CN103298717B - 非接触运送装置 - Google Patents

Abstract

提供可防止负压的产生且可减小被运送物的端部的振幅、并且可增大浮起量并可通过真空吸引口的开闭操作来极力减小被运送物的浮起量的变化的非接触运送装置。非接触运送装置（4a）包括运送轨道（8）和上升流形成体（6），该运送轨道（8）包括：上板（9），其沿长度方向及宽度方向交错地具备多个收纳孔部和吸引孔；中板（10），其具备：与上板的各收纳孔部连通的连续的空气供给路径；向空气供给路径开口的连通孔；和与连通孔相邻且与吸引孔连通的通孔；和下板（11），其具备：与中板的连通孔结合的一个空气供给口；与中板的通孔连通的空气吸引路径；和与该空气吸引路径结合的真空吸引口，该上升流形成体（6）安装于收纳孔部，形成于下板的空气吸引路径沿长度方向被分割为至少两个以上块部，在各块部的空气吸引路径分别结合一个真空吸引口。

Description

非接触运送装置

技术领域

本发明涉及非接触运送装置，特别涉及在大型的液晶显示器（LCD）和/或等离子显示器（PDP）等FPD（平板显示器）和/或太阳能电池板（太阳能板）等的生产中使用的非接触运送装置。

背景技术

以往，在FDP和/或太阳能电池板等的生产时，采用通过使一个板大型化来提高生产效率的方法。例如，在液晶面板的情况下，第十代为2850×3050×0.7mm的大小。因此，如果像以往那样在排列多个的辊上装载液晶玻璃来滚动运送，则由于支撑辊的轴的弯曲和/或辊高度的尺寸波动而在液晶玻璃上局部地作用较强的力，有可能损伤该液晶玻璃。

由上述辊所形成的滚动运送装置不能在要求该装置和面板为非接触的例如FPD的处理步骤中采用，近年来，开始采用空气浮起的运送装置。作为非接触运送装置，存在在板状的运送轨道的一部分使用多孔质材料（多孔质烧制金属等）并使其与空气供给路径连通来进行供气、从而通过喷出空气使FPD浮起运送的装置。然而，如果使用该非接触运送装置，则FPD成为一边在上下方向上移动一边浮游的状态，因此，虽然可用于运送步骤，但是，根本不能在例如要求30～50μm的高精度的浮起高度的处理步骤中采用。

此外，当在使用上述多孔质材料的板状运送轨道以高精度维持浮起量为目的而设置抽真空用的孔时，装置的构成变得复杂并且装置自身变得高价，另外，当为了高精度维持浮起高度而提高供气压力时，发生与高刚性空气的压缩性相关的自激振动，存在不能高精度地保持浮起高度的问题。

再有，虽然也存在与抽真空用的孔交错地穿设了锐孔（小径的孔）来 代替多孔质材料的装置，但是，因来自锐孔的较强的喷出空气产生静电、或者扰乱净室的环境，存在消耗电流增大而使运转成本增加的问题。

于是，在专利文献1中，作为流体流量及能量消耗量少、可高精度地维持浮起高度的非接触运送装置，提出了下述非接触运送装置：在运送轨道的运送面具备两个以上回旋流形成体，该回旋流形成体通过从流体喷出口喷出流体而在环状部件的表面侧产生朝向从该表面侧远离的方向的回旋流，并且在环状部件的表面侧的开口部附近产生朝向背面方向的流体流。

现有技术文献 

专利文献

专利文献1：国际专利申请公开第2009/119377号公报。

发明内容

发明所要解决的问题

虽然上述专利文献1记载的非接触运送装置是在环状部件的表面侧产生朝向从该表面侧远离的方向的回旋流而使运送物（面板等）浮起的装置，而回旋流的中心部产生负压且在具有可防止运送物的过度浮起的效果。另一方面也发现了运送物的端部的振幅增大的缺点以及如果处理步骤中的基于回旋流所产生的负压和抽真空的负压重叠则基于回旋流所产生的浮起功能消失、会局部地与运送轨道接触的不良情况。

此外，也发现通过将抽真空用的孔用连通的一条连续的吸引路径连接、将与该吸引路径结合的一个真空吸引口设为开闭状态，真空压力变化、被运送物的浮起量的变化增大的问题。

本发明鉴于上述问题而研制，其目的是提供可防止负压的产生且可减小被运送的被运送物的端部的振幅、并且可增大浮起量且也可通过真空吸引口的开闭操作来极力减小被运送物的浮起量的变化的非接触运送装置。

