JPWO2012096033A1 - 非接触搬送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】負圧の発生を防ぎ、被搬送物の端部の振幅を小さくすると共に浮上量を大きくし、真空吸引口の開閉操作によっても被搬送物の浮上量の変動を極力小さくすることができる非接触搬送装置を提供する。【解決手段】収容孔部と、吸引孔とを長手方向及び幅方向に沿って交互に複数個備えた上板（９）と、上板の各収容孔部に連通する連続した空気供給経路と、空気供給経路に開口する連通孔と、連通孔に隣接し、吸引孔に連通する貫通孔を備えた中板（１０）と、中板の連通孔に結合された１つの空気供給口と、中板の貫通孔に連通する空気吸引経路と空気吸引経路に結合された真空吸引口を備えた下板（１１）とからなる搬送レール（８）と、収容孔部に装着された上昇流形成体（６）とからなり、下板に形成された空気吸引経路は、長手方向に沿って少なくとも２つ以上のブロックに分割され、各ブロックの空気吸引経路にはそれぞれ１つの真空吸引口が結合される非接触搬送装置（４ａ）。【選択図】図２

Description

本発明は、非接触搬送装置に関し、特に大型の液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）やプラズマディスプレイ（ＰＤＰ）等のＦＰＤ（フラットパネルディスプレイ）や太陽電池パネル（ソーラーパネル）等の生産に用いられる非接触搬送装置に関する。

従来、ＦＰＤや太陽電池パネル等の生産に際し、１枚のパネルを大型化することで生産効率を上げる方法が採用されている。例えば、液晶パネルの場合には、第１０世代で２８５０×３０５０×０．７ｍｍの大きさとなる。そのため、従来のように、複数個並べられたローラの上に液晶ガラスを載せて転がり搬送すると、ローラを支持するシャフトの撓みやローラ高さの寸法のバラツキにより液晶ガラスに局部的に強い力が働き、当該液晶ガラスを傷つける虞がある。

上記ローラによる転がり搬送装置は、該装置とパネルとが非接触であることが要求される、例えばＦＰＤのプロセス工程では採用することができず、近年においては、空気浮上の搬送装置が採用され始めている。非接触搬送装置として、板状の搬送用レールの一部に多孔質材料（多孔質焼結金属等）を用い、空気供給経路と連通させて給気することで、噴出空気によりＦＰＤを浮上搬送させる装置が存在する。しかし、この非接触搬送装置を用いると、ＦＰＤが上下方向に動きながら浮遊するような状態となるため、搬送工程に用いることは可能であるが、例えば３０〜５０μｍの高精度の浮上高さが要求されるプロセス工程には到底採用することはできない。

また、上記多孔質材料を用いた板状の搬送用レールに浮上量を高精度に維持する目的で真空引き用の孔を設けると、装置の構成が複雑になると共に装置自体が高額になり、また、浮上高さを高精度に維持するために給気圧を高くすると、高剛性空気の圧縮性に係る自励振動が発生し、浮上高さを高精度に保つことができないという問題があった。

さらに、多孔質材料の代わりにオリフィス（小径の孔）を真空引き用の孔と交互に穿設した装置も存在するが、オリフィスからの強い噴出空気で静電気を発生したり、クリーンルームの環境を乱したり、消費電流が大きくなって運転コストが高騰するという問題があった。

そこで、特許文献１には、流体流量及びエネルギ消費量が少なく、浮上高さを高精度に維持できる非接触搬送装置として、流体噴出口から流体を噴出させることにより、リング状部材の表面側に該表面側から離れる方向へ向かう旋回流を生じさせるとともに、リング状部材の表面側の開口部近傍に裏面方向への流体流れを生じさせる旋回流形成体を、搬送用レールの搬送面に２個以上備える非接触搬送装置が提案されている。

国際公開第２００９／１１９３７７号パンフレット

上記特許文献１に記載された非接触搬送装置は、リング状部材の表面側に該表面側から離れる方向へ向かう旋回流を生じさせて搬送物（パネル等）を浮上させるものであるが、旋回流の中心部は負圧が発生し、搬送物の浮き上がり過ぎを防止できる効果を有する反面、搬送物の端部は振幅が大きくなるという欠点と、プロセス工程における旋回流による負圧と真空引きの負圧が重なると旋回流による浮上機能がなくなり、局部的に搬送用レールに接触するという不具合が見出された。

また、真空引き用の孔を連通する１つの連続した吸引経路で結び、該吸引経路に結合した１つの真空吸引口を開閉状態とすることにより真空圧力が変化し、被搬送物の浮上量の変動が大きくなるという問題も見出された。

本発明は上記諸点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、負圧の発生を防ぎ、搬送される被搬送物の端部の振幅を小さくできると共に浮上量を大きくすることができ、真空吸引口の開閉操作によっても被搬送物の浮上量の変動を極力小さくすることができる非接触搬送装置を提供することにある。

