WO2012086279A1 - 上昇流形成体及びこの上昇流形成体を用いた非接触搬送装置 - Google Patents

上昇流形成体及びこの上昇流形成体を用いた非接触搬送装置 Download PDF

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WO2012086279A1
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WO
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hole
wall surface
upward flow
fluid
cylindrical
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PCT/JP2011/071590
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Inventor
秀夫 小澤
角田　耕一
貴裕 安田
Original Assignee
オイレス工業株式会社
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Publication date
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
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    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
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    • H01L21/67784—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations using air tracks
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    • B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
    • B65G49/064—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position
    • B65G49/065—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position supported partially or completely on fluid cushions, e.g. a gas cushion
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    • B65G51/00—Conveying articles through pipes or tubes by fluid flow or pressure; Conveying articles over a flat surface, e.g. the base of a trough, by jets located in the surface
    • B65G51/02—Directly conveying the articles, e.g. slips, sheets, stockings, containers or workpieces, by flowing gases
    • B65G51/03—Directly conveying the articles, e.g. slips, sheets, stockings, containers or workpieces, by flowing gases over a flat surface or in troughs
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
    • B65G2249/04—Arrangements of vacuum systems or suction cups
    • B65G2249/045—Details of suction cups suction cups

Definitions

  • the present invention relates to an upflow forming body and a non-contact transfer device using the upflow forming body, and more particularly to an FPD (flat panel display) such as a large liquid crystal display (LCD) or a plasma display (PDP) or a solar cell panel (
  • FPD flat panel display
  • LCD liquid crystal display
  • PDP plasma display
  • solar cell panel a non-contact transfer device used for production of solar panels.
  • the size is 2850 ⁇ 3050 ⁇ 0.7 mm in the tenth generation. Therefore, when liquid crystal glass is placed on a plurality of rollers and rolled and conveyed as in the past, a strong force is locally applied to the liquid crystal glass due to deflection of the shaft supporting the rollers and variations in the roller height. There is a risk of damaging the liquid crystal glass.
  • the above-described rolling conveyance device using rollers cannot be employed in, for example, an FPD process process in which the device and the panel are required to be in non-contact.
  • an air levitation conveyance device has begun to be employed. Yes.
  • a non-contact transfer device a porous material (porous sintered metal, etc.) is used for a part of the plate-shaped transfer rail, and air is supplied in communication with the air supply path. There is a device to let you.
  • the FPD floats while moving in the vertical direction, so that it can be used in the transfer process.
  • it has a highly accurate flying height of 30 to 50 ⁇ m. It cannot be used for the required process steps.
  • Patent Document 1 as a non-contact conveyance device that has a small fluid flow rate and energy consumption and can maintain the flying height with high accuracy, the fluid is ejected from the fluid ejection port to the surface side of the ring-shaped member.
  • Two swirl flow forming bodies that generate a swirling flow in a direction away from the front surface side and a fluid flow in the back surface direction in the vicinity of the opening on the front surface side of the ring-shaped member are provided on the transport surface of the transport rail.
  • a non-contact conveyance device provided as described above has been proposed.
  • the non-contact conveyance device described in Patent Document 1 causes a swirl flow toward the surface away from the surface side of the ring-shaped member to float a conveyed product (panel or the like). While negative pressure is generated at the center of the flow, and it has the effect of preventing overlifting of the conveyed product, the end of the conveyed product has the disadvantage that the amplitude is increased, and negative pressure and evacuation due to swirling flow in the process step. It was found that when the negative pressure overlaps, the floating function due to the swirling flow is lost and the conveyor rail is contacted locally.
  • the present invention has been made in view of the above-mentioned points, and an object of the present invention is to prevent the generation of negative pressure, to reduce the amplitude of the end of the conveyed object, and to increase the flying height. It is an object of the present invention to provide an upflow forming body capable of generating a non-contact transfer device using the upflow forming body.
  • the present invention is an upward flow forming body having a bottomed cylindrical base portion having a cylindrical inner wall surface on the inner surface, and a radially outer side at the periphery of the opening of the cylindrical base portion.
  • An annular flange projecting on the outer periphery, a plurality of engagement hanging portions extending in the circumferential direction of the outer peripheral edge of the annular flange and facing downward in the radial direction, and a lower end of the engagement hanging portion
  • the upward flow forming body of the present invention has one fluid ejection hole formed in the upward flow formation body, the fluid ejected from the fluid ejection hole collides with the cylindrical inner wall surface of the cylindrical base portion. , Dispersed upward in a spray form to form an upward flow.
  • the upward flow formation body of the present invention has a fluid ejection hole formed in the upward flow formation body that opens from the outer peripheral surface of the cylindrical base body portion to the cylindrical inner wall surface, and the tip portion is the center of the cylindrical base body portion.
  • the fluids ejected from the fluid ejection holes collide with each other and are dispersed upward in a spray form to form an upward flow.
  • the ejected fluid generated by the upflow forming body is dispersed in the form of a spray to form an upflow, so there is no stress on the conveyed product (panel), the amplitude of the conveyed product can be reduced, and negative pressure is generated. Since there is no, there is an effect that the floating amount of the conveyed product can be increased.
  • the upward flow forming body of the present invention is preferably formed by injection molding a thermoplastic synthetic resin, and examples of the thermoplastic synthetic resin include polyphenylene sulfide resin (PPS).
  • PPS polyphenylene sulfide resin
  • the present invention is a non-contact conveyance device, which is a cylindrical wall surface portion having a circular opening in a plan view that opens on the upper surface, and a belt-shaped diameter-enlarging cylinder that expands the diameter via the cylindrical wall surface portion and an annular shoulder portion.
  • a plurality of receiving hole portions having a wall surface portion are formed along the longitudinal direction and the width direction of the transfer rail, and the transfer rail communicates with the fluid passage formed along the longitudinal direction and the fluid passage.
  • a through-hole opening in the receiving hole, and the upward flow forming body press-fits the outer peripheral surface of the annular flange to the cylindrical wall surface of the receiving hole, The engagement protrusion is engaged with the annular shoulder of the receiving hole and is mounted.
  • the conveying rail instead of communicating the fluid passage formed along the longitudinal direction of the conveying rail with the accommodation hole portion through the through hole, the conveying rail is aligned along the longitudinal direction.
  • a configuration may be adopted in which a part of the formed flow passage is opened to the accommodation hole and the through hole is omitted.
  • the fluid ejected from the fluid ejection hole of the upward flow forming body collides with the cylindrical wall surface portion of the upward flow forming body (when there is one fluid ejection hole), or between the fluids Collide (in the case of two fluid ejection holes) and form an upward flow dispersed upward in the form of a spray. Since the upward flow does not generate a negative pressure, it is possible to increase the flying height of the transported object. it can.
  • the upward flow forming body is formed by fitting the outer peripheral surface of the annular flange portion into the cylindrical wall surface portion of the accommodation hole portion into the accommodation hole portion of the conveyance rail base of the conveyance rail, and engaging projections on the engagement hanging portion Can be easily attached to the accommodation hole by engaging the annular shoulder of the accommodation hole.
  • the non-contact conveyance device of the present invention includes a cylindrical inner wall portion having a circular opening in a plan view that opens on the upper surface, and a diameter-expanding cylinder that expands through the cylindrical inner wall portion and the annular shoulder portion and opens on the lower surface.
  • a housing hole portion comprising a wall surface portion, an upper plate provided with a suction hole formed adjacent to the housing hole portion, and a fluid supply groove that opens on the upper surface and communicates with the housing hole portion of the upper plate
  • a communication hole that opens to the lower surface and communicates with the communication hole that is formed adjacent to the fluid supply groove and communicates with the suction hole of the upper plate and opens to the lower surface.
  • the upper plate of the rail for transportation comprising a middle plate provided with a fluid suction groove, a fluid supply port communicating with the communication hole of the middle plate, and a lower plate provided with a vacuum suction port communicating with the fluid suction groove.
  • the upward flow forming body is fitted into the accommodation hole, and the outer peripheral surface of the annular flange is press-fitted into the cylindrical wall surface of the accommodation hole, and the engagement hanging portion is engaged. Engaging the raised portion on the annular shoulder of the receiving bore, characterized in that it is mounted.
  • another non-contact conveyance device of the present invention has a cylindrical wall surface portion having a circular opening in a plan view that opens on the upper surface, a diameter expansion through the cylindrical wall surface portion and the annular shoulder portion, and an opening on the lower surface.
  • a fluid supply groove that opens into the upper plate and communicates with each of the receiving hole portions of the upper plate, a communication hole that opens in the fluid supply groove and opens in the lower surface, and is adjacent to the fluid supply groove,
  • An intermediate plate provided with a through-hole that opens to the upper and lower surfaces in communication with the suction hole of the plate; a fluid supply port coupled to the communication hole of the intermediate plate;
  • a transporting lace comprising a fluid suction groove communicating with the lower plate having a vacuum suction port coupled to the fluid suction groove.
  • the conveying rail has a three-layer structure of the upper plate, the middle plate, and the lower plate, and the fluid supply groove and the fluid suction groove are provided on the upper surface and the lower surface of the middle plate. Therefore, the production of the fluid supply groove and the fluid suction groove can be facilitated, and the manufacturing cost can be further reduced, and the non-contact conveyance device having the above configuration is suitable for use in the process step of the conveyance step.
  • the present invention it is possible to reduce the amplitude of the conveyed object without applying stress to the conveyed object, and further to increase the flying height of the conveyed object because no negative pressure is generated. It is possible to provide an upflow forming body capable of generating a non-contact transfer device using the upflow forming body.
  • FIGS. 3A and 3B are diagrams showing a non-contact transfer device for the transfer process of FIG. 2, in which FIG. 2A is an enlarged plan view in a state where an upflow forming body is not mounted, and FIG. FIG. 3 is a sectional view taken along line AA in FIG.
