CN103261063B - 上升流形成体及使用该上升流形成体的非接触运送装置 - Google Patents

Abstract

（课题）提供可防止负压的产生以减小所运送的运送物的端部的振幅、增大浮起量的上升流形成体等。（技术方案）的上升流形成体（6）具备：有底的圆筒状基体部（6c），其在内面具有圆筒内壁面（6b）；环状凸缘部（6d），其在圆筒状基体部的开口部的周缘向径向外侧伸出；多个卡合垂下部（6f），其沿环状凸缘部的外周缘的圆周方向、在径向上相对地向下方延伸；卡合突起部（6g），其在卡合垂下部的下端向外方突出；和至少一个流体喷出孔（6j），其从圆筒状基体部的外周面向圆筒内壁面开口，且顶端部朝向圆筒状基体部的中心。在流体喷出孔为一个的情况下，从该流体喷出孔喷出的流体碰撞到该圆筒状基体部的圆筒内壁面，呈喷雾状向上方分散而形成上升流，在流体喷出孔为两个的情况下，从该流体喷出孔喷出的流体彼此碰撞，呈喷雾状向上方分散而形成上升流。

Description

上升流形成体及使用该上升流形成体的非接触运送装置

技术领域

本发明涉及上升流形成体及使用该上升流形成体的非接触运送装置，特别涉及在大型的液晶显示器(LCD)和等离子显示器(PDP)等FPD(平板显示器)和太阳能电池板(太阳能板)等的生产中所使用的非接触运送装置。

背景技术

以往，在FDP和太阳能电池板等的生产时，采用了通过使一个板大型化来提高生产效率的方法。例如，在液晶面板的情况下，第十代为2850×3050×0.7mm的大小。因此，如果还像以往那样在多个并排的辊上装载液晶玻璃滚动运送，则因支撑辊的轴的弯曲和/或辊高度尺寸的波动而在液晶玻璃上局部地作用较强的力，恐会损伤该液晶玻璃。

上述由辊所形成的滚动运送装置，在要求该装置与面板为非接触的例如FPD的处理步骤中无法采用，近年来，开始采用空气浮起的运送装置。作为非接触运送装置，存在以下的装置：板状的运送用轨道的一部分使用多孔质材料(多孔质烧结金属等)使其与空气供给路径连通进行供气，从而通过喷出空气使FPD浮起运送的装置。然而，如果使用该非接触运送装置，则FPD成为一边在上下方向上移动一边浮游的状态，因此，虽然可用于运送步骤，但是，根本不能在例如要求30～50μm的高精度的浮起高度的处理步骤中采用。

此外，如果在使用上述多孔质材料的板状运送用轨道上以高精度地维持浮起量为目的而设置抽真空用的孔，则装置的结构变得复杂并且装置自身变得高价，而且，如果为了高精度地维持浮起高度而提高供气压力，则发生高刚性空气的压缩性所导致的自激振动，存在无法高精度地保持浮起高度这一问题。

进一步，虽然也存在与抽真空用的孔交错地穿设有锐孔(小径的孔)以代替多孔质材料的装置，但是，出现因来自锐孔的强喷出空气而产生静电，并且/或者扰乱洁净间的环境，并且/或者使消耗电流增大、运转成本增加这一问题。

于是，在专利文献1中，作为流体流量及能量消耗量减少、可高精度地维持浮起高度的非接触运送装置提出了下述非接触运送装置，该装置在运送用轨道的运送面具备两个以上回旋流形成体，回旋流形成体通过使流体从流体喷出口喷出，在环状部件的表面侧产生朝向从该表面侧离开的方向的回旋流，并且在环状部件的表面侧的开口部附近产生朝向背面方向的流体流。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际专利申请公开第2009－119377号公报。

发明内容

发明所要解决的问题

虽然上述专利文献1记载的非接触运送装置是在环状部件的表面侧产生朝向从该表面侧离开的方向的回旋流使运送物(面板等)浮起的装置，但是，回旋流的中心部产生负压，具有可防止运送物的过度浮起的效果，相反也发现：运送物的端部振幅增大的缺点；以及如果处理步骤中的回旋流所产生的负压与抽真空的负压重叠，则回旋流所产生的浮起功能消失、局部地与运送用轨道接触这样的不良情况。

本发明是鉴于上述诸点而研制的，其目的是提供可防止负压的产生并减小被运送的运送物的端部的振幅、并且可增大浮起量的上升流形成体及使用该上升流形成体的非接触运送装置。

用于解决问题的技术方案

为实现上述目的，本发明的上升流形成体，其特征在于，具备：有底的圆筒状基体部，其在内表面具有圆筒内壁面；环状凸缘部，其在该圆筒状基体部的开口部的周缘向径向外侧伸出；多个卡合垂下部，其沿该环状凸缘部的外周缘的圆周方向且在径向上相对地向下方延伸；卡合突起部，其在该卡合垂下部的下端向外突出；和至少一个流体喷出孔，其从所述圆筒状基体部的外周面向圆筒内壁面开口，并且顶端部朝向该圆筒状基体部的中心。

而且，本发明的上升流形成体，在形成于该上升流形成体的流体喷出孔是一个的情况下，从该流体喷出孔喷出的流体碰撞该圆筒状基体的圆筒内周壁，呈喷雾状向上方分散而成为上升流。