用于解决问题的技术方案

为实现上述目的，本发明的非接触运送装置，其特征在于，包括运送轨道和上升流形成体，该运送轨道包括上板、中板和下板，该上板中沿长 度方向及宽度方向交错地具备多个收纳孔部和吸引孔，该收纳孔部具备：具有在上表面开口的俯视为圆形的开口部的圆筒壁面部；和从该圆筒壁面部经由环状肩部而扩径并在下表面开口的扩径圆筒壁面部，该吸引孔与该收纳孔部相邻地穿设并在上、下表面开口，该中板具备：在上表面开口且与所述上板的各收纳孔部连通的连续的空气供给路径；一端部向该空气供给路径开口而另一端部在下表面开口的连通孔；和与该连通孔相邻、一端部与所述上板的吸引孔连通而另一端部在下表面开口的通孔，该下板具有：与该中板的连通孔结合的一个空气供给口；在上表面开口且与所述中板的通孔连通的空气吸引路径；和与该空气吸引路径结合的真空吸引口，该上升流形成体安装于该运送轨道的上板的收纳孔部，形成于所述下板的空气吸引路径沿长度方向被分割为至少两个以上块部，在各块部的空气吸引路径分别结合一个真空吸引口。

根据本发明的非接触运送装置，抽真空用的空气吸引路径沿长度方向（被运送物的运送方式）被分割为至少两个以上块部，在各块部的空气吸引路径分别结合一个真空吸引口，因此不会通过真空吸引口的开闭操作而使空气吸引路径全开或全闭地沿运送方向按每个块部进行真空吸引口的开闭操作，因此能极力减小被运送物的浮起量的变化。

发挥上述作用效果的本发明的非接触运送装置可以是以下构成，包括运送轨道和上升流形成体，该运送轨道包括上板、中板和下板，该上板中沿长度方向及宽度方向交错地具备多个收纳孔部和吸引孔，该收纳孔部具备：具有在上表面开口的俯视为圆形的开口部的圆筒壁面部；和从该圆筒壁面部经由环状肩部而扩径并在下表面开口的扩径圆筒壁面部，该吸引孔与该收纳孔部相邻地穿设并在上、下表面开口，该中板具备：在上表面开口且与所述上板的收纳孔部连通的连续的空气供给路径；一端部向该空气供给路径开口而另一端部在下表面开口的一个连通孔；和一端部在所述上板的吸引孔开口而另一端部向在下表面开口的空气吸引路径开口的通孔，该下板具备与所述中板的通孔连通的空气供给口和与所述中板的空气吸引路径结合的真空吸引口，该上升流形成体安装于所述上板的收纳孔部，形成于所述中板的空气吸引路径沿长度方向被分割为至少两个以上块部，在各块部的空气吸引路径分别结合一个真空吸引口。

在本发明的非接触运送装置中，使运送轨道成为上板、中板及下板的三层结构，此外，通过在中板的上表面设置空气供给路径且在下板的上表面设置空气吸引路径，或者通过在中板的上表面、下表面设置空气供给路径及空气吸引路径，从而使空气供给路径及空气吸引路径的制作变得容易，可进一步降低制造成本。而且，具有上述构成的非接触运送装置特别适用于需要运送步骤的高精度平面度的处理步骤。

在上述非接触运送装置的上板的收纳孔部中安装的上升流形成体具备：有底的圆筒状基体部，其在内表面具有圆筒内壁面；环状凸缘部，其在该圆筒状基体部的开口部的周缘向径向外侧伸出；多个卡合垂下部，其沿该环状凸缘部的外周缘的周向且在径向上相对地向下方延伸；卡合突起部，其在该卡合垂下部的下端向外侧突出；和至少一个流体喷出孔，其从该圆筒状基体部的外周面开口到圆筒内壁面并且前端部朝向该圆筒状基体部的中心，在所述运送轨道的上板的收纳孔部中，通过将所述环状突部的外周面压入嵌合于该收纳孔部的圆筒壁面部，并使所述卡合垂下部的卡合突起部与所述环状肩部卡合，而安装该上升流形成体。

