KR20120046084A - 기판 반송용 핸드 및 그것을 구비한 기판 반송 장치 - Google Patents

기판 반송용 핸드 및 그것을 구비한 기판 반송 장치 Download PDF

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KR20120046084A
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마코토 후루타
도루 나카코
데츠야 야마사키
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가부시키가이샤 야스카와덴키
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Abstract

기판 반송용 핸드에 있어서의 흡착부(3)를 기판(2)과 접촉하여 기판(2)을 흡착하는 패드(5)와, 포크(1)와 패드(5) 사이에 마련되어, 흡착용 유체(6)를 포크(1)와 패드(5) 사이에 연통시키는 흡착 유로(7)을 구비한 탄성 부재(8)를 구비하여, 탄성 부재(8)의 일부를 변형시키고 패드(5)의 포크(1)로부터의 돌출량(9)을 변경 가능하도록 구성했다.

Description

기판 반송용 핸드 및 그것을 구비한 기판 반송 장치{HAND FOR TRANSFERRING SUBSTRATES AND SUBSTRATE TRANSFER APPARATUS EQUIPPED THEREWITH}
본 발명은, 기판을 흡착하여 유지하는 기판 반송용 핸드 및 그것을 구비한 기판 반송 장치에 관한 것이다.
액정 디스플레이, 플라스마 디스플레이, 반도체 등의 제조에 있어서 사용되는 유리나 반도체 웨이퍼 등의 박판형상(薄板形狀)의 기판의 반송에는, 기판 반송 장치가 이용되고 있다. 기판 반송 장치는, 카세트내에 수납된 기판을 취출하여 기판 처리 장치로 넘기거나, 기판 처리 장치로부터 기판을 받아, 카세트에 수납하거나 하는 경우에 이용되는 것이 많다. 이와 같은 용도에 이용되는 기판 반송 장치의 상당수는, 기판을 실어 반송하기 위한 기판 반송용 핸드를 구비하고 있다(예를 들면, 일본 특허 공개 제 2007－83322 호 공보 참조).
기판 반송용 핸드는, 지지 부재에 대하여 복수 개의 봉형상의 포크를 가지며, 이 포크상에 기판을 탑재한다. 각각의 포크에는, 반송할 경우에 기판이 어긋나지 않게 하기 위한 흡착부가 마련되어 있다. 이 흡착부에 의해서 기판을 흡착하여 보지한다. 기판 반송 장치는, 예를 들면, 카세트내에 포크를 삽입하고, 포크상의 흡착부에서 기판을 흡착 유지하고 나서, 기판 처리 장치 등의 목적 위치로 반송한다.
한편, 생산성 향상을 목적으로 하여, 카세트에 있어서의 기판의 수납율을 향상시키기 위해서, 카세트내의 기판간 피치(기판끼리의 간격)는 작아지고 있다. 또한, 마찬가지로 생산성 향상을 목적으로 하여, 기판은 커지고 있으며, 그것에 수반하여 기판은 휘고 변형되기 쉽게 되어 있다. 또한, 기판이 커지는 것에 수반하여, 포크도 긴 봉형상으로 형성될 필요가 있기 때문에, 기판 반송 장치가 기판 반송용 핸드를 동작시키면, 특히 포크의 선단이 크게 진동하도록 되고 있다. 따라서, 기판 반송용 핸드의 포크가 카세트내에 진입하기 어려워지고 있어, 포크의 두께를 얇게 하면서도, 포크의 강성을 향상시켜 진동을 억제하는 등의 여러 가지 방법이 고안되고 있다.
일본 특허 공개 제 2007-83322 호 공보
이상의 배경으로부터 알 수 있는 바와 같이, 흡착부는, 기판의 휨이나 변형을 모방하여 밀착될 필요가 있으므로 미소한 기울어짐이 가능한 구성이 아니면 안된다. 이 때문에, 일반적으로는 흡착부는 포크면보다 수 mm 정도 돌출되고, 기울어짐이 가능하도록 구성되어 있다. 그렇지만, 흡착부의 포크면으로부터의 돌출량이 크다면, 상술한 바와 같이, 카세트내의 기판간 피치가 작은 경우, 포크가 카세트에 진입할 수 없다는 문제가 발생한다. 또한, 포크와 흡착부가 기판간 피치에 진입할 수 있는 치수였다고 해도, 포크의 진동을 고려하면 포크가 카세트에 진입할 수 없는 일이 있다. 즉, 포크의 면으로부터의 흡착부의 돌출량을 얼마나 작게 하는지가 과제가 되어 있었다.
그래서, 본 발명의 일 실시형태에 의해서, 카세트에 있어서의 기판간 피치가 좁아도, 기판을 문제없이 흡착 가능한 기판 반송용 핸드를 제공한다.
본 발명의 실시형태의 한 형태에 따른 기판 반송용 핸드는 포크와, 상기 포크에 마련되어 기판을 흡착하는 흡착부를 구비하고, 상기 흡착부에 의해서 상기 기판을 흡착 보지하여 반송하는 기판 반송용 핸드에 있어서, 상기 흡착부가 상기 기판과 접촉하여 상기 기판을 흡착하는 패드와, 상기 포크와 상기 패드 사이에 마련되어, 흡착용 유체를 상기 포크와 상기 패드 사이에 연통시키는 흡착 유로를 구비한 탄성 부재를 구비하고, 상기 탄성 부재의 일부를 변형시켜 상기 패드의 상기 포크로부터의 돌출량을 임의로 변경 가능하게 구성하는 것이다.
또한, 본 발명의 실시형태의 한 형태에 따른 기판 반송용 핸드에 의해서, 기판을 다단으로 수용하는 카세트로부터 상기 기판을 반출하는 기판의 반송 방법은, 상기 패드의 상기 포크로부터의 돌출량을 감소시켜, 상기 돌출량을 감소시킨 상태 그대로 상기 카세트내에 있어서 반출하고 싶은 상기 기판과, 상기 반출하고 싶은 기판과 인접하는 기판 사이에 상기 포크를 삽입시켜, 상기 삽입 완료 후, 상기 돌출량의 감소를 정지시키고, 상기 포크를 상기 반출하고 싶은 기판에 접근시켜서 상기 패드와 상기 반출하고 싶은 기판을 접촉시키며, 상기 패드에 상기 반출하고 싶은 기판을 흡착시켜, 상기 포크를 상기 카세트로부터 꺼내는 것이다.