此外，本发明的上升流形成体，在形成于该上升流形成体的流体喷出孔为从圆筒状基体部的外周面向圆筒内壁面开口并且顶端部朝向该圆筒状基体部的中心而相对的两个流体喷出孔的情况下，从该两个流体喷出孔喷出的流体彼此碰撞呈喷雾状向上方分散而形成上升流。

由上升流形成体产生的喷出流体呈喷雾状分散而形成上升流，所以不会向运送物(面板)施加应力，可减小运送物的振幅，而且不会产生负压，所以能发挥可增大运送物的浮起量等作用效果。

本发明的上升流形成体，优选，通过对热塑性合成树脂进行注塑成型而形成，作为热塑性合成树脂，可举出聚亚苯基硫醚树脂(PPS)。

此外，本发明的非接触运送装置，其特征在于，沿运送用轨道的长度方向及宽度方向形成有多个收纳孔部，该收纳孔部具备：圆筒壁面部，其具有向上表面开口的俯视呈圆形的开口部；和带状的扩径圆筒壁面部，其从该圆筒壁面部经由环状肩部而扩径，该运送用轨道具备沿其长度方向形成的流体通路和与该流体通路连通而向该收纳孔部开口的贯通孔，在该收纳孔部中，所述上升流形成体以使环状凸缘部的外周面压入嵌合于该收纳孔部的圆筒壁面部、并使卡合垂下部的卡合突起部与收纳孔部的环状肩部卡合的方式装配。

在上述本发明的非接触运送装置中，可采用以下构成：取代在运送用轨道沿其长度方向形成的流体通路经由贯通孔与收纳孔部连通，而使在运送用轨道沿其长度方向形成的流体通路的一部分向该收纳孔部开口而省略了贯通孔。

根据本发明的非接触运送装置，在从上升流形成体的流体喷出孔喷出的流体碰撞到上升流形成体的圆筒壁面部(有一个流体喷出孔的情况)或者流体彼此碰撞(有两个流体喷出孔的情况)，呈喷雾状向上方分散而形成上升流，该上升流不会产生负压，所以可增大运送物的浮起量进行运送。

上升流形成体，在运送用轨道的运送用轨道基体的收纳孔部中，通过使环状凸缘部的外周面压入嵌合于该收纳孔部的圆筒壁面部、并使卡合垂下部的卡合突起部与收纳孔部的环状肩部卡合，在该收纳孔部中简单地装配。

进而，本发明的非接触运送装置，其特征在于，具有由上板、中板和下板构成的运送用轨道，其中，该上板具备收纳孔部和吸引孔，其中，该收纳孔部具备：圆筒壁面部，其具有向上表面开口的俯视呈圆形的开口部；和扩径圆筒壁面部，其从该圆筒壁面部经由环状肩部而扩径且向下表面开口，该吸引孔与该收纳孔部相邻地穿设；该中板具备：向上表面开口并与所述上板的收纳孔部连通的流体供给凹槽；与该流体供给凹槽连通并向下表面开口的连通孔；和流体吸引凹槽，其与该流体供给凹槽相邻地穿设并连通于与所述上板的吸引孔连通的连通孔且向下表面开口；和该下板具备与该中板的连通孔连通的流体供给口和与流体吸引凹槽连通的真空吸引口，在该运送用轨道的该上板的收纳孔部中，所述上升流形成体以使环状凸缘部的外周面压入嵌合于该收纳孔部的圆筒壁面部、并使卡合垂下部的卡合突起部与收纳孔部的环状肩部卡合的方式装配。

本发明的另一非接触运送装置，其特征在于，具有由上板、中板和下板构成的运送用轨道，其中，该上板沿长度方向及宽度方向交替地具备多个收纳孔部和吸引孔，其中，该收纳孔部具备：圆筒壁面部，其具有向上表面开口的俯视呈圆形的开口部；和扩径圆筒壁面部，其从该圆筒壁面部经由环状肩部而扩径且向下表面开口；该吸引孔，其与该收纳孔部相邻地穿设且向上、下表面开口；该中板具备：向上表面开口且与所述上板的收纳孔部连通的流体供给凹槽；向该流体供给凹槽开口并且向下表面开口的一个连通孔；和贯通孔，其与该流体供给凹槽相邻并与所述上板的吸引孔连通而向上、下表面开口；该下板具备：与该中板的连通孔结合的流体供给口；向上表面开口并且与所述中板的贯通孔连通的流体吸引凹槽；和与该流体吸引凹槽结合的真空吸引口，在该运送用轨道的该上板的收纳孔部中，所述上升流形成体以使环状凸缘部的外周面压入嵌合于该收纳孔部的圆筒壁面部、并使卡合垂下部的卡合突起部与收纳孔部的环状肩部卡合的方式装配。

根据上述非接触运送装置，使运送用轨道成为上板、中板及下板这三层结构，而且通过在中板的上、下表面设置流体供给凹槽及流体吸引凹槽，使流体供给凹槽及流体吸引凹槽的制作变得容易，可进一步降低制造成本，上述构成的非接触运送装置良好地适用于运送步骤的处理步骤。

