JPH11170188A - 真空吸着パッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】従来のゴム製ベローズ式の真空吸着パッドをそ
のまま使用でき、ガラス基板あるいはウエハ等の薄板を
所定位置に吸着支持する位置吸収能力を向上させた真空
吸着パッドを提供する。 【解決手段】移載アーム２１の内部に真空路２１ａを有
し、この真空路２１ａに連通して当該移載アームの表面
に開放した開口２１ｂに少なくとも吸着面を露呈して嵌
合してなる真空吸着パッドにおいて、前記真空吸着パッ
ドは、基部１ａと上部の径小開口部１ｂを有するベロー
ズ１と、この基部１ａを前記開口２１ｂに嵌合すると共
に前記真空路２１ａと前記ベローズの内部を連通する導
口２ａをもつ吸引基部部材２と、前記ベローズ１の上部
に有する径小開口部１ｂに係合する凹部３ｃと前記ベロ
ーズ１の内部と当該ベローズ１の上方空間を連通する導
口３ｂを有すると共に開口部に吸着面３ａをもつ吸着部
３とから構成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、真空吸着パッドに
係り、特に液晶表示素子や半導体素子の製造ライン、あ
るいはその他の製造ラインにガラス基板あるいは半導体
ウエハ、その他の板体を投入し、複数の処理装置間で搬
送し、また製造ラインから取り出すための各種移載装置
に装備する真空吸着パッドに関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示素子や半導体素子の製造におけ
る液晶パネル用のガラス基板あるいは半導体ウエハ（以
下、単にウエハと言う）に各種の処理を施す際に、製造
ラインへの素材搬入ステージと当該ガラス基板あるいは
ウエハを各種処理装置に受渡し、あるいは処理後のガラ
ス基板あるいはウエハを搬出ステージで搬出するため
に、一般に真空を利用した吸着パッド（ゴム製ベローズ
式の真空吸着パッド）を備えた移載装置（移載ロボッ
ト）が使用されている。

【０００３】図７は吸着パッドを備えた移載装置を使用
する製造装置の一例としての液晶パネル製造ラインに設
置されるレジスト塗布装置の配置と動作を説明する概念
図であって、２０はカセットに収納したガラス基板、２
１は吸着パッドを備えた移載アーム、３０は移載装置、
３０ａ，３０ｂは移載装置を移動させるためのガイドレ
ール、４０はガラス基板を供給するためのカセット、５
０はレジスト塗布装置、５０ａは塗布ステージ、６０は
乾燥装置、６０ａは乾燥ステージである。

【０００４】同図において、移載装置３０はガイドレー
ル３０ａ，３０ｂで矢印Ｄ方向に移動可能とされると共
に水平方向Ａに伸縮する移載アーム２１を有し、かつこ
の移載アーム２１を水平面内で矢印Ｂ方向への旋回と垂
直方向Ｃへの昇降させる機能を有している。

【０００５】移載アーム２１の載置位置には、複数の真
空吸着パッドが取付けられており、この真空吸着パッド
でガラス基板を吸着して搬送するように構成されてい
る。

【０００６】まず、多数のガラス基板２０は図示しない
素材搬入装置でカセット４０に収納された状態で洗浄／
乾燥工程等の前処理工程から搬入される。

【０００７】移載装置３０は所定のカセットに対向した
位置においてその積載アーム２１を伸ばしてカセット４
０からガラス基板２０を一枚ずつ上記積載アーム２１に
載置して取り出す。

【０００８】ガラス基板２０は積載アーム２１に載置吸
着されたまま矢印Ｂに沿ってレジスト塗布装置５０方向
に旋回し、同時に移載装置３０がガイドレール３０ａ，
３０ｂで矢印Ｄに沿ってレジスト塗布装置５０方向に移
動する。

【０００９】所定の移動後、移載アーム２１はレジスト
塗布装置５０の塗布ステージ５０ａの位置と同一高さに
昇降し、塗布ステージ５０ａの所定位置にガラス基板２
０を載置する。

【００１０】塗布装置５０でレジストを塗布したガラス
基板２０は上記と同様の移載装置の旋回、昇降動作によ
り塗布ステージ５０ａから取り出され、乾燥装置６０の
乾燥ステージ６０ａに投入されてレジストの乾燥が行わ
れる。