본 발명의 실시형태의 한 형태에 따른 기판 반송용 핸드에 의하면, 기판간 피치가 좁은 상태에 있는 기판을 반입?반출하는 것이 가능해진다. 즉, 예를 들면, 기판을 수용하는 카세트는 기판간 피치를 좁은 상태에서 수용할 수 있으므로, 반도체나 액정의 제조 장치에 대하여, 생산성이 높은 장치에 이용할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시형태의 일 형태에 따른 기판 반송용 핸드를 구비한 기판 반송 장치를 도시하는 사시도,
도 2는 기판 반송용 핸드의 일 실시형태를 도시하는 도면,
도 3은 기판 반송용 핸드가 카세트로부터 기판을 반출할 때의 도면,
도 4는 기판 반송용 핸드의 흡착부의 제 1 실시형태를 도시하는 도면,
도 5는 기판 반송용 핸드의 흡착부의 제 2 실시형태를 도시하는 도면,
도 6은 기판 반송용 핸드의 흡착부의 제 3 실시형태를 도시하는 도면,
도 7은 기판 반송용 핸드의 흡착부의 제 4 실시형태를 도시하는 도면,
도 8은 기판 반송용 핸드의 흡착부의 제 1 변형예를 도시하는 도면,
도 9는 기판 반송용 핸드의 흡착부의 제 2 변형예를 도시하는 도면이다.
도 1은, 본 발명의 실시형태의 일 형태에 따른 기판 반송용 핸드(4)를 구비한 기판 반송 장치(22)를 도시하는 사시도이다. 도 1에서 도시하는 바와 같이, 본 실시형태에 있어서의 기판 반송 장치(22)는, 카세트(27)에 수용된 기판(2)을 반송하기 위한 것이다. 카세트(27)는 기판 반송 장치(22)의 동작 범위내, 즉 기판 반송용 핸드(4)가 도달할 수 있는 범위내에 설치되어 있다. 카세트(27)는 본 실시형태의 경우, 기판(2)의 면을 수평으로 하고, 이들 기판(2)을 수직 방향으로 다단으로 수용하고 있다. 또한, 카세트(27)는 기판(2)의 면을 거의 수직으로 하여 수용하는 경우도 있다.
기판 반송용 핸드(4)는 기판 반송 장치(22)에 의해서 작동되며, 카세트(27)에 수용되어 있는 기판(2)을 흡착하여 반송한다. 기판(2)은 기판 반송용 핸드(4)의 포크(1)에 의해서 지지되어 반송된다. 포크(1)는, 예를 들면 탄소 섬유 강화 플라스틱으로 형성되어 있다. 포크(1)의 기단은, 지지 부재(23)에 지지 되어 있다. 또한, 지지 부재(23)에는 통상, 복수 라인의 포크(1)가 지지 되어 있다. 지지 부재(23)는 신축 기구(26)의 선단에 지지되어 있다.
본 실시형태의 경우, 신축 기구(26)는 복수의 아암이 서로 회전 가능하게 연결된 수평 다관절 아암이다. 따라서, 기판 반송용 핸드(4)는 신축 기구(26)에 의해서 수평 방향으로 이동한다. 신축 기구(26)의 기단은 선회 기구(25)에 지지되어 있다.
선회 기구(25)는 수직 방향의 회전축을 중심으로 선회 동작이 가능하다. 즉, 선회 기구(25)는 신축 기구(26) 및 기판 반송용 핸드(4)를 수평면으로 선회시킨다. 또한, 선회 기구(25)에는, 또 다른 신축 기구(26)가 마련되어 있으며, 합계 2개의 신축 기구(26)가 구비되어 있다. 다른 신축 기구(26)의 선단에도 기판 반송용 핸드(4)가 마련되어 있다. 또한, 이해하기 쉽게 하기 위해, 다른 신축 기구(26)는 도중부터 도시하고 있지 않다. 2개의 신축 기구(26) 및 기판 반송용 핸드(4)를 마련함으로써, 단위 시간당의 기판(2)의 반송 매수를 증가시킬 수 있다. 선회 기구(25)는 승강 기구(24)에 지지되어 있다. 승강 기구(24)는 선회 기구(25), 신축 기구(26), 기판 반송용 핸드(4)를 수직 방향으로 승강시킨다. 본 실시형태의 경우, 선회 기구(25)는 링크 기구로 구성되어 있다.
승강 기구(24)는 기대에 지지되어 있다. 기대는 공장 등의 플로어에 설치된다. 또한, 기대는, 도시하지 않는 주행 기구의 동작 부분에 지지되는 경우도 있다. 주행 기구에 지지되는 경우는 기대가 플로어를 이동할 수 있다.
이상에서 설명한 각 기구는, 도시하지 않는 써보 모터로 구동된다. 이들 써보 모터의 동작을 제어하는 것이 컨트롤러(21)이다. 컨트롤러(21)에는, 기판 반송 장치(22)가 목적 동작을 실행하고 기판 반송용 핸드(4)를 소망의 위치에 동작시키기 위해, 미리 각 써보 모터의 동작 속도나 회전 위치 등을 교시하는 프로그램이 격납되어 있다.
이상의 구성에 의해서, 기판 반송 장치(22)는, 컨트롤러(21)의 지령에 따라 기판(2)을 기판 반송용 핸드(4)에 탑재하여, 한 위치로부터 목적 위치까지 반송한다.
도 2는 본 발명의 기판 반송용 핸드의 일 실시형태를 도시하는 도면이다. 도 2의 (a)는 기판 반송용 핸드(4)를 상부에서 본 평면도를 도시하고 있다. 도 2의 (b)는 도 2의 (a)내의 화살표 X방향에서 본 측면도이다. 도 2의 (c)는 후술하는 흡착부(3)의 평면도만 도시하고 있다.
도 2의 (a)와 같이, 지지 부재(23)에는 하나 또는 2개 이상(본 실시형태에서는 2개)의 포크(1)의 기단이 지지되어 있다. 지지 부재(23)에는, 흡착용 유체가 통과하기 위한 튜브(37)가 배관되어 있다. 흡착용 유체는, 예를 들어, 진공 에어이다. 튜브(37)는, 도 1에 있어서의 기대측으로부터 승강 기구(24), 선회 기구(25), 신축 기구(26)의 내부가 배선되어 지지 부재(23)에 도달한다. 튜브(37)의 기단측은 도시하지 않지만, 예를 들면 펌프 등, 흡착용 유체의 공급원에 접속되어 있다. 포크(1)는 기단측으로부터 선단측까지의 내부에 공동을 갖도록 형성되어 있으며, 본 실시예의 경우, 이 공동에 튜브(37)가 배관된다.
한편, 포크(1)의 평탄면에는 복수의 흡착부(3)가 마련되어 있다. 흡착부(3)의 상세한 구성에 대해서는 후술하겠지만, 상기의 튜브(37)가 제 1 및 제 2 유로(도 4 내지 도 8 참조)를 거쳐서 흡착부(3)에 접속되어, 기판(2)을 임의로 흡착할 수 있도록 구성되어 있다. 도 2의 (c)와 같이, 흡착부(3)에는 기판(2)과 접촉하는 패드(5)가 마련되어 있어, 패드(5)에 의해서 기판(2)을 흡착한다. 패드(5)는 예를 들면, 수지로 형성된다. 포크(1)의 평탄면에는, 흡착부(3)와 함께 복수의 기판 받이(34)가 마련되어 있다.