发明效果

如上所述，根据本发明，能提供不向被运送物施加应力可减小被运送物的振幅、而且不产生负压所以可增大被运送物的浮起量的上升流形成体及使用该上升流形成体的非接触运送装置。

附图说明

图1是表示本发明涉及的非接触运送装置的一个实施方式的图，也是表示由运送步骤及处理步骤构成的整体构成的俯视图。

图2是表示图1的运送步骤用的非接触运送装置的俯视图。

图3是表示图2的运送步骤用的非接触运送装置的图，(a)是没有装配上升流形成体的状态下的放大俯视图，(b)是(a)中B-B线剖视图(图2中A-A线剖视图)。

图4是表示本发明的非接触运送装置所使用的上升流形成体的图，(a)是主视图，(b)是俯视图，(c)是仰视图，(d)是(a)中C-C线剖视图。

图5是表示运送步骤用的非接触运送装置的剖视图。

图6是表示图5所示的运送步骤用的非接触运送装置中的玻璃的浮起运送的剖视图。

图7是空气经由本发明的上升流形成体呈喷雾状向上方分散而形成上升流的说明图，(a)是俯视图，(b)是(a)中D-D线剖视图。

图8是表示本发明的非接触运送装置所使用的另一方式的上升流形成体的图，(a)是仰视图，(b)是(a)中E-E线剖视图。

图9是空气经由本发明的另一方式的上升流形成体以喷雾状向上方分散而形成上升流的说明图，(a)是俯视图，(b)是(a)中F-F线剖视图。

图10是表示运送步骤用的另一非接触运送装置的图，(a)是没有装配上升流形成体的状态下的放大俯视图，(b)是(a)中G-G线剖视图。

图11是表示本发明的上升流形成体的另一实施方式的图，(a)是俯视图，(b)是仰视图。

图12是表示图1的处理步骤用的非接触运送装置的图，(a)是俯视图，(b)是(a)中H-H线剖视图。

图13是表示图12的上板的图，(a)是没有装配上升流形成体的状态下的上板的剖视图，(b)是装配有上升流形成体的状态下的上板的剖视图。

图14是表示图12(b)的中板的图，(a)是图16中I-I线剖视图，(b)是图17中J-J线剖视图。

图15是表示处理步骤用的非接触运送装置中的玻璃的浮起运送的剖视图。

图16是图12(b)的中板的俯视图。

图17是图12(b)的中板的仰视图。

图18是表示图1的处理步骤用的非接触运送装置中的运送用轨道的另一实施方式的图12中H-H线剖视图。

图19是表示图18的中板的图，(a)是中板的俯视图，(b)是(a)中K-K线剖视图。

图20是表示图18的下板的图，(a)是下板的俯视(上面)图，(b)是(a)中L-L线剖视图。

图21是表示处理步骤用的非接触运送装置中的玻璃的浮起运送的剖视图。

图22是表示本发明涉及的包括运送步骤在内的非接触运送装置整体的另一实施方式的俯视图。

具体实施方式

下面，关于本发明的实施方式一边参照附图一边详细地说明。再有，在以下的说明中，以用空气作为运送用流体、将液晶玻璃(以下简称为“玻璃”)作为被运送物来运送的情况为例，进行说明。

如图1所示，非接触运送装置1用于以非接触方式运送玻璃G，该非接触运送装置1的构成包括：两个运送步骤2及3用的非接触运送装置2a及3a；和位于该运送步骤2及3之间的处理步骤4用的非接触运送装置4a。

运送步骤2及3用的非接触运送装置2a及3a将后述的上升流形成体6在运送用轨道5上按两列在图2的纸面上按上、下方向配置而构成，在图1的运送步骤2及3中，分别排列配置非接触运送装置2a及3a各三台。

如图3(a)及(b)所示，非接触运送装置2a及3a的运送用轨道5具备收纳孔部5g，该收纳孔部5g具有：圆筒壁面部5d，其穿设于运送用轨道基体5a和该轨道基体5a上面的运送面5b，并具有向该运送面5b开口的俯视为圆形的开口部5c；以及从该圆筒壁面部5d经由环状肩部5e而扩径的带状的扩径圆筒壁面部5f，该收纳孔部5g沿运送用轨道基体5a的长度方向X及宽度方向Y形成有多个。该运送用轨道5具备：沿该运送用轨道基体5a的长度方向X形成并从供给泵(未图示)供给空气的流体通路5h；和与该流体通路5h连通且用于将来自流体通路5h的空气向收纳孔部5g供给的、向该收纳孔部5g开口的贯通孔5i。

在形成于该运送用轨道基体5a的收纳孔部5g中，装配有例如由聚苯硫醚树脂(PPS)等热塑性合成树脂形成的上升流形成体6。

如图4(a)至(d)所示，上升流形成体6具备：有底的圆筒状基体部6c，其具有向上表面开口的俯视为圆形的开口部6a并且具有与该开口部6a连通的圆筒内壁面6b；在该圆筒状基体部6c的开口部6a的周缘向径向外侧伸出的环状凸缘部6d；卡合垂下部6f，其在该环状凸缘部6d的外周面6e沿该外周面6e的圆周方向且在径向上相对地向下方延伸有多个(在本实施方式中为四个)；在该卡合垂下部6f的下端向外侧突出的卡合突起部6g；和流体喷出孔6j，其从该圆筒状基体部6c的外周面6h向圆筒内壁面6b开口并且顶端部6i朝向该圆筒状基体部6c的中心O，为至少一个(在本实施方式中为一个)。