【００１１】乾燥後のガラス基板２０はカセット４０に
戻され、図示しないカセット搬送機によって次段の処理
装置に搬送される。

【００１２】図８は図７の移載アームの構成の一例を説
明する要部構造図であって、２１ａは真空路で移載アー
ム２１の内部を通ってゴム製ベローズ式の真空吸着パッ
ド２２に真空力（吸引力）を与える。

【００１３】この例では移載アーム２１の先端領域に４
個の真空吸着パッド２２を備えているが、設置個数はこ
れに限るものではない。この真空吸着パッド２２によっ
てガラス基板２０を吸着すると共に、所定の装置あるい
はステージ間で搬送を行う。しかし、液晶パネルに用い
られるガラス基板は、その厚さは極めて薄いものである
ため（例えば、０．７ｍｍ、または１．１ｍｍ、等）、
またガラス基板のサイズが大きくなると、移載アームに
載置した場合に撓みが生じて吸着が損なわれて吸着不良
による脱落が発生する場合がある。

【００１４】図９はガラス基板を移載アームに載置した
ときの当該ガラス基板の撓み状態を説明する模式図であ
る。

【００１５】特に、薄厚で大サイズのガラス基板２０を
移載アーム２１に載置し、その上面に設けた真空吸着パ
ッド２２で吸着保持したとき、ガラス基板２０は図示し
たように撓む。

【００１６】この撓みで真空吸着パッド２２の吸着面と
ガラス面との間に隙間が生じると、吸着不良でガラス基
板２０が固定できなくなる。その結果、移載アーム２１
の移載動作中にガラス基板２０が脱落してしまうという
問題が生じる。

【００１７】このような問題を無くすため、従来の真空
吸着パッドは、基本的にはゴム製のベローズ形状を持た
せ、ガラス基板の吸着面（ガラス面）の傾きに対して柔
軟に対応できるような構造を採用しているのである。

【００１８】しかし、吸着面がゴム製であるために、ガ
ラス面に吸着跡が付き易く、この吸着跡の除去のために
洗浄工程を追加したり、あるいは成膜工程での不純物発
生源となり、製品の品質を低下させる一因となってい
た。

【００１９】この吸着跡を無くすために、真空吸着パッ
ドの吸着部を樹脂材料等の非ゴム材で形成した別部品と
して組合せたものが使用されるようになった。

【００２０】図１０は吸着跡を残さない構造とした従来
の真空吸着パッドの１構成例の説明図であって、（ａ）
は上面図、（ｂ）は断面図を示す。

【００２１】この構成では、移載アーム２１に備える真
空吸着パッドは、吸引基部２の下部に樹脂製の吸着部３
の下部に固定したゴム製のフランジ部４を嵌合し、その
吸着面３ａをガラス面に接触させる。吸着部３の傾きは
上記のフランジ部４の屈曲で対応させる。なお、２ａは
移載アーム２１の真空路２１ａに開放した導口である。
これにより、ガラス面の傾斜に追従して真空漏れの発生
が防止されると共に吸着面３ａの吸着跡がガラス面に残
ることがない。

【００２２】図１１は従来の真空吸着パッドの他の構成
例の説明図であって、（ａ）は上面図、（ｂ）は断面図
を示す。

【００２３】この例は、図１０と同様に、樹脂製の吸着
部３をゴム製のフランジ部４と戻しバネ５とで吸着基部
２に支え、ゴム製の吸引基部２がガラス面に接触しない
ようにしたものである。これにより、ガラス面の傾斜に
追従して真空漏れの発生が防止されると共に吸着面３ａ
の吸着跡がガラス面に残ることがない。

【００２４】図１２は従来の真空吸着パッドのさらに他
の構成例の説明図であって、（ａ）は上面図、（ｂ）は
断面図を示す。

【００２５】この例では、樹脂製の吸着部３の下部にゴ
ム製の支持部材６の上端を固定し、下端を吸引基部２の
底部に弾性的に着座させると共に、吸着部３の周縁を吸
引基部２の上端で抑えて、当該吸着部３の上方への動き
を制限した構成を有し、支持部材６の屈曲でガラス面の
傾きに吸着面３ａを追従させるようにしたものである。

【００２６】この構成とした真空吸着パッドによって
も、上記した各構成例と同様にガラス面の傾斜に追従し
て真空漏れの発生が防止されると共に吸着面３ａの吸着
跡がガラス面に残ることがない。