기판 받이(34)는 도 2의 (b)가 도시하는 바와 같이, 흡착부(3)가 기판(2)을 흡착 지지했을 때, 기판(2)이 얇기 때문에 중력에 의해서 휘는 경우, 기판(2)과 포크(1)가 직접 접촉하는 것을 방지하기 위해서 마련되어 있다.
흡착부(3)에 대해 더욱 상세하게 설명한다. 본 발명의 일 실시형태에 있어서의 기판 반송용 핸드(4)의 흡착부(3)는, 패드(5)의 포크(1)로부터의 돌출량이 변경 가능하도록 구성되어 있다. 따라서, 예를 들면, 기판간 피치가 좁은 상태에서 기판(2)이 카세트(27) 등에 수용되어 있었다고 해도, 패드(5)의 포크(1)로부터의 돌출량을 작게 한 상태에서 포크(1)를 카세트(27)에 진입시킴으로써, 문제없이 흡착부(3)를 기판(2)에 접근시켜, 흡착 및 반송을 가능하게 한다.
도 3은, 본 발명의 일 실시형태의 기판 반송용 핸드(4)가 카세트(27)로부터 기판(2)을 반출할 때의 도면을 도시하고 있다. 도 3은, 복수개 중, 어느 1개의 포크(1)를 선단측에서 본 측면도를 도시하고 있다. 우선, 도 3의 (a)와 같이, 기판 반송용 핸드(4)는 패드(5)의 돌출량(9)을 충분히 작게한 상태에서, 흡착하여 반송하고 싶은 반송 기판(2b)과 그 바로 아래에 있는 직하 기판(2c) 사이에 삽입된다. 이 때, 패드(5)의 돌출량(9)은 충분히 작기 때문에, 흡착부(3)의 패드(5)는 반송 기판(2b)의 하면에 접촉할 일은 없다. 또한, 포크(1)의 하면이 직하 기판(2c)에 접촉할 일도 없다.
다음, 도 3의 (b)와 같이, 반송 기판(2b)과 직하 기판(2c) 사이에 있어서, 흡착부(3)의 돌출량(9)이 통상 상태로 되돌려진다. 이 때, 흡착부(3)의 패드(5)는 반송 기판(2b)의 하면에 대하여 접촉하거나, 혹은 접촉하지 않는 정도의 높이에 위치한다.
다음, 도 3의 (c)와 같이, 기판 반송 장치(22)의 승강기구(24)에 의해서 기판 반송용 핸드(4)가 약간 들어 올려진다. 이 때, 흡착부(3)의 패드(5)는, 반송 기판(2b)의 하면과 접촉하여 기판(2)을 지지하고 있다. 여기서 반송 기판(2b)이 휘어 있는 경우, 패드(5)는 반송 기판(2b)의 휨에 따라 기운다.
그리고, 흡착부(3)의 패드(5)가 기판(2)을 흡착한다. 그 후, 기판 반송 장치(22)는 기판 반송용 핸드(4)를 카세트(27)로부터 꺼낸다. 즉, 직상 기판(2a)과 직하 기판(2c)의 사이로부터 반송 기판(2b)을 꺼낸다. 그리고, 기판 반송 장치(22)는 반송 기판(2b)을 목적 위치까지 반송한다.
즉, 본 발명 일 실시형태의 기판 반송용 핸드(4)에 의하면, 포크(1)와 포크(1)로부터 돌출하는 흡착부(3)의 합계가 되는 기판 반송용 핸드(4)의 두께를 일시적으로 얇게 할 수 있으므로, 기판간 피치가 좁은 상태로 놓여 있는 기판(2)에 대하여도, 문제없이 기판 반송용 핸드(4)의 흡착부(3)를 기판(2)에 접근시킬 수 있다.
다음, 흡착부(3)에 있어서의 패드(5)의 포크(1)로부터의 돌출량(9)을 변경하기 위한 구체적인 실시형태에 대해 설명한다. 이하에 설명하는 몇 개의 실시형태가 공통되는 사항을 말하면, 예를 들면 제 1 실시형태를 도시하는 도 4가 도시하는 바와 같이, 흡착부(3)가 기판(2)과 접촉하여 기판(2)을 흡착하는 패드(5)와, 포크(1)와 패드(5) 사이에 마련되고, 흡착용 유체를 포크(1)와 패드(5) 사이에 연통시키는 흡착 유로(7)를 구비한 탄성 부재(8)를 구비하여, 탄성 부재(8)의 일부를 변형시킴으로써, 패드(5)의 포크(1)로부터의 돌출량(9)을 변경하도록 구성되어 있다. 더욱 상세하게 말하면, 탄성 부재(8)가 흡착 유로 공간(20)과, 흡착 유로 공간(20)과는 독립된 돌출량 조정 공간(10)을 구비하고, 포크(1)가, 예를 들어, 진공 에어인 흡착용 유체(6)가 공급되는 제 1 유로(11)와 제 2 유로(12)를 구비하며, 제 1 유로(11)와 제 2 유로(12)는, 튜브(37)와 연결되고 각각 따로 따로 흡인 가능하도록 구성되고, 제 1 유로(11)와 제 2 유로(12)의 어느 한쪽은 돌출량 조정 공간(10)에 연통되며, 다른쪽은 흡착 유로 공간(20)에 연통되어, 돌출량 조정 공간(10)에 연통된 제 1 유로(11) 혹은 제 2 유로(12)에 흡착용 유체(6)를 공급함으로써, 돌출량 조정 공간(10)과 흡착 유로 공간(20)을 감소시켜 돌출량(9)을 변경(감소)한다. 즉, 이하에 설명하는 몇 개의 실시형태에서는, 기판(2)의 흡착을 위해서 사용하는 흡착용 유체(6)에 대하여, 패드(5)의 돌출량(9)을 변경하는 것에 이용하는 구성에 대해 나타내고 있다. 더욱 상세하게 말하면, 탄성 부재(8)가 패드(5)를 지지하는 동시에 흡착 유로(7)가 형성된 패드 지지부(13)와, 패드 지지부(13)에 형성되어, 패드 지지부(13)와 포크(1) 사이에 흡착 유로(7)에 연통되는 흡착 유로 공간(20)을 형성하는 제 1 환상각부(16)를 구비하고, 제 1 환상각부(16)가 변형되고, 제 1 환상각부(16)의 높이가 감소함으로써, 돌출량(9)이 변경되도록 구성되어 있다. 또한, 더욱 상세하게 말하면, 탄성 부재(8)가 패드 지지부(13)에 있어서 제 1 환상각부(16)와는 별도로 형성되어, 패드 지지부(13)와 포크(1) 사이에 돌출량 조정 공간(10)을 형성하는 제 2 환상각부(17)를 더 구비하고, 돌출량 조정 공간(10)의 내부 기체가 흡인되는 것(흡착용 유체(6)의 공급)에 의해서, 제 1 환상각부(16)와 제 2 환상각부(17)가 변형되고, 흡착 유로 공간(20)이 감소하여, 돌출량(9)이 변경되도록 구성되어 있다. 또한, 후술하는 바와 같이, 패드 지지부(13)가 제 1 환상각부(16)를 구비하는 제 1 패드 지지부(14)와, 제 2 환상각부(17)를 구비하는 제 2 패드 지지부(15)로 분할되어 구성되어도 좋다(도 6 및 도 7 참조).
