a，並且設有與該開口部6a連通的圓筒內壁面6b的有底的圓筒狀基體部6c；及在該圓筒狀基體部6c的開口部6a的周緣朝徑方向外方伸出的環狀鍔部6d；及在該環狀鍔部6d的外周面6e沿著該外周面6e的圓周方向，且在徑方向相面對地朝下方延伸的複數個(本實施例為4個)卡合垂下部6f；及在該卡合垂下部6f的下端朝外方突出的卡合突起部6g；及從該圓筒狀基體部6c的外周面6h朝圓筒內壁面6b開口，並且先端部6i是朝向該圓筒狀基體部6c的中心O的至少1個(本實施例中1個)流體噴出孔6j。

該上昇流形成體6，是如第5圖所示，將環狀鍔部6d的外周面6e朝該收容孔部5g的圓筒內壁面5d壓入嵌合，將卡合垂下部6f的卡合突起部6g卡合於該收容孔部5g的環狀肩部5e，並且將該環狀鍔部6d的上面6k與該搬運用軌道基體5a的搬運面5b作為同一面裝設於該收容孔部5g。

流動於搬運用軌道基體5a的流體通路5h並從與該流體通路5h連通的貫通孔5i朝收容孔部5g噴出的空氣，是在被裝設於該收容孔部5g的上昇流形成體6中，如第6圖及第7圖所示，由從圓筒狀基體部6c的外周面6h朝圓筒內壁面6b開口並且使先端部6i朝向該圓筒狀基體部6c的中心O的流體噴出孔6j噴出並與該圓筒狀基體部6c的圓筒內壁面6b衝突，成為朝該圓筒內壁面6b的開口部6a的上方呈噴霧狀分散的上昇流，藉由該上昇流由非接觸搬運玻璃G。

測量搬運用軌道5及玻璃G之間的空氣的壓力分布，確認從流體噴出孔6j噴出的空氣有與上昇流形成體6的圓筒內壁面6b衝突，並在該圓筒內壁面6b的上方分散、擴散。如此在上昇流形成體6中，因為負壓不會發生所以可以加大懸浮量，且，因為從流體噴出孔6j噴出的空氣，是藉由與圓筒狀基體部6c的圓筒內壁面6b衝突，使空氣的噴出速度下降並且成為噴霧狀的分散的上昇流，所以可以極力抑制玻璃G受壓。

第8圖(a)及(b)，是顯示上昇流形成體6的其他的實施例，上昇流形成體7，是具備：設有朝上面開口且平面視形成圓形的開口部7a，並且設有與該開口部7a連通的圓筒內壁面7b的有底的圓筒狀基體部7c；及在該圓筒狀基體部7c的開口部7a的周緣朝徑方向外方伸出環狀鍔部7d；及在該環狀鍔部7d的外周面7e沿著該外周面7e的圓周方向，且在徑方向相面對地朝下方延伸的複數個(本實施例中4個)卡合垂下部7f；及在該卡合垂下部7f的下端朝外方突出的卡合突起部7g；及從該圓筒狀基體部7c的外周面7h朝圓筒內壁面7b開口，並且先端部7i是朝向該圓筒狀基體部7c的中心O相面對的2個流體噴出孔7j及7j。

該上昇流形成體7，是雖無圖示但與如前述第5圖所示的上昇流形成體6的朝收容孔部5g的裝設同樣，將環狀鍔部7d的外周面7e朝該收容孔部5g的圓筒內壁面5d壓入嵌合，將卡合垂下部7f的卡合突起部7g卡合在該收容孔部5g的環狀肩部5e，並且將該環狀鍔部7d的上面7k與該搬運用軌道基體5a的搬運面5b作為同一面被裝設於該收容孔部5g。

流動於搬運用軌道5的流體通路5h並從與該流體通路5h連通的貫通孔5i朝收容孔部5g噴出的空氣，是在被裝設於該收容孔部5g的上昇流形成體7中，如第9圖(a)及(b)所示，由從圓筒狀基體部7c的外周面7h朝圓筒內壁面7b開口並且先端部7i是朝向該圓筒狀基體部7c的中心O相面對的流體噴出孔7j及7j噴出空氣彼此衝突，成為朝該圓筒內壁面7b的開口部7a的上方呈噴霧狀分散的上昇流，藉由該上昇流由非接觸搬運玻璃G。