  • FIG. 2 is an explanatory diagram in which air is dispersed upward in a spray form through the upward flow forming body of the present invention to form an upward flow, where (a) is a plan view and (b) is a cross-sectional view taken along the line DD of (a). It is.
  • FIG. 6 is an explanatory view in which air is dispersed upward in a spray form through the upward flow forming body of another aspect of the present invention to form an upward flow
  • (a) is a plan view
  • (b) is an F ⁇ of (a). It is F line sectional drawing.
  • FIG. 9 is a diagram showing another non-contact conveying device for a conveying process, where (a) is an enlarged plan view of a state where no upflow forming body is mounted, and (b) is a cross-sectional view taken along line GG of (a).
  • FIG. It is a figure which shows other embodiment of the upward flow formation body of this invention, (a) is a top view, (b) is a bottom view.
  • 2A and 2B are diagrams showing a non-contact transfer apparatus for the process step of FIG. 1, in which FIG. 1A is a plan view, and FIG. 2B is a cross-sectional view taken along line HH in FIG. It is a figure which shows the upper board of FIG.
  • FIG. 12 is a top view of the middle plate in FIG.
  • FIG. 13 is a bottom view of the middle plate in FIG.
  • FIG. 13 is a cross-sectional view taken along the line HH of FIG.
  • FIG. 19A is a plan view of the middle plate
  • FIG. 19B is a sectional view taken along line KK in FIG.
  • FIG. 19A is a plan view (upper surface) of the lower plate
  • FIG. 19B is a sectional view taken along line LL of FIG.
  • It is sectional drawing which shows the floating conveyance of the glass in the non-contact conveying apparatus for process processes. It is a top view which shows other embodiment of the whole non-contact conveying apparatus including the conveyance process which concerns on this invention.
  • air is used as a transporting fluid and liquid crystal glass (hereinafter abbreviated as “glass”) is transported as an object to be transported.
  • glass liquid crystal glass
  • the non-contact conveyance device 1 is used to convey the glass G in a non-contact manner, and includes two non-contact conveyance devices 2 a and 3 a for the two conveyance steps 2 and 3, and these conveyance steps 2 and 3. And a non-contact transfer device 4a for the process step 4 sandwiched between the three.
  • the non-contact conveying devices 2a and 3a for the conveying steps 2 and 3 are configured by arranging upward flow forming bodies 6 to be described later on the conveying rail 5 in two rows upward and downward on the paper surface of FIG. In one transfer process 2 and 3, three non-contact transfer apparatuses 2a and 3a are arranged in parallel, respectively.
  • the transport rails 5 of the non-contact transport devices 2a and 3a are formed in the transport rail base 5a and the transport surface 5b on the top surface of the rail base 5a.
  • a plurality of receiving hole portions 5g are formed along the longitudinal direction X and the width direction Y of the transport rail base 5a.
  • the transfer rail 5 is formed along the longitudinal direction X of the transfer rail base 5a, and is in fluid communication with the fluid passage 5h to which air is supplied from a supply pump (not shown). In order to supply air from the passage 5h to the accommodation hole 5g, a through-hole 5i that opens to the accommodation hole 5g is provided.
  • An upward flow forming body 6 made of a thermoplastic synthetic resin such as polyphenylene sulfide resin (PPS) is attached to the accommodation hole 5g formed in the rail base 5a for conveyance.
  • PPS polyphenylene sulfide resin
  • the upward flow forming body 6 has a circular opening 6a that is open on the top surface and has a circular cylindrical inner wall surface 6b that communicates with the opening 6a.
  • the engaging protrusion 6g to be opened and at least one opening from the outer peripheral surface 6h of the cylindrical base 6c to the cylindrical inner wall 6b and the tip 6i toward the center O of the cylindrical base 6c (this embodiment)
  • one fluid ejection hole 6j is provided.
  • the ascending flow forming body 6 press-fits the outer peripheral surface 6e of the annular flange 6d to the cylindrical inner wall surface 5d of the receiving hole 5g, and engages the engaging projection of the engaging hanging portion 6f. 6g is engaged with the annular shoulder 5e of the accommodating hole 5g, and the upper surface 6k of the annular flange 6d is flush with the conveying surface 5b of the conveying rail base 5a and is mounted in the accommodating hole 5g. ing.
  • the air flowing through the fluid passage 5h of the transport rail base 5a and ejected from the through hole 5i communicating with the fluid passage 5h into the accommodation hole 5g is generated in the upward flow forming body 6 attached to the accommodation hole 5g.
  • the front end portion 6i is ejected from the fluid ejection hole 6j toward the center O of the cylindrical base portion 6c while opening from the outer peripheral surface 6h of the cylindrical base portion 6c to the cylindrical inner wall surface 6b. Then, it collides with the cylindrical inner wall surface 6b of the cylindrical base portion 6c and becomes an upward flow dispersed in a spray form above the opening 6a of the cylindrical inner wall surface 6b, and the glass G is conveyed in a non-contact manner by the upward flow.
  • the pressure distribution of the air between the conveying rail 5 and the glass G is measured, and the air ejected from the fluid ejection hole 6j collides with the cylindrical inner wall surface 6b of the upward flow forming body 6 and above the cylindrical inner wall surface 6b. It is confirmed that they are dispersed and spread.
  • the flying height can be increased, and the air ejected from the fluid ejection hole 6j collides with the cylindrical inner wall surface 6b of the cylindrical base portion 6c. By doing so, the air ejection speed is reduced and the upward flow is dispersed in the form of spray, so that it is possible to suppress stress on the glass G as much as possible.
  • FIG. 8 (a) and 8 (b) show another embodiment of the upward flow forming body 6, and the upward flow forming body 7 has an opening 7a having a circular shape in a plan view and opened on the upper surface.
  • a bottomed cylindrical base part 7c having a cylindrical inner wall surface 7b communicating with the opening part 7a, an annular flange part 7d projecting radially outward from the periphery of the opening part 7a of the cylindrical base part 7c, and the annular part
  • a plurality (four in this embodiment) of engagement hanging portions 7f extending downward along the circumferential direction of the outer circumferential surface 7e and opposite to each other in the radial direction on the outer circumferential surface 7e of the flange portion 7d;
  • An engaging projection 7g projecting outward at the lower end of the engaging hanging portion 7f, an opening from the outer peripheral surface 7h of the cylindrical base portion 7c to the cylindrical inner wall surface 7b, and a tip end portion 7i is the cylindrical base portion.
  • the upward flow forming body 7 is connected to the outer peripheral surface 7e of the annular flange portion 7d in the same manner as the mounting of the upward flow forming body 6 shown in FIG.
  • the cylindrical inner wall surface 5d is press-fitted to engage the engaging projection 7g of the engaging hanging portion 7f with the annular shoulder 5e of the receiving hole 5g, and the upper surface 7k of the annular flange 7d is used for the conveyance.
  • the rail base 5a is mounted in the receiving hole 5g so as to be flush with the transport surface 5b.
  • the air flowing through the fluid passage 5h of the transfer rail 5 and ejected from the through hole 5i communicating with the fluid passage 5h into the accommodation hole 5g is transferred to the upward flow forming body 7 attached to the accommodation hole 5g.
  • the cylindrical base 7c opens from the outer peripheral surface 7h to the cylindrical inner wall 7b, and the tip 7i is opposed to the center O of the cylindrical base 7c.
  • the upward flow forming body 7 does not generate a negative pressure, so that the flying height can be increased, and the air ejected from the fluid ejection holes 7j and 7j When air collides with each other, the air ejection speed is reduced and an upward flow is dispersed in a spray state, so that it is possible to suppress stress on the glass G as much as possible.
  • the transfer rail 8 is formed on the transfer rail base 8a and a transfer surface 8b on the upper surface of the rail base 8a.
  • a cylindrical wall surface portion 8d having an opening portion 8c having a circular shape in plan view that opens to the transport surface 8b, and a belt-shaped expanded cylindrical inner wall surface portion 8f having a diameter expanded through the cylindrical wall surface portion 8d and the annular shoulder portion 8e.
  • the transfer rail 8 is formed along the longitudinal direction X of the transfer rail base 8a, and a fluid passage 8h to which air is supplied from a supply pump (not shown) is a part. Is formed in the accommodation hole 8g. In the transfer rail 8, the through-hole 5i for supplying air from the fluid passage 5h in the transfer rail 5 shown in FIGS. 3A and 3B to the accommodation hole 5g is not necessary.
  • 11 (a) and 11 (b) show the cylindrical inner wall surface 6b or 7b of the bottomed cylindrical base portion 6c or 7c of the upward flow forming body 6 or 7, and the center O of the cylindrical base portion 6c or 7c.
  • the ascending flow forming bodies 6 and 7 having recesses 6l or 7l facing each other with the gap between them are shown.
  • the ascending flow forming bodies 6 or 7 having facing recesses 6l or 7l Alternatively, when finely adjusting the position of the upflow forming bodies 6 and 7 mounted in the eight receiving holes 5g or 8g, the cylindrical inner wall surface 6b or 7b and the concave portion 6l facing the cylindrical inner wall surface 6b or 7b or A jig (not shown) having a planar shape matching the planar shape of the opening 6a or 7a provided with 7l is prepared, and the jig is fitted into the opening 6a or 7a of the upward flow forming body 6 or 7. And the upward flow forming body 6 or 6 by turning the jig. The fluid ejection hole 6j or 7j position formed 7 is obtained to be able to fine-tune.
  • FIGS. 12A and 12B show a non-contact transfer device 4a for the process step 4 of the non-contact transfer device 1 shown in FIG. 1, and the non-contact transfer device 4a generates the upward flow.
  • the ascending flow forming body 6 or 7 and the suction holes 9 having a diameter of about 1 to 2 mm for sucking air are alternately arranged in the longitudinal direction X and the width direction Y of the transport rail 10.
