JP4519743B2 - 基板吸着装置、基板支持体、基板搬送装置、およびガラス基板搬送用ロボット。 - Google Patents
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そのため、ロボットのハンドに複数のフォークを取り付け、このフォークをガラス基板の下側に差し込んで、ロボットでフォークを持ち上げ搬送するようにしている。フォークをガラス基板の下側に差し込んだとき、ガラス基板を真空吸着するために、フォーク部位に上下方向に移動可能な弾性体を介して吸着パッドを設け、吸着パッドをガラス基板の下側に接触させ、その弾性体内を負圧にすることによって基板面をパッド面に吸着する基盤吸着装置を基板支持体に設けていた。
図8は従来の吸着パッド概略図で、(a)は平面図、(b)は側面図である。
図において、4はハンドのフォークとなっている。ロボットのハンドには複数のフォーク4が取り付けられており(図5参照)、このフォーク4によってガラス基板K(図5参照)を取り、搬送する。このようなハンドのフォーク4にクッションゴムパッド22’が取り付けてある。このクッションゴムパッド22’に吸着パッド23’が覆い被さっている。この吸着パッド23’の位置を固定するために押さえ蓋24が設置されている。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、搬送で使用するロボット、ハンド、基板を一つの搬送システムとした場合、そのシステム状況下での基板の反り等の特徴に合わせた吸着パッドの選択が可能とすることを目的とする。
前記パッド座(21)と前記パッド押さえ(24)とが前記支点軸(23b)を保持する部分において前記パッド押さえ(24)と前記パッド座(21)との間に所定の隙間が形成され、前記支点軸(23b)の軸方向において前記吸引パッド(23)が前記パッド座(21)の上面となす限界傾斜角度と、前記支点軸(23b)の軸回り方向において前記吸引パッド(23)が前記パッド座(21)の上面となす限界傾斜角度と、が異なるよう構成されたことを特徴としている。
請求項2記載の発明は、請求項1記載の基板吸着装置において、前記所定の隙間の長さを変えることで、前記支点軸(23b)の軸方向において前記吸引パッド(23)が前記パッド座(21)の上面となす限界傾斜角度と、前記支点軸(23b)の軸回り方向において前記吸引パッド(23)が前記パッド座(21)の上面となす限界傾斜角度と、が変更されることを特徴としている。
請求項3記載の発明は、請求項1記載の基板吸着装置において、前記パッド支持体(22)が、ゴムで構成されたことを特徴としている。
請求項4記載の発明は基板支持体に係り、請求項1〜3のいずれか1項記載の基板吸着装置を備え、前記吸引パッド(23)が開口(14a)から突出するように前記パッド座(21)を収容するとともに、前記吸気通路(21c、21d)に接続される吸気管(28)を収容することを特徴としている。
請求項5記載の発明は基板搬送装置に係り、可動体を備えた基板搬送装置であって、請求項4記載の基板支持体を前記可動体に設けたことを特徴としている。 請求項6記載の発明はガラス基板搬送用ロボットに係り、前記基板(K)がガラス基板であって、請求項5記載の前記可動体がロボットアームであることを特徴としている。
図1は本発明の吸着パッド近傍の説明図で、(a)は平面図、(b)は正面図、(c)は側面図である。ロボットハンドのフォーク4(図5)に蛇腹状クッションゴムパッド22(図5の5)が取り付けてある。この蛇腹状クッションゴムパッド22に支点軸付き吸着パッド23が覆い被さっている。
この吸着パッド23の位置を固定するために押さえ蓋24が設置されている。
蛇腹状クッションゴムパッド22は弾性体であって、長さ方向に伸縮自在、長さ方向に対して斜め方向に変位自在である。したがって、吸着パッド23は吸着対象である基板の変形に対してこの蛇腹状クッションゴムパッド22の伸縮・傾斜自在により垂直方向から吸引することができるようになり、変形基板K(図2)に対しても強力な吸引が可能となる。
図2は本発明の吸着パッド近傍の縦断面拡大図である。
図において、基板吸着装置20は、基板支持体14の上面に形成されるもので、パッド座21と、パッド座21の上に載置されるパッド支持体22と、パッド支持体22の上に載置される吸引パッド23と、吸引パッド23の変位をある範囲内に規制するパッド押さえ24とを備えて構成される。
パッド座21は基板支持体14、14の間に設けられ、上部に円状凹部21aが形成され、その円状凹部21aの中央口21bから下方へ吸気通路21cが延び、その先端から水平方向に直角に曲がって外部に通じる吸気通路21dが延びている。吸気通路21dには基板支持体14に設けられたチューブなどからなる吸気管28が連通し、吸気管28を介して真空ポンプ(図示せず)と連結されている。
パッド支持体22は本発明により弾性体で蛇腹状に形成され、上下方向の変位および斜め方向の変位が自由自在となっている。その上方に開口22aと下方に開口22bが設けられている。
吸引パッド23は上部周囲に360度に亘る周縁凸部23aを設けた逆コップ状の円筒部をしており、上部中央から下方に貫通する吸気貫通孔23cを設け、下部に支点となる支点軸23bを備えている。上部の吸気貫通孔23cから空気を吸引することでガラス基板等Kに塞がれた周縁凸部23aの内側が負圧となり、ガラス基板等Kを確実に吸引・載置するようになる。