即使使用此上昇流形成體7的情況時，在上昇流形成體7中，因為負壓不會發生所以可以加大懸浮量，且，因為從流體噴出孔7j及7j噴出的空氣，是藉由空氣彼此衝突使空氣的噴出速度下降並且成為噴霧狀的分散的上昇流，所以可以極力抑制玻璃G受壓。

第10圖(a)及(b)，是顯示搬運用軌道5的其他的實施例，此搬運用軌道8，是具備：穿設於搬運用軌道基體8a及該軌道基體8a的上面的搬運面8b，設有朝該搬運面8b開口的平面視形成圓形的開口部8c的圓筒壁面部8d；及設有從該圓筒壁面部8d透過環狀肩部8e擴徑的帶狀的擴徑圓筒內壁面部8f的收容孔部8g，該搬運用軌道8，是沿著搬運用軌道基體8a的長度方向X形成，使空氣從供給泵(無圖示)被供給的流體通路8h是將其一部分朝收容孔部8g開口地形成。在此搬運用軌道8中，成為不需要從前述第3圖(a)及(b)所示的搬運用軌道5中的流體通路5h供給空氣至收容孔部5g的貫通孔5i。

第11圖(a)及(b)所顯示的上昇流形成體6及7，是在前述上昇流形成體6或7的有底的圓筒狀基體部6c或7c的圓筒內壁面6b或7b，具備將該圓筒狀基體部6c或7c的中心O挾持地相面對的凹部61或71，具備此相面對的凹部61或71的上昇流形成體6或7，需製作另外的夾具(無圖示)，該夾具是每微調整被裝設於前述搬運用軌道5或8的收容孔部5g或8g的上昇流形成體6及7的位置時，具備和與該圓筒內壁面6b或7b及該圓筒內壁面6b或7b相面對的凹部61或71的開口部6a或7a的平面形狀一致的平面形狀，將該夾具嵌合於上昇流形成體6或7的開口部6a或7a，並且藉由旋轉該夾具就可以微調整該上昇流形成體6或7中的流體噴出孔6j或7j的位置。

第12圖(a)及(b)，是顯示前述第1圖所示的非接觸搬運裝置1的流程步驟4用的非接觸搬運裝置4a，該非接觸搬運裝置4a，是在搬運用軌道10的長度方向X及寬度方向Y交互地被配置：使發生前述上昇流的上昇流形成體6或7、及將空氣吸入的真空吸引用的直徑1～2mm程度的吸引孔9。

搬運用軌道10，是如第12圖(b)所示，具有由上板11、中板12及下板13所構成的3層構造。

上板11，是如第13圖(a)所示，沿著長度方向X及寬度方向Y交互地設有複數個：穿設於作為搬運面的上面11a並具有朝該搬運面11a開口的平面視圓形的開口部11b的圓筒內壁面部11c、及從該圓筒內壁面部11c透過環狀肩部11d擴徑並具有朝該上板11的下面11e開口的擴徑圓筒內壁面部11f的複數個的收容孔部11g、及與該收容孔部11g鄰接並從上板11的該上面11a朝下面11e貫通地形成的吸引孔9。

在該上板11的收容孔部11g中，前述上昇流形成體6或7是將環狀鍔部6d或7d的外周面6e或7e朝該收容孔部11g的圓筒內壁面部11c壓入嵌合，將卡合垂下部6f或7f的卡合突起部6g或7g卡合在該收容孔部11g的環狀肩部11d，並且將該環狀鍔部6d或7d的上面6k或7k與該上板11的上面11a整齊地被裝設於該收容孔部11g。

中板12，是如第14圖(a)及(b)所示，具備：形成於中板12的上面12a且形成橫剖面半圓形並將開口部朝向上方的空氣供給凹溝12b、及形成於該中板12的下面12c且形成橫剖面半圓形並將開口部朝向下方的空氣吸引凹溝12d。