  • the transport rail 10 has a three-layer structure including an upper plate 11, an intermediate plate 12, and a lower plate 13, as shown in FIG.
  • the upper plate 11 is formed in a cylindrical inner wall surface portion 11c having a circular opening 11b that is formed in a top surface 11a serving as a conveyance surface and opened in the conveyance surface 11a.
  • a plurality of suction holes 9 are formed alternately along the longitudinal direction X and the width direction Y so as to penetrate from the upper surface 11 a to the lower surface 11 e of the upper plate 11.
  • the upward flow forming body 6 or 7 press-fits the outer peripheral surface 6e or 7e of the annular flange 6d or 7d into the cylindrical inner wall surface 11c of the accommodation hole 11g,
  • the engaging protrusion 6g or 7g of the engaging hanging portion 6f or 7f is engaged with the annular shoulder 11d of the accommodating hole 11g, and the upper surface 6k or 7k of the annular flange 6d or 7d is engaged with the upper plate 11
  • the receiving hole 11g is mounted flush with the upper surface 11a.
  • the intermediate plate 12 has a semicircular cross section formed on the upper surface 12a of the intermediate plate 12, and an air supply groove 12b with the opening facing upward,
  • An air suction groove 12d having a semicircular cross section formed on the lower surface 12c of the intermediate plate 12 and having an opening directed downward is provided.
  • the air supply concave grooves 12 b are formed in a rhombic lattice shape in plan view in accordance with the arrangement of the upward flow forming bodies 6 or 7 (see FIG. 12A).
  • a communication hole 12e that opens to the lower surface 12c of the intermediate plate 12 is communicated with the bottom of the air supply groove 12b.
  • the air supply groove 12 b communicates with each of the accommodation hole portions 11 g of the upper plate 11 when the upper plate 11, the middle plate 12 and the lower plate 13 are laminated.
  • the air suction grooves 12 d are formed in a rhombus lattice shape in plan view in accordance with the arrangement of the suction holes 9 (see FIG. 12A).
  • the air suction groove 12d is indicated by a solid line and the air supply groove 12b is indicated by a broken line.
  • the air suction groove 12d has the same diameter as the suction hole 9 (see FIG. 13A) of the upper plate 11 and a plurality of openings that open on the upper surface 12a of the middle plate 12.
  • the communication hole 12f communicates.
  • these communication holes 12 f communicate with the suction holes 9 of the upper plate 11 when the upper plate 11, the middle plate 12 and the lower plate 13 are laminated.
  • the former is indicated by a black circle for easy understanding of the positional relationship between the communication hole 12f of the air suction groove 12d and the communication hole 12e of the air supply groove 12b.
  • the communication hole 12f1 of the air suction groove 12d coupled to the mouth is indicated by a white circle.
  • the air supply grooves 12b and the air suction grooves 12d are arranged so as to alternate in a plan view, and the intersection of one groove is located in the lattice of the other groove.
  • the plurality of communication holes 12f connected to the air suction groove 12d communicate with the intersecting portions 12i and the corners 12k of the air suction groove 12d and are disposed at positions that do not overlap with the air supply groove 12b.
  • the communication hole 12e connected to the air supply groove 12b is also communicated with the intersecting portion 12g of the air supply groove 12b and is disposed at a position not overlapping the air suction groove 12d.
  • the lower plate 13 opens on the upper surface 13a of the lower plate 13 and communicates with the communication hole 12e of the intermediate plate 12 (the communication hole communicating with the air supply concave groove 12b).
  • An air supply port 13c that opens to the lower surface 13b of the lower plate 13 and an upper surface 13a of the lower plate 13 communicate with the air suction groove 12d of the intermediate plate 12, and also open to the lower surface 13b of the lower plate 13.
  • a vacuum suction port 13d is provided.
  • Each of the air supply port 13c and the vacuum suction port 13d has a screw hole, and a nipple at the tip of a hose connected to a compressor, for example, is screwed into the screw hole of the air supply port 13c.
  • a nipple at the tip of a hose connected to a vacuum pump is screwed into the screw hole 13d.
  • the accommodation hole portion 11 g formed in the upper plate 11 is communicated with the air supply concave groove 12 b opened in the upper surface 12 a of the intermediate plate 12, and the suction hole 9 is formed in the intermediate plate 12.
  • the upper plate 11 is positioned on the upper surface 12a of the intermediate plate 12 by communicating with the communication hole 12f that opens to the upper surface 12a, and the air supply port 13c of the lower plate 13 is provided in the communication hole 12e that opens on the lower surface 12c of the intermediate plate 12.
  • the vacuum suction port 13d is coupled to the air suction groove 12d on the lower surface 12c of the intermediate plate 12, and the intermediate plate 12 is positioned on the upper surface 13a of the lower plate 13, whereby the transport rail 10 is formed.
  • the transport rail 10 is formed by fastening and fixing the upper plate 11, the middle plate 12 and the lower plate 13 by fixing means such as bolts.
  • the transport rail 10 has a three-layer structure composed of an upper plate 11, a middle plate 12 and a lower plate 13.
  • the upper plate 11 has the same configuration as the upper plate 11 of the transport rail 10 shown in FIG. Have.
  • the middle plate 12 opens on the upper surface 12a, and communicates with the receiving hole portions 11g of the upper plate 11, and opens to the air supply groove 12b and has a lower surface 12c.
  • a through hole 12f that is adjacent to the air supply groove 12b and communicates with the suction hole 9 of the upper plate 11 and opens on the upper surface 12a and the lower surface 12c.
  • the lower plate 13 is opened to the air supply port 13 c coupled to the communication hole 12 e of the intermediate plate 12 and the upper surface 13 a and is also connected to the through hole 12 f of the intermediate plate 12.
  • a vacuum suction port 13d coupled to the concave groove 13e and a through hole 12f1 communicating with the suction suction concave groove 13e is provided.
  • the accommodation hole portion 11 g formed in the upper plate 11 is communicated with the air supply groove 12 b opened in the upper surface 12 a of the intermediate plate 12, and the suction hole 9 is communicated with the upper surface 12 a of the intermediate plate 12.
  • the upper plate 11 is positioned on the upper surface 12a of the middle plate 12 so as to communicate with the opening 12f1 that opens, and the air supply port 13c provided on the lower plate 13 in the communication hole 12e that opens on the lower surface 12c of the middle plate 12.
  • a vacuum suction port 13d provided in the lower plate 13 is coupled to a through-hole 12f1 opened in the lower surface 12c of the intermediate plate 12, and the intermediate plate 12 is positioned on the upper surface 13a of the lower surface 13, thereby conveying A rail 10 is formed.
  • the transport rail 10 is formed by fastening and fixing the upper plate 11, the middle plate 12, and the lower plate 13 by a fixing means such as a bolt, like the transport rail.
  • Each of the air supply port 13c and the vacuum suction port 13d has a screw hole, and a nipple at the tip of a hose connected to a compressor, for example, is screwed into the screw hole of the air supply port 13c.
  • a nipple at the tip of a hose connected to a vacuum pump is screwed into the screw hole 13d.
  • the air supply grooves 12b and the air suction grooves 12d are formed in a rhombus lattice shape in plan view, and the air supply grooves 12b and the air suction grooves 12d are arranged at different heights.
  • the air supply grooves 12b and the air suction grooves 12d are arranged in a staggered manner in plan view, interference between the air supply grooves 12b and the air suction grooves 12d can be avoided without complicated routing.
  • groove 12d can be formed by a single continuous path, and the design of a fluid passage becomes easy.
  • the air supply groove 12b and the air suction groove 12d can be formed by a continuous path, the connection between the air supply groove 12b and the air supply port 13c and the connection between the air suction groove 12d and the vacuum suction port 13d are established. In this case, it is possible to reduce the manufacturing cost of the transfer rail 10 by using only one place.
  • the transport rail 10 has a three-layer structure and the air supply groove 12b and the air suction groove 12d are provided on the upper surface 12a and the lower surface 12c of the intermediate plate 12, the air supply groove 12b and the air suction groove 12d are manufactured. Becomes easier and the manufacturing cost can be further reduced.
  • the air supplied to the air supply port 13c of the transfer rail 10 communicates with the air supply port 13c. It is supplied to the air supply groove 12b formed in the middle plate 12 of the conveyance rail 10 through 12e.
  • the air supplied to the air supply groove 12b is supplied to the accommodation hole portion 11g formed in the upper plate 11 of the transport rail 10, and the fluid ejection hole of the upward flow forming body 6 attached to the accommodation hole portion 11g.
  • suction is performed in the suction hole 9 opened on the upper surface 11a of the upper plate 11 of the transport rail 10, and high-precision flatness is formed by the balance between the rising force due to the upward flow and the suction force in the suction hole 9, thereby making no contact. It is conveyed by.
  • the flying height can be increased, and the air ejected from the fluid ejection hole 6j or 7j Since the jet velocity is reduced and the sprayed upward flow is dispersed, it is possible to suppress stress on the glass G as much as possible. Further, the levitation force due to the upward flow dispersed in the spray state and the conveying rail 10 are reduced.
  • the glass G is transported in a non-contact manner by forming a highly accurate flatness by the balance with the suction force in the suction hole 9 opening in the upper surface 11a of the upper plate 11.
  • the air supplied to the accommodation hole 5g is ejected from the fluid ejection hole 6j of the upward flow forming body 6 attached to the accommodation hole 5g, and the cylinder of the cylindrical base portion 6c of the upward flow forming body 6 is used.
  • the air that collides with the inner wall surface 6b and collides with the cylindrical inner wall surface 6b becomes an upward flow that is dispersed in the form of a spray above the opening 6a of the cylindrical inner wall surface 6b.