パッド押さえ24は断面L字状をしており、パッド座21の上面に設けられるもので、吸引パッド23の支点軸23bの上面と隙間を介してあるいは隙間なく対向し、かつパッド23の円筒部の外周面と隙間を介して対向して置かれ、これらの隙間によって吸引パッド23の垂直方向および水平方向の変位を許容すると共にそれ以上の変位を規制している。
なお、27は吸気管28と吸気通路21dとを結ぶ継手である。
図3(c)においても、同じく基板Kが大きく図の方向(図3(b)と直角方向)に傾斜しても、本発明に係る蛇腹状パッド支持体22がその傾斜に対応して同じく傾斜するので、その上に載置されている吸引パッド23Lも同じく傾斜し、基板Kを確実に吸引することができる。
図4(c)においても、同じく基板Kが大きく図の方向(図4(b)と直角方向)に傾斜しても、本発明に係る蛇腹状パッド支持体22がその傾斜に対応して同じく傾斜するので、その上に載置されている吸引パッド23Rも同じく傾斜し、基板Kを確実に吸引することができる。
各図において、ロボット1のダブルアームにそれぞれL軸側ハンド2とR軸側ハンド3が取り付けられている。そのハンドそれぞれにフォーク4が複数本(図では3本)取り付けられており、そのフォークそれぞれに本発明に係る吸着パッド部5が取り付けられている。この吸着パッド5にガラス基板Kが真空吸着されることとなる。
本発明によれば、基板Kが大きく反って(傾斜して)いても、本発明に係る蛇腹状パッド支持体22がその傾斜に対応して傾斜するので、その上に載置されている吸引パッド23も同じく傾斜するため、基板Kを確実に吸引することができるようになる。
以上の説明から判るように、本発明が従来の吸着パッドと異なる部分は、蛇腹状のクッションゴムパッド22を使用し、さらに、支点軸付き吸着パッド23を備えた部分である。その動作は、図3および図4に示すように、支点軸付き吸着パッド23の支点軸23bを基点に傾斜でき、支点軸方向と支点軸と90°方向の傾斜角を制御できる。また、支点軸23bがはまる溝の深さ、すなわちパッド押さえ24の高さを変えることで、傾斜角を制御することができる。パッド押さえ24の高さを高くすれば、吸着パッド23は支点軸23bの規制が緩くなるので、傾斜角を拡大することができる。
このように、本発明によれば、基板吸着装置のパッドを蛇腹状としたので、基板の大きな反りに対して追従可能となり、この基板吸着装置を搬送で使用するロボットに組み込んだ場合、基板の反り等の特徴に合わせて確実に吸引でき、また吸着パッドの傾斜を制御することが可能となるので使い易いロボットが得られる。
2 L軸側ハンド
3 R軸側ハンド
4 フォーク
5 吸着パッド部
14 基板支持体
20 基板吸着装置
21 パッド座
21a 円状凹部
21b 中央口
21c、21d 吸気通路
22 パッド支持体(蛇腹状クッションゴムパッド)
22a 上方開口
22b 下方開口
23 吸引パッド(支点軸付き吸着パッド)
23a 周縁凸部
23c 吸気貫通孔
23b 支点軸
24 パッド押さえ(押さえ蓋)
27 継手
28 吸気管
K ガラス基板
Claims (6)
- 吸気通路(21c、21d)を有するパッド座(21)と、
蛇腹状の弾性体で形成され、上方から下方へ貫通した開口(22a、22b)を有し、前記貫通した開口(22a、22b)と前記吸気通路(21c、21d)とが繋がるよう前記パッド座(21)に固定されるパッド支持体(22)と、
基板(K)と接触する凸部(23a)と、前記凸部(23a)の内側に設けられた吸気貫通孔(23c)と、を有し、前記吸気貫通孔(23c)と前記開口(22a、22b)とが繋がるよう前記パッド支持体(22)に固定される吸引パッド(23)と、
前記吸引パッド(23)に設けられた支点軸(23b)と、
前記パッド座(21)との間で前記支点軸(23b)を保持するパッド押さえ(24)と、を備え、
前記パッド座(21)と前記パッド押さえ(24)とが前記支点軸(23b)を保持する部分において前記パッド押さえ(24)と前記パッド座(21)との間に所定の隙間が形成され、前記支点軸(23b)の軸方向において前記吸引パッド(23)が前記パッド座(21)の上面となす限界傾斜角度と、前記支点軸(23b)の軸回り方向において前記吸引パッド(23)が前記パッド座(21)の上面となす限界傾斜角度と、が異なるよう構成されたこと、を特徴とする基板吸着装置。 - 前記所定の隙間の長さを変えることで、前記支点軸(23b)の軸方向において前記吸引パッド(23)が前記パッド座(21)の上面となす限界傾斜角度と、前記支点軸(23b)の軸回り方向において前記吸引パッド(23)が前記パッド座(21)の上面となす限界傾斜角度と、が変更されること、を特徴とする請求項1記載の基板吸着装置。
- 前記パッド支持体(22)が、ゴムで構成されたこと、を特徴とする請求項1記載の基板吸着装置。
- 請求項1〜3のいずれか1項記載の基板吸着装置を備え、
前記吸引パッド(23)が開口(14a)から突出するように前記パッド座(21)を収容するとともに、前記吸気通路(21c、21d)に接続される吸気管(28)を収容すること、を特徴とする基板支持体。 - 可動体を備えた基板搬送装置であって、請求項4記載の基板支持体を前記可動体に設けたことを特徴とする基板搬送装置。
- 前記基板(K)がガラス基板であって、請求項5記載の前記可動体がロボットアームであること、を特徴とするガラス基板搬送用ロボット。
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