空氣供給凹溝12b，是如第16圖所示，配合上昇流形成體6或7的配置(第12圖(a)參照)，形成平面視菱形格子狀。在空氣供給凹溝12b的底部，如第14圖(b)所示，與朝中板12的下面12c開口的連通孔12e連通，此連通孔12e，是如第17圖所示，在中板12整體只設有1個。空氣供給凹溝12b，是如第12圖(b)所示，將上板11、中板12及下板13層疊時，各別與上板11的收容孔部11g連通。

空氣吸引凹溝12d，是如第17圖所示，配合吸引孔9的配置(第12圖(a)參照)，形成平面視菱形格子狀。又，在第17圖中，因為了解容易空氣吸引凹溝12d及空氣供給凹溝12b的位置關係，由實線顯示空氣吸引凹溝12d，由虛線顯示空氣供給凹溝12b。

空氣吸引凹溝12d，如第14圖(a)所示，與上板11的吸引孔9(第13圖(a)參照)同徑，且與朝中板12的上面12a開口的複數個的連通孔12f連通。這些連通孔12f，是如第12圖(b)所示，將上板11、中板12及下板13層疊時，各別與上板11的吸引孔9連通。又，在第17圖中，為了解容易空氣吸引凹溝12d的連通孔12f、及空氣供給凹溝12b的連通孔12e的位置關係，將前者由黑圓顯示，並且對於與後述的真空吸引口結合的空氣吸引凹溝12d的連通孔12f1是由白圓顯示。

這些空氣供給凹溝12b及空氣吸引凹溝12d，是如第17圖所示，使平面視彼此不同地被配置，使一方的凹溝的交叉部位於另一方的凹溝的格子內的方式形成(參照空氣供給凹溝12b的交叉部12g及空氣吸引凹溝12d的格子12h的關係、及空氣吸引凹溝12d的交叉部12i及空氣供給凹溝12b的格子12j的關係)。且，與空氣吸引凹溝12d連接的複數個的連通孔12f，是與空氣吸引凹溝12d的交叉部12i及角部12k連通，被配置於不與空氣供給凹溝12b重疊的位置。且，與空氣供給凹溝12b連接的連通孔12e，也與空氣供給凹溝12b的交叉部12g連通，被配置於不與空氣吸引凹溝12d重疊的位置。

下板13，是如第12圖(b)所示，具備：朝下板13的上面13a開口，與中板12的連通孔12e(與空氣供給凹溝12b連通的連通孔)連通，並且朝該下板13的下面13b開口的空氣給氣口13c；及朝下板13的上面13a開口，與中板12的空氣吸引凹溝12d連通，並且朝該下板13的下面13b開口的真空吸引口13d。該空氣給氣口13c及真空吸引口13d，是各具備螺孔，在空氣給氣口13c的螺孔中，例如使與壓縮機連接的管的先端的接管被螺合固定，在真空吸引口13d的螺孔中，例如使與真空泵連接的管的先端的接管被螺合固定。

且，如第12圖(b)所示，藉由將形成於上板11的收容孔部11g與朝中板12的上面12a開口的空氣供給凹溝12b連通，將吸引孔9與朝中板12的上面12a開口的連通孔12f連通，將上板11位在中板12的上面12a，將下板13的空氣給氣口13c與朝中板12的下面12c開口的連通孔12e結合，並且將真空吸引口13d與中板12的下面12c的空氣吸引凹溝12d結合，使中板12位在下板13的上面13a，而形成搬運用軌道10。搬運用軌道10，是藉由螺栓等的固定手段將上板11、中板12及下板13結合固定而形成。

第18圖至第20圖，是顯示搬運用軌道10的其他的實施例的車。搬運用軌道10，是具有由上板11、中板12及下板13所構成的3層構造，上板11，是具有與如第13圖所示的前述搬運用軌道10的上板11同樣的構成。