上記目的を達成するため、本発明は、非接触搬送装置であって、上面に開口する平面視円形の開口部を有する円筒壁面部と該円筒壁面部と環状肩部を介して拡径すると共に下面に開口する拡径円筒壁面部を有する収容孔部と、該収容孔部に隣接して穿設され、上、下面に開口する吸引孔を長手方向及び幅方向に沿って交互に複数個備えた上板と、上面に開口し、前記上板の各収容孔部に連通する連続した空気供給経路と、一方の端部が該空気供給経路に開口し、他方の端部が下面に開口する連通孔と、該連通孔に隣接し、一方の端部が前記上板の吸引孔に連通し、他方の端部が下面に開口する貫通孔を備えた中板と、該中板の連通孔に結合された１つの空気供給口と、上面に開口すると共に前記中板の貫通孔に連通する空気吸引経路と該空気吸引経路に結合された真空吸引口を備えた下板とからなる搬送レールと、該搬送レールの上板の収容孔部に装着された上昇流形成体とからなり、前記下板に形成された空気吸引経路は、長手方向に沿って少なくとも２つ以上のブロックに分割され、各ブロックの空気吸引経路にはそれぞれ１つの真空吸引口が結合されることを特徴とする。

本発明の非接触搬送装置によれば、真空引き用の空気吸引経路は、長手方向（被搬送物の搬送方向）に沿って少なくとも２つ以上のブロックに分割され、各ブロックに空気吸引経路にそれぞれ１つの真空吸引口が結合されているため、真空吸引口の開閉操作により空気吸引経路が全開あるいは全閉されることはなく、搬送方向に沿ってブロック毎に真空吸引口の開閉操作が行われるので、被搬送物の浮上量の変動を極力小さくすることができる。

上記作用効果を発揮する本発明の非接触搬送装置は、上面に開口する平面視円形の開口部を有する円筒壁面部と該円筒壁面部と環状肩部を介して拡径すると共に下面に開口する拡径円筒壁面部を有する収容孔部と、該収容孔部に隣接して穿設され、上、下面に開口する吸引孔を長手方向及び幅方向に沿って交互に複数個備えた上板と、上面に開口し前記上板の収容孔部に連通する連続した空気供給経路と、一方の端部が該空気供給経路に開口し、他方の端部が下面に開口する１つの連通孔と、一方の端部が前記上板の吸引孔に開口し、他方の端部が下面に開口する空気吸引経路に開口する連通孔を備えた中板と、該中板の連通孔に開口する空気供給口と、前記中板の空気吸引経路に結合された真空吸引口を備えた下板とからなる搬送レールと、前記上板の収容孔部に装着された上昇流形成体とからなり、前記中板に形成された空気吸引経路は、長手方向に沿って少なくとも２つ以上のブロックに分割され、各ブロックの空気吸引経路にはそれぞれ１つの真空吸引口が結合されている構成であってもよい。

本発明の非接触搬送装置において、搬送レールを上板、中板及び下板の３層構造とした上で、空気供給経路を中板の上面に、空気吸引経路を下板の上面に設けることにより、あるいは空気供給経路及び空気吸引経路を中板の上、下面に設けることにより、空気供給経路及び空気吸引経路の作製が容易となり、製造コストをより低減させることができる。そして、上記構成からなる被接触搬送装置は、特に搬送工程の高精度な平面度を必要とするプロセス工程に使用されて好適である。

上記非接触搬送装置の上板の収容孔部に装着される上昇流形成体は、内面に円筒内壁面を有する有底の円筒状基体部と、該円筒状基体部の開口部の周縁に径方向外方に張り出す環状鍔部と、該環状鍔部の外周縁の円周方向に沿い、かつ径方向に相対向して下方に延びる複数個の係合垂下部と、該係合垂下部の下端に外方に突出する係合突起部と、前記円筒状基体部の外周面から円筒内壁面に開口すると共に、先端部が該円筒状基体部の中心に向かう少なくとも１つの流体噴出孔とを備え、前記搬送レールの上板の収容孔部に、前記環状鍔部の外周面を該収容孔部の円筒壁面部に圧入嵌合させ、前記係合垂下部の係合突起部を前記環状肩部に係合させて装着される。

該上昇流形成体において、流体噴出孔は、先端部が該円筒状基体部の中心に向かう１つの流体噴出孔であっても、また円筒状基体部の外周面から円筒内壁面に開口すると共に先端部が該円筒状基体部の中心に向かって相対向する２つ流体噴出孔であってもよい。

１つの流体噴出孔を備えた上昇流形成体においては、流体噴出孔から噴出した空気は、円筒状基体の円筒内壁面に衝突し、噴霧状に上方に分散して上昇流を形成し、また２つの流体噴出孔を備えた上昇流形成体においては、流体噴出孔から噴出した空気は、空気同志が衝突し、噴霧状に上方に分散して上昇流を形成する。

上記した上昇流形成体により生じる噴出空気は、噴霧状に分散して上昇流を形成するので、被搬送物（パネル等）にストレスを与えることがなく、被搬送物の振幅を小さくでき、さらには負圧の発生がないので被搬送物の浮上量を大きくすることができる。

上記上昇流形成体は、熱可塑性合成樹脂を射出成形することによって形成されるのが好ましく、熱可塑性合成樹脂としては、ポリフェニレンサルファイド樹脂（ＰＰＳ）が挙げられる。

以上のように、本発明によれば、被搬送物にストレスを与えることがなく、被搬送物の振幅を小さくでき、さらには負圧の発生がないので被搬送物の浮上量を大きくすることができる非接触搬送装置を提供することができる。