【００２７】

【発明が解決しようとする課題】上記したように、従来
の真空吸着パッドでは、その吸着部で構成する吸着面を
樹脂等の非ゴム材料で形成することによってガラス基板
に吸着跡が付着するのを回避している。しかし、前記図
１０〜図１２で説明したような真空吸着パッドは、その
構造が複雑であり、従来使用されていた所謂ベローズ式
の真空吸着パッドをそのまま利用することができないと
いう問題があった。

【００２８】本発明の目的は、従来のゴム製ベローズ式
の真空吸着パッドをそのまま使用でき、ガラス基板（あ
るいは、ウエハ等の薄板）を所定位置に吸着支持する位
置吸収能力を向上させた真空吸着パッドを提供すること
にある。

【００２９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、従来のゴム製ベローズ式の真空吸着パッ
ドをそのまま利用し、吸着跡を付着のない真空吸着パッ
ドを提供することにある。

【００３０】すなわち、本発明は、従来のゴム製ベロー
ズ式の真空吸着パッドの吸着部に樹脂材料等のゴム材料
以外の材料からなる別部品の吸着部を取り付けることに
より、位置吸収能力を維持して吸着跡の付着を無くした
ものであり、下記（１）〜（３）の構成とした点を特徴
とした。

【００３１】（１）移載アーム２１の内部に真空路２１
ａを有し、この真空路２１ａに連通して当該移載アーム
の表面に開放した開口２１ｂに少なくとも吸着面を露呈
して嵌合してなる真空吸着パッドにおいて、前記真空吸
着パッドは、基部１ａと上部径小部１ｂを有するベロー
ズ１と、前記ベローズ１の前記基部１ａを前記開口２１
ｂに設置すると共に前記真空路２１ａと前記ベローズの
内部を連通する導口２ａをもつ吸引基部部材２と、前記
ベローズ１の上部に有する径小開口部１ｂに係合する凹
部３ｃと前記ベローズ１の内部と当該ベローズ１の上方
空間を連通する導口３ｂを有すると共に開口部に吸着面
３ａをもつ吸着部３とから構成したことを特徴とする。

【００３２】（２）前記ベローズ１の上部に有する径小
開口部１ｂの内周と前記吸着部３の凹部３ｃ外周とを前
記ベローズ１の弾性で保持したことを特徴とする。

【００３３】（３）前記吸着部３の凹部３ｃに溝を有
し、前記ベローズ１の上部に有する径小開口部１ｂの内
周と端縁を前記凹部３ｃの溝に係合したことを特徴とす
る。

【００３４】（４）移載アーム２１の内部に真空路２１
ａを有し、この真空路２１ａに連通して当該移載アーム
の表面に開放した開口２１ｂに少なくとも吸着面を露呈
して嵌合してなる真空吸着パッドにおいて、前記真空吸
着パッドは、基部１ａと上部径小開口部１ｂを有するベ
ローズ１と、前記ベローズ１の前記基部１ａを前記開口
２１ｂに設置すると共に前記真空路２１ａと前記ベロー
ズの内部を連通する導口２ａをもつ吸引基部部材２と、
前記ベローズ１の上部に有する径小開口部１ｂの内面３
ｄに接着した段差３ｅと前記ベローズ１の内部と当該ベ
ローズ１の上方空間を連通する導口３ｂを有すると共に
開口部に吸着面３ａをもつ吸着部３とから構成したこと
を特徴とする。

【００３５】上記した各発明の構成により、従来のゴム
製の真空吸着パッドをそのまま使用でき、ガラス基板
（あるいは、ウエハ等の薄板）を所定位置に吸着支持す
る位置吸収能力を向上させた真空吸着パッドを提供する
ことができる。

【００３６】なお、上記吸着部は各種の樹脂材料で形成
するのを好適とするが、これに限るものではなく、例え
ばアルミニウム、ステンレススチール等の金属材料、そ
の他のゴム以外の無機材料を用いることができ、また上
記したベローズと吸着部の固定は、上記した手段（嵌
合、弾性保持、接着）に限るものではなく、既知の他の
手段を用いることができる。

【００３７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につ
き、実施例の図面を参照して詳細に説明する。図１は本
発明の真空吸着パッドの第１実施例を説明する断面図で
あって、１はゴム製のベローズ、１ａは基部、１ｂは径
小開口部、２は吸引基部部材、２ａは真空路、２ｂは吸
引基部部材の導口、３は吸着部、３ａは吸着面、３ｂは
吸着部の導口、２１は移載アーム、２１ａは真空路、２
１ｂは開口を示す。