中板12，是如第19圖所示，具備：朝上面12a開口並與前述上板11的各收容孔部11g連通的空氣供給凹溝12b、及朝該空氣供給凹溝12b開口並且朝下面12c開口的1個連通孔12e、及鄰接於該空氣供給凹溝12b並與前述上板11的吸引孔9連通並朝上面12a及下面12c開口的貫通孔12f。

下板13，是如第20圖所示，具備：與前述中板12的連通孔12e結合的空氣供給口13c、及朝上面13a開口並且和與前述中板12的貫通孔12f連通的吸氣吸引凹溝13e及與該吸氣吸引凹溝13e連通的貫通孔12f1結合的真空吸引口13d。

且，如第18圖所示，藉由將形成於上板11的收容孔部11g與朝中板12的上面12a開口的空氣供給凹溝12b連通，將吸引孔9與朝中板12的上面12a開口的貫通孔12f1連通，使上板11位在中板12的上面12a，使朝中板12的下面12c開口的連通孔12e與設在下板13的空氣給氣口13c結合，並且使朝中板12的下面12c開口的貫通孔12f1與設在下板13的真空吸引口13d結合，使中板12位在下面13的上面13a，而形成搬運用軌道10。搬運用軌道10，是與前述搬運用軌道同樣，藉由螺栓等的固定手段將上板11、中板12及下板13結合固定而形成。該空氣給氣口13c及真空吸引口13d，是各具備螺孔，在空氣給氣口13c的螺孔中，例如使與壓縮機連接的管的先端的接管被螺合固定，在真空吸引口13d的螺孔中，例如使與真空泵連接的管的先端的接管被螺合固定。

如此，因為在這些搬運用軌道10，將空氣供給凹溝12b及空氣吸引凹溝12d形成平面視菱形格子狀，將這些空氣供給凹溝12b及空氣吸引凹溝12d配置於不同的高度，並且使平面視成為彼此不同地配置，所以即使將空氣供給凹溝12b及空氣吸引凹溝12d複雜地裝配，也可迴避空氣供給凹溝12b及空氣吸引凹溝12d的干涉，且可以將各別的空氣供給凹溝12b及空氣吸引凹溝12d由單一的連續路形成，流體通路的設計成為容易。且，因為由連續路形成空氣供給凹溝12b及空氣吸引凹溝12d，所以空氣供給凹溝12b及空氣給氣口13c的連結及空氣吸引凹溝12d及真空吸引口13d的連結，各別只要一處即可，可降低搬運用軌道10的製造成本。

且，因為將搬運用軌道10作成3層構造，將空氣供給凹溝12b及空氣吸引凹溝12d設在中板12的上面12a及下面12c，所以空氣供給凹溝12b及空氣吸引凹溝12d的製作成為容易，可進一步降低製造成本。

在顯示由上述構成所構成的流程步驟4用的非接觸搬運裝置4a的第15圖及第20圖中，被供給至搬運用軌道10的空氣給氣口13c的空氣，是透過與空氣給氣口13c連通的連通孔12e被供給至搬運用軌道10的中板12中的空氣供給凹溝12b。被供給至空氣供給凹溝12b的空氣，是被供給至搬運用軌道10的上板11中的收容孔部11g，從被裝設於該收容孔部11g的上昇流形成體6的流體噴出孔6j噴出並與圓筒狀基體部6c的圓筒內壁面6b衝突，成為朝該圓筒內壁面6b的開口部6a的上方呈噴霧狀分散的上昇流，藉由該上昇流將玻璃G懸浮的同時由朝搬運用軌道10的上板11的上面11a開口的吸引孔9進行吸引，就可藉由該上昇流的懸浮力及吸引孔9的吸引力的平衡形成高精度的平面度由非接觸被搬運。

且，使用上昇流形成體7的情況時，從上昇流形成體7的流體噴出孔7j及7j噴出使空氣彼此衝突，成為朝該圓筒內壁面7b的開口部7a的上方呈噴霧狀分散的上昇流，就可藉著由該上昇流所產生的懸浮力及朝搬運用軌道10的上板11的上面11a開口的吸引孔9的吸引力的平衡形成高精度的平面度由非接觸被搬運。