由通过上述的上升流形成体产生的喷出空气按喷雾状分散而形成上升流，因此不会向被运送物（面板等）施加应力，并且可减小被运送物的振幅，还不会产生负压，因此能增大被运送物的浮起量。

 上述上升流形成体优选通过对热塑性合成树脂进行注塑成型而形成， 作为热塑性合成树脂，可举出聚苯硫醚树脂（PPS）。

发明效果

如上所述，根据本发明，能提供不向被运送物施加应力且能减小被运送物的振幅、还不发生负压、所以可增大被运送物的浮起量的非接触运送装置。

附图说明

图1是表示本发明涉及的非接触运送装置的一个实施方式的图，且是表示包括运送步骤及处理步骤的整体构成的俯视图。

图2是表示图1的运送步骤用的非接触运送装置的图，（a）是俯视图，（b）是（a）的A-A线剖视图。

图3是表示图2（b）的上板的图，（a）是表示没有安装上升流形成体的状态的剖视图，（b）是表示安装有上升流形成体的状态的剖视图。

图4是表示图2（b）的中板的图，且是图7的B-B线剖视图。

图5是表示图2（b）的下板的图，且是图8的C-C线剖视图。

图6是表示图2（b）的下板的图，且是图8的D-D线剖视图。

图7是图2（b）的中板的仰视图。

图8是图2（b）的下板的仰视图。

图9是表示本发明的非接触运送装置所使用的上升流形成体的图，（a）是主视图，（b）是俯视图，（c）是仰视图，（d）是（c）的E-E线剖视图。

图10是经由上升流形成体空气按喷雾状向上方分散而形成上升流的说明图，（a）是俯视图，（b）是剖视图。

图11是表示运送步骤用的非接触运送装置中的玻璃的浮起运送的剖视图。

图12是表示本发明的非接触运送装置所使用的另一方式的上升流形成体的图，（a）是仰视图，（b）是（a）的F-F线剖视图。

图13是经由另一方式的上升流形成体空气按喷雾状向上方分散而形成 上升流的说明图，（a）是俯视图，（b）是剖视图。

图14是表示图1的运送步骤用的另一方式的非接触运送装置的图，（a）是俯视图，（b）是（a）的G-G线剖视图。

图15是表示图14（b）的上板的图，（a）是表示没有安装上升流形成体的状态下的上板的剖视图，（b）是表示安装有上升流形成体的状态下的上板的剖视图。

图16是表示图14（b）的中板的剖视图，（a）是图17的H-H线剖视图，（b）是图17的I-I线剖视图。

图17是图14（b）的中板的俯视图。

图18是图14（b）的中板的仰视图。

图19是表示图14的运送步骤用的另一方式的非接触运送装置中的玻璃的浮起运送的剖视图。

具体实施方式

下面，参照附图来详细说明本发明的实施方式。再有，在以下的说明中，以使用空气来作为运送用流体、将液晶玻璃（以下简称为“玻璃”）作为被运送物来进行运送的情况为例进行说明。

如图1所示，非接触运送装置1用于以非接触方式来运送玻璃G，该非接触运送装置1的构成包括：两个运送步骤2及3用的非接触运送装置2a及3a；和位于该运送步骤2及3之间的处理步骤4用的非接触运送装置4a。

运送步骤2及3用的非接触运送装置2a及3a将后述的上升流形成体6在运送轨道5上以两列在图1的纸面上配置于上、下方向而构成，在图1的运送步骤2及3中，将非接触运送装置2a及3a分别并列配置三个。

如图2（a）、（b）所示，非接触运送装置1的处理步骤4用的非接触运送装置4a形成为，在运送轨道8的长度方向和宽度方向上交错地配置多个产生空气的上升流的上升流形成体6和吸入空气的真空吸引用的直径1～2mm左右的吸引孔7。

如图2（b）所示，运送轨道8具有包括上板9、中板10及下板11的三层 结构。

如图3（a）所示，上板9如图2所示那样沿该上板9的长度方向X及宽度方向Y交错地具备多个收纳孔部9g和吸引孔7，该收纳孔部9g具有：圆筒内壁面部9c，其具有穿设于作为运送面的上表面9a并在该上表面9a开口的俯视为圆形的开口部9b；和扩径圆筒内壁面部9f，其从圆筒内壁面部9c经由环状肩部9d而扩径并在该上板9的下表面9e开口，该吸引孔7与该收纳孔部9g相邻地从上板9的上表面9a向下表面9e贯穿而形成。