【００３８】真空吸着パッドは、移載アーム２１の表面
から若干浮かせて設けられ、移載アーム２１の内部に形
成した真空路２１ａに連通して図示しない真空源から真
空が供給される。

【００３９】この実施例の真空吸着パッドは、移載アー
ム２１の表面に開放した開口２１ｂに着座する基部１ａ
と上部径小部１ｂを有するベローズ１と、ベローズ１の
基部１ａを移載アーム２１の開口２１ｂに嵌合させると
共にその真空路２１ａとベローズの内部を連通する導口
２ａをもつ吸引基部部材２と、ベローズ１の上部に有す
る径小開口部１ｂに係合する凹部３ｃとベローズ１の内
部と当該ベローズ１の上方空間を連通する導口３ｂを有
すると共に開口部に吸着面３ａをもつ吸着部３とから構
成される。

【００４０】図２は図１に示した真空吸着パッドの詳細
構造の説明図であって、（ａ）は吸着部、（ｂ）はベロ
ーズを示し、（ａ−１）は吸着部３の断面図、（ａ−
２）は吸着部３の上面図、（ｂ−１）はベローズ１の断
面図、（ｂ−２）はベローズ１の上面図で、図１と同一
符号は同一部分を示す。

【００４１】（ｂ）に示したベローズ１は従来から使用
されているものでゴム製のベローズ１の基部１ａの内部
に導口２ａを有する吸引基部部材２を挿入し、これを移
載アーム２１の開口２１ｂに着座させて上部開口部１ｂ
を露呈させてある。

【００４２】そして、上部径小部１ｂの上面を吸着面と
してガラス基板等を吸着固定できるように構成されてい
る。この上部径小部１ｂの内周には内方に突出した部分
を有している。

【００４３】一方、吸着部３は導口３ｂを有し、上部に
吸着面３ａをもつと共に径小開口部１ｂに係合する凹部
３ｃを形成した樹脂材料からなる。この吸着部３の凹部
３ｃに上記したベローズ１の上部径小部１ｂを嵌合させ
て本実施例の真空吸着パッドを構成する。

【００４４】なお、ベローズ１の上部径小部１ｂと吸着
部３の凹部３ｃは当該ベローズ１の弾性で保持される
が、両者の間に接着材を介在させて固定してもよい。

【００４５】この実施例の構成により、従来のゴム製ベ
ローズ式の真空吸着パッド（ベローズ１と吸引基部部材
２とから構成される）をそのまま使用でき、ガラス基板
（あるいは、ウエハ等の薄板）を所定位置に吸着支持す
る位置吸収能力を向上させた真空吸着パッドを提供する
ことができる。

【００４６】図３は本発明の真空吸着パッドの第２実施
例を説明する断面図であって、図１と同一符号は同一機
能部分に対応する。なお、移載アームは図示を省略し
た。

【００４７】この実施例の真空吸着パッドは、移載アー
ム２１の表面に開放した開口２１ｂに着座する基部１ａ
と上部径小部１ｂを有するベローズ１と、ベローズ１の
基部１ａを移載アーム２１の開口２１ｂに嵌合させると
共にその真空路２１ａとベローズの内部を連通する導口
２ａをもつ吸引基部部材２と、ベローズ１の上部に有す
る径小開口部１ｂに係合する凹部３ｃとベローズ１の内
部と当該ベローズ１の上方空間を連通する導口３ｂを有
すると共に開口部に吸着面３ａをもつ吸着部３とから構
成される。

【００４８】図４は図３に示した真空吸着パッドの詳細
構造の説明図であって、（ａ）は吸着部、（ｂ）はベロ
ーズを示し、（ａ−１）は吸着部３の断面図、（ａ−
２）は吸着部３の上面図、（ｂ−１）はベローズ１の断
面図、（ｂ−２）はベローズ１の上面図で、図１と同一
符号は同一部分を示す。

【００４９】（ｂ）に示したベローズ１は従来から使用
されているものでゴム製のベローズ１の基部１ａの内部
に導口２ａを有する吸引基部部材２を挿入し、これを移
載アーム２１の開口２１ｂに着座させて上部開口部１ｂ
を露呈させてある。

【００５０】そして、上部径小部１ｂの上面を吸着面と
してガラス基板等を吸着固定できるように構成されてい
る。この上部径小部１ｂの端部内周には内方に突出した
部分を有している。