如图5所示，该上升流形成体6以将环状凸缘部6d的外周面6e压入嵌合到该收纳孔部5g的圆筒内壁面5d，并将卡合垂下部6f的卡合突起部6g卡合于该收纳孔部5g的环状肩部5e，并且使该环状凸缘部6d的上表面6k与该运送用轨道基体5a的运送面5b共面的方式装配在该收纳孔部5g中。

在运送用轨道基体5a的流体通路5h流动并从与该流体通路5h连通的贯通孔5i喷出到收纳孔部5g的空气，在装配于该收纳孔部5g中的上升流形成体6中，如图6及图7所示那样，从流体喷出孔6j喷出而碰撞到该圆筒状基体部6c的圆筒内壁面6b，成为向该圆筒内壁面6b的开口部6a上方喷雾状地散开的上升流，由该上升流来以非接触方式运送玻璃G，该流体喷出孔6j从圆筒状基体部6c的外周面6h向圆筒内壁面6b开口并且顶端部6i朝向该圆筒状基体部6c的中心O。

测定运送用轨道5和玻璃G之间的空气的压力分布，确认到从流体喷出孔6j喷出的空气碰撞到上升流形成体6的圆筒内壁面6b并向该圆筒内壁面6b的上方分散、扩散。这样，在上升流形成体6中，由于不产生负压，因此可增大浮起量，另外，从流体喷出孔6j喷出的空气由于碰撞到圆筒状基体部6c的圆筒内壁面6b，使空气的喷出速度下降并且成为呈喷雾状分散的上升流，所以能极力抑制向玻璃G施加应力。

图8(a)及(b)表示上升流形成体6的另一实施方式，上升流形成体7具备：有底的圆筒状基体部7c，其具有向上表面开口的俯视为圆形的开口部7a并且具有与该开口部7a连通的圆筒内壁面7b；在该圆筒状基体部7c的开口部7a的周缘向径向外侧伸出的环状凸缘部7d；卡合垂下部7f，其在该环状凸缘部7d的外周面7e沿该外周面7e的圆周方向且在径向上相对地向下方延伸有多个(在本实施方式中为四个)；在该卡合垂下部7f的下端向外侧突出的卡合突起部7g；和两个流体喷出孔7j及7j，其从该圆筒状基体部7c的外周面7h向圆筒内壁面7b开口、并且顶端部7i朝向该圆筒状基体部7c的中心O而相对。

虽然未图示，但与上述图5所示的上升流形成体6向收纳孔部5g的装配同样地，该上升流形成体7以将环状凸缘部7d的外周面7e压入嵌合到该收纳孔部5g的圆筒内壁面5d，使卡合垂下部7f的卡合突起部7g卡合于该收纳孔部5g的环状肩部5e，并且将该环状凸缘部7d的上表面7k与该运送用轨道基体5a的运送面5b共面的方式，装配于该收纳孔部5g中。

在运送用轨道5的流体通路5h流动并从与该流体通路5h连通的贯通孔5i喷出到收纳孔部5g的空气，在装配于该收纳孔部5g中的上升流形成体7中，如图9(a)及(b)所示那样，从流体喷出孔7j及7j喷出、空气彼此碰撞，成为向该圆筒内壁面7b的开口部7a上方呈喷雾状地散开的上升流，由该上升流以非接触方式运送玻璃G，该流体喷出孔7j及7j从圆筒状基体部7c的外周面7h向圆筒内壁面7b开口并且顶端部7i朝向该圆筒状基体部7c的中心O而相对。

在使用该上升流形成体7的情况下，在上升流形成体7中，不产生负压，因此可增大浮起量，而且，从流体喷出孔7j及7j喷出的空气通过空气彼此碰撞，使空气的喷出速度下降并且成为喷雾状分散的上升流，因此可极力抑制向玻璃G施加应力。

图10(a)及(b)表示运送用轨道5的另一实施方式，该运送用轨道8具备收纳孔部8g，该收纳孔部8g具有：圆筒壁面部8d，其穿设于运送用轨道基体8a和该轨道基体8a上面的运送面8b并且具有向该运送面8b开口的俯视为圆形的开口部8c；以及从该圆筒壁面部8d经由环状肩部8e扩径的带状的扩径圆筒壁面部8f，该运送用轨道8沿运送用轨道基体8a的长度方向X形成，从供给泵(未图示)供给空气的流体通路8h使其一部分向收纳孔部8g开口而形成。在该运送用轨道8，不需要上述图3(a)及(b)所示的运送用轨道5中的从流体通路5h向收纳孔部5g供给空气的贯通孔5i。