回到图3，在该上板9的收纳孔部9g中安装由例如聚苯硫醚树脂（PPS）等热塑性合成树脂形成的上升流形成体6。如图9（a）至（d）所示，上升流形成体6具备：具有在上表面开口的俯视为圆形的开口部6a且具有与该开口部6a连通的圆筒内壁面6b的有底的圆筒状基体部6c；在该圆筒状基体部6c的开口部6a的周缘向径向外侧伸出的环状凸缘部6d；在该环状凸缘部6d的外周面6e沿该外周面6e的周向且在径向上相对地向下方延伸的多个（在本实施方式中为四个）卡合垂下部6f；在该卡合垂下部6f的下端向外侧突出的卡合突起部6g；和从该圆筒状基体部6c的外周面6h开口到圆筒内壁面6b并且前端部6i朝向该圆筒状基体部6c的中心O的至少一个（在本实施方式中为一个）流体喷出孔6j。

如图3（b）所示，该上升流形成体6将环状凸缘部6d的外周面6e压入嵌合于该上板9的收纳孔部9g的圆筒内壁面部9c，并使卡合垂下部6f的卡合突起部6g卡合于该收纳孔部9g的环状肩部9d，并且使该环状凸缘部6d的上表面6k与该上板9的上表面9a共面而安装于该收纳孔部9g。

如图10（a）及（b）所示，该上升流形成体6使从流体喷出孔6j喷出的空气碰撞到圆筒状基体部6c的圆筒内壁面6b，在该空气中产生向该圆筒内壁面6b的开口部6a上方按喷雾状分散的上升流（图10（a）及（b）中的箭头），通过该上升流以非接触方式运送玻璃G，

在上升流形成体6中，不产生负压，因此可增大作为被运送物的玻璃G的运送时的浮起量，而且，从流体喷出孔6j喷出的空气通过碰撞到圆筒状基体部6c的圆筒内壁面6b，从而使空气的喷出速度下降并且成为按喷雾状 分散的上升流，因此能极力抑制向玻璃G施加应力。

如图4及图7所示，中板10具备：在中板10的上表面10a与形成于上述上板9的多个收纳孔部9g分别连通的一个连续的横截面为半圆形的作为空气供给路径的空气供给凹槽10b；一端部在该空气供给凹槽10b开口，另一端部在该中板10的下表面10c开口的一个连通孔10d；和一端部在形成于上述上板9的吸引孔7开口，另一端部在该中板10的下表面10c开口的多个通孔10e。

如图5、图6及图8所示，下板11具备：在该下板的上表面11a将形成于上述中板10的多个通孔10e···10e的中板10的下表面10c侧的开口部沿长度方向分割为四个块部11b1、11b2、11b3及11b4（参照图7及图8），并与位于分割出的各块部11b1、11b2、11b3及11b4的通孔10e1、10e2、10e3、10e4的开口部分别连通的连续的四个截面为半圆形的作为空气吸引路径的空气吸引凹槽11c1、11c2、11c3及11c4；与各块部11b1、11b2、11b3及11b4的空气吸引凹槽11c1、11c2、11c3及11c4分别结合的真空吸引口11d1、11d2、11d3及11d4；和与形成于上述中板10的一个连通孔10d结合的空气供给口11e。

而且，如图2（b）所示，使形成于上板9的多个收纳孔部9g与在中板10的上表面10a开口的一个连续的截面为半圆形状的空气供给凹槽10b连通，使多个吸引孔7与在中板10的上表面10a开口的多个通孔10e连通，而使该上板9位于中板10的上表面10a，使设置于下板11的空气供给口11e与在中板10的下表面10c开口的连通孔10d结合，并且使截面为半圆形状的空气吸引凹槽11c1、11c2、11c3及11c4与在中板10的下表面10c开口的各块部11b1、11b2、11b3及11b4的通孔10e1、10e2、10e3、10e4连通，并且使真空吸引口11d1、11d2、11d3及11d4与空气吸引凹槽11c1、11c2、11c3及11c4结合，而使中板10位于下板11的上表面11a，从而形成运送轨道8。该运送轨道8通过将上板9、中板10及下板11用螺栓等固定构件紧固固定而形成。