本発明に係る非接触搬送装置の一実施の形態を示す図であって、搬送工程及びプロセス工程からなる全体構成を示す平面図である。 図１のプロセス工程用の非接触搬送装置を示す図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。 図２（ｂ）の上板を示す図であって、（ａ）は上昇流形成体を装着していない状態を示す断面図、（ｂ）は上昇流形成体を装着した状態を示す断面図である。 図２（ｂ）の中板を示す図であって、図７のＢ−Ｂ線断面図である。 図２（ｂ）の下板を示す図であって、図８のＣ−Ｃ線断面図である。 図２（ｂ）の下板を示す図であって、図８のＤ−Ｄ線断面図である。 図２（ｂ）の中板の上面図である。 図２（ｂ）の下板の上面図である。 本発明の非接触搬送装置に使用される上昇流形成体を示す図であって、（ａ）は正面図、（ｂ）は平面図、（ｃ）は底面図、（ｄ）は（ｃ）のＥ−Ｅ線断面図である。 上昇流形成体を介して空気が噴霧状に上方に分散して上昇流を形成する説明図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。 プロセス工程用の非接触搬送装置でのガラスの浮上搬送を示す断面図である。 本発明の非接触搬送装置に使用される他の形態の上昇流形成体を示す図であって、（ａ）は底面図、（ｂ）は（ａ）のＦ−Ｆ線断面図である。 他の形態の上昇流形成体を介して空気が噴霧状に上方に分散して上昇流を形成する説明図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。 図１のプロセス工程の他の形態の非接触搬送装置を示す図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＧ−Ｇ線断面図である。 図１４（ｂ）の上板を示す図であって、（ａ）は上昇流形成体を装着していない状態の上板の断面図、（ｂ）は上昇流形成体を装着した状態の上板の断面図である。 図１４（ｂ）の中板の断面図であって、（ａ）は図１７のＨ−Ｈ線断面図、（ｂ）は図１７のＩ−Ｉ線断面図である。 図１４（ｂ）の中板の上面図である。 図１４（ｂ）の中板の下面図である。 図１４のプロセス工程用の他の形態の非接触搬送装置でのガラスの浮上搬送を示す断面図である。

次に、本発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。尚、以下の説明においては、搬送用流体として空気を用い、被搬送物として液晶ガラス（以下「ガラス」と略称する。）を搬送する場合を例にとって説明する。

非接触搬送装置１は、図１に示すように、ガラスＧを非接触で搬送するために使用され、２つの搬送工程２及び３用の非接触搬送装置２ａ及び３ａと、これら搬送工程２及び３に挟まれたプロセス工程４用の非接触搬送装置４ａとから構成される。

搬送工程２及び３用の非接触搬送装置２ａ及び３ａは、後述する上昇流形成体６を、搬送レール５に２列にわたって、図１の紙面上で上、下方向に配置して構成され、図１の搬送工程２及び３では、非接触搬送装置２ａ及び３ａをそれぞれ並列に３基配置している。

非接触搬送装置１のプロセス工程４用の非接触搬送装置４ａは、図２（ａ）、（ｂ）に示すように、空気の上昇流を発生させる上昇流形成体６と、空気を吸い込む真空吸引用の直径１〜２ｍｍ程度の吸引孔７とが搬送レール８の長手方向及び幅方向に沿って交互に複数個配置されて形成されている。

搬送レール８は、図２（ｂ）に示すように、上板９と中板１０と下板１１からなる３層構造を有している。

上板９は、図３（ａ）に示すように、搬送面としての上面９ａに穿設され、該上面９ａに開口する平面視円形の開口部９ｂを有する円筒内壁面部９ｃと、該円筒内壁面部９ｃと環状肩部９ｄを介して拡径し、該上板９の下面９ｅに開口する拡径円筒内壁面部９ｆを有する収容孔部９ｇと、該収容孔部９ｇと隣接して上板９の上面９ａから下面９ｅに向けて貫通して形成された吸引孔７を、図２に示すように、該上板９の長手方向Ｘ及び幅方向Ｙに沿って交互に複数個備えている。

図３に戻り、該上板９の収容孔部９ｇには、例えばポリフェニレンサルファイド樹脂（ＰＰＳ）等の熱可塑性合成樹脂から形成された上昇流形成体６が装着される。上昇流形成体６は、図９（ａ）乃至（ｄ）に示すように、上面に開口する平面視円形の開口部６ａを有すると共に、該開口部６ａに連通する円筒内壁面６ｂを有する有底の円筒状基体部６ｃと、該円筒状基体部６ｃの開口部６ａの周縁に径方向外方に張り出す環状鍔部６ｄと、該環状鍔部６ｄの外周面６ｅに該外周面６ｅの円周方向に沿い、かつ径方向に相対向して下方に伸びる複数個（本実施の形態では４個）の係合垂下部６ｆと、該係合垂下部６ｆの下端に外方に突出する係合突起部６ｇと、円筒状基体部６ｃの外周面６ｈから円筒内壁面６ｂに開口すると共に、先端部６ｉが該円筒状基体部６ｃの中心Ｏに向かう少なくとも１つ（本実施の形態では１つ）の流体噴出孔６ｊを備えている。