  • the glass G transported to the transporting process 2 floats due to the upward flow generated in the upward flow forming body 6 and is given a propulsive force by a separately provided air blowing device (not shown) or the like. It is conveyed without contact. Since the upward flow generated in the upward flow formation body 6 is an upward flow dispersed in a spray form above the opening of the cylindrical inner wall surface 6b of the upward flow formation body 6, the glass G that floats by the upward flow is stressed. This can be suppressed as much as possible.
  • the air supplied from the supply pump to the air supply port 13c formed in the lower plate 13 of the transfer rail 10 is formed in the intermediate plate 12.
  • the air supply groove 12b enters through the communication hole 12e communicating with the air supply port 13c.
  • the air that has entered the air supply concave groove 12b enters the accommodation hole portion 11g formed in the upper plate 11, and is ejected from the fluid ejection hole 6j of the upward flow forming body 6 attached to the accommodation hole portion 11g.
  • the air ejected from the fluid ejection hole 6j collides with the cylindrical inner wall surface 6b of the cylindrical base portion 6c of the upward flow forming body 6, and ascends in a spray form above the opening 6a of the cylindrical inner wall surface 6b. Creates a flow.
  • the air supply groove 12b for supplying air to the upward flow forming body 6 is formed by a single continuous groove, and thus the amount of air ejected from the fluid ejection hole 6j. Variation of the upward flow forming bodies 6 can be suppressed, and the flying height of the glass can be controlled uniformly.
  • the glass G transported to the process step 4 is floated by the upward flow generated in the upward flow forming body 6 and dispersed in a spray form, and is positioned between the upward flow forming bodies 6.
  • the flying height can be controlled with high accuracy to 30 to 50 ⁇ m.
  • various inspections and processing on the glass G are performed.
  • the glass G that has been inspected and processed is transported to the transport process 3 and then transported to the next process in a floating state as in the transport process 2.
  • FIG. 22 shows another embodiment of the process step 4 of the non-contact transfer apparatus 1 shown in FIG. 1, and in this process step 4, the non-contact transfer apparatus 4a arranged in parallel in the non-contact transfer apparatus 4a is connected to the non-contact transfer apparatus 4a.
  • Three non-contact transfer devices 4a ′ were further arranged adjacent to.
  • a camera transmission check or the like is performed between the non-contact conveyance devices 4a and 4a '.
  • the ascending flow forming body of the present invention has at least one fluid ejection hole that opens from the outer peripheral surface of the cylindrical base portion to the inner wall surface of the cylindrical body and whose front end portion faces the center of the cylindrical base portion.
  • the air ejected from the fluid ejection hole generates an upward flow that is dispersed in a spray form above the opening of the inner wall surface of the cylinder, and the transported object (glass or the like) is lifted and transported by the upward flow
  • the transported object glass or the like
  • the jet air generated by the upflow forming body is dispersed in a spray form to generate an upflow, and no negative pressure is generated.
  • the flying height can be increased for conveyance. Further, in the process step, the air is floated by the upward flow dispersed in the form of a spray generated in the upward flow forming body, and the surrounding air is vacuum-sucked by the suction holes positioned between the upward flow forming bodies, whereby 30
  • the flying height is controlled with high accuracy to ⁇ 50 ⁇ m, and no negative pressure is generated in the upward flow generated in the upward flow forming body, so that the amplitude of the object to be transported during transportation can be kept small.

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Abstract

【課題】負圧の発生を防いで搬送される搬送物の端部の振幅を小さくし、浮上量を大きくすることができる上昇流形成体等を提供する。 【解決手段】内面に円筒内壁面（６ｂ）を有する有底の円筒状基体部（６ｃ）と、円筒状基体部の開口部の周縁に径方向外方に張り出す環状鍔部（６ｄ）と、環状鍔部の外周縁の円周方向に沿い、かつ径方向に相対向して下方に延びる複数個の係合垂下部（６ｆ）と、係合垂下部の下端に外方に突出する係合突起部（６ｇ）と、円筒状基体部の外周面から円筒内壁面に開口すると共に、先端部が該円筒状基体部の中心に向かう少なくとも１つの流体噴出孔（６ｊ）とを備える上昇流形成体（６）等。流体噴出孔が１つの場合、該流体噴出孔から噴出した流体は、該円筒状基体部の円筒内壁面に衝突し、噴霧状に上方に分散して上昇流を形成し、流体噴出孔が２つの場合、該流体噴出孔から噴出した流体は、該流体同士が衝突し、噴霧状に上方に分散して上昇流を形成する。