우선, 흡착부(3)의 제 1 실시형태에 대해 설명한다. 도 4는, 기판 반송용 핸드(4)의 흡착부(3)의 제 1 실시형태를 도시하는 도면을 도시하고 있다. 도 4의 (a)는 패드(5)가 통상 상태인 경우의 포크(1) 및 흡착부(3)의 측단면도를 도시하고 있다. 도 4의 (b)는 패드(5)의 돌출량(9)이 도 4의 (a)보다 감소된 상태를 도시하고 있다.
도 4의 (a) 및 (b)가 도시하는 바와 같이, 포크(1)의 상부 표면 일부에는, 다른 표면보다 낮은 단차면(55)이 형성되어 있고, 그 낮은 단차면(55)상에는, 탄성 부재(8)가 탑재되어 있다. 탄성 부재(8)에는 패드 지지부(13)가 형성되어 있고, 패드(5)에 고정 혹은 끼워 맞추어져 있다. 패드 지지부(13)에 있어서의 패드(5)의 반대측에는, 제 1 환상각부(16)는 형성되어 있다. 제 1 환상각부(16)는, 패드(5)가 통상 상태에서(도 4의 (a)), 경사면(31)을 갖도록 패드 지지부(13)로부터 아래로 드리워져 환상(절두 원추의 빗면 형상)으로 형성되어 있다. 제 1 환상각부(16)는, 예를 들면, 얇은 탄성체에 의해서 형성되어 있다. 또한, 패드 지지부(13)도 제 1 환상각부(16)와 동일한 재료에 의해서 일체적으로 형성되는 것이 바람직하지만, 이것에 한정되지 않는다. 제 1 환상각부(16)의 단부는, 포크(1)의 단차면(55)과 접촉하고 있다.
패드 지지부(13)에 있어서, 제 1 환상각부(16)의 외측에는, 제 1 환상각부(16)를 둘러싸도록, 제 2 환상각부(17)가 제 1 환상각부(16)와 동심이 되는 위치에 형성되어 있다. 제 2 환상각부(17)도 제 1 환상각부(16)와 마찬가지로, 패드(5)가 통상 상태에서(도 4의(a)), 경사면(31)을 갖도록 패드 지지부(13)로부터 아래로 드리워져 환상(절두 원추의 빗면 형상)으로 형성되어 있다. 제 2 환상각부(17)도 제 1 환상각부(16)와 마찬가지로, 얇은 탄성체에 의해서 형성되어 있다. 제 2 환상각부(17)의 단부는, 제 1 환상각부(16)의 단부와 마찬가지로, 포크(1)의 단차면(55)과 접촉하고 있다.
제 1 환상각부(16)와 제 2 환상각부(17)는, 상술한 바와 같이, 포크(1)에 대하여 경사면(31)을 갖도록 형성되어 있다. 이것은, 후술하는 바와 같이, 제 1 환상각부(16)와 제 2 환상각부(17)로 변형되기 쉽게 작용한다. 그렇지만, 경사면(31)과 같은 형상이 아니고, 예를 들면, 주름상자형상(蛇腹形狀)으로 형성되어 있는 등, 적어도 제 1 환상각부(16)와 제 2 환상각부(17)는, 돌출량 조정 공간(10)과 흡착 유로 공간(20)을 형성할 수 있고, 변형되기 쉬운 것이면 좋다. 이상과 같이, 패드(5)는 탄성 부재(8)의 제 1 환상각부(16)와 제 2 환상각부(17)에 의해서 포크(1)에 대하여 탄성적으로 지지된 상태에 있다.
또한, 패드(5)의 최외주부에는, 고정부(33)가, 패드(5)의 둘레 전체 또는 일부에 마련되어 있다. 이 고정부(33)를 포크(1)에 대하여 압입하도록 하여 가압 패드(32)가 마련되어 있다.
가압 패드(32)는 링형상으로 형성되고 있으며, 포크(1)의 단차면(55)에 수용되도록 포크(1)에 대하여 고정된다. 가압 패드(32)는, 그 링의 내주부에 의해서 패드(5)의 고정부(33)를 압입한다. 가압 패드(32)는, 패드(5)가 탄성 부재(8)에 의해서 탄성적으로 지지되어 있는 상태에서, 약간만 패드(5)의 고정부(33)를 압입하여, 제 1 환상각부(16)나 제 2 환상각부(17)의 단부가 포크(1)의 단차면(55)과 확실하게 접촉할 수 있도록 하고 있다. 또한, 가압 패드(32)는 고정부(33)와 포크(1)의 단차면(55) 사이에 일정량의 간극을 갖는 상태가 되도록 패드(5)를 압입하고 있다. 이 간극에 의해서, 고정부(33)가 포크(1)에 접촉할 때까지의 범위에서, 패드(5)가 포크(1)에 대하여 경사지는 것, 후술하는 도 4의 (b)와 같이 패드(5)가 포크(1)에 접근하여 하강하는 것을 허용하고 있다.