該上昇流形成体６は、図３（ｂ）に示すように、環状鍔部６ｄの外周面６ｅを該上板９の収容孔部９ｇの円筒内壁面部９ｃに圧入嵌合し、係合垂下部６ｆの係合突起部６ｇを該収容孔部９ｇの環状肩部９ｄに係合させると共に、該環状鍔部６ｄの上面６ｋを該上板９の上面９ａと面一にして該収容孔部９ｇに装着されている。

この上昇流形成体６は、図１０（ａ）及び（ｂ）に示すように、流体噴出孔６ｊから噴出した空気を円筒状基体部６ｃの円筒内壁面６ｂに衝突させ、該空気に円筒内壁面６ｂの開口部６ａの上方に噴霧状に分散する上昇流（図１０（ａ）及び(ｂ)中の矢印）を生じさせ、該上昇流によってガラスＧを非接触で搬送する。

この上昇流形成体６においては、負圧を生じないので被搬送物であるガラスＧの搬送時の浮上量を大きくすることができ、また流体噴出孔６ｊから噴出した空気は、円筒状基体部６ｃの円筒内壁面６ｂに衝突することにより空気の噴出速度が低下せしめられると共に、噴霧状に分散する上昇流となるので、ガラスＧにストレスを与えることを極力抑えることができる。

中板１０は、図４及び図７に示すように、中板１０の上面１０ａに前記上板９に形成された複数個の収容孔部９ｇにそれぞれ連通する１つの連続した断面半円状の空気供給経路としての空気供給凹溝１０ｂと、一方の端部が該空気供給凹溝１０ｂに開口し、他方の端部が該中板１０の下面１０ｃに開口する１つの連通孔１０ｄと、一方の端部が前記上板９に形成された吸引孔７に開口し、他方の端部が該中板１０の下面１０ｃに開口する複数個の貫通孔１０ｅとを備えている。

下板１１は、図５、図６及び図８に示すように、該下板１１の上面１１ａに前記中板１０に形成された複数個の貫通孔１０ｅ・・１０ｅの中板１０の下面１０ｃ側の開口部を長手方向に沿って４つのブロック１１ｂ１、１１ｂ２、１１ｂ３及び１１ｂ４に分割（図７及び図８参照）し、分割された各ブロック１１ｂ１、１１ｂ２、１１ｂ３及び１１ｂ４に位置する貫通孔１０ｅ１、１０ｅ２、１０ｅ３、１０ｅ４の開口部にそれぞれ連通する連続した四つの断面半円状の空気吸引経路としての空気吸引凹溝１１ｃ１、１１ｃ２、１１ｃ３及び１１ｃ４と、各ブロック１１ｂ１、１１ｂ２、１１ｂ３及び１１ｂ４の空気吸引凹溝１１ｃ１、１１ｃ２、１１ｃ３及び１１ｃ４にそれぞれ結合された真空吸引口１１ｄ１、１１ｄ２、１１ｄ３及び１１ｄ４と、前記中板１０に形成された１つの連通孔１０ｄに結合された空気給気口１１ｅを備えている。

そして、図２（ｂ）に示すように、上板９に形成された複数個の収容孔部９ｇを中板１０の上面１０ａに開口する１つの連続した断面半円状の空気供給凹溝１０ｂに連通させ、複数個の吸引孔７を中板１０の上面１０ａに開口する複数個の貫通孔１０ｅに連通させて、該上板９を中板１０の上面１０ａに位置せしめ、中板１０の下面１０ｃに開口する連通孔１０ｄに下板１１に設けられた空気給気口１１ｅを結合させると共に、中板１０の下面１０ｃに開口する各ブロック１１ｂ１、１１ｂ２、１１ｂ３及び１１ｂ４の貫通孔１０ｅ１、１０ｅ２、１０ｅ３及び１０ｅ４に断面半円状の空気吸引凹溝１１ｃ１、１１ｃ２、１１ｃ３及び１１ｃ４を連通させると共に、空気吸引凹溝１１ｃ１、１１ｃ２、１１ｃ３及び１１ｃ４に真空吸引口１１ｄ１、１１ｄ２、１１ｄ３及び１１ｄ４を結合させて、中板１０を下板１１の上面１１ａに位置させることにより搬送レール８が形成される。該搬送レール８は、上板９、中板１０及び下板１１をボルト等の固定手段により締結固定されて形成される。

上記構成からなるプロセス工程４用の非接触搬送装置４ａを示す図１１において、搬送レール８の空気給気口１１ｅに供給された圧縮空気は、空気給気口１１ｅに連通する連通孔１０ｄを介して搬送レール８の中板１０の上面１０ａに形成された１つの連続した空気供給凹溝１０ｂに供給される。空気供給凹溝１０ｂに供給された圧縮空気は、搬送レール８の上板９に形成された複数個の収容孔部９ｇに供給され、該収容孔部９ｇに装着された上昇流形成体６の流体噴出孔６ｊからそれぞれ噴出して円筒状基体部６ｃ（図３（ｂ）参照）の円筒内壁面６ｂに衝突し、該円筒内壁面６ｂの開口部６ａの上方に噴霧状に分散する上昇流となり、該上昇流によりガラスＧを浮上させると同時に、搬送レール８の上板９の上面９ａに開口する吸引孔７において、図８に示すように、各ブロック１１ｂ１、１１ｂ２、１１ｂ３及び１１ｂ４の給気吸引凹溝１１ｃ１、１１ｃ２、１１ｃ３及び１１ｃ４に結合された真空吸引口１１ｄ１、１１ｄ２、１１ｄ３及び１１ｄ４からの吸引が行われ、該上昇流による浮上力と吸引孔における吸引力とのバランスにより、該ガラスＧは高精度な平面度を形成して非接触で搬送される。