Description

上昇流形成体及びこの上昇流形成体を用いた非接触搬送装置
　本発明は、上昇流形成体及びこの上昇流形成体を用いた非接触搬送装置に関し、特に大型の液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）やプラズマディスプレイ（ＰＤＰ）等のＦＰＤ（フラットパネルディスプレイ）や太陽電池パネル（ソーラーパネル）等の生産に用いられる非接触搬送装置に関する。
　従来、ＦＰＤや太陽電池パネル等の生産に際し、１枚のパネルを大型化することで生産効率を上げる方法が採用されている。例えば、液晶パネルの場合には、第１０世代で２８５０×３０５０×０．７ｍｍの大きさとなる。そのため、従来のように、複数個並べられたローラの上に液晶ガラスを載せて転がり搬送すると、ローラを支持するシャフトの撓みやローラ高さの寸法のバラツキにより液晶ガラスに局部的に強い力が働き、当該液晶ガラスを傷つける虞がある。
　上記ローラによる転がり搬送装置は、該装置とパネルとが非接触であることが要求される、例えばＦＰＤのプロセス工程では採用することができず、近年においては、空気浮上の搬送装置が採用され始めている。非接触搬送装置として、板状の搬送用レールの一部に多孔質材料（多孔質焼結金属等）を用い、空気供給経路と連通させて給気することで、噴出空気によりＦＰＤを浮上搬送させる装置が存在する。しかし、この非接触搬送装置を用いると、ＦＰＤが上下方向に動きながら浮遊するような状態となるため、搬送工程に用いることは可能であるが、例えば３０～５０μｍの高精度の浮上高さが要求されるプロセス工程には到底採用することはできない。
　また、上記多孔質材料を用いた板状の搬送用レールに浮上量を高精度に維持する目的で真空引き用の孔を設けると、装置の構成が複雑になると共に装置自体が高額になり、また、浮上高さを高精度に維持するために給気圧を高くすると、高剛性空気の圧縮性に係る自励振動が発生し、浮上高さを高精度に保つことができないという問題があった。
　さらに、多孔質材料の代わりにオリフィス（小径の孔）を真空引き用の孔と交互に穿設した装置も存在するが、オリフィスからの強い噴出空気で静電気を発生したり、クリーンルームの環境を乱したり、消費電流が大きくなって運転コストが高騰するという問題があった。
　そこで、特許文献１には、流体流量及びエネルギ消費量が少なく、浮上高さを高精度に維持できる非接触搬送装置として、流体噴出口から流体を噴出させることにより、リング状部材の表面側に該表面側から離れる方向へ向かう旋回流を生じさせるとともに、リング状部材の表面側の開口部近傍に裏面方向への流体流れを生じさせる旋回流形成体を、搬送用レールの搬送面に２個以上備える非接触搬送装置が提案されている。
国際公開第２００９／１１９３７７号パンフレット
　上記特許文献１に記載された非接触搬送装置は、リング状部材の表面側に該表面側から離れる方向へ向かう旋回流を生じさせて搬送物（パネル等）を浮上させるものであるが、旋回流の中心部は負圧が発生し、搬送物の浮き上がり過ぎを防止できる効果を有する反面、搬送物の端部は振幅が大きくなるという欠点と、プロセス工程における旋回流による負圧と真空引きの負圧が重なると旋回流による浮上機能がなくなり、局部的に搬送用レールに接触するという不具合が見出された。
　本発明は、上記諸点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、負圧の発生を防ぎ、搬送される搬送物の端部の振幅を小さくできると共に、浮上量を大きくすることができる上昇流形成体及びこの上昇流形成体を用いた非接触搬送装置を提供することにある。
　上記目的を達成するため、本発明は、上昇流形成体であって、内面に円筒内壁面を有する有底の円筒状基体部と、該円筒状基体部の開口部の周縁に径方向外方に張り出す環状鍔部と、該環状鍔部の外周縁の円周方向に沿い、かつ径方向に相対向して下方に延びる複数個の係合垂下部と、該係合垂下部の下端に外方に突出する係合突起部と、前記円筒状基体部の外周面から円筒内壁面に開口すると共に、先端部が該円筒状基体部の中心に向かう少なくとも１つの流体噴出孔とを備えることを特徴とする。
　そして、本発明の上昇流形成体は、該上昇流形成体に形成された流体噴出孔が１つの場合、該流体噴出孔から噴出した流体は、該円筒状基体部の円筒内壁面に衝突し、噴霧状に上方に分散して上昇流を形成する。
　また、本発明の上昇流形成体は、該上昇流形成体に形成された流体噴出孔が円筒状基体部の外周面から円筒内壁面に開口すると共に、先端部が該円筒状基体部の中心に向かって相対向する２つの流体噴出孔の場合、該流体噴出孔から噴出した流体は、該流体同士が衝突し、噴霧状に上方に分散して上昇流を形成する。
　上昇流形成体により生じる噴出流体は、噴霧状に分散して上昇流を形成するので、搬送物（パネル）にストレスを与えることがなく、搬送物の振幅を小さくでき、さらには負圧の発生がないので搬送物の浮上量を大きくすることができるなどの作用効果を発揮する。
　本発明の上昇流形成体は、熱可塑性合成樹脂を射出成形することによって形成されるのが好ましく、熱可塑性合成樹脂としては、ポリフェニレンサルファイド樹脂（ＰＰＳ）が挙げられる。
　また、本発明は、非接触搬送装置であって、上面に開口する平面視円形の開口部を有する円筒壁面部と、該円筒壁面部と環状肩部を介して拡径する帯状の拡径円筒壁面部とを有する収容孔部が搬送用レールの長手方向及び幅方向に沿って複数個形成され、該搬送用レールはその長手方向に沿って形成された流体通路と該流体通路に連通して該収容孔部に開口する貫通孔を備え、該収容孔部に前記上昇流形成体が、環状鍔部の外周面を該収容孔部の円筒壁面部に圧入嵌合させ、係合垂下部の係合突起部を収容孔部の環状肩部に係合させて装着されることを特徴とする。
　上記本発明の非接触搬送装置において、搬送用レールにその長手方向に沿って形成された流体通路に貫通孔を介して収容孔部に連通させる代わりに、搬送用レールにその長手方向に沿って形成された流通路の一部を該収容孔部に開口するようにし、貫通孔を省略した構成であってもよい。
　本発明の非接触搬送装置によれば、上昇流形成体の流体噴出孔から噴出した流体は、上昇流形成体の円筒壁面部に衝突する（流体噴出孔が１つの場合）か、あるいは流体同士が衝突（流体噴出孔が２つの場合）し、噴霧状に上方に分散して上昇流を形成し、当該上昇流は負圧を生じないので搬送物の浮上量を大きくして搬送することができる。
　上昇流形成体は、搬送用レールの搬送用レール基体の収容孔部に、環状鍔部の外周面を該収容孔部の円筒壁面部に圧入嵌合させ、係合垂下部の係合突起部を収容孔部の環状肩部に係合させることにより該収容孔部に簡単に装着される。
　さらに、本発明の非接触搬送装置は、上面に開口する平面視円形の開口部を有する円筒内壁部と、該円筒内壁部と環状肩部を介して拡径し、下面に開口する拡径円筒壁面部とからなる収容孔部と、該収容孔部に隣接して穿設された吸引孔を備えた上板と、上面に開口し、前記上板の収容孔部に連通する流体供給凹溝と該流体供給凹溝に連通し、下面に開口する連通孔と、該流体供給凹溝に隣接して穿設され、前記上板の吸引孔に連通する連通孔と連通し、下面に開口する流体吸引凹溝を備えた中板と、該中板の連通孔に連通する流体供給口と流体吸引凹溝に連通する真空吸引口を備えた下板とからなる搬送用レールの該上板の収容孔部に前記上昇流形成体が、環状鍔部の外周面を該収容孔部の円筒壁面部に圧入嵌合させ、係合垂下部の係合突起部を収容孔部の環状肩部に係合させて装着されることを特徴とする。
　また、本発明の他の非接触搬送装置は、上面に開口する平面視円形の開口部を有する円筒壁面部と該円筒壁面部と環状肩部を介して拡径すると共に下面に開口する拡径円筒壁面部を有する収容孔部と、該収容孔部に隣接して穿設され、上、下面に開口する吸引孔を長手方向及び幅方向に沿って交互に複数個備えた上板と、上面に開口し前記上板の各収容孔部に連通する流体供給凹溝と、該流体供給凹溝に開口すると共に下面に開口する１つの連通孔と、該流体供給凹溝に隣接し、前記上板の吸引孔に連通して上、下面に開口する貫通孔を備えた中板と、該中板の連通孔に結合された流体供給口と、上面に開口すると共に前記中板の貫通孔に連通する流体吸引凹溝と該流体吸引凹溝に結合された真空吸引口を備えた下板とからなる搬送用レールの該上板の収容孔部に前記上昇流形成体が、環状鍔部の外周面を該収容孔部の円筒壁面部に圧入嵌合させ、係合垂下部の係合突起部を収容孔部の環状肩部に係合させて装着されることを特徴とする。
　上記非接触搬送装置によれば、搬送用レールを、上板、中板及び下板の３層構造とした上で、流体供給凹溝及び流体吸引凹溝を中板の上、下面に設けることにより、流体供給凹溝及び流体吸引凹溝の作製が容易となり、製造コストをより低減することができ、上記構成からなる非接触搬送装置は、搬送工程のプロセス工程に使用されて好適である。
　以上のように、本発明によれば、被搬送物にストレスを与えることがなく、被搬送物の振幅を小さくでき、さらには負圧の発生がないので被搬送物の浮上量を大きくすることができる上昇流形成体及びこの上昇流形成体を用いた非接触搬送装置を提供することができる。