在流程步驟4用的非接觸搬運裝置4a中，在上昇流形成體6或7中，因為負壓不會發生所以可以加大懸浮量，且，從流體噴出孔6j或7j噴出的空氣，因為噴出速度下降且成為噴霧狀的分散的上昇流，所以可以極力抑制玻璃G受壓，進一步可藉著由噴霧狀分散的上昇流所產生的懸浮力及朝搬運用軌道10的上板11的上面11a開口的吸引孔9的吸引力的平衡形成高精度的平面度使玻璃G由非接觸被搬運。

接著，對於具有上述構成的非接觸搬運裝置1的動作，一邊參照第1圖至第17圖一邊說明。又，在以下的說明中，說明使用上昇流形成體6的情況。

將玻璃G搬運時，是在第1圖所示的搬運步驟2及3的非接觸搬運裝置2a及3a中，使從供給泵(無圖示)被供給至流體通路5h(第3圖參照)的空氣，透過與該流體通路5h連通的貫通孔5i被供給至收容孔部5g。且，被供給至收容孔部5g的空氣，是從被裝設於該收容孔部5g的上昇流形成體6的流體噴出孔6j噴出，與該上昇流形成體6的圓筒狀基體部6c的圓筒內壁面6b衝突，與該圓筒內壁面6b衝突的空氣，會成為朝該圓筒內壁面6b的開口部6a的上方呈噴霧狀分散的上昇流。

朝搬運步驟2被搬運的玻璃G，是在上昇流形成體6藉由所發生的上昇流而懸浮，並且藉由另外設置的空氣噴出裝置(無圖示)等被賦予推進力，由非接觸朝向流程步驟4被搬運。在上昇流形成體6發生的上昇流，因為是在上昇流形成體6的圓筒內壁面6b的開口部的上方成為呈噴霧狀分散的上昇流，所以可以極力抑制藉由該上昇流懸浮的玻璃G受壓。

在流程步驟4的非接觸搬運裝置4a中，如第15圖所示，從供給泵被供給至搬運用軌道10的下板13中的空氣給氣口13c的空氣，是透過與中板12中的空氣給氣口13c連通的連通孔12e進入空氣供給凹溝12b。進入該空氣供給凹溝12b的空氣，是進入上板11中的收容孔部11g，從被裝設於該收容孔部11g的上昇流形成體6的流體噴出孔6j噴出。

從該流體噴出孔6j噴出的空氣，會與該上昇流形成體6的圓筒狀基體部6c的圓筒內壁面6b衝突，並朝該圓筒內壁面6b的開口部6a的上方產生呈噴霧狀分散的上昇流。

此時，供給空氣至上昇流形成體6的空氣供給凹溝12b，是如第17圖所示，因為由單一的連續凹溝形成，所以可以抑制從流體噴出孔6j的空氣的噴出量的各上昇流形成體6的參差不一，可以均一地控制玻璃的懸浮量。

同時，藉由真空泵從搬運用軌道10的下板13中的真空吸引口13d吸引空氣，通過中板12中的空氣吸引凹溝12d及與該空氣吸引凹溝12d連通的連通孔12f吸引上板11中的吸引孔9的上方空間的空氣。此時，從吸引孔9吸引空氣的空氣吸引凹溝12d，是如第17圖所示，因為由單一的連續凹溝形成，所以可以抑制從吸引孔9的空氣的吸引量的各吸引孔9的參差不一，可以均一地控制玻璃G的吸引壓。

如第21圖所示，在流程步驟4被搬運的玻璃G，是藉由在上昇流形成體6所發生的朝上方呈噴霧狀分散的上昇而流懸浮，並且藉由從位在各上昇流形成體6之間的吸引孔9將周圍的空氣真空吸引，就可高精度地被控制在30～50μm的懸浮高度。在此流程步驟4中，對於玻璃G進行各種檢查和加工。

