KR20110029705A - 기판 이송장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판이송장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 기판이송장치는 다수 개의 진공척으로 기판을 흡착하여 이송하는 기판 이송장치에 있어서, 상기 다수 개의 진공척이 일정 간격으로 이격설치된 지지보; 상기 지지보의 일 측부에 설치되어 상기 지지보를 이송시키는 구동수단; 상기 진공척과 상기 지지보의 사이에 설치되며, 상기 다수 개의 진공척이 기판 흡착시 상기 다수 개의 진공척을 탄성적으로 지지하도록 설치되는 탄성수단;을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 다수 개의 진공척으로 기판을 흡착하되 각 진공척의 높낮이를 조절하지 않아도 기판 이송시 기판의 파손을 방지할 수 있는 기판 이송장치가 제공된다.

기판이송, 진공척, 탄성부재, 탄성수단, 처짐

Description

기판 이송장치 {Apparatus for Transfering Substrate}

본 발명은 기판 이송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 브라켓에 고정된 다수 개의 진공척을 통해 대면적 크기의 기판 이송시 브라켓의 처짐으로 인해 각각의 진공척과 기판 간의 갭이 변화하는 것을 방지할 수 있는 기판 이송장치에 관한 것이다.

일반적으로, 기판을 이송하는 장치는 접촉식과 비접촉식으로 구분지을 수 있다. 접촉식은 기판의 일부를 소정의 수단으로 파지하여 기판을 이송하는 장치로서 다양한 분야의 기판을 파지시에 유용하게 사용되었다.

그런데, 최근 반도체 또는 LCD등의 정밀산업이 발달함에 따라 반도체웨이퍼 또는 LCD용 글래스 등의 정밀작업을 요하는 기판의 사용이 증대되었다.

이에 따라, 기판의 물리적 또는 화학적 훼손을 방지하기 위해 기판을 진공흡착하는 비접촉식 이송장치의 사용이 증대되고 있다.

도 1 및 도 2는 종래 비접촉식 기판 이송장치의 개략도이다. 도 1을 참조하면, 비접촉식 기판 이송장치(100)는 기판(P)의 길이방향으로 대응되도록 형성된 브라켓(110)에 다수 개의 진공척(120)이 배열되어 있다.

또한, 브라켓(110)에는 진공척(120)이 기판(P)을 흡착시, 일 방향으로 길게 형성된 브라켓의 전방 및 후방의 단부 영역에서 처짐이 발생하여 진공척(120)의 높낮이가 달라지는 것을 방지하도록 진공척(120)의 높낮이를 조절하는 조절수단(130)이 설치된다.

아울러, 조절수단(130)이 설치된 브라켓(110)의 인접영역에는 브라켓(110)에 설치된 진공척(120)을 기판(P)과 인접하도록 상향 이송시키는 구동수단(140)이 설치된다. 도시된 바는 실린더가 설치되어 있다.

그러나, 이 같은 종래 비접촉식 기판 이송장치(100)는 브라켓(110)의 양 측부의 처짐으로 인해 각각의 진공척(120)의 높낮이가 도 2에서와 같이 변경되어 초기 셋업시 작업자가 각 진공척(120)의 높낮이를 개별적으로 조절해야만 하는 문제점이 있었다.

또한, 미세한 진공척(12)의 높낮이를 수작업으로 조절하게 됨으로써 높낮이의 미세한 오차에 의해 기판이 파손되는 문제점이 있었다.

따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 다수 개의 진공척으로 기판을 흡착하되 각 진공척의 높낮이를 조절하지 않아도 기판 이송시 기판의 파손을 방지할 수 있는 기판 이송장치를 제공함에 있다.

상기 목적은, 다수 개의 진공척으로 기판을 흡착하여 이송하는 기판 이송장치에 있어서, 상기 다수 개의 진공척이 일정 간격으로 이격설치된 지지보; 상기 지지보의 일 측부에 설치되어 상기 지지보를 이송시키는 구동수단; 상기 진공척과 상기 지지보의 사이에 설치되며, 상기 다수 개의 진공척이 기판 흡착시 상기 다수 개의 진공척을 탄성적으로 지지하도록 설치되는 탄성수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치에 의해 달성된다.

여기서, 상기 탄성수단과 상기 지지보의 사이에 설치되는 브라켓을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.

또한, 상기 탄성수단은 한 쌍으로 마련되며, 상기 진공척의 일측 및 상기 브라켓의 일측과 각각 결합되는 한 쌍의 지지수단과, 상기 한 쌍의 지지수단에 양단이 결합되는 탄성부재를 포함할 수 있다.

본 발명에 따르면, 다수 개의 진공척으로 기판을 흡착하되 각 진공척의 높낮이를 조절하지 않아도 기판 이송시 기판의 파손을 방지할 수 있는 기판 이송장치가 제공된다.

설명에 앞서, 여러 실시예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1실시예와 다른 구성에 대해서 설명하기로 한다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 이송장치에 대해 설명한다.

도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 이송장치의 개략도이다. 도 3을 참조하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 이송장치(A)는 지지보(10), 브라켓(20), 구동수단(30), 진공척(40), 탄성수단(50)을 포함하여 구성된다.

상기 지지보(10)는 흡착해야할 기판(P)의 길이에 대응되도록 일 방향으로 길게 형성되며, 이 같은 지지보(10)의 상부에 일정 간격으로 소정의 블럭형태의 브라켓(20)이 결합된다.