本発明に係る非接触搬送装置の一実施の形態を示す図であって、搬送工程及びプロセス工程からなる全体構成を示す平面図である。 図１の搬送工程用の非接触搬送装置を示す平面図である。 図２の搬送工程用の非接触搬送装置を示す図であって、（ａ）は上昇流形成体を装着していない状態の拡大平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ－Ｂ線断面図（図２のＡ－Ａ線断面図）である。 本発明の非接触搬送装置に使用される上昇流形成体を示す図であって、（ａ）は正面図、（ｂ）は平面図、（ｃ）は底面図、（ｄ）は（ａ）のＣ－Ｃ線断面図である。 搬送工程用の非接触搬送装置を示す断面図である。 図５に示す搬送工程用の非接触搬送装置でのガラスの浮上搬送を示す断面図である。 本発明の上昇流形成体を介して空気が噴霧状に上方に分散して上昇流を形成する説明図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＤ－Ｄ線断面図である。 本発明の非接触搬送装置に使用される他の態様の上昇流形成体を示す図であって、（ａ）は底面図、（ｂ）は（ａ）のＥ－Ｅ線断面図である。 本発明の他の態様の上昇流形成体を介して空気が噴霧状に上方に分散して上昇流を形成する説明図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＦ－Ｆ線断面図である。 搬送工程用の他の非接触搬送装置を示す図であって、（ａ）は、上昇流形成体を装着していない状態の拡大平面図、（ｂ）は（ａ）のＧ－Ｇ線断面図である。 本発明の上昇流形成体の他の実施の形態を示す図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は底面図である。 図１のプロセス工程用の非接触搬送装置を示す図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＨ－Ｈ線断面図である。 図１２の上板を示す図であって、（ａ）は上昇流形成体を装着していない状態の上板の断面図、（ｂ）は上昇流形成体を装着した状態の上板の断面図である。 図１２（ｂ）の中板を示す図であって、（ａ）は図１６のＩ－Ｉ線断面図、（ｂ）は図１７のＪ－Ｊ線断面図である。 プロセス工程用の非接触搬送装置でのガラスの浮上搬送を示す断面図である。 図１２（ｂ）の中板の上面図である。 図１２（ｂ）の中板の下面図である。 図１のプロセス工程用の非接触搬送装置における搬送用レールの他の実施の形態を示す図１２のＨ－Ｈ線断面図である。 図１８の中板を示す図であって、（ａ）は中板の平面図、（ｂ）は（ａ）のＫ－Ｋ線断面図である。 図１８の下板を示す図であって、（ａ）は下板の平面（上面）図、（Ｂ）は（ａ）のＬ－Ｌ線断面図である。 プロセス工程用の非接触搬送装置でのガラスの浮上搬送を示す断面図である。 本発明に係る搬送工程を含めた非接触搬送装置全体の他の実施の形態を示す平面図である。
　次に、本発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。なお、以下の説明においては、搬送用流体として空気を用い、被搬送物として液晶ガラス（以下「ガラス」と略称する。）を搬送する場合を例にとって説明する。
　非接触搬送装置１は、図１に示すように、ガラスＧを非接触で搬送するために使用され、２つの搬送工程２及び３用の非接触搬送装置２ａ及び３ａと、これら搬送工程２及び３に挟まれたプロセス工程４用の非接触搬送装置４ａとから構成される。
　搬送工程２及び３用の非接触搬送装置２ａ及び３ａは、後述する上昇流形成体６を搬送用レール５に２列にわたって図２の紙面上で上、下方向に配置して構成され、図１の搬送工程２及び３では、非接触搬送装置２ａ及び３ａをそれぞれ並列に３基配置している。
　非接触搬送装置２ａ及び３ａの搬送用レール５は、図３（ａ）及び（ｂ）に示すように、搬送用レール基体５ａと該レール基体５ａの上面の搬送面５ｂに穿設され、該搬送面５ｂに開口する平面視円形の開口部５ｃを有する円筒壁面部５ｄと、該円筒壁面部５ｄと環状肩部５ｅを介して拡径する帯状の拡径円筒壁面部５ｆとを有する収容孔部５ｇとを備え、該収容孔部５ｇは、搬送用レール基体５ａの長手方向Ｘ及び幅方向Ｙに沿って複数個形成されている。該搬送用レール５は、該搬送用レール基体５ａの長手方向Ｘに沿って形成され、供給ポンプ（図示せず）から空気が供給される流体通路５ｈと、該流体通路５ｈに連通し、流体通路５ｈからの空気を収容孔部５ｇに供給するべく該収容孔部５ｇに開口する貫通孔５ｉを備えている。
　該搬送用レール基体５ａに形成された収容孔部５ｇには、例えばポリフェニレンサルファイド樹脂（ＰＰＳ）等の熱可塑性合成樹脂から形成された上昇流形成体６が装着されている。
　上昇流形成体６は、図４（ａ）ないし（ｄ）に示すように、上面に開口する平面視円形の開口部６ａを有すると共に、該開口部６ａに連通する円筒内壁面６ｂを有する有底の円筒状基体部６ｃと、該円筒状基体部６ｃの開口部６ａの周縁に径方向外方に張り出す環状鍔部６ｄと、該環状鍔部６ｄの外周面６ｅに該外周面６ｅの円周方向に沿い、かつ径方向に相対向して下方に延びる複数個（本実施の形態においては４個）の係合垂下部６ｆと、該係合垂下部６ｆの下端に外方に突出する係合突起部６ｇと、該円筒状基体部６ｃの外周面６ｈから円筒内壁面６ｂに開口すると共に、先端部６ｉが該円筒状基体部６ｃの中心Ｏに向かう少なくとも１つ（本実施の形態においては１つ）の流体噴出孔６ｊを備えている。
　該上昇流形成体６は、図５に示すように、環状鍔部６ｄの外周面６ｅを該収容孔部５ｇの円筒内壁面５ｄに圧入嵌合し、係合垂下部６ｆの係合突起部６ｇを該収容孔部５ｇの環状肩部５ｅに係合させると共に、該環状鍔部６ｄの上面６ｋを該搬送用レール基体５ａの搬送面５ｂと面一にして該収容孔部５ｇに装着されている。
　搬送用レール基体５ａの流体通路５ｈを流動し、該流体通路５ｈに連通する貫通孔５ｉから収容孔部５ｇに噴出した空気は、該収容孔部５ｇに装着された上昇流形成体６において、図６及び図７に示すように、円筒状基体部６ｃの外周面６ｈから円筒内壁面６ｂに開口すると共に、先端部６ｉが該円筒状基体部６ｃの中心Ｏに向かう流体噴出孔６ｊから噴出して該円筒状基体部６ｃの円筒内壁面６ｂに衝突し、該円筒内壁面６ｂの開口部６ａの上方に噴霧状に分散する上昇流となり、該上昇流によってガラスＧは非接触で搬送される。
　搬送用レール５とガラスＧとの間の空気の圧力分布を測定し、流体噴出孔６ｊから噴出した空気が上昇流形成体６の円筒内壁面６ｂに衝突し、該円筒内壁面６ｂの上方に分散・拡散していることを確認している。このように上昇流形成体６においては、負圧を発生しないので浮上量を大きくすることができ、また、流体噴出孔６ｊから噴出した空気は、円筒状基体部６ｃの円筒内壁面６ｂに衝突することにより、空気の噴出速度が低下せしめられると共に噴霧状に分散する上昇流となるので、ガラスＧにストレスを与えることを極力抑えることができる。
　図８（ａ）及び（ｂ）は、上昇流形成体６の他の実施の形態を示すもので、上昇流形成体７は、上面に開口する平面視円形の開口部７ａを有すると共に、該開口部７ａに連通する円筒内壁面７ｂを有する有底の円筒状基体部７ｃと、該円筒状基体部７ｃの開口部７ａの周縁に径方向外方に張り出す環状鍔部７ｄと、該環状鍔部７ｄの外周面７ｅに該外周面７ｅの円周方向に沿い、かつ径方向に相対向して下方に延びる複数個（本実施の形態においては４個）の係合垂下部７ｆと、該係合垂下部７ｆの下端に外方に突出する係合突起部７ｇと、該円筒状基体部７ｃの外周面７ｈから円筒内壁面７ｂに開口すると共に、先端部７ｉが該円筒状基体部７ｃの中心Ｏに向かって相対向する２つの流体噴出孔７ｊ及び７ｊを備えている。
　該上昇流形成体７は、図示しないが前記図５に示した上昇流形成体６の収容孔部５ｇへの装着と同様にして、環状鍔部７ｄの外周面７ｅを該収容孔部５ｇの円筒内壁面５ｄに圧入嵌合し、係合垂下部７ｆの係合突起部７ｇを該収容孔部５ｇの環状肩部５ｅに係合させると共に、該環状鍔部７ｄの上面７ｋを該搬送用レール基体５ａの搬送面５ｂと面一にして該収容孔部５ｇに装着される。
　搬送用レール５の流体通路５ｈを流動し、該流体通路５ｈに連通する貫通孔５ｉから収容孔部５ｇに噴出した空気は、該収容孔部５ｇに装着された上昇流形成体７において、図９（ａ）及び（ｂ）に示すように、円筒状基体部７ｃの外周面７ｈから円筒内壁面７ｂに開口すると共に、先端部７ｉが該円筒状基体部７ｃの中心Ｏに向かって相対向する流体噴出孔７ｊ及び７ｊから噴出して空気同士が衝突し、該円筒内壁面７ｂの開口部７ａの上方に噴霧状に分散する上昇流となり、該上昇流によってガラスＧは非接触で搬送される。
　この上昇流形成体７を使用した場合においても、上昇流形成体７においては、負圧を発生しないので浮上量を大きくすることができ、また、流体噴出孔７ｊ及び７ｊから噴出した空気は、空気同士が衝突することにより空気の噴出速度を低下させると共に噴霧状の分散する上昇流となるので、ガラスＧにストレスを与えることを極力抑えることができる。
　図１０（ａ）及び（ｂ）は、搬送用レール５の他の実施の形態を示し、この搬送用レール８は、搬送用レール基体８ａと該レール基体８ａの上面の搬送面８ｂに穿設され、該搬送面８ｂに開口する平面視円形の開口部８ｃを有する円筒壁面部８ｄと、該円筒壁面部８ｄと環状肩部８ｅを介して拡径する帯状の拡径円筒内壁面部８ｆとを有する収容孔部８ｇを備え、該搬送用レール８は、搬送用レール基体８ａの長手方向Ｘに沿って形成され、供給ポンプ（図示せず）から空気が供給される流体通路８ｈがその一部を収容孔部８ｇに開口して形成されている。この搬送用レール８では、前記図３（ａ）及び（ｂ）に示す搬送用レール５における流体通路５ｈから収容孔部５ｇに空気を供給する貫通孔５ｉが不要となる。
　図１１（ａ）及び（ｂ）は、前記上昇流形成体６又は７の有底の円筒状基体部６ｃ又は７ｃの円筒内壁面６ｂ又は７ｂに、該円筒状基体部６ｃ又は７ｃの中心Ｏを挟んで相対向する凹部６ｌ又は７ｌを備えた上昇流形成体６及び７を示すもので、この相対向する凹部６ｌ又は７ｌを備えた上昇流形成体６又は７は、前記搬送用レール５又は８の収容孔部５ｇ又は８ｇに装着された上昇流形成体６及び７の位置を微調整するにあたり、該円筒内壁面６ｂ又は７ｂと該円筒内壁面６ｂ又は７ｂに相対向する凹部６ｌ又は７ｌを備えた開口部６ａ又は７ａの平面形状に合致する平面形状を備えた治具（図示せず）を作製し、当該治具を上昇流形成体６又は７の開口部６ａ又は７ａに嵌合させると共に、該治具を回すことにより該上昇流形成体６又は７に形成された流体噴出孔６ｊ又は７ｊの位置を微調整することができるようにしたものである。