한편, 포크(1)에는 제 1 유로(11)와 제 2 유로(12)가 형성되어 있다. 제 1 유로(11)와 제 2 유로(12)에는, 상기에서 설명한 튜브(37)에 의해서 흡착용 유체(6)가 공급된다. 도시하지 않지만, 튜브(37)의 도중에는, 예를 들면, 솔레노이드 밸브 등이 마련되어 있어, 제 1 유로(11)와 제 2 유로(12)에 대하여, 필요에 따라 각각 개별적으로 흡착용 유체(6)를 공급할 수 있게 되어 있다. 제 1 유로(11)는, 제 1 환상각부(16)와 포크(1)와 패드 지지부(13)로 둘러싸인 흡착 유로 공간(20)과 연통되어 있다. 제 2 유로(12)는, 제 1 환상각부(16)와 제 2 환상각부(17)와 포크(1)와 패드 지지부(13)로 둘러싸인 돌출량 조정 공간(10)과 연통되어 있다. 또한, 패드 지지부(13)에는 흡착 유로(7)가 형성되어 있다. 흡착 유로(7)는, 흡착 유로 공간(20)과 연통되어 있다. 흡착 유로(7)는 패드(5)와 연통되어 있다. 본 실시형태의 경우, 패드(5)에는 흡착 유로(7)와 연통되는 흡착 구멍(38)이 형성되어 있어, 기판(2)이 패드(5)와 접촉하고 있을 때, 제 1 유로(11)에 흡착용 유체(6)가 공급되면, 기판(2)이 패드(5)에 흡착된다. 단, 예를 들면, 패드(5)가 세라믹스 등, 다공질의 재료로 제작되어 있으면, 패드(5)에는 흡착 유로(7)와 연통되는 구멍을 반드시 형성할 필요는 없는 경우가 있다.
이상의 구성에 있어서의 동작 작용에 대해 설명한다.
(1) 우선, 도 4의 (a) 상태에 있어서, 즉, 기판(2)이 흡착부(3)에 흡착되어 있지 않은 상태에서, 제 2 유로(12)에 흡착용 유체(6)를 공급한다. 그러면, 돌출량 조정 공간(10)내의 기체가 제 2 유로(12)에 흡인된다. 그러면, 제 1 환상각부(16)와 제 2 환상각부(17)가 탄성 변형 하고, 각각의 경사면(31)이 포크(1)의 단차면(55)에 접촉하여 도 4의 (b) 상태가 된다. 즉, 돌출량 조정 공간(10)과 흡착 유로 공간(20)이 감소하여, 탄성 부재(8)가 포크(1)에 가까워져 포크(1)의 단차면(55)에 부착될 수 있도록 동작한다. 그러면, 패드 지지부(13)에 고정 지지 되어 있는 패드(5)도 포크(1)에 가까워지도록 동작한다. 이 때, 패드(5)의 포크(1)로부터의 돌출량(9)은, 제 2 유로(12)에 흡착용 유체(6)를 공급하기 전보다도 감소한다.
(2) 이 상태에 있어서, 그 후, 도 3에서 설명한 바와 같이, 기판 반송용 핸드(4)는, 기판간 피치가 좁은 상태에 놓여 있는 기판(2)에 대하여, 흡착부(3)를 기판(2)에 접근시킨다. 즉, 기판 반송용 핸드(4)는, 예를 들면, 도 1의 카세트(27)와 같이 기판간 피치가 좁은 상태로 놓여 있는 기판(2)의 바로 아래의 간극에 삽입한다. 여기서, 패드(5)의 포크(1)로부터의 돌출량(9)이 감소 되어 있으므로, 이 삽입 동작은 문제없이 실행된다.
(3) 그 후, 즉 흡착부(3)와 기판(2)이 접근한 상태에서, 제 2 유로(12)에 대한 흡착용 유체(6)의 공급을 정지한다. 그러면, 제 1 환상각부(16)와 제 2 환상각부(17)의 탄성체의 복원력에 의해서, 다시 도 4의 (a) 상태로 되돌아온다. 이 상태에서는, 패드(5)는 탄성 부재(8)에 의해서 탄성적으로 지지 되어 있으므로, 고정부(33)가 가압 패드(32)와 접촉할 때까지의 범위에서, 포크(1)에 대하여 경사와 접근이 가능한 상태에 있다.
(4) 이 상태에 있어서, 그 후, 도 3에서 설명한 바와 같이, 기판 반송용 핸드(4)를 동작시켜 기판(2)을 패드(5)에 탑재시키면, 예를 들면, 기판(2)이, 도 2의 (b)와 같이 휘어져 있어도, 패드(5)는 기판(2)의 면을 따라 경사지면서, 기판(2)과 접촉한다.
(5) 그 상태에서, 그 후, 제 1 유로(11)에 흡착용 유체(6)를 공급하면, 패드(5)는 확실하게 기판(2)을 흡착한다. 이 때, 흡착 유로 공간(20)의 내부의 기체가 흡인되게 되므로, 패드(5) 및 탄성 부재(8)는, 다시 도 4의 (b) 상태가 된다. 또한, 이 때, 기판(2)은 패드(5) 및 탄성 부재(8)를 따라서, 포크(1)의 면에 대하여 거의 평행이 되어 패드(5)에 흡착된다.
(6) 그 후, 기판 반송용 핸드(4)는 기판(2)을 흡착한 채로, 이것을 소정의 위치로 반송한다.
또한, 예를 들면, 기판(2)이 도 2의 (b)와 같이 휘어 있지 않은 경우 등, 패드(5)를 기판(2)을 따르게 할 필요가 없으면, 상기(3)에 있어서, 제 2 유로(12)에 대한 흡착용 유체(6)의 공급을 정지하기 전에, 혹은 제 2 유로(12)에 대한 흡착용 유체(6)의 공급을 실행하면서, 제 1 유로(11)에의 흡착용 유체(6)의 공급을 개시하고, 기판 반송용 핸드(4)를 동작시켜 기판(2)을 패드(5)에 흡착시켜도 좋다.
이상과 같이, 도 4가 도시하는 제 1 실시형태에서는, 탄성 부재(8)의 패드 지지부(13)에 제 1 환상각부(16)와 제 2 환상각부(17)가 형성되어 있다. 도 4의 (c)는 탄성 부재(8)의 하면도 만을 도시하고 있다. 도 4의 (c)가 상세하게 도시하는 바와 같이, 제 1 환상각부(16)와 제 2 환상각부(17)는, 동심원상이 되도록 형성되어 있다. 즉, 제 1 환상각부(16)와 제 2 환상각부(17)는, 공통의 패드 지지부(13)에 형성되어 있고, 이 제 1 실시형태에서는, 돌출량 조정 공간(10)은, 제 1 환상각부(16)와 제 2 환상각부(17) 사이의 공간을 이용하고 있다. 따라서, 이 제 1 실시형태에 의하면, 이하에 도시하는 제 2 실시형태 등과는 다르게, 소형의 흡착부(3)로서 구성할 수 있다. 즉, 좁은 스페이스 밖에 없는 포크(1)에 대하여 사용하는데 적합하다.