檢查和加工終了的玻璃G，是朝搬運步驟3被搬運，其後，與搬運步驟2的情況同樣，在懸浮的狀態下朝次步驟被搬運。

第22圖，是顯示如第1圖所示的非接觸搬運裝置1的流程步驟4的其他的實施例，在此流程步驟4中，在並列地被3組配列的非接觸搬運裝置4a進一步鄰接於該非接觸搬運裝置4a地配列3組的非接觸搬運裝置4a'。在將此非接觸搬運裝置2列配列的流程步驟4中，在非接觸搬運裝置4a及4a'之間，進行例如照相機透過檢查等的作業。

如以上說明，本發明的上昇流形成體，是具備從圓筒狀基體部的外周面朝圓筒內壁面開口並且先端部是朝向該圓筒狀基體部的中心的至少1個流體噴出孔，從該流體噴出孔噴出的空氣，是在圓筒內壁面的開口部的上方產生呈噴霧狀的分散的上昇流，由該上昇流使被搬運物(玻璃等)懸浮地進行搬運，不只可以極力抑制被搬運物受壓並可以減小被搬運物的振幅，進一步因為負壓不會發生所以可以加大被搬運物的懸浮量。

在使用此上昇流形成體的非接觸搬運裝置的搬運步驟中，藉由上昇流形成體發生的噴出空氣，是產生呈噴霧狀分散的上昇流，因為負壓不會發生所以可以加大被搬運物的懸浮高度搬運。且，在流程步驟中，藉由在上昇流形成體所發生的呈噴霧狀分散的上昇流而懸浮，並且藉由位在各上昇流形成體之間的吸引孔將周圍的空氣真空吸引，就可高精度地被控制在30～50μm的懸浮高度，因為在上昇流形成體所發生的上昇流中負壓不會發生，所以可以抑制搬運時的被搬運物的振幅。

1‧‧‧非接觸搬運裝置

2、3‧‧‧搬運步驟

4、4a'‧‧‧流程步驟

5‧‧‧搬運用軌道

5a‧‧‧搬運用軌道基體

5b‧‧‧搬運面

5d‧‧‧圓筒壁面部

5e‧‧‧環狀肩部

5f‧‧‧擴徑圓筒壁面部

5g‧‧‧收容孔部

5h‧‧‧流體通路

5i‧‧‧貫通孔

6、7‧‧‧上昇流形成體

6a‧‧‧開口部

6b、7b‧‧‧圓筒內壁面

6c、7c‧‧‧圓筒狀基體部

6d、7d‧‧‧環狀鍔部

6e‧‧‧外周面

6f、7f‧‧‧卡合垂下部

6g、7g‧‧‧卡合突起部

6h‧‧‧外周面

6i、7i‧‧‧先端部

6j、7j‧‧‧流體噴出孔

6k‧‧‧上面

9‧‧‧吸引孔

10‧‧‧搬運用軌道

11‧‧‧上板

11a‧‧‧搬運面(上面)