图11(a)及(b)表示在上述上升流形成体6或7的有底的圆筒状基体部6c或7c的圆筒内壁面6b或7b具备夹着该圆筒状基体部6c或7c的中心而相对的凹部6l或7l的上升流形成体6及7，具备该相对的凹部6l或7l的上升流形成体6及7是以下的产品：在对装配于上述运送用轨道5或8的收纳孔部5g或8g中的上升流形成体6及7的位置进行微调时，制作具备与开口部6a或7a的平面形状一致的平面形状的工具(未图示)，其中，该开口部6a或7a具备该圆筒内壁面6b或7b和与该圆筒内壁面6b或7b相对的凹部6l或7l，将该工具与上升流形成体6或7的开口部6a或7a嵌合，并且可通过旋转该工具来微调整形成于该上升流形成体6或7的连通流体喷出孔6j或7j的位置。

图12(a)及(b)表示上述图1所示的非接触运送装置1的处理步骤4用的非接触运送装置4a，该非接触运送装置4a在运送用轨道10的长度方向X和宽度方向Y上交错地配置产生上述上升流的上升流形成体6或7和吸入空气的真空吸引用的直径1～2mm左右的吸引孔9而形成。

如图12(b)所示，运送用轨道10具有由上板11、中板12及下板13构成的三层结构。

如图13(a)所示，沿长度方向X及宽度方向Y交错地具备多个收纳孔部11g和吸引孔9，该收纳孔部11g具有：圆筒内壁面部11c，其穿设于作为运送面的上表面11a并具有向该运送面11a开口的俯视为圆形的开口部11b；和扩径圆筒内壁面部11f，其从该圆筒内壁面部11c经由环状肩部11d而扩径并向该上板11的下表面11e开口，该吸引孔9与该收纳孔部11g相邻地从上板11的该上表面11a贯穿下表面11e而形成。

在该上板11的收纳孔部11g，上述上升流形成体6或7以将环状凸缘部6d或7d的外周面6e或7e压入嵌合于该收纳孔部11g的圆筒内壁面部11c，使卡合垂下部6f或7f的卡合突起部6g或7g卡合于该收纳孔部11g的环状肩部11d，并且将该环状凸缘部6d或7d的上表面6k或7k与该上板11的上表面11a共面的方式，装配于该收纳孔部11g中。

如图14(a)及(b)所示，中板12具备：空气供给凹槽12b，其在中板12的上表面12a形成的横截面为半圆形且将开口部朝向上方；和空气吸引凹槽12d，其在该中板12的下表面12c形成的横截面为半圆形且将开口部朝向下方。

如图16所示，空气供给凹槽12b与上升流形成体6或7的配置(参照图12(a))配合，形成为俯视呈菱形格子状。在空气供给凹槽12b的底部，如图14(b)所示，连通有向中板12的下表面12c开口的连通孔12e，如图17所示，该连通孔12e通过中板12整体而仅设置一个。如图12(b)所示，空气供给凹槽12b在将上板11、中板12及下板13层叠了时与上板11的收纳孔部11g的各个连通。

如图17所示，空气吸引凹槽12d与吸引孔9的配置(参照图12(a))配合地形成为俯视呈菱形格子状。再有，在图17中，为了便于理解空气吸引凹槽12d与空气供给凹槽12b的位置关系，用实线表示空气吸引凹槽12d，用虚线表示空气供给凹槽12b。

如图14(a)所示，在空气吸引凹槽12d，以与上板11的吸引孔9(参照图13(a))相同的直径连通有向中板12的上表面12a开口的多个连通孔12f。如图12(b)所示，这些连通孔12f在将上板11、中板12及下板13层叠了时与上板11的吸引孔9的各个连通。再有，在图17中，为了便于理解空气吸引凹槽12d的连通孔12f与空气供给凹槽12b的连通孔12e的位置关系，用黑圈表示前者，并用白圈表示与后述的真空吸引口结合的空气吸引凹槽12d的连通孔12f1。

如图17所示，该空气供给凹槽12b及空气吸引凹槽12d配置成在俯视时互不相同，形成为一方凹槽的交叉部位于另一方凹槽的格子内(参照空气供给凹槽12b的交叉部12g与空气吸引凹槽12d的格子12h的关系以及空气吸引凹槽12d的交叉部12i与空气供给凹槽12b的格子12j的关系)。而且，与空气吸引凹槽12d相连的多个连通孔12f与空气吸引凹槽12d的交叉部12i及角部12k连通，并配置于不与空气供给凹槽12b重叠的位置。此外，与空气供给凹槽12b相连的连通孔12e也与空气供给凹槽12b的交叉部12g连通，并配置于不与空气吸引凹槽12d重叠的位置。

如图12(b)所示，下板13具备：空气供给口13c，其向下板13的上表面13a开口且与中板12的连通孔12e(与空气供给凹槽12b连通的连通孔)连通，并且向该下板13的下表面13b开口；和真空吸引口13d，其向下板13的上表面13a开口且与中板12的空气吸引凹槽12d连通，并且向该下板13的下表面13b开口。该空气供给口13c及真空吸引口13d分别具备螺纹孔，在空气供给口13c的螺纹孔螺合固定有例如与压缩机连接的软管的前端的螺纹接头，在真空吸引口13d的螺纹孔螺合固定有例如与真空泵连接的软管的前端的螺纹接头。