在表示具有上述构成的处理步骤4用的非接触运送装置4a的图11中，被供给到运送轨道8的空气供给口11e的压缩空气，经与空气供给口11e连通的 连通孔10d而向在运送轨道8的中板10的上表面10a形成的一个连续的空气供给凹槽10b供给。被供给到空气供给凹槽10b的压缩空气，被供给到在运送轨道8的上板9形成的多个收纳孔部9g，从安装于该收纳孔部9g的上升流形成体6的流体喷出孔6j分别喷出而碰撞到圆筒状基体部6c（参照图3（b））的圆筒内壁面6b，成为向该圆筒内壁面6b的开口部6a的上方按喷雾状分散的上升流，在通过该上升流来使玻璃G浮起的同时，在运送轨道8的上板9的上表面9a开口的吸引孔7中，如图8所示，进行来自与各块部11b1、11b2、11b3及11b4的供气吸引凹槽11c1、11c2、11c3及11c4结合的真空吸引口11d1、11d2、11d3及11d4的吸引，通过由该上升流所产生的浮起力和吸引孔处的吸引力的平衡，该玻璃G形成高精度的平面度而以非接触方式被运送。

如上所述，在上述非接触运送装置4a中，作为空气吸引路径的空气吸引凹槽11c沿长度方向X被分割为块部11b1、11b2、11b3及11b4这四个块部，在各块部11b1、11b2、11b3及11b4的空气吸引凹槽11c1、11c2、11c3及11c4分别结合有一个真空吸引口11d1、11d2、11d3及11d4，因此按每个空气吸引凹槽11c1、11c2、11c3及11c4进行真空吸引口11d1、11d2、11d3及11d4的开闭操作，因而真空吸引力不会下降地沿运送方向按每个块部进行真空吸引口11d1、11d2、11d3及11d4的开闭操作，因此能极力减小玻璃G的浮起量的变化。

此外，在非接触运送装置4a的上升流形成体6中，不产生负压，因此能增大玻璃G的运送时的浮起量，而且，从流体喷出孔6j喷出的空气通过碰撞到圆筒状基体部6c的圆筒内壁面6b而使空气的喷出速度下降，并且成为按喷雾状分散的上升流，因此能极力抑制向玻璃G施加应力。

图12（a）、（b）表示上升流形成体6的另一实施方式，上升流形成体60具备：具有在上表面开口的俯视为圆形的开口部60a并且具有与该开口部60a连通的圆筒内壁面60b的有底的圆筒状基体部60c；在该圆筒状基体部60c的开口部60a的周缘向径向外侧伸出的环状凸缘部60d；在该环状凸缘部60d的外周面60e沿该外周面60e的周向且在径向上相对地向下方延伸的多 个（在本实施方式中为四个）卡合垂下部60f；在该卡合垂下部60f的下端向外侧突出的卡合突起部60g；和从该圆筒状基体部60c的外周面60h开口到圆筒内壁面60b开口并且前端部60i朝向该圆筒状基体部60c的中心O而相对的两个流体喷出孔60j及60j。

虽然未图示，但与上述图2（b）或图（b）所示的上升流形成体6向收纳孔部9g的安装同样，该上升流形成体60将环状凸缘部60d的外周面60e压入嵌合到该收纳孔部9g的圆筒内壁面部9c，并将卡合垂下部60f的卡合突起部60g卡合于该收纳孔部9g的环状肩部9d，并且使该环状凸缘部60d的上表面60k与该上板9的上表面9a共面而安装于该收纳孔部9g。

如图12及图13（a）及（b）所示，该上升流形成体60使从流体喷出孔7j及7j喷出的空气彼此碰撞，在该空气中产生向该圆筒内壁面60b的开口部60a上方按喷雾状分散的上升流，通过该上升流以非接触方式运送玻璃G，该流体喷出孔60j、60j从圆筒状基体部60c的外周面60h开口到圆筒内壁面60b并且前端部60i朝向该圆筒状基体部60c的中心O而相对。

在该上升流形成体60中，与上述上升流形成体6同样，也不产生负压，因此可增大运送时的玻璃G的浮起量，而且，从流体喷出孔60j、60j喷出的空气通过空气彼此碰撞而使空气的喷出速度下降并成为按喷雾状分散的上升流，因此可极力抑制向玻璃G施加应力。

图14（a）、（b）是表示上述图1所示的非接触运送装置1的处理步骤4用的非接触运送装置4a中的运送轨道8的另一实施方式，运送轨道80与上述运送轨道8同样，具有包括上板90、中板100及下板110的三层结构。