11b‧‧‧開口部

11c‧‧‧圓筒內壁面部

11d‧‧‧環狀肩部

11e‧‧‧下面

11f‧‧‧擴徑圓筒內壁面部

11g‧‧‧收容孔部

12‧‧‧中板

12b‧‧‧空氣供給凹溝

12d‧‧‧空氣吸引凹溝

13‧‧‧下板

13c‧‧‧空氣給氣口

13d‧‧‧真空吸引口

[第1圖]顯示本發明的非接觸搬運裝置的一實施例的圖，且顯示由搬運步驟及流程步驟所構成的整體構成的平面圖。

[第2圖]顯示第1圖的搬運步驟用的非接觸搬運裝置的平面圖。

[第3圖]顯示第2圖的搬運步驟用的非接觸搬運裝置的圖，(a)是未裝設上昇流形成體的狀態的放大平面圖，(b)是(a)的B-B線剖面圖(第2圖的A-A線剖面圖)。

[第4圖]顯示本發明的非接觸搬運裝置所使用的上昇流形成體的圖，(a)是前視圖，(b)是平面圖，(C)是底面圖，(d)是(a)的C-C線剖面圖。

[第5圖]顯示搬運步驟用的非接觸搬運裝置的剖面圖。

[第6圖]顯示由第5圖所示的搬運步驟用的非接觸搬運裝置進行玻璃的懸浮搬運的剖面圖。

[第7圖]透過本發明的上昇流形成體使空氣呈噴霧狀朝上方分散並形成上昇流的說明圖，(a)是平面圖，(b)是(a)的D-D線剖面圖。

[第8圖]顯示本發明的非接觸搬運裝置所使用的其他的態樣的上昇流形成體的圖，(a)是底面圖，(b)是(a)的E-E線剖面圖。

[第9圖]透過本發明的其他的態樣的上昇流形成體使空氣呈噴霧狀朝上方分散並形成上昇流的說明圖，(a)是平面圖，(b)是(a)的F-F線剖面圖。

[第10圖]顯示搬運步驟用的其他的非接觸搬運裝置的圖，(a)，是未裝設上昇流形成體的狀態的放大平面圖，(b)是(a)的G-G線剖面圖。

[第11圖]顯示本發明的上昇流形成體的其他的實施例的圖，(a)是平面圖，(b)是底面圖。

[第12圖]顯示第1圖的流程步驟用的非接觸搬運裝置的圖，(a)是平面圖，(b)是(a)的H-H線剖面圖。

[第13圖]顯示第12圖的上板的圖，(a)是未裝設上昇流形成體的狀態的上板的剖面圖，(b)是裝設了上昇流形成體的狀態的上板的剖面圖。

[第14圖]顯示第12圖(b)的中板的圖，(a)是第16圖的I-I線剖面圖，(b)是第17圖的J-J線剖面圖。

[第15圖]顯示由流程步驟用的非接觸搬運裝置進行玻璃的懸浮搬運的剖面圖。

[第16圖]第12圖(b)的中板的俯視圖。

[第17圖]第12圖(b)的中板的下面圖。

[第18圖]顯示第1圖的流程步驟用的非接觸搬運裝置中的搬運用軌道的其他的實施例的第12圖的H-H線剖面圖。

[第19圖]顯示第18圖的中板的圖，(a)是中板的平面圖，(b)是(a)的K-K線剖面圖。

[第20圖]顯示第18圖的下板的圖，(a)是下板的平面(上面)圖，(B)是(a)的L-L線剖面圖。

[第21圖]顯示由流程步驟用的非接觸搬運裝置進行玻璃的懸浮搬運的剖面圖。

[第22圖]顯示包含本發明的搬運步驟的非接觸搬運裝置整體的其他的實施例的平面圖。

6．．．上昇流形成體

6a．．．開口部

6b．．．圓筒內壁面

6c．．．圓筒狀基體部

6d．．．環狀鍔部

6e．．．外周面

6f．．．卡合垂下部

6g．．．卡合突起部

6h．．．外周面

6i．．．先端部

6j．．．流體噴出孔

6k．．．上面

Claims (8)