다음에, 흡착부(3)의 제 2 실시형태에 대해 설명한다. 도 5는, 기판 반송용 핸드(4)의 흡착부(3)의 제 2 실시형태를 도시하는 도면을 도시하고 있다. 도 5의 (a)는, 패드(5)가 통상 상태인 경우의 포크(1) 및 흡착부(3)의 측단면도를 도시하고 있다. 도 5의 (b)는, 패드(5)의 돌출량(9)이 도 5의 (a)보다 감소하고 있는 상태를 나타내고 있다. 즉, 패드(5)가 포크(1)측으로 끌어 당겨져 있는 상태를 도시하고 있다. 도 5의 (c)는, 탄성 부재(8)의 하면만을 도시하고 있다. 또한, 도 5의 (c)의 탄성 부재(8)는, 도 5의 (a)나 도 5의 (b)의 탄성 부재(8)보다 척도를 바꾸어 작게 기재하고 있다. 도 5에서는, 상기의 제 1 실시형태와 동일한 부위에 대해서는 동번호를 부여하고 있으므로, 그들의 상세한 설명은 생략 한다. 이하, 제 1 실시형태와 다른 부분을 중심으로 설명한다.
제 2 실시형태는, 공통의 패드 지지부(13)에 대하여 제 1 환상각부(16)와 제 2 환상각부(17)가 형성되어 있는 점에서는 제 1 실시형태와 동일하지만, 제 2 환상각부(17)의 형상이 다르다. 즉, 제 2 환상각부(17)에 대하여, 제 1 실시형태에서는 돌출량 조정 공간(10)을 형성하는데 제 1 환상각부(16)를 이용하고 있었지만, 제 2 실시형태에서는 제 1 환상각부(16)와 제 2 환상각부(17) 사이에, 또 다른 제 2 환상각부(17a)를 더 구비하고 있다. 즉, 제 2 환상각부(17)가 2중이 되도록 구비되어 있다. 그리고, 돌출량 조정 공간(10)을 형성하는 2중의 제 2 환상각부(17)와 제 2 환상각부(17a)가, 제 1 환상각부(16)와 동심원상에 마련되어 있다. 즉, 제 1 실시형태와 비교하면, 탄성 부재(8)의 일부에 돌출량 조정 공간(10)과 흡착 유로 공간(20)이 형성되고 있는 점은 동일하지만, 흡착 유로 공간(20)을 형성하는 것에 대하여 제 1 환상각부(16)를 이용하고 있지 않는 구성으로 되어 있다. 제 2 실시형태에 의하면, 제 1 실시형태보다 돌출량 조정 공간(10)의 공간 용적을 크게 할 수 있으므로, 돌출량 조정 공간(10)을 흡인했을 때의 패드(5)의 돌출량(9)의 감소를 확실하게 할 수 있다. 또한, 제 1 실시형태보다, 보다 확실한 탄성 부재(8)의 복원력을 기대할 수 있다.
다음, 흡착부(3)의 제 3 실시형태에 대해 설명한다. 도 6은, 기판 반송용 핸드(4)의 흡착부(3)의 제 3 실시형태를 도시하는 도면을 도시하고 있다. 도 6의 (a)는, 패드(5)가 통상 상태인 경우의 포크(1) 및 흡착부(3)의 측단면도를 도시하고 있다. 도 6의 (b)는, 패드(5)의 돌출량(9)이 도 6의 (a)보다 감소하고 있는 상태를 도시하고 있다. 즉, 패드(5)가 포크(1)측으로 끌어 당겨져 있는 상태를 도시하고 있다. 도 6의 (c)는, 탄성 부재(8)의 하면만을 도시하고 있다. 도 6에서는, 상기의 제 1이나 제 2 실시형태와 동일한 부위에 대해서는 동번호를 부여하고 있으므로, 그들의 상세한 설명은 생략한다.
이하, 제 1 이나 제 2 실시형태와 다른 부분을 중심으로 설명한다.
제 3 실시형태에서는, 패드 지지부(13)가 제 1 패드 지지부(14)와 제 2 패드 지지부(15)로 분할되어 있는 점이, 제 1이나 제 2 실시형태와 크게 다르다. 즉, 제 1이나 제 2 실시형태에서는, 제 1 환상각부(16)와 제 2 환상각부(17)가, 공통의 패드 지지부(13)에 형성되어 있었지만, 제 3 실시형태에서는, 제 1 패드 지지부(14)에 제 1 환상각부(16)가 형성되고, 제 1 패드 지지부(14)와는 독립된 제 2 패드 지지부(15)에 제 2 환상각부(17)가 형성되어 있다. 또한, 도 6의 (c)가 상세하게 도시하는 바와 같이, 제 3 실시형태에서는, 제 2 패드 지지부(15)가 복수 구비되어 있고, 제 1 환상각부(16)를 구비하는 제 1 패드 지지부(14)를 둘러싸도록 주위에 배치되어 있다. 제 2 패드 지지부(15) 및 제 2 환상각부(17)는, 제 2 유로(12)에 흡착용 유체(6)를 공급했을 때에, 패드(5)가 경사지는 일 없이 균일하게 포크(1)에 대하여 가까워지도록 할 수 있으면, 제 1 패드 지지부(14) 및 제 1 환상각부(16)의 수는 본질적으로는 제한 등은 없다. 제 3 실시형태에서는, 복수의 돌출량 조정 공간(10)이 각각 독립되어 존재하게 되므로, 예를 들면, 어느 돌출량 조정 공간(10)을 형성하는 제 2 환상각부(17)가 파손하여, 제 2 유로(12)로부터의 흡착용 유체(6)에 의해서 흡인할 수 없게 되었을 경우라도, 그 이외의 돌출량 조정 공간(10)에 의해서 흡인할 수 있을 가능성이 높아진다.
다음, 흡착부(3)의 제 4 실시형태에 대해 설명한다. 도 7은, 기판 반송용 핸드(4)의 흡착부(3)의 제 4 실시형태를 도시하는 도면을 도시하고 있다. 도 7의 (a)는, 패드(5)가 통상 상태인 경우의 포크(1) 및 흡착부(3)의 측단면도를 도시하고 있다. 도 7의 (b)는, 패드(5)의 돌출량(9)이 도 7의 (a)보다 감소되어 있는 상태를 도시하고 있다. 즉, 패드(5)가 포크(1)측에 끌어당겨져 있는 상태를 도시하고 있다. 도 7의 (c)는, 탄성 부재(8)의 하면만을 도시하고 있다. 도 7의 (d)는, 제 1 패드 지지부(14) 및 제 1 환상각부(16)와 제 2 패드 지지부(15) 및 제 2 환상각부(17)를 도시하는 측단면도이다. 도 7에서는, 상기의 제 1, 제 2 및 제 3 실시형태와 동일한 부위에 대해서는 동번호를 부여하고 있으므로, 그들의 상세한 설명은 생략한다. 이하, 제 1, 제 2 및 제 3의 실시형태와 다른 부분을 중심으로 설명한다.