而且，如图12(b)所示，通过使形成于上板11的收纳孔部11g与向中板12的上表面12a开口的空气供给凹槽12b连通，使吸引孔9与向中板12的上表面12a开口的连通孔12f连通，而使上板11位于中板12的上表面12a，使下板13的空气供给口13c与向中板12的下表面12c开口的连通孔12e结合，并且使真空吸引口13d与中板12的下表面12c的空气吸引凹槽12d结合，而使中板12位于下板13的上表面13a，从而形成运送用轨道10。运送用轨道10通过螺栓等固定单元将上板11、中板12及下板13紧固固定而形成。

图18至图20表示运送用轨道10的另一实施方式。运送用轨道10具有由上板11、中板12及下板13构成的三层结构，上板11具有与图13所示的上述运送用轨道10的上板11相同的构成。

如图19所示，中板12具备：空气供给凹槽12b，其向上表面12a开口且与上述上板11的各收纳孔部11g连通；一个连通孔12e，其向该空气供给凹槽12b开口且向下表面12c开口；和贯通孔12f，其与该空气供给凹槽12b相邻且与上述上板11的吸引孔9连通而向上表面12a及下表面12c开口。

如图20所示，下板13具备：空气供给口13c，其与所述中板12的连通孔12e结合；吸气吸引凹槽13e，其向上表面13a开口并且与上述中板12的贯通孔12f连通；以及真空吸引口13d，其与连通于该吸气吸引凹槽13e的贯通孔12f1结合。

而且，如图18所示，通过使形成于上板11的收纳孔部11g与向中板12的上表面12a开口的空气供给凹槽12b连通，使吸引孔9与向中板12的上表面12a开口的连通孔12f1连通，而使上板11位于中板12的上表面12a，使设置于下板13的空气供给口13c与向中板12的下表面12c开口的连通孔12e结合，并且使设置于下板13的真空吸引口13d与向中板12的下表面12c开口的贯通孔12f1结合，而使中板12位于下板13的上表面13a，从而形成运送用轨道10。运送用轨道10与上述运送用轨道同样地，通过螺栓等固定部件将上板11、中板12及下板13紧固固定而形成。该空气供给口13c及真空吸引口13d分别具备螺纹孔，在空气供给口13c的螺纹孔中螺合固定有例如与压缩机连接的软管的前端的螺纹接头，在真空吸引口13d的螺纹孔中螺合固定有例如与真空泵连接的软管的前端的螺纹接头。

这样，在这些运送用轨道10中，将空气供给凹槽12b及空气吸引凹槽12d形成为俯视呈菱形格子状，将这些空气供给凹槽12b及空气吸引凹槽12d按不同高度配置，并且配置成俯视时互不相同，因此不会使空气供给凹槽12b及空气吸引凹槽12d复杂地布置，在避免空气供给凹槽12b及空气吸引凹槽12d的干涉的同时能用单一的连续通路来形成各空气供给凹槽12b及空气吸引凹槽12d，流体通路的设计变得容易。此外，能用连续通路形成空气供给凹槽12b及空气吸引凹槽12d，所以空气供给凹槽12b与空气供给口13c的连接及空气吸引凹槽12d与真空吸引口13d的连接分别在一处就足够了，可降低运送用轨道10的制造成本。

此外，使运送用轨道10为三层结构，并将空气供给凹槽12b及空气吸引凹槽12d设置于中板12的上表面12a及下表面12c，所以空气供给凹槽12b及空气吸引凹槽12d的制作变得容易，可进一步降低制造成本。

在表示具有上述构成的处理步骤4用的非接触运送装置4a的图15及图20中，供给到运送用轨道10的空气供给口13c的空气，经由与空气供给口13c连通的连通孔12e向在运送用轨道10的中板12所形成的空气供给凹槽12b供给。供给到空气供给凹槽12b的空气，被供给到在运送用轨道10的上板11所形成的收纳孔部11g，从装配于该收纳孔部11g中的上升流形成体6的流体喷出孔6j喷出而碰撞到圆筒状基体部6c的圆筒内壁面6b，成为向该圆筒内壁面6b的开口部6a的上方呈喷雾状分散的上升流，在通过该上升流使玻璃G浮起的同时在向运送用轨道10的上板11的上表面11a开口的吸引孔9中对其进行吸引，通过该上升流所产生的浮起力与吸引孔9处的吸引力的平衡形成高精度的平面度并以非接触方式运送。

此外，在使用上升流形成体7的情况下，从上升流形成体7的流体喷出孔7j及7j喷出、空气彼此碰撞，成为向该圆筒内壁面7b的开口部7a的上方呈喷雾状分散的上升流，通过该上升流所产生的浮起力与向运送用轨道10的上板11的上表面11a开口的吸引孔9处的吸引力的平衡，形成高精度的平面度并以非接触方式运送。

在处理步骤4用的非接触运送装置4a中，在上升流形成体6或7不产生负压，因此能增大浮起量，另外，从流体喷出孔6j及7j喷出的空气，因为喷出速度下降并且成为喷雾状的分散的上升流，所以可极力抑制向玻璃G施加应力，还可通过呈喷雾状分散的上升流所产生的浮起力与向在运送用轨道10的上板11的上表面11a开口的吸引孔9处的吸引力的平衡，形成高精度的平面度并以非接触方式运送。