1. 一種上昇流形成體，其特徵為，具備：在內面具有圓筒內壁面的有底的圓筒狀基體部；及在該圓筒狀基體部的開口部的周緣朝徑方向外方伸出的環狀鍔部；及沿著該環狀鍔部的外周緣的圓周方向，且在徑方向相面對地朝下方延伸的複數個的卡合垂下部；及在該卡合垂下部的下端朝外方突出的卡合突起部；及從前述圓筒狀基體部的外周面朝圓筒內壁面開口，並且先端部是朝向該圓筒狀基體部的中心的至少1個流體噴出孔。
2. 如申請專利範圍第1項的上昇流形成體，其中，具備1個前述流體噴出孔，從該流體噴出孔噴出的流體，會與該圓筒狀基體的圓筒內周壁衝突，呈噴霧狀朝上方分散地形成上昇流。
3. 如申請專利範圍第1項的上昇流形成體，其中，前述流體噴出孔，是從圓筒狀基體部的外周面朝圓筒內壁面開口，並且先端部是朝向該圓筒狀基體部的中心相面對的方式設置2個，從該2個流體噴出孔噴出的流體，會彼此衝突，呈噴霧狀朝上方分散地形成上昇流。
4. 如申請專利範圍第1、2或3的上昇流形成體，其中，前述上昇流形成體，是從熱可塑性合成樹脂形成。
5. 一種非接觸搬運裝置，其特徵為：具有設有朝上面開口的平面視圓形的開口部的圓筒壁面部、及從該圓筒壁 面部透過環狀肩部擴徑的帶狀的擴徑圓筒壁面部之收容孔部是沿著搬運用軌道的長度方向及寬度方向形成複數個，該搬運用軌道，是具備：沿著其長度方向形成的流體通路、及與該流體通路連通地朝該收容孔部開口的貫通孔，使如申請專利範圍第1至4項中任一項的上昇流形成體對於該收容孔部，將環狀鍔部的外周面朝該收容孔部的圓筒壁面部壓入嵌合，將卡合垂下部的卡合突起部卡合裝設在收容孔部的環狀肩部。
6. 一種非接觸搬運裝置，其特徵為：使具有設有朝上面開口且平面視形成圓形的開口部的圓筒壁面部及從該圓筒壁面部透過環狀肩部擴徑的帶狀的擴徑圓筒壁面部之收容孔部沿著搬運用軌道的長度方向及寬度方向形成複數個，該搬運用軌道，是具備沿著其長度方向形成並朝該收容孔部開口的流體通路，如申請專利範圍第1至4項中任一項的上昇流形成體是對於該收容孔部，將環狀鍔部的外周面朝該收容孔部的圓筒壁面部壓入嵌合，將卡合垂下部的卡合突起部卡合裝設在收容孔部的環狀肩部。
7. 一種非接觸搬運裝置，其特徵為：具有搬運用軌道，該搬運用軌道是由上板、中板、下板所構成，該上板，設有：由具有朝上面開口且平面視形成圓形的開口部之圓筒內壁面部及從該圓筒內壁面部透過環狀肩部擴徑並朝下面開口的擴徑圓筒內壁面部所構成收容孔部、及鄰接地穿設於該收容孔部的吸引孔，該中板，設有：朝上面開 口並與前述上板的收容孔部連通的流體供給凹溝、及與該流體供給凹溝連通並朝下面開口的連通孔、及鄰接地穿設於該流體供給凹溝並和與前述上板的吸引孔連通的連通孔連通並朝下面開口的流體吸引凹溝，該下板，設有與該中板的連通孔連通的流體供給口及與流體吸引凹溝連通的真空吸引口，如申請專利範圍第1至4項中任一項的上昇流形成體是對於該搬運用軌道的該上板的收容孔部，將環狀鍔部的外周面朝該收容孔部的圓筒內壁面部壓入嵌合，將卡合垂下部的卡合突起部卡合裝設在收容孔部的環狀肩部。
8. 一種非接觸搬運裝置，其特徵為：具有搬運用軌道，該搬運用軌道是由上板、中板、下板所構成，該上板，是沿著長度方向及寬度方向交互地設有複數個：具有設有朝上面開口且平面視形成圓形的開口部之圓筒內壁面部及從該圓筒內壁面部透過環狀肩部擴徑並且朝下面開口之擴徑圓筒內壁面部之收容孔部、及鄰接地穿設於該收容孔部並朝上、下面開口的吸引孔，該中板，設有：朝上面開口並與前述上板的各收容孔部連通的流體供給凹溝、及朝該流體供給凹溝開口並且朝下面開口的1個連通孔、及鄰接於該流體供給凹溝並和與前述上板的吸引孔連通並朝上、下面開口的貫通孔，該下板，設有：與該中板的連通孔結合的流體供給口、及朝上面開口並且與前述中板的貫通孔連通的流體吸引凹溝、及與該流體吸引凹溝結合的真空吸引口，如申請專利範圍第1至4項中任一項的上昇流形 成體是對於該搬運用軌道的該上板的收容孔部，將環狀鍔部的外周面朝該收容孔部的圓筒內壁面部壓入嵌合，將卡合垂下部的卡合突起部卡合裝設在收容孔部的環狀肩部。