제 4 실시형태에서는, 패드 지지부(13)가 제 1 패드 지지부(14)와 제 2 패드 지지부(15)로 분할되어 있는 점은 제 3 실시형태와 동일하지만, 제 2 패드 지지부(15)의 형상이 제 3 실시형태와 다르다. 즉, 제 3 실시형태에서는, 제 2 패드 지지부(15) 및 제 2 환상각부(17)를 복수 구비하고 있었지만, 제 4 실시형태에서는, 제 2 패드 지지부(15) 및 제 2 환상각부(17)를 도넛형상으로 형성하고, 제 1 패드 지지부(14) 및 제 1 환상각부(16)에 대하여 동심상에서, 그 주위를 둘러싸도록 배치하고 있다. 이 제 4 실시형태는, 도 5에서 설명한 제 2 실시형태에 있어서, 그 패드 지지부(13)를 제 1 패드 지지부(14)와 제 2 패드 지지부(15)로 분할한 것에 상당한다. 제 4 실시형태에 의하면, 제 3 실시형태보다 제 2 패드 지지부(15) 및 제 2 환상각부(17)의 부품수를 삭감할 수 있다. 또한, 제 2 패드 지지부(15) 및 제 2 환상각부(17), 혹은, 제 1 패드 지지부(14) 및 제 1 환상각부(16)중 어느쪽이 손상을 받았을 경우, 그 어느쪽 만을 교환할 수 있다.
다음, 이상에서 설명한 제 1 내지 제 4 실시형태에 적용할 수 있는 제 1 변형예에 대해 설명한다. 제 1 변형예에 대하여, 도 4에서 설명한 제 1 실시형태에 적용했을 경우를 설명한다. 도 8이 그 제 1 변형예를 나타내는 흡착부(3)의 측단면도이다. 이 제 1 변형예를 간단하게 말하면, 제 1 내지 제 4 실시형태에서 설명한 돌출량 조정 공간(10)과 흡착 유로 공간(20)에 대하여, 그 사용법을 반대로 하는 것이다. 이 제 1 변형예에서는, 도 4 내지 도 7에서 말하면 돌출량 조정 공간(10)에 상당하는 공간과 연통되는 예비 흡착 유로(35)를 탄성체(8)에 미리 형성하고 있다. 그리고, 패드(5)의 흡착 구멍(38)을 예비 흡착 유로(35)에 대응하는 위치로 변경한 것을 사용하고 있다. 예비 흡착 유로(35)를 탄성 부재(8)의 제작시에 미리 구비해 두면, 본 변형 예의 경우와 그렇지 않은 경우에 있어서 탄성 부재(8)를 교환할 필요가 없이, 부품을 공통되게 사용할 수 있다. 예비 흡착 유로(35)에 대해서는 도 5, 도 6, 도 7 에서도 작도하고 있다.
이와 같이 하면, 제 1 내지 제 4 실시형태에 있어서의 돌출량 조정 공간(10)으로서 사용하고 있던 공간을 흡착 유로 공간(20)으로서 사용하고, 흡착 유로 공간(20)으로서 사용하고 있던 공간을 돌출량 조정 공간(10)으로서 사용할 수 있다. 즉, 이것은, 제 1 내지 제 4 실시형태에 있어서, 반드시 상술한 실시형태대로 돌출량 조정 공간(10)과 흡착 유로 공간(20)을 사용할 필요가 없는 것을 도시하고 있다.
또한, 상술한 제 1 내지 제 4 실시형태에 적용할 수 있는 제 2 변형예에 대해 설명한다. 제 2 변형예에 대하여, 도 4에서 설명한 제 1 실시형태와, 도 6에서 설명한 제 3 실시형태에 적용했을 경우를 설명한다. 도 9의 (a)가 제 1 실시형태에 적용했을 경우, 도 9의 (b)가 제 3 실시형태에 적용했을 경우의 각각의 흡착부(3)의 측단면도를 도시하고 있다. 이 제 2 변형예를 간단하게 말하면, 제 1 내지 제 4 실시형태로 설명한 탄성 부재(8)에 대하여, 돌출량(9)을 증대시키기 위한 구성을 개시하는 것이다. 이 제 2 변형예에서는, 패드 지지부(13)(혹은 제 1 패드 지지부(14)나 제 2 패드 지지부(15))와 패드(5) 사이에, 흡착 유로 공간(20)과 연통되는 흡착 유로 보조 공간(28)을 형성하는 제 1 보조 환상각부(18)와 돌출량 조정 공간(10)과 연통되는 돌출량 조정 보조 공간(29)을 형성하는 제 2 보조 환상각부(19)를 더 구비되어 있다. 또한, 이것에 수반하여, 돌출량 조정 공간(10)과 돌출량 조정 보조 공간(29)을 연통시켜 두도록 하기 위한 연통로(36)도 구비되어 있다. 또한, 변형예 1과 변형예 2를 조합하는 경우에는 도 9 의 (a)에서 도면부호 "29"가 지시하는 공간이 흡착유로 보조 공간이 되고, 도면부호 "28"이 지시하는 공간이 돌출양 조정 보조 공간이 될 것이다.
이와 같이 하면, 제 1 내지 제 4 실시형태에 비하여, 제 1 보조 환상각부(18)와 제 2 보조 환상각부(19)의 작용에 의해서, 패드(5)의 돌출량(9)의 변경량이 증대한다. 즉, 돌출량 조정 공간(10)을 흡인하면 돌출량 조정 보조 공간(29)도 흡인되어 공간 용적이 감소하는 것에 의해서, 돌출량(9)의 변경량이 증대한다.
또한, 금회 개시된 실시형태 및 변형예는, 모든 점에서 예시이므로 제한인 것은 아니라고 생각할 수 있어야 한다. 또한, 금회 개시된 실시형태 및 변형예를 적절히 조합한 것도, 아울러 개시된 것이라고 생각할 수 있어야 한다. 본 발명의 범위는, 상기한 실시형태 및 변형예의 설명이 아니고, 별도 기재한 특허 청구의 범위에 의해서 나타나 더욱 특허 청구의 범위의 기재와 균등한 의미 및 범위내에서의 모든 변경이 포함된다.