其次，一边参照图1至图17一边说明具有上述构成的非接触运送装置1的工作。再有，在以下的说明中，对使用上升流形成体6的情况进行说明。

在运送玻璃G时，在图1所示的运送步骤2及3的非接触运送装置2a及3a中，从供给泵供给到流体通路5h(参照图3)的空气，经由与该流体通路5h连通的贯通孔5i向收纳孔部5g被供给。接着，被供给到收纳孔部5g的空气从装配于该收纳孔部5g中的上升流形成体6的流体喷出孔6j喷出，并与该上升流形成体6的圆筒状基体部6c的圆筒内壁面6b碰撞，与该圆筒内壁面6b碰撞了的空气成为向该圆筒内壁面6b的开口部6a的上方呈喷雾状分散的上升流。

在运送步骤2中运送的玻璃G，通过在上升流形成体6产生的上升流而浮起，并且由另外设置的空气喷出装置(未图示)等施加推进力，朝向处理步骤4以非接触方式运送。在上升流形成体6中产生的上升流是在上升流形成体6的圆筒内壁面6b的开口部上方呈喷雾状分散的上升流，所以可极力抑制对通过该上升流而浮起的玻璃G施加应力。

如图15所示，在处理步骤4的非接触运送装置4a中，从供给泵供给到在运送用轨道10的下板13所形成的空气供给口13c的空气，经由与在中板12形成的空气供给口13c连通的连通孔12e，进入空气供给凹槽12b。进入了该空气供给凹槽12b的空气，进入形成于上板11的收纳孔部11g，从装配于该收纳孔部11g中的上升流形成体6的流体喷出孔6j喷出。

从该流体喷出孔6j喷出的空气碰撞到该上升流形成体6的圆筒状基体部6c的圆筒内壁面6b，产生向该圆筒内壁面6b的开口部6a的上方呈喷雾状分散的上升流。

此时，如图17所示，向上升流形成体6供给空气的空气供给凹槽12b由单一的连续凹槽形成，所以可抑制来自流体喷出孔6j的空气的喷出量按每个上升流形成体6而波动，并可均一地对玻璃的浮起量进行控制。

与此并行地，用真空泵从在运送用轨道10的下板13形成的真空吸引口13d吸引空气，通过在中板12形成的空气吸引凹槽12d及与该空气吸引凹槽12d连通的连通孔12f吸引形成于上板11的吸引孔9的上方空间的空气。此时，如图17所示，从吸引孔9吸引空气的空气吸引凹槽12d由单一的连续凹槽形成，所以可抑制来自吸引孔9的空气的喷出量按每个吸引孔9而波动，并可均一地对玻璃G的浮起量进行控制。

如图21所示，向处理步骤4运送的玻璃G通过在上升流形成体6产生的向上方呈喷雾状分散的上升流而浮起，并且用位于各上升流形成体6间的吸取孔9将周围的空气抽真空，从而高精度地控制30～50μm的浮起高度。在该处理步骤4中，进行对于玻璃G的各种检查和加工。

将检查和加工结束了的玻璃G向运送步骤3运送，然后，与运送步骤2的情况同样地以浮起的状态向下一步骤运送。

图22表示图1所示的非接触运送装置1的处理步骤4的另一实施方式，在该处理步骤4中，与并排排列的三台非接触运送装置4a相邻地还排列有三台非接触运送装置4a’。在排列有两列该非接触运送装置的处理步骤4中，在非接触运送装置4a与4a’之间，进行例如照相机透射检查等作业。

如上所述，本发明的上升流形成体具备至少一个流体喷出孔，该流体喷出孔从圆筒状基体部的外周面相圆筒内壁面开口且顶端部朝向该圆筒状基体部中心，从该流体喷出孔喷出的空气在圆筒内壁面的开口部的上方产生呈喷雾状分散的上升流，用该上升流使被运送物(玻璃等)浮起以进行运送，所以不仅能极力抑制向被运送物施加应力而且可减小被运送物的振幅，进一步因为不产生负压，所以可增大被运送物的浮起量。

在使用该上升流形成体的非接触运送装置的运送步骤中，由上升流形成体产生的喷出空气呈喷雾状分散而产生上升流，不产生负压，所以可增大被运送物的浮起高度地进行运送。此外，在处理步骤中，通过在上升流形成体产生的呈喷雾状分散的上升流而浮起，并且用位于各上升流形成体间的吸引孔将周围的空气抽真空，从而可高精度地控制为30～50μm的浮起高度，在上升流形成体产生的上升流不产生负压，所以可将运送时的被运送物的振幅抑制得较小。

附图标记说明：

1 非接触运送装置      2、3 运送步骤     4、4’ 处理步骤

5 运送用轨道          5a 运送用轨道基体  5b 运送面

5d 圆筒壁面部         5e 环状肩部        5f 扩径圆筒壁面部

5g 收纳孔部           5h 流体通路    5i 贯通孔

6、7 上升流形成体     6b、7b 圆筒内壁面

6c、7c 圆筒状基体部   6d、7d 环状凸缘部

6f、7f 卡合垂下部     6g、7g 卡合突起部    6i、7i 顶端部

6j、7j 流体喷出孔     9 吸引孔    10 运送用轨道

11 上板               11a 运送面(上表面)    11b 开口部

11c 圆筒内壁面部      11d 环状肩部    11e 下表面

11f 扩径圆筒内壁面部  11g 收纳孔部    12 中板

12b 空气供给凹槽      12d 空气吸引凹槽    13 下板

13c 空气供给口        13d 真空吸引口

Claims (8)