如图15（a）、（b）所示，与上述运送轨道8的上板9同样，运送轨道80的上板90如图14所示沿长度方向X及宽度方向Y交错地具备多个收纳孔部90g和吸引孔70，该收纳孔部90g具有：圆筒内壁面部90c，其具有穿设于作为运送面的上表面90a并在该上表面90a开口的俯视为圆形的开口部90b；和扩径圆筒内壁面部90f，其从该圆筒内壁面部90c经由环状肩部90d而扩径并在上板90的下表面90e开口，该吸引孔70与该收纳孔部90g相邻地从上板90的上表面90a向下表面90e贯通而形成。

在该上板90的收纳孔部90g，上述上升流形成体6将环状凸缘部6d的外周面6e压入嵌合于该收纳孔部90g的圆筒内壁面部90c，并使卡合垂下部6f的卡合突起部6g卡合于该收纳孔部90g的环状肩部90d，并且使该环状凸缘部6d的上表面6k与该上板90的上表面90a共面，从而安装于该收纳孔部90g。

如图16（a）、（b）所示，中板100具备：在中板100的上表面100a形成的向上方开口的截面为半圆形的作为空气供给路径的空气供给凹槽100b；和在该中板100的下表面100c形成的向下方开口的截面为半圆形的作为空气吸引路径的空气吸引凹槽100d。

如图17所示，空气供给凹槽100b与上升流形成体6的配置（参照图14（a））一致，形成为俯视呈菱形格子状。在空气供给凹槽100b的底部，如图16（b）所示，连通设置有在中板100的下表面100c开口的连通孔100e，如图17所示，该连通孔100e穿过中板100的整体而仅设置一个。如图14（b）所示，空气供给凹槽100b在使上板90、中板100及下板110层叠时与上板90的收纳孔部90g的各个连通。

如图14（a）、图16（a）、（b）、图17及图18所示，空气吸引凹槽100d1、100d2，与在上板90形成的吸引孔70直径相同，将一端部在中板100的上表面100a开口而形成的多个连通孔100f的另一端部的开口部沿该中板100的长度方向分割为两个块部100g、100h，并将位于分割出的各块部100g、100h上的多个连通孔100f1···100f1、···100f2的开口部分别连通，而形成。

如图14（b）所示，下板110具备：在下板110的下表面110a开口且在与上述中板100的空气供给凹槽100b连通的连通孔100e开口，并且在下板110的下表面110b开口的一个空气供给口110c；和在下板110的上表面110a开口且与在上述中板100的下表面100c开口而形成的各块部100g、100h的空气吸引凹槽100d1、100d2连通，并且在下板110的下表面110b开口的真空吸引口110d1（未图示）、110d2。

而且，如图14（b）所示，使在中板100的上表面100a开口的连续的一 个空气供给凹槽100b连通于在上板90沿该上板90的长度方向X及宽度方向Y形成多个的收纳孔部90g的各个，并使吸引孔70与在中板100的上表面100a开口的多个连通孔100f连通，以使该上板90位于中板100的上表面100a，并使在下板110形成的空气供给口110c结合于连通于在中板100形成的空气供给凹槽100b并且在该中板100的下表面100c开口的一个连通孔100e，并使在下板110形成的真空吸引口110d在中板100的下表面100c结合于位于由分割形成的两个块部100g、100h所构成的空气吸引凹槽100d1、100d2的各块部100g、100h的连通孔100f1、100f2，以使该中板100位于下板110的上表面110a，从而形成运送轨道80。运送轨道80通过螺栓等固定单元将上板90、中板100及下板110紧固固定而形成。

在表示具有上述构成的处理步骤4用的非接触运送装置4a的图19中，被供给到在运送轨道80的下板110设置的空气供给口110c的压缩空气，经与空气供给口110c连通的连通孔100e而向在运送轨道80的中板100的上表面100a形成的一个连续的作为空气供给路径的截面为半圆形的空气供给凹槽100b供给。被供给到空气供给凹槽100b的压缩空气，被向在运送轨道80的上板90形成的多个收纳孔部90g供给，从安装于该收纳孔部90g的上升流形成体6的流体喷出孔6j喷出，从流体喷出孔6j喷出的空气如图10所示那样碰撞到圆筒状基体部6c的圆筒内壁面6b而生成向该圆筒内壁面6b的开口部6a的上方按喷雾状分散的上升流，在通过该上升流使玻璃G浮起的同时，在运送轨道80的上板90的上表面90a开口的吸引孔70中，如图18所示，进行从与在运送轨道80的中板100的下表面100c形成的各块部100g及100h的空气吸引凹槽100d1、100d2结合的真空吸引口110d1（未图示）、110d2的吸引，通过由在该上升流形成体6中生成的上升流所产生的浮起力和吸引孔处的吸引力的平衡，气体G形成高精度的平面度以非接触方式被运送。