上述のように、上記非接触搬送装置４ａにおいては、空気吸引経路としての空気吸引凹溝１１ｃは、長手方向Ｘに沿ってブロック１１ｂ１、１１ｂ２、１１ｂ３及び１１ｂ４の４つのブロックに分割され、各ブロック１１ｂ１、１１ｂ２、１１ｂ３及び１１ｂ４の空気吸引凹溝１１ｃ１、１１ｃ２、１１ｃ３及び１１ｃ４にそれぞれ１つの真空吸引口１１ｄ１、１１ｄ２、１１ｄ３及び１１ｄ４が結合されているため、真空吸引口１１ｄ１、１１ｄ２、１１ｄ３及び１１ｄ４の開閉操作を空気吸引凹溝１１ｃ１、１１ｃ２、１１ｃ３及び１１ｃ４毎に行われるので、真空吸引力が低下することがなく、搬送方向に沿ってブロック毎に真空吸引口１１ｄ１、１１ｄ２、１１ｄ３及び１１ｄ４の開閉操作が行われるので、ガラスＧの浮上量の変動を極力小さくすることができる。

また、上記非接触搬送装置４ａにおける上昇流形成体６においては、負圧を生じないのでガラスＧの搬送時の浮上量を大きくすることができ、また流体噴出孔６ｊから噴出した空気は、円筒状基体部６ｃの円筒内壁面６ｂに衝突することにより空気の噴出速度が低下せしめられると共に、噴霧状に分散する上昇流となるので、ガラスＧにストレスを与えることを極力抑えることができる。

図１２（ａ）、（ｂ）は、上昇流形成体６の他の実施の形態を示すもので、上昇流形成体６０は、上面に開口する平面視円形の開口部６０ａを有すると共に、該開口部６０ａに連通する円筒内壁面６０ｂを有する有底の円筒状基体部６０ｃと、該円筒状基体部６０ｃの開口部６０ａに周縁に径方向外方に張り出す環状鍔部６０ｄと、該環状鍔部６０ｄの外周面６０ｅに該外周面６０ｅの円周方向に沿い、かつ径方向に相対向して下方に伸びる複数個（本実施の形態においては４個）の係合垂下部６０ｆと、該係合垂下部６０ｆの下端に外方に突出する係合突起部６０ｇと、該円筒状基体部６０ｃの外周面６０ｈから円筒内壁面６０ｂに開口すると共に、先端部６０ｉを該円筒状基体部６０ｃの中心Ｏに向かって相対向する２つの流体噴出孔６０ｊ及び６０ｊを備えている。

該上昇流形成体６０は、図示しないが前記図２（ｂ）あるいは図（ｂ）に示した上昇流形成体６の収容孔部９ｇへの装着と同様に、環状鍔部６０ｄの外周面６０ｅを該収容孔部９ｇの円筒内壁面部９ｃに圧入嵌合し、係合垂下部６０ｆの係合突起部６０ｇを該収容孔部９ｇの環状肩部９ｄに係合させると共に、該環状鍔部６０ｄの上面６０ｋを該上板９の上面９ａと面一にして該収容孔部９ｇに装着される。

この上昇流形成体６０は、図１２及び図１３（ａ）、（ｂ）に示すように、流体噴出孔６０ｊ、６０ｊから噴出した空気を円筒状基体部６０ｃの外周面６０ｈから円筒内壁面６０ｂに開口すると共に、先端部６０ｉ、６０ｉが該円筒状基体部６０ｃの中心Ｏに向かって相対向する流体噴出孔６０ｊ、６０ｊから噴出して空気同志を衝突させ、該空気に円筒内壁面６０ｂの開口部６０ａの上方に噴霧状に分散する上昇流を生じさせるものであり、当該上昇流によってガラスＧを非接触で搬送する。

この上昇流形成体６０においても、前記した上昇流形成体６と同様に、負圧を発生しないので搬送時のガラスＧの浮上量を大きくすることができ、また流体噴出孔６０ｊ、６０ｊから噴出した空気は、空気同志が衝突することにより空気の噴出速度を低下させると共に、噴霧状に分散する上昇流となるので、ガラスＧにストレスを与えることを極力抑えることができる。

図１４（ａ）、（ｂ）は、前記図１に示す非接触搬送装置１のプロセス工程４用の非接触搬送装置４ａにおける搬送レール８の他の実施の形態を示すもので、搬送レール８０は、前記搬送レール８と同様、上板９０、中板１００及び下板１１０とからなる３層構造を有している。