1.一种上升流形成体，其特征在于，具备：

有底的圆筒状基体部，其在内面具有圆筒内壁面；

环状凸缘部，其在该圆筒状基体部的开口部的周缘向径向外侧伸出；

多个卡合垂下部，其沿该环状凸缘部的外周缘的圆周方向且在径向上相对地向下方延伸；

卡合突起部，其在该卡合垂下部的下端向外方突出；和

至少一个流体喷出孔，其从所述圆筒状基体部的外周面向圆筒内壁面开口，并且顶端部朝向该圆筒状基体部的中心。

2.根据权利要求1所述的上升流形成体，其特征在于，

具备一个所述流体喷出孔，从该流体喷出孔喷出的流体碰撞该圆筒状基体部的圆筒内周壁，呈喷雾状向上方分散形成上升流。

3.根据权利要求1所述的上升流形成体，其特征在于，

设置有两个所述流体喷出孔，它们从圆筒状基体部的外周面向圆筒内壁面开口并且顶端部朝向该圆筒状基体部的中心地相对，从该两个流体喷出孔喷出的流体彼此碰撞，呈喷雾状向上方分散形成上升流。

4.根据权利要求1、2或3所述的上升流形成体，其特征在于，

所述上升流形成体由热塑性合成树脂形成。

5.一种非接触运送装置，其特征在于，

沿运送用轨道的长度方向及宽度方向形成有多个收纳孔部，该收纳孔部具备：圆筒壁面部，其具有向上表面开口的俯视呈圆形的开口部；和带状的扩径圆筒壁面部，其从该圆筒壁面部经由环状肩部而扩径，该运送用轨道具备沿其长度方向形成的流体通路和与该流体通路连通而向该收纳孔部开口的贯通孔，在该收纳孔部中，权利要求1至4中任一项所述的上升流形成体以使环状凸缘部的外周面压入嵌合于该收纳孔部的圆筒壁面部、并使卡合垂下部的卡合突起部与收纳孔部的环状肩部卡合的方式装配。

6.一种非接触运送装置，其特征在于，

沿运送用轨道的长度方向及宽度方向形成有多个收纳孔部，该收纳孔部具备：圆筒壁面部，其具有向上表面开口的俯视呈圆形的开口部；和带状的扩径圆筒壁面部，其从该圆筒壁面部经由环状肩部而扩径，该运送用轨道具备沿其长度方向形成并向该收纳孔部开口的流体通路，在该收纳孔部中，权利要求1至4中任一项所述的上升流形成体以使环状凸缘部的外周面压入嵌合于该收纳孔部的圆筒壁面部、并使卡合垂下部的卡合突起部与收纳孔部的环状肩部卡合的方式装配。

7.一种非接触运送装置，其特征在于，

具有由上板、中板和下板构成的运送用轨道，其中，

该上板具备收纳孔部和吸引孔，其中，该收纳孔部具备：圆筒壁面部，其具有向上表面开口的俯视呈圆形的开口部；和扩径圆筒壁面部，其从该圆筒壁面部经由环状肩部而扩径且向下表面开口，该吸引孔与该收纳孔部相邻地穿设；

该中板具备：向上表面开口并与所述上板的收纳孔部连通的流体供给凹槽；与该流体供给凹槽连通并向下表面开口的连通孔；和流体吸引凹槽，其与该流体供给凹槽相邻地穿设并连通于与所述上板的吸引孔连通的连通孔且向下表面开口；和

该下板具备与该中板的连通孔连通的流体供给口和与流体吸引凹槽连通的真空吸引口，

在该运送用轨道的该上板的收纳孔部中，权利要求1至4中任一项所述的上升流形成体以使环状凸缘部的外周面压入嵌合于该收纳孔部的圆筒壁面部、并使卡合垂下部的卡合突起部与收纳孔部的环状肩部卡合的方式装配。

8.一种非接触运送装置，其特征在于，

具有由上板、中板和下板构成的运送用轨道，其中，

该上板沿长度方向及宽度方向交替地具备多个收纳孔部和吸引孔，其中，该收纳孔部具备：圆筒壁面部，其具有向上表面开口的俯视呈圆形的开口部；和扩径圆筒壁面部，其从该圆筒壁面部经由环状肩部而扩径且向下表面开口；该吸引孔，其与该收纳孔部相邻地穿设且向上、下表面开口；

该中板具备：向上表面开口且与所述上板的收纳孔部连通的流体供给凹槽；向该流体供给凹槽开口并且向下表面开口的一个连通孔；和贯通孔，其与该流体供给凹槽相邻并与所述上板的吸引孔连通而向上、下表面开口；

该下板具备：与该中板的连通孔结合的流体供给口；向上表面开口并且与所述中板的贯通孔连通的流体吸引凹槽；和与该流体吸引凹槽结合的真空吸引口，

在该运送用轨道的该上板的收纳孔部中，权利要求1至4中任一项所述的上升流形成体以使环状凸缘部的外周面压入嵌合于该收纳孔部的圆筒壁面部、并使卡合垂下部的卡合突起部与收纳孔部的环状肩部卡合的方式装配。