在上述非接触运送装置4a中，空气吸引凹槽100d沿长度方向X被分割为块部100g、100h这两个块部，在各块部100g、100h的空气吸引凹槽100d1、100d2分别结合有一个真空吸引口110d1、110d2，因此按空气吸引凹槽110d1、110d2的每个进行真空吸引口110d1、110d2的开闭操作，因而真空 吸引力不会下降地沿运送方向按每个块部进行真空吸引口100d1、100d2的开闭操作，因此能极力减小玻璃G的浮起量的变化。

此外，在非接触运送装置4a的上升流形成体6中，不产生负压，因此能增大玻璃G的运送时的浮起量，而且，从流体喷出孔6j喷出的空气通过碰撞到圆筒状基体部6c的圆筒内壁面6b而使空气的喷出速度下降，并且成为按喷雾状分散的上升流，因此能极力抑制向玻璃G施加应力。此外，即使使用上升流形成体60作为上升流形成体6也可得到同样的作用效果。

被运送到上述处理步骤4送的玻璃G，通过由上升流形成体6或60产生的向上方按喷雾状分散的上升流而浮起，并且用位于各上升流形成体6或60间的吸引孔7或70将周围的空气抽真空，从而高精度地控制为30～50μm的浮起高度。在该处理步骤4中，进行对于玻璃G的各种检查和/或加工。将结束了检查和/或加工的玻璃G向运送步骤3运送，然后以浮起的状态向下一步骤运送。

如上所述，本发明的非接触运送装置具备：在运送轨道的运送面沿该运送轨道的长度方向及宽度方向交错地设置的多个上升流形成体和吸引孔；与各上升流形成体连通的一个连续的作为空气供给路径的空气供给凹槽和与该空气供给凹槽结合的空气供给口；将在运送面开口的吸引孔的另一端部的开口部沿该运送轨道的长度方向至少分割为两个块部、并与位于分割出的各块部的吸引孔的开口部分别连通的连续的一个作为空气供给路径的空气供给凹槽和与该空气吸引凹槽结合的真空吸引口，从空气供给口供给的压缩空气通过空气供给凹槽被供给到上升流形成体，在上升流形成体中产生向该上升流形成体的开口部的上方按喷雾状分散的上升流，通过该上升流使被运送物浮起，并且在吸引孔中经由空气吸引凹槽进行从真空吸引口的吸引，通过在该上升流形成体中产生的浮起力和吸引孔处的吸引力的平衡，具有高精度的平面度地以非接触方式运送被运送物。

根据包括上述构成的本发明的非接触运送装置，空气吸引凹槽沿长度方向被分割为至少两个块部，在各块部的空气吸引凹槽分别结合有一个真空吸引口，因此按每个空气吸引凹槽进行真空吸引口的开闭操作，因而可 真空吸引力不下降地极力抑制被运送物的浮起量的变化。

此外，在上述非接触运送装置的上升流形成体中，不产生负压，因此可增大被运送物的运送时的浮起量，而且，从流体喷出孔喷出的空气使空气的喷出速度下降并且成为按喷雾状分散的上升流，因此能极力抑制向被运送物施加应力。

附图标记说明：

1非接触运送装置  2、3运送步骤  4处理步骤

4a处理步骤用的非接触运送装置  6、60上升流形成体

7、70吸引孔  8、80运送轨道  9、90上板

10、100中板  11、110下板  10b、100b空气供给凹槽

10e通孔  11c1、11c2、11c3、11c4空气吸引凹槽

Claims (5)

1.一种非接触运送装置，其特征在于，包括运送轨道和上升流形成体，该运送轨道具备：

上板，其沿长度方向及宽度方向交错地具备多个收纳孔部和吸引孔，该收纳孔部具有：具有在上表面开口的俯视为圆形的开口部的圆筒壁面部；和从该圆筒壁面部经由环状肩部而扩径并在下表面开口的扩径圆筒壁面部，该吸引孔与该收纳孔部相邻地穿设并在上、下表面开口；