搬送レール８０の上板９０は、図１５（ａ）、（ｂ）に示すように、前記搬送レール８の上板９と同様、搬送面としての上面９０ａに穿設され、該上面９０ａに開口する平面視円形の開口部９０ｂを有する円筒内壁面部９０ｃと、該円筒内壁面部９０ｃと環状肩部９０ｄを介して拡径し、上板９０の下面９０ｅに開口する拡径円筒内壁面部９０ｆを有する収容孔部９０ｇと、該収容孔部９０ｇに隣接して該上板９０の上面９０ａから下面９０ｅに向けて貫通して形成された吸引孔７０を、図１４に示すように、該上板９０の長手方向Ｘ及び幅方向Ｙに沿って交互に複数個備えている。

該上板９０の収容孔部９０ｇには、前記上昇流形成体６が環状鍔部６ｄの外周面６ｅを該収容孔部９０ｇの円筒内壁面部９０ｃに圧入嵌合し、係合垂下部６ｆの係合突起部６ｇを該収容孔部９０ｇの環状肩部９０ｄに係合させると共に、該環状鍔部６ｄの上面６ｋを該上板９０の上面９０ａと面一にして該収容孔部９０ｇに装着される。

中板１００は、図１６（ａ）、（ｂ）に示すように、中板１００の上面１００ａに形成された上方に開口する断面半円状の空気供給経路としての空気供給凹溝１００ｂと、該中板１００の下面１００ｃに形成された下方に開口する断面半円状の空気吸引経路としての空気吸引凹溝１００ｄを備えている。

空気供給凹溝１００ｂは、図１７に示すように、上昇流形成体６の配置（図１４（ａ））に合わせ、平面視菱形格子状に形成される。空気供給凹溝１００ｂの底部には、図１６（ｂ）に示すように、中板１００の下面１００ｃに開口する連通孔１００ｅが連通して設けられ、この連通孔１００ｅは、図１７に示すように、中板１００の全体を通して１つのみが設けられる。空気供給凹溝１００ｂは、図１４（ｂ）に示すように、上板９０、中板１００及び下板１１０を積層させた際に、上板９０の収容孔部９０ｇのそれぞれと連通している。

空気吸引凹溝１００ｄ１、１００ｄ２は、図１４（ｂ）、図１６（ａ）、（ｂ）、図１７及び図１８に示すように、上板９０に形成された吸引孔７０と同径で、一方の端部が中板１００の上面１００ａに開口して形成された複数個の連通孔１００ｆの他方の端部の開口部を該中板１００の長手方向に沿って２つのブロック１００ｇ、１００ｈに分割し、分割された各ブロック１００ｇ、１００ｈに位置する複数個の連通孔１００ｆ１・・１００ｆ１、・・１００ｆ２の開口部をそれぞれ連通して形成されている。

下板１１０は、図１４（ｂ）に示すように、下板１１０の上面１１０ａに開口し、かつ前記中板１００の空気供給凹溝１００ｂに連通する連通孔１００ｅに開口すると共に、下板１１０の下面１１０ｂに開口する１つの空気給気口１１０ｃと、下板１１０の上面１１０ａに開口し、かつ前記中板１００の下面１００ｃに開口して形成された各ブロック１００ｇ、１００ｈの空気吸引凹溝１００ｄ１、１００ｄ２に連通すると共に、下板１１０の下面１１０ｂに開口する真空吸引口１１０ｄ１（不図示）、１１０ｄ２を備えている。

そして、図１４（ｂ）に示すように、上板９０に該上板９０の長手方向Ｘ及び幅方向Ｙに沿って複数個形成された収容孔部９０ｇのそれぞれに中板１００の上面１００ａに開口する連続した１つの空気供給凹溝１００ｂを連通させ、吸引孔７０を中板１００の上面１００ａに開口する複数個の連通孔１００ｆに連通させて該上板９０を中板１００の上面１００ａに位置せしめ、中板１００に形成された空気供給凹溝１００ｂに連通すると共に、該中板１００の下面１００ｃに開口する１つの連通孔１００ｅに下板１１０に形成された空気給気口１１０ｃを結合させ、中板１００の下面１００ｃに分割して形成された２つのブロック１００ｇ、１００ｈからなる空気吸引凹溝１００ｄ１、１００ｄ２の各ブロック１００ｇ、１００ｈに位置する連通孔１００ｆ１、１００ｆ２に下板１１０に形成された真空吸引口１１０ｄを結合させて該中板１００を下板１１０の上面１１０ａに位置させることにより搬送レール８０が形成される。搬送レール８０は、上板９０、中板１００及び下板１１０をボルト等の固定手段により締結固定されて形成される。