또한, 상기 브라켓(20)이 결합된 지지보(10)의 타 측면에는 각각 지지보(10)를 상하 방향으로 이동시키는 구동수단(30)이 적어도 하나 이상 설치된다.

이때, 구동수단(30)은 운동말단이 상하방향으로 이동하는 액추에이터이며, 일 방향으로 길게 형성된 지지보(10)를 따라 브라켓(20)과 대응되는 위치에 설치되는 것이 지지보(10) 전체를 동시에 이동시킬 수 있어 바람직하다.

도 4는 도 3의 진공척과 탄성수단의 확대도이다.

도 4를 참조하면, 상기 진공척(40)은 흡입부(41), 척블럭(42), 흡입관(43)을 포함하여 구성된다.

여기서, 흡입부(41)와 흡입관(43)은 소정의 관형상으로 마련되어 척블럭(42)에 결합되며, 척블럭(42)은 흡입부(41)와 흡입관(43)이 연통되도록 내부에 소정의 홀이 형성된다.

아울러, 흡입부(41)는 기판과 맞닿는 부분에 기판의 안정적인 안착을 도모하기 위해 말단부에 흡착패드(41a)가 구비된다.

도시된 바는 흡입부(41)가 척블럭(42)의 상부에 결합되고, 흡입관(43)은 척블럭(42)의 우측에 결합되어 연통되는 형태를 도시하고 있다.

즉, 흡입관(43)에 소정의 공기를 흡입할 수 있는 장치가 연결되어 공기를 흡입하게 되면, 기판은 흡착패드(41a)에 흡착되게 된다.

상기 탄성수단(50)은 척블럭(42)과 브라켓(20)의 사이에 설치되되, 브라켓(20)의 양측벽과 척블럭(42)의 양측벽을 한 쌍의 지지수단(52)을 통해 결합되는 것이 안정적인 탄성력 확보에 바람직하다.

한편, 도시되지는 않았으나 지지보(10)는 일 방향으로 이송되도록 소정의 이송수단이 구비됨으로써, 지지보(10)에 설치된 다수의 진공척(40)을 통해 흡착된 기판(P)은 이송될 수 있다.

지금부터는 상술한 기판 이송장치의 제1실시예의 작동에 대하여 설명한다.

도 5 내지 도 7은 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 이송장치의 기판 흡착 전과 흡착 후의 상태도이다.

도 5를 참조하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 이송장치(A)가 최초에 기판(P)을 흡착 전의 상태에서는 지지보(10)의 양 단부 영역이 브라켓(10)의 자중(自重)으로 인해 하방으로 처져있는 것이 도시되어 있다.

이 같은 상태에서 구동수단(30)은 지지보(10)를 기판(P)측 방향 즉, 상향으로 이송시킨다. 이때, 중앙영역에 배치된 진공척(40)이 먼저 기판(P)과 맞닿게 되며, 양측 단부로 갈수록 지지보(10)의 처짐으로 인해 진공척(40)과 기판(P)은 맞닿지 않은 상태가 된다.

이후, 지지보(10)의 양측 단부의 처짐을 고려하여, 도 6에서와 같이, 지지보(10)의 중앙영역을 더욱 높은 위치로 상승시키게 되면, 지지보(10)의 양측 단부영역도 동시에 상승하며 양 측부에 배치된 진공척(40)도 모두 기판(P)과 맞닿게 된다.

이때, 중앙영역에 위치하는 탄성부재(51a)는 가장 많이 압축되고, 양측 단부영역으로 갈수록 중앙영역의 탄성부재(51a)에 비해 작게 압축된다.

결과적으로, 각 진공척(40)은 지지보(10)의 처짐으로 인해 서로 다른 높이를 갖고 있으나, 각 진공척(40)과 결합된 탄성수단(50)을 통해 개별적으로 높이가 보상되어, 도 7에서와 같이, 모든 진공척(40)에 기판이 안정적으로 흡착된다.

이를 통해, 흡착되는 기판의 뒤틀림현상 또는 파손의 발생을 방지할 수 있게 되고, 기판 이송시에도 안정적인 흡착에 의해 기판의 이탈현상 등에 의한 기판의 파손 등을 방지할 수 있다.

본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.

도 1 및 도 2는 종래 비접촉식 기판 이송장치의 개략도,

도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 이송장치의 개략도,

도 4는 도 3의 진공척과 탄성수단의 확대도,

도 5 내지 도 7은 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 이송장치의 기판 흡착 전과 흡착 후의 상태도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

10 : 지지보 20 : 브라켓 30 : 구동수단

40 : 진공척 50 : 탄성수단

Claims (3)

1. 다수 개의 진공척으로 기판을 흡착하여 이송하는 기판 이송장치에 있어서,

   상기 다수 개의 진공척이 일정 간격으로 이격설치된 지지보;

   상기 지지보의 일 측부에 설치되어 상기 지지보를 이송시키는 구동수단;

   상기 진공척과 상기 지지보의 사이에 설치되며, 상기 다수 개의 진공척이 기판 흡착시 상기 다수 개의 진공척을 탄성적으로 지지하도록 설치되는 탄성수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 탄성수단과 상기 지지보의 사이에 설치되는 브라켓을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
3. 제 2항에 있어서,

   상기 탄성수단은 한 쌍으로 마련되며, 상기 진공척의 일측 및 상기 브라켓의 일측과 각각 결합되는 한 쌍의 지지수단과, 상기 한 쌍의 지지수단에 양단이 결합되는 탄성부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.

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