　図１２（ａ）及び（ｂ）は、前記図１に示す非接触搬送装置１のプロセス工程４用の非接触搬送装置４ａを示すもので、該非接触搬送装置４ａは、前記上昇流を発生させる上昇流形成体６又は７と、空気を吸い込む真空吸引用の直径１～２ｍｍ程度の吸引孔９とが搬送用レール１０の長手方向Ｘと幅方向Ｙに交互に配置されて形成されている。
　搬送用レール１０は、図１２（ｂ）に示すように、上板１１、中板１２及び下板１３からなる３層構造を有する。
　上板１１は、図１３（ａ）に示すように、搬送面としての上面１１ａに穿設され、該搬送面１１ａに開口する平面視円形の開口部１１ｂを有する円筒内壁面部１１ｃと、該円筒内壁面部１１ｃと環状肩部１１ｄを介して拡径し、該上板１１の下面１１ｅに開口する拡径円筒内壁面部１１ｆとを有する複数個の収容孔部１１ｇと、該収容孔部１１ｇと隣接して上板１１の該上面１１ａから下面１１ｅに貫通して形成された吸引孔９を長手方向Ｘ及び幅方向Ｙに沿って交互に複数個備えている。
　該上板１１の収容孔部１１ｇには、前記上昇流形成体６又は７が環状鍔部６ｄ又は７ｄの外周面６ｅ又は７ｅを該収容孔部１１ｇの円筒内壁面部１１ｃに圧入嵌合し、係合垂下部６ｆ又は７ｆの係合突起部６ｇ又は７ｇを該収容孔部１１ｇの環状肩部１１ｄに係合させると共に、該環状鍔部６ｄ又は７ｄの上面６ｋ又は７ｋを該上板１１の上面１１ａと面一にして該収容孔部１１ｇに装着される。
　中板１２は、図１４（ａ）及び（ｂ）に示すように、中板１２の上面１２ａに形成された横断面半円形であって開口部を上方に向けた空気供給凹溝１２ｂと、該中板１２の下面１２ｃに形成された横断面半円形であって開口部を下方に向けた空気吸引凹溝１２ｄを備えている。
　空気供給凹溝１２ｂは、図１６に示すように、上昇流形成体６又は７の配置（図１２（ａ）参照）に合わせ、平面視菱形格子状に形成される。空気供給凹溝１２ｂの底部には、図１４（ｂ）に示すように、中板１２の下面１２ｃに開口する連通孔１２ｅが連通され、この連通孔１２ｅは、図１７に示すように、中板１２の全体を通して１つのみが設けられる。空気供給凹溝１２ｂは、図１２（ｂ）に示すように、上板１１、中板１２及び下板１３を積層させた際に、上板１１の収容孔部１１ｇのそれぞれと連通する。
　空気吸引凹溝１２ｄは、図１７に示すように、吸引孔９の配置（図１２（ａ）参照）に合わせて、平面視菱形格子状に形成される。なお、図１７においては、空気吸引凹溝１２ｄと空気供給凹溝１２ｂの位置関係を分かり易くするため、実線で空気吸引凹溝１２ｄを示し、破線で空気供給凹溝１２ｂを示している。
　空気吸引凹溝１２ｄには、図１４（ａ）に示すように、上板１１の吸引孔９（図１３（ａ）参照）と同径で、中板１２の上面１２ａに開口する複数個の連通孔１２ｆが連通している。これら連通孔１２ｆは、図１２（ｂ）に示すように、上板１１、中板１２及び下板１３を積層させた際に、上板１１の吸引孔９のそれぞれと連通している。なお、図１７においては、空気吸引凹溝１２ｄの連通孔１２ｆと、空気供給凹溝１２ｂの連通孔１２ｅとの位置関係を分かり易くするため、前者を黒丸で示していると共に、後述する真空吸引口に結合される空気吸引凹溝１２ｄの連通孔１２ｆ１については白丸で示している。
　これら空気供給凹溝１２ｂ及び空気吸引凹溝１２ｄは、図１７に示すように、平面視で互い違いとなるように配置され、一方の凹溝の交差部が他方の凹溝の格子内に位置するように形成される（空気供給凹溝１２ｂの交差部１２ｇと空気吸引凹溝１２ｄの格子１２ｈとの関係及び空気吸引凹溝１２ｄの交差部１２ｉと空気供給凹溝１２ｂの格子１２ｊとの関係を参照）。そして、空気吸引凹溝１２ｄに繋がる複数個の連通孔１２ｆは、空気吸引凹溝１２ｄの交差部１２ｉ及び角部１２ｋに連通され、空気供給凹溝１２ｂと重畳しない位置に配置される。また、空気供給凹溝１２ｂに繋がる連通孔１２ｅも、空気供給凹溝１２ｂの交差部１２ｇに連通され、空気吸引凹溝１２ｄと重畳しない位置に配置される。
　下板１３は、図１２（ｂ）に示すように、下板１３の上面１３ａに開口し、中板１２の連通孔１２ｅ（空気供給凹溝１２ｂと連通する連通孔）と連通すると共に、該下板１３の下面１３ｂに開口する空気給気口１３ｃと、下板１３の上面１３ａに開口し、中板１２の空気吸引凹溝１２ｄと連通すると共に、該下板１３の下面１３ｂに開口する真空吸引口１３ｄとを備えている。該空気給気口１３ｃ及び真空吸引口１３ｄは、各々ねじ孔を備え、空気給気口１３ｃのねじ孔には、例えばコンプレッサーに接続されたホースの先端のニップルが螺合固定され、真空吸引口１３ｄのねじ孔には、例えば真空ポンプに接続されたホースの先端のニップルが螺合固定される。
　そして、図１２（ｂ）に示すように、上板１１に形成された収容孔部１１ｇを中板１２の上面１２ａに開口する空気供給凹溝１２ｂに連通させ、吸引孔９を中板１２の上面１２ａに開口する連通孔１２ｆに連通させて、上板１１を中板１２の上面１２ａに位置せしめ、中板１２の下面１２ｃに開口する連通孔１２ｅに下板１３の空気給気口１３ｃを結合させると共に、中板１２の下面１２ｃの空気吸引凹溝１２ｄに真空吸引口１３ｄを結合させて、中板１２を下板１３の上面１３ａに位置させることにより、搬送用レール１０が形成される。搬送用レール１０は、上板１１、中板１２及び下板１３をボルト等の固定手段により締結固定されて形成される。
　図１８ないし図２０は、搬送用レール１０の他の実施の形態を示すものである。搬送用レール１０は、上板１１、中板１２及び下板１３からなる３層構造を有し、上板１１は、図１３に示した前記搬送用レール１０の上板１１と同様の構成を有する。
　中板１２は、図１９に示すように、上面１２ａに開口し、前記上板１１の各収容孔部１１ｇに連通する空気供給凹溝１２ｂと、該空気供給凹溝１２ｂに開口すると共に下面１２ｃに開口する１つの連通孔１２ｅと、該空気供給凹溝１２ｂに隣接し、前記上板１１の吸引孔９に連通して上面１２ａ及び下面１２ｃに開口する貫通孔１２ｆを備えている。
　下板１３は、図２０に示すように、前記中板１２の連通孔１２ｅに結合された空気供給口１３ｃと、上面１３ａに開口すると共に、前記中板１２の貫通孔１２ｆに連通する吸気吸引凹溝１３ｅと該吸気吸引凹溝１３ｅに連通する貫通孔１２ｆ１に結合された真空吸引口１３ｄを備えている。
　そして、図１８に示すように、上板１１に形成された収容孔部１１ｇを中板１２の上面１２ａに開口する空気供給凹溝１２ｂに連通させ、吸引孔９を中板１２の上面１２ａに開口する貫通孔１２ｆ１に連通させて、上板１１を中板１２の上面１２ａに位置せしめ、中板１２の下面１２ｃに開口する連通孔１２ｅに下板１３に設けられた空気給気口１３ｃに結合させると共に、中板１２の下面１２ｃに開口する貫通孔１２ｆ１に下板１３に設けられた真空吸引口１３ｄを結合させて、中板１２を下面１３の上面１３ａに位置させることにより、搬送用レール１０が形成される。搬送用レール１０は、前記搬送用レールと同様、上板１１、中板１２及び下板１３をボルト等の固定手段により締結固定されて形成される。該空気給気口１３ｃ及び真空吸引口１３ｄは、各々ねじ孔を備え、空気給気口１３ｃのねじ孔には、例えばコンプレッサーに接続されたホースの先端のニップルが螺合固定され、真空吸引口１３ｄのねじ孔には、例えば真空ポンプに接続されたホースの先端のニップルが螺合固定される。
　このように、これら搬送用レール１０において、空気供給凹溝１２ｂ及び空気吸引凹溝１２ｄを平面視菱形格子状に形成し、これら空気供給凹溝１２ｂ及び空気吸引凹溝１２ｄを異なる高さに配置すると共に、平面視で互い違いとなるように配置するため、空気供給凹溝１２ｂ及び空気吸引凹溝１２ｄを複雑に引き回さずとも、空気供給凹溝１２ｂ及び空気吸引凹溝１２ｄの干渉を回避しつつ、それぞれの空気供給凹溝１２ｂ及び空気吸引凹溝１２ｄを単一の連続路で形成することができ、流体通路の設計が容易となる。また、空気供給凹溝１２ｂ及び空気吸引凹溝１２ｄを連続路で形成し得ることから、空気供給凹溝１２ｂと空気給気口１３ｃの連結及び空気吸引凹溝１２ｄと真空吸引口１３ｄの連結が、それぞれ一か所で足りるようになり、搬送用レール１０の製造コストを低減することが可能になる。
　また、搬送用レール１０を３層構造とし、空気供給凹溝１２ｂ及び空気吸引凹溝１２ｄを中板１２の上面１２ａ及び下面１２ｃに設けるため、空気供給凹溝１２ｂ及び空気吸引凹溝１２ｄの製作が容易となり、製造コストをより低減することが可能になる。
　上記構成からなるプロセス工程４用の非接触搬送装置４ａを示す図１５及び図２０において、搬送用レール１０の空気給気口１３ｃに供給された空気は、空気給気口１３ｃに連通する連通孔１２ｅを介して搬送用レール１０の中板１２に形成された空気供給凹溝１２ｂに供給される。空気供給凹溝１２ｂに供給された空気は、搬送用レール１０の上板１１に形成された収容孔部１１ｇに供給され、該収容孔部１１ｇに装着された上昇流形成体６の流体噴出孔６ｊから噴出して円筒状基体部６ｃの円筒内壁面６ｂに衝突し、該円筒内壁面６ｂの開口部６ａの上方に噴霧状に分散する上昇流となり、該上昇流によりガラスＧを浮上させると同時に搬送用レール１０の上板１１の上面１１ａに開口する吸引孔９において吸引し、該上昇流による浮上力と吸引孔９における吸引力とのバランスにより高精度な平面度を形成して非接触で搬送される。
　また、上昇流形成体７を使用した場合は、上昇流形成体７の流体噴出孔７ｊ及び７ｊから噴出して空気同士が衝突し、該円筒内壁面７ｂの開口部７ａの上方に噴霧状に分散する上昇流となり、該上昇流による浮上力と搬送用レール１０の上板１１の上面１１ａに開口する吸引孔９における吸引力とのバランスにより高精度な平面度を形成して非接触で搬送される。
　プロセス工程４用の非接触搬送装置４ａにおいては、上昇流形成体６又は７には、負圧を発生しないので浮上量を大きくすることができ、また、流体噴出孔６ｊ又は７ｊから噴出した空気は、噴出速度が低下させられると共に噴霧状の分散する上昇流となるので、ガラスＧにストレスを与えることを極力抑えることができ、さらに噴霧状に分散する上昇流による浮上力と搬送用レール１０の上板１１の上面１１ａに開口する吸引孔９における吸引力とのバランスにより高精度な平面度を形成してガラスＧは非接触で搬送される。