上記構成からなるプロセス工程４用の非接触搬送装置４ａを示す図１９において、搬送レール８０の下板１１０に設けられた空気給気口１１０ｃに供給された圧縮空気は、空気給気口１１０ｃに連通する連通孔１００ｅを介して搬送レール８０の中板１００の上面１００ａに形成された１つの連続した空気供給経路としての断面半円状の空気供給凹溝１００ｂに供給される。空気供給凹溝１００ｂに供給された圧縮空気は、搬送レール８０の上板９０に形成された複数個の収容孔部９０ｇに供給され、該収容孔部９０ｇに装着された上昇流形成体６の流体噴出孔６ｊから噴出し、該流体噴出孔６ｊから噴出した空気は、図１０に示すように、円筒状基体部６ｃの円筒内壁面６ｂに衝突して円筒内壁面６ｂの開口部６ａの上方に噴霧状に分散する上昇流を生じ、この上昇流によりガラスＧを浮上させると同時に、搬送レール８０の上板９０の上面９０ａに開口する吸引孔７０において、図１８に示すように、搬送レール８０の中板１００の下面１００ｃに形成された各ブロック１００ｇ及び１００ｈの空気吸引凹溝１００ｄ１、１００ｄ２に結合された真空吸引口１１０ｄ１（不図示）、１１０ｄ２からの吸引が行われ、該上昇流形成体６において生じる上昇流による浮上力と吸引孔における吸引力とのバランスにより、ガラスＧは高精度な平面度を形成して非接触で搬送される。

上記非接触搬送装置４ａにおいては、空気吸引凹溝１００ｄは、長手方向Ｘに沿ってブロック１００ｇ、１００ｈの２つのブロックに分割され、各ブロック１００ｇ、１００ｈの空気吸引凹溝１００ｄ１、１００ｄ２にそれぞれ１つの真空吸引口１１０ｄ１、１１０ｄ２が結合されているため、真空吸引口１１０ｄ１、１１０ｄ２の開閉操作を空気吸引凹溝１００ｄ１、１００ｄ２毎に行われるので、真空吸引力が低下することがなく、搬送方向に沿ってブロック毎に真空吸引口１１０ｄ１、１１０ｄ２の開閉操作が行われるので、ガラスＧの浮上量の変動を極力小さくすることができる。

また、上記非接触搬送装置４ａにおける上昇流形成体６においては、負圧を生じないのでガラスＧの搬送時の浮上量を大きくすることができ、また流体噴出孔６ｊから噴出した空気は、円筒状基体部６ｃの円筒内壁面６ｂに衝突することにより空気の噴出速度が低下せしめられると共に、噴霧状に分散する上昇流となるので、ガラスＧにストレスを与えることを極力抑えることができる。尚、上昇流形成体６として、上昇流形成体６０を使用しても同様の作用効果を得ることができる。

上述したプロセス工程４に搬送されたガラスＧは、上昇流形成体６又は６０によって生じる上方に噴霧状に分散する上昇流によって浮上すると共に、各上昇流形成体６又は６０間に位置せしめられた吸引孔７又は７０で周囲の空気を真空吸引することで、３０〜５０μｍの浮上高さに高精度に制御される。このプロセス工程４では、ガラスＧに対する各種検査や加工が行われる。検査や加工が終了したガラスＧは、搬送工程３に搬送され、その後、浮上した状態で次工程へ搬送される。

以上説明したように、本発明の非接触搬送装置は、搬送レールの搬送面に該搬送レールの長手方向及び幅方向に沿って交互に設けられた複数個の上昇流形成体と吸引孔と、各上昇流形成体に連通する１つの連続した空気供給経路としての空気供給凹溝と該空気供給凹溝に結合された空気給気口と、搬送面に開口する吸引孔の他方の端部の開口部を該搬送レールの長手方向に沿って少なくとも２つのブロックに分割し、分割した各ブロックに位置する吸引孔の開口部にそれぞれ連通する連続した１つの空気供給経路としての空気供給凹溝と該空気吸引凹溝に結合された真空吸引口を備え、空気給気口から供給された圧縮空気は空気供給凹溝を通って上昇流形成体に供給され、上昇流形成体において該上昇流形成体の開口部の上方に噴霧状に分散する上昇流を生じさせ、この上昇流によって被搬送物を浮上させると共に、吸引孔において、空気吸引凹溝を介して真空吸引口からの吸引が行われ、該上昇流形成体において生じる浮上力と吸引孔における吸引力とのバランスにより、被搬送物を高精度な平面度をもって非接触で搬送するものである。

上記構成からなる本発明の非接触搬送装置によれば、空気吸引凹溝は、長手方向に沿って少なくとも２つのブロックに分割され、各ブロックの空気吸引凹溝にそれぞれ１つの真空吸引口が結合されているため、真空吸引口の開閉操作を空気吸引凹溝毎に行われるので、真空吸引力が低下することがなく、被搬送物の浮上量の変動を極力小さくすることができる。

また、上記非接触搬送装置における上昇流形成体においては、負圧を生じないので被搬送物の搬送時の浮上量を大きくすることができ、また流体噴出孔から噴出した空気は、空気の噴出速度を低下させると共に、噴霧状に分散する上昇流となるので、被搬送物にストレスを与えることを極力抑えることができる。

１ 非接触搬送装置
２、３ 搬送工程
４ プロセス工程
４ａ プロセス工程用の非接触搬送装置
６、６０ 上昇流形成体
７、７０ 吸引孔
８、８０ 搬送レール
９、９０ 上板
１０、１００ 中板
１１、１１０ 下板
１０ｂ、１００ｂ 空気供給凹溝
１０ｅ 貫通孔
１１ｃ１、１１ｃ２、１１ｃ３、１１ｃ４ 空気吸引凹溝