1 : 포크 2 : 기판
2a : 직상 기판 2b : 반송 기판
2c : 직하 기판 3 : 흡착부
4 : 기판 반송용 핸드 5 : 패드
6 : 흡착용 유체 7 : 흡착 유로
8 : 탄성 부재 9 : 돌출량
10 : 돌출량 조정 공간 11 : 제 1 유로
12 : 제 2 유로 13 : 패드 지지부
14 : 제 1 패드 지지부 15 : 제 2 패드 지지부
16 : 제 1 환상각부 17 : 제 2 환상각부
18 : 제 1 보조 환상각부 19 : 제 2 보조 환상각부
20 : 흡착 유로 공간 21 : 컨트롤러
22 : 기판 반송 장치 23 : 지지 부재
24 : 승강 기구 25 : 선회 기구
26 : 신축 기구 27 : 카세트
28 : 흡착 유로 보조 공간 29 : 돌출량 조정 보조 공간
31 : 경사면 32 : 가압 패드
33 : 고정부 34 : 기판 받이
35 : 예비 흡착 유로 36 : 연통로
37 : 튜브 38 : 흡착 구멍

Claims (12)

  1. 포크와, 상기 포크에 마련되어 기판을 흡착하는 흡착부를 구비하고, 상기 흡착부에 의해서 상기 기판을 흡착 유지하여 반송하는 기판 반송용 핸드에 있어서,
    상기 흡착부가,
    상기 기판과 접촉하여 상기 기판을 흡착하는 패드와,
    상기 포크와 상기 패드 사이에 마련되고, 흡착용 유체를 상기 포크와 상기 패드 사이에 연통시키는 흡착 유로를 구비한 탄성 부재를 구비하고,
    상기 탄성 부재의 일부를 변형시켜 상기 패드의 상기 포크로부터의 돌출량을 임의로 변경 가능하게 구성된
    기판 반송용 핸드.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 탄성 부재가
    상기 흡착 유로와 연통되는 흡착 유로 공간과,
    상기 흡착 유로와 독립된 돌출량 조정 공간을 구비하고,
    상기 포크가,
    상기 흡착용 유체가 공급되는 제 1 유로와 제 2 유로를 구비하고,
    상기 제 1 유로와 상기 제 2 유로는, 각각 따로 따로 흡인 가능하도록 구성되며,
    상기 제 1 유로와 상기 제 2 유로의 어느 한쪽이 상기 흡착 유로 공간에 연통되고, 다른쪽이 상기 돌출량 조정 공간에 연통되어,
    상기 돌출량 조정 공간에 연통된 상기 제 1 유로 혹은 상기 제 2 유로에 상기 흡착용 유체를 공급함으써, 상기 흡착 유로 공간과 상기 돌출량 조정 공간을 감소시켜 상기 돌출량을 변경하는
    기판 반송용 핸드.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 탄성 부재가,
    상기 패드를 지지하는 동시에 상기 흡착 유로가 형성된 패드 지지부와,
    상기 패드 지지부에 형성되어, 상기 패드 지지부와 상기 포크 사이에 상기 흡착 유로 공간을 형성하는 제 1 환상각부를 구비하고,
    상기 제 1 환상각부가 변형됨으로써, 상기 돌출량이 변경되는
    기판 반송용 핸드.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 탄성 부재가,
    상기 패드 지지부에 있어서 상기 패드 지지부와 상기 포크 사이에 상기 돌출량 조정 공간을 형성하는 제 2 환상각부를 더 구비하고,
    상기 돌출량 조정 공간의 내부 기체가 흡인되는 것에 의해서, 상기 제 1 환상각부와 상기 제 2 환상각부가 변형되고, 상기 돌출량 조정공간 및 상기 흡착 유로 공간이 감소하여, 상기 돌출량이 변경되는
    기판 반송용 핸드.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제 2 환상각부가 상기 제 1 환상각부와 동심이며, 상기 제 1 환상각부의 외측에 형성되어 상기 제 1 환상각부와 상기 제 2 환상각부로 둘러싸인 공간을 상기 돌출량 조정 공간으로서 구성하는
    기판 반송용 핸드.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 제 2 환상각부가, 상기 제 1 환상각부와 동심이며, 상기 제 1 환상각부의 외측에 2중으로 형성된
    기판 반송용 핸드.
  7. 제 4 항에 있어서,
    상기 패드 지지부가,
    상기 제 1 환상각부를 구비하는 제 1 패드 지지부와,
    상기 제 2 환상각부를 구비하는 제 2 패드 지지부로 분할되어 구성된
    기판 반송용 핸드.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 제 2 패드 지지부가, 상기 제 1 패드 지지부의 주위에 복수 형성된
    기판 반송용 핸드.
  9. 제 4 항에 있어서,
    상기 돌출량 조정 공간과 상기 흡착 유로 공간을 서로 대신하여 사용할 수 있도록, 상기 패드 지지부에 상기 돌출량 조정 공간에 연통되는 예비 흡착 유로를 구비한
    기판 반송용 핸드.
  10. 제 4 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서
    상기 탄성 부재가 상기 패드 지지부와 상기 패드 사이에,
    상기 흡착 유로 공간과 연통되는 흡착 유로 보조 공간을 형성하는 제 1 보조 환상각부와,
    상기 돌출량 조정 공간과 연통되는 돌출량 조정 보조 공간을 형성하는 제 2 보조 환상각부를 더 구비한
    기판 반송용 핸드.
  11. 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 기재된 기판 반송용 핸드와,
    상기 기판 반송용 핸드를 움직이는 동작 기구와,
    상기 기판 반송용 핸드를 움직이는 위치를 미리 기억하는 컨트롤러를 구비한
    기판 반송 장치.
  12. 기판을 다단으로 수용하는 카세트로부터 상기 기판을 반출하는 기판의 반송 방법에 있어서,
    포크와, 상기 포크에 마련되어 상기 기판을 흡착하는 흡착부를 구비하고,
    상기 흡착부가,
    상기 기판과 접촉하여 상기 기판을 흡착하는 패드와,
    상기 포크와 상기 패드 사이에 마련되어, 흡착용 유체를 상기 포크와 상기 패드 사이에 연통시키는 흡착 유로를 갖춘 탄성 부재를 구비하고,
    상기 탄성 부재의 일부를 변형시켜 상기 패드의 상기 포크로부터의 돌출량을 임의로 변경 가능하게 구성된 기판 반송용 핸드에 의해서, 상기 카세트내의 상기 기판을 흡착 보지하여 반출하는 기판 반송 방법에 있어서,
    상기 돌출량 조정 공간을 흡인하여 상기 탄성 부재를 변형시키는 것에 의해, 상기 패드의 상기 포크로부터의 돌출량을 감소시켜,
    상기 돌출량을 감소시킨 상태 그대로, 상기 카세트내에 있어서의 반출하고 싶은 상기 기판과, 상기 반출하고 싶은 기판과 인접하는 기판 사이에 상기 포크를 삽입시키고,
    상기 삽입이 완료된 후, 상기 돌출량 조정 공간의 흡인을 정지시켜,
    상기 포크를 상기 반출하고 싶은 기판에 접근시키고 상기 패드와 상기 반출하고 싶은 기판을 접촉시키고,
    상기 흡착 유로에 상기 흡착용 유체를 공급하여 상기 패드에 상기 반출하고 싶은 기판을 흡착시켜,
    상기 포크를 상기 카세트로부터 꺼내는
    기판 반송 방법.
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