　次に、上記構成を有する非接触搬送装置１の動作について、図１ないし図１７を参照しながら説明する。なお、以下の説明においては、上昇流形成体６を使用した場合について説明する。
　ガラスＧを搬送するにあたっては、図１に示す搬送工程２及び３の非接触搬送装置２ａ及び３ａにおいて、供給ポンプ（図示せず）から流体通路５ｈ（図３参照）に供給された空気は、該流体通路５ｈに連通する貫通孔５ｉを介して収容孔部５ｇに供給される。そして、収容孔部５ｇに供給された空気は、該収容孔部５ｇに装着された上昇流形成体６の流体噴出孔６ｊから噴出し、該上昇流形成体６の円筒状基体部６ｃの円筒内壁面６ｂに衝突し、該円筒内壁面６ｂに衝突した空気は、該円筒内壁面６ｂの開口部６ａの上方に噴霧状に分散する上昇流となる。
　搬送工程２に搬送されたガラスＧは、上昇流形成体６において生じる上昇流によって浮上すると共に、別途設けた空気噴出装置（図示せず）等により推進力が付与され、プロセス工程４に向けて非接触で搬送される。上昇流形成体６において生じる上昇流は、上昇流形成体６の円筒内壁面６ｂの開口部の上方において噴霧状に分散する上昇流であるので、該上昇流によって浮上するガラスＧにストレスを与えることを極力抑えることができる。
　プロセス工程４の非接触搬送装置４ａでは、図１５に示すように、供給ポンプから搬送用レール１０の下板１３に形成された空気給気口１３ｃに供給された空気は、中板１２に形成された空気給気口１３ｃに連通する連通孔１２ｅを介して空気供給凹溝１２ｂに進入する。該空気供給凹溝１２ｂに進入した空気は、上板１１に形成された収容孔部１１ｇに進入し、該収容孔部１１ｇに装着された上昇流形成体６の流体噴出孔６ｊから噴出する。
　該流体噴出孔６ｊから噴出した空気は、該上昇流形成体６の円筒状基体部６ｃの円筒内壁面６ｂに衝突し、該円筒内壁面６ｂの開口部６ａの上方に噴霧状に分散する上昇流を生じる。
　このとき、上昇流形成体６に空気を供給する空気供給凹溝１２ｂは、図１７に示すように、単一の連続凹溝によって形成されているので、流体噴出孔６ｊからの空気の噴出量の上昇流形成体６毎のバラツキを抑制することができ、ガラスの浮上量を均一に制御することができる。
　これと併行して、真空ポンプによって搬送用レール１０の下板１３に形成された真空吸引口１３ｄから空気を吸引し、中板１２に形成された空気吸引凹溝１２ｄ及び該空気吸引凹溝１２ｄに連通する連通孔１２ｆを通じて上板１１に形成された吸引孔９の上方空間の空気を吸引する。このとき、吸引孔９から空気を吸引する空気吸引凹溝１２ｄは、図１７に示すように、単一の連続凹溝によって形成されているので、吸引孔９からの空気の吸引量の吸引孔９毎のバラツキを抑制することができ、ガラスＧの吸引圧を均一に制御することができる。
　図２１に示すように、プロセス工程４に搬送されたガラスＧは、上昇流形成体６に生じる上方に噴霧状に分散する上昇流によって浮上すると共に、各上昇流形成体６間に位置せしめられた吸引孔９で周囲の空気を真空吸引することで、３０～５０μｍの浮上高さに高精度に制御される。このプロセス工程４では、ガラスＧに対する各種検査や加工が行われる。
　検査や加工が終了したガラスＧは、搬送工程３に搬送され、その後、搬送工程２の場合と同様、浮上した状態で次工程へ搬送される。
　図２２は、図１に示した非接触搬送装置１のプロセス工程４の他の実施の形態を示し、このプロセス工程４では、並列に３基配列した非接触搬送装置４ａに該非接触搬送装置４ａに隣接してさらに３基の非接触搬送装置４ａ’を配列した。この非接触搬送装置を２列配列したプロセス工程４においては、非接触搬送装置４ａと４ａ’との間で、例えばカメラ透過チェック等の作業が行われる。
　以上説明したように、本発明の上昇流形成体は、円筒状基体部の外周面から円筒内壁面に開口すると共に、先端部が該円筒状基体部の中心に向かう少なくとも１つの流体噴出孔を備え、該流体噴出孔から噴出した空気は、円筒内壁面の開口部の上方において噴霧状に分散する上昇流を生じ、当該上昇流にて被搬送物（ガラス等）を浮上させて搬送するもので、被搬送物にストレスを与えることを極力抑えることができるばかりでなく被搬送物の振幅を小さくでき、さらには負圧の発生がないので被搬送物の浮上量を大きくすることができる。
　この上昇流形成体を使用した非接触搬送装置の搬送工程においては、上昇流形成体により生じる噴出空気は、噴霧状に分散して上昇流を生じ、負圧の発生がないので被搬送物の浮上高さを大きくして搬送することができる。また、プロセス工程においては、上昇流形成体に生じる噴霧状に分散する上昇流によって浮上すると共に、各上昇流形成体間に位置せしめられた吸引孔で周囲の空気を真空吸引することで、３０～５０μｍの浮上高さに高精度に制御され、上昇流形成体に生じる上昇流には負圧が発生しないので、搬送時の被搬送物の振幅を小さく抑えることができる。
１　非接触搬送装置
２、３　搬送工程
４、４ａ’　プロセス工程
５　搬送用レール
５ａ　搬送用レール基体
５ｂ　搬送面
５ｄ　円筒壁面部
５ｅ　環状肩部
５ｆ　拡径円筒壁面部
５ｇ　収容孔部
５ｈ　流体通路
５ｉ　貫通孔
６、７　上昇流形成体
６ｂ、７ｂ　円筒内壁面
６ｃ、７ｃ　円筒状基体部
６ｄ、７ｄ　環状鍔部
６ｆ、７ｆ　係合垂下部
６ｇ、７ｇ　係合突起部
６ｉ、７ｉ　先端部
６ｊ、７ｊ　流体噴出孔
９　吸引孔
１０　搬送用レール
１１　上板
１１ａ　搬送面（上面）
１１ｂ　開口部
１１ｃ　円筒内壁面部
１１ｄ　環状肩部
１１ｅ　下面
１１ｆ　拡径円筒内壁面部
１１ｇ　収容孔部
１２　中板
１２ｂ　空気供給凹溝
１２ｄ　空気吸引凹溝
１３　下板
１３ｃ　空気給気口
１３ｄ　真空吸引口

Claims (8)

  1. 　内面に円筒内壁面を有する有底の円筒状基体部と、
    　該円筒状基体部の開口部の周縁に径方向外方に張り出す環状鍔部と、
    　該環状鍔部の外周縁の円周方向に沿い、かつ径方向に相対向して下方に延びる複数個の係合垂下部と、
    　該係合垂下部の下端に外方に突出する係合突起部と、
    　前記円筒状基体部の外周面から円筒内壁面に開口すると共に、先端部が該円筒状基体部の中心に向かう少なくとも１つの流体噴出孔とを備えることを特徴とする上昇流形成体。
  2. 　前記流体噴出孔を１つ備え、該流体噴出孔から噴出した流体は、該円筒状基体の円筒内周壁に衝突し、噴霧状に上方に分散して上昇流を形成することを特徴とする請求項１に記載の上昇流形成体。
  3. 　前記流体噴出孔は、円筒状基体部の外周面から円筒内壁面に開口すると共に、先端部が該円筒状基体部の中心に向かって相対向するように２つ設けられ、該２つの流体噴出孔から噴出した流体は、該流体同士が衝突し、噴霧状に上方に分散して上昇流を形成することを特徴とする請求項１に記載の上昇流形成体。
  4. 　前記上昇流形成体は、熱可塑性合成樹脂から形成されることを特徴とする請求項１、２又は３に記載の上昇流形成体。
  5. 　上面に開口する平面視円形の開口部を有する円筒壁面部と、該円筒壁面部と環状肩部を介して拡径する帯状の拡径円筒壁面部とを有する収容孔部が搬送用レールの長手方向及び幅方向に沿って複数個形成され、該搬送用レールはその長手方向に沿って形成された流体通路と該流体通路に連通して該収容孔部に開口する貫通孔を備え、該収容孔部に請求項１ないし４のいずれかに記載の上昇流形成体が、環状鍔部の外周面を該収容孔部の円筒壁面部に圧入嵌合させ、係合垂下部の係合突起部を収容孔部の環状肩部に係合させて装着されることを特徴とする非接触搬送装置。
  6. 　上面に開口する平面視円形の開口部を有する円筒壁面部と、該円筒壁面部と環状肩部を介して拡径する帯状の拡径円筒壁面部とを有する収容孔部が搬送用レールの長手方向及び幅方向に沿って複数個形成され、該搬送用レールはその長手方向に沿って形成され、該収容孔部に開口する流体通路を備え、該収容孔部に請求項１ないし４のいずれかに記載の上昇流形成体が、環状鍔部の外周面を該収容部の円筒壁面部に圧入嵌合させ、係合垂下部の係合突起部を収容部の環状肩部に係合させて装着されることを特徴とする非接触搬送装置。
  7. 　上面に開口する平面視円形の開口部を有する円筒内壁部と、該円筒内壁部と環状肩部を介して拡径し、下面に開口する拡径円筒壁面部とからなる収容孔部と、該収容孔部に隣接して穿設された吸引孔を備えた上板と、上面に開口し、前記上板の収容孔部に連通する流体供給凹溝と該流体供給凹溝に連通し、下面に開口する連通孔と、該流体供給凹溝に隣接して穿設され、前記上板の吸引孔に連通する連通孔と連通し、下面に開口する流体吸引凹溝を備えた中板と、該中板の連通孔に連通する流体供給口と流体吸引凹溝に連通する真空吸引口を備えた下板とからなる搬送用レールの該上板の収容孔部に請求項１ないし４のいずれかに記載の上昇流形成体が、環状鍔部の外周面を該収容孔部の円筒壁面部に圧入嵌合させ、係合垂下部の係合突起部を収容孔部の環状肩部に係合させて装着されることを特徴とする非接触搬送装置。
  8. 　上面に開口する平面視円形の開口部を有する円筒壁面部と該円筒壁面部と環状肩部を介して拡径すると共に下面に開口する拡径円筒壁面部を有する収容孔部と、該収容孔部に隣接して穿設され、上、下面に開口する吸引孔を長手方向及び幅方向に沿って交互に複数個備えた上板と、上面に開口し前記上板の各収容孔部に連通する流体供給凹溝と、該流体供給凹溝に開口すると共に下面に開口する１つの連通孔と、該流体供給凹溝に隣接し、前記上板の吸引孔に連通して上、下面に開口する貫通孔を備えた中板と、該中板の連通孔に結合された流体供給口と、上面に開口すると共に前記中板の貫通孔に連通する流体吸引凹溝と該流体吸引凹溝に結合された真空吸引口を備えた下板とからなる搬送用レールの該上板の収容孔部に請求項１ないし４のいずれかに記載の上昇流形成体が、環状鍔部の外周面を該収容孔部の円筒壁面部に圧入嵌合させ、係合垂下部の係合突起部を収容孔部の環状肩部に係合させて装着されることを特徴とする非接触搬送装置。
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