【０００５】
下部の係合突起部を前記環状肩部に係合させて装着される。
［００１６］
［００１７］
［００１８］
上記した上昇流形成体により生じる噴出空気は、噴霧状に分散して上昇流を形成するので、被搬送物（パネル等）にストレスを与えることがなく、被搬送物の振幅を小さくでき、さらには負圧の発生がないので被搬送物の浮上量を大きくすることができる。
［００１９］
上記上昇流形成体は、熱可塑性合成樹脂を射出成形することによって形成されるのが好ましく、熱可塑性合成樹脂としては、ポリフェニレンサルファイド樹脂（ＰＰＳ）が挙げられる。
発明の効果
［００２０］
以上のように、本発明によれば、被搬送物にストレスを与えることがなく、被搬送物の振幅を小さくでき、さらには負圧の発生がないので被搬送物の浮上量を大きくすることができる非接触搬送装置を提供することができる。
図面の簡単な説明
［００２１］
［図１］本発明に係る非接触搬送装置の一実施の形態を示す図であって、搬送工程及びプロセス工程からなる全体構成を示す平面図である。
［図２］図１のプロセス工程用の非接触搬送装置を示す図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。
［図３］図２（ｂ）の上板を示す図であって、（ａ）は上昇流形成体を装着していない状態を示す断面図、（ｂ）は上昇流形成体を装着した状態を示す断面

Claims (6)

1. 上面に開口する平面視円形の開口部を有する円筒壁面部と該円筒壁面部と環状肩部を介して拡径すると共に下面に開口する拡径円筒壁面部を有する収容孔部と、該収容孔部に隣接して穿設され、上、下面に開口する吸引孔を長手方向及び幅方向に沿って交互に複数個備えた上板と、
   上面に開口し、前記上板の各収容孔部に連通する連続した空気供給経路と、一方の端部が該空気供給経路に開口し、他方の端部が下面に開口する連通孔と、該連通孔に隣接し、一方の端部が前記上板の吸引孔に連通し、他方の端部が下面に開口する貫通孔を備えた中板と、
   該中板の連通孔に結合された１つの空気供給口と、
   上面に開口すると共に前記中板の貫通孔に連通する空気吸引経路と該空気吸引経路に結合された真空吸引口を備えた下板とからなる搬送レールと、
   該搬送レールの上板の収容孔部に装着された上昇流形成体とからなり、
   前記下板に形成された空気吸引経路は、長手方向に沿って少なくとも２つ以上のブロックに分割され、各ブロックの空気吸引経路にはそれぞれ１つの真空吸引口が結合されることを特徴とする非接触搬送装置。
2. 上面に開口する平面視円形の開口部を有する円筒壁面部と該円筒壁面部と環状肩部を介して拡径すると共に下面に開口する拡径円筒壁面部を有する収容孔部と、該収容孔部に隣接して穿設され、上、下面に開口する吸引孔を長手方向及び幅方向に沿って交互に複数個備えた上板と、
   上面に開口し前記上板の収容孔部に連通する連続した空気供給経路と、一方の端部が該空気供給経路に開口し、他方の端部が下面に開口する１つの連通孔と、一方の端部が前記上板の吸引孔に開口し、他方の端部が下面に開口する空気吸引経路に開口する連通孔を備えた中板と、
   該中板の連通孔に開口する空気供給口と、前記中板の空気吸引経路に結合された真空吸引口を備えた下板とからなる搬送レールと、
   前記上板の収容孔部に装着された上昇流形成体とからなり、
   前記中板に形成された空気吸引経路は、長手方向に沿って少なくとも２つ以上のブロックに分割され、各ブロックの空気吸引経路にはそれぞれ１つの真空吸引口が結合されていることを特徴とする非接触搬送装置。
3. 前記上昇流形成体は、
   内面に円筒内壁面を有する有底の円筒状基体部と、
   該円筒状基体部の開口部の周縁に径方向外方に張り出す環状鍔部と、
   該環状鍔部の外周縁の円周方向に沿い、かつ径方向に相対向して下方に延びる複数個の係合垂下部と、
   該係合垂下部の下端に外方に突出する係合突起部と、
   前記円筒状基体部の外周面から円筒内壁面に開口すると共に、先端部が該円筒状基体部の中心に向かう少なくとも１つの流体噴出孔とを備え、
   前記搬送レールの上板の収容孔部に、前記環状鍔部の外周面を該収容孔部の円筒壁面部に圧入嵌合させ、前記係合垂下部の係合突起部を前記環状肩部に係合させて装着されることを特徴とする請求項１又は２に記載の非接触搬送装置。
4. 前記流体噴出孔を１つ備え、該流体噴出孔から噴出した流体は、該円筒状基体の円筒内周壁に衝突し、噴霧状に上方に分散して上昇流を形成することを特徴とする請求項３に記載の上昇流形成体。
5. 前記流体噴出孔は、円筒状基体部の外周面から円筒内壁面に開口すると共に、先端部が該円筒状基体部の中心に向かって相対向するように２つ設けられ、該２つの流体噴出孔から噴出した流体は、該流体同士が衝突し、噴霧状に上方に分散して上昇流を形成することを特徴とする請求項３に記載の上昇流形成体。
6. 前記上昇流形成体は、熱可塑性合成樹脂から形成されることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の非接触搬送装置。

Images