中板，其具备：在上表面开口且与所述上板的各收纳孔部连通的连续的空气供给路径；一端部在该空气供给路径开口而另一端部在下表面开口的连通孔；和与该连通孔相邻、一端部与所述上板的吸引孔连通而另一端部在下表面开口的通孔；和

下板，其具备：与该中板的连通孔结合的一个空气供给口；在上表面开口且与所述中板的通孔连通的空气吸引路径；和与该空气吸引路径结合的真空吸引口；

该上升流形成体安装于该运送轨道的上板的收纳孔部，

形成于所述下板的空气吸引路径沿长度方向被分割为至少两个以上的块部，在各块部的空气吸引路径分别结合一个真空吸引口，

所述上升流形成体具备：

有底的圆筒状基体部，其在内表面具有圆筒内壁面；

环状凸缘部，其在该圆筒状基体部的开口部的周缘向径向外侧伸出；

多个卡合垂下部，其沿该环状凸缘部的外周缘的周向且在径向上相对地向下方延伸；

卡合突起部，其在该卡合垂下部的下端向外侧突出；和

至少一个流体喷出孔，其从所述圆筒状基体部的外周面开口到圆筒内壁面并且前端部朝向该圆筒状基体部的中心，

所述上升流形成体通过将所述环状凸缘部的外周面压入嵌合于该收纳孔部的圆筒壁面部，并使所述卡合垂下部的卡合突起部与所述环状肩部卡合，而安装于所述运送轨道的上板的收纳孔部。

2.一种非接触运送装置，其特征在于，包括运送轨道和上升流形成体，

该运送轨道包括：

上板，其沿长度方向及宽度方向交错地具备多个收纳孔部和吸引孔，该收纳孔部具有：具有在上表面开口的俯视为圆形的开口部的圆筒壁面部；和从该圆筒壁面部经由环状肩部而扩径并在下表面开口的扩径圆筒壁面部，该吸引孔与该收纳孔部相邻地穿设并在上、下表面开口；

中板，其具备：在上表面开口且与所述上板的收纳孔部连通的连续的空气供给路径；一端部在该空气供给路径开口而另一端部在下表面开口的一个连通孔；和一端部向所述上板的吸引孔开口而另一端部向在下表面开口的空气吸引路径开口的连通孔；和

下板，其具备向该中板的连通孔开口的空气供给口和与所述中板的空气吸引路径结合的真空吸引口；

该上升流形成体安装于所述上板的收纳孔部，

形成于所述中板的空气吸引路径沿长度方向被分割为至少两个以上的块部，在各块部的空气吸引路径分别结合一个真空吸引口，

所述上升流形成体具备：

有底的圆筒状基体部，其在内表面具有圆筒内壁面；

环状凸缘部，其在该圆筒状基体部的开口部的周缘向径向外侧伸出；

多个卡合垂下部，其沿该环状凸缘部的外周缘的周向且在径向上相对地向下方延伸；

卡合突起部，其在该卡合垂下部的下端向外侧突出；和

至少一个流体喷出孔，其从所述圆筒状基体部的外周面开口到圆筒内壁面并且前端部朝向该圆筒状基体部的中心，

所述上升流形成体通过将所述环状凸缘部的外周面压入嵌合于该收纳孔部的圆筒壁面部，并使所述卡合垂下部的卡合突起部与所述环状肩部卡合，而安装于所述运送轨道的上板的收纳孔部。

3.根据权利要求1或2所述的非接触运送装置，其特征在于，

具备一个所述流体喷出孔，从该流体喷出孔喷出的流体碰撞到该圆筒状基体部的圆筒内周壁，按喷雾状向上方分散而形成上升流。

4.根据权利要求1或2所述的非接触运送装置，其特征在于，

所述流体喷出孔以从圆筒状基体部的外周面开口到圆筒内壁面并且前端部朝向该圆筒状基体部的中心而相对的方式设有两个，从该两个流体喷出孔喷出的流体，该流体彼此碰撞并按喷雾状向上方分散而形成上升流。

5.根据权利要求1或2所述的非接触运送装置，其特征在于，

所述上升流形成体由热塑性合成树脂形成。