【００５１】一方、吸着部３は導口３ｂを有し、上部に
吸着面３ａをもつと共に径小開口部１ｂに係合する凹部
３ｃを形成した樹脂材料からなる。この吸着部３の凹部
３ｃは円周にわたって形成された溝からなり、上記した
ベローズ１の上部径小開口部１ｂを嵌合させて本実施例
の真空吸着パッドを構成する。

【００５２】なお、ベローズ１の上部径小開口部１ｂと
吸着部３の凹部３ｃは当該ベローズ１の弾性で保持され
るが、両者の間に接着材を介在させて固定してもよい。

【００５３】この実施例の構成により、従来のゴム製ベ
ローズ式の真空吸着パッド（ベローズ１と吸引基部部材
２とから構成される）をそのまま使用でき、ガラス基板
（あるいは、ウエハ等の薄板）を所定位置に吸着支持す
る位置吸収能力を向上させた真空吸着パッドを提供する
ことができる。

【００５４】図５は本発明の真空吸着パッドの第３実施
例を説明する断面図であって、図１、図３と同一符号は
同一機能部分に対応する。なお、移載アームは図示を省
略した。

【００５５】この実施例の真空吸着パッドは、移載アー
ム２１の表面に開放した開口２１ｂに着座する基部１ａ
と上部径小部１ｂを有するベローズ１と、ベローズ１の
基部１ａを移載アーム２１の開口２１ｂに嵌合させると
共にその真空路２１ａとベローズの内部を連通する導口
２ａをもつ吸引基部部材２と、ベローズ１の上部に有す
る径小開口部１ｂに係合する段差３ｅとベローズ１の内
部と当該ベローズ１の上方空間を連通する導口３ｂを有
すると共に開口部に吸着面３ａをもつ吸着部３とから構
成される。

【００５６】図６は図５に示した真空吸着パッドの詳細
構造の説明図であって、（ａ）は吸着部、（ｂ）はベロ
ーズを示し、（ａ−１）は吸着部３の断面図、（ａ−
２）は吸着部３の上面図、（ｂ−１）はベローズ１の断
面図、（ｂ−２）はベローズ１の上面図で、図１と同一
符号は同一部分を示す。

【００５７】（ｂ）に示したベローズ１は従来から使用
されているものでゴム製のベローズ１の基部１ａの内部
に導口２ａを有する吸引基部部材２を挿入し、これを移
載アーム２１の開口２１ｂに着座させて上部開口部１ｂ
を露呈させてある。

【００５８】そして、上部径小開口部１ｂの上面を吸着
面としてガラス基板等を吸着固定できるように構成され
ている。この上部径小部１ｂの端部内周には接着面を有
している。

【００５９】一方、吸着部３は導口３ｂを有し、上部に
吸着面３ａをもつと共に径小開口部１ｂに係合する段差
３ｅを形成した樹脂材料からなる。この吸着部３の段差
に上記したベローズ１の上部径小開口部１ｂを接着して
本実施例の真空吸着パッドを構成する。

【００６０】なお、ベローズ１の上部径小開口部１ｂと
吸着部３の段差３ｅは当該ベローズ１の弾性で保持する
ようにしてもよい。

【００６１】この実施例の構成によっても、従来のゴム
製ベローズ式の真空吸着パッド（ベローズ１と吸引基部
部材２とから構成される）をそのまま使用でき、ガラス
基板（あるいは、ウエハ等の薄板）を所定位置に吸着支
持する位置吸収能力を向上させた真空吸着パッドを提供
することができる。

【００６２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
薄いガラス基板や半導体ウエハのように自重で撓むよう
な板体を確実に吸着して処理ステージ等の間で搬送でき
るようにした移載装置の移載アームを備える真空吸着パ
ッドを、従来から用いられているゴム製ベローズ式の真
空吸着パッドを利用できるため、ガラス基板やウエハ等
の板体を確実に保持して位置ずれや脱落を防止できると
共に、吸着跡を付けることがなく、位置吸収能力を向上
させた安価な真空吸着パッドを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の真空吸着パッドの第１実施例を説明す
る断面図である。

【図２】図１に示した真空吸着パッドの詳細構造の説明
図である。

【図３】本発明の真空吸着パッドの第２実施例を説明す
る断面図である。

【図４】図３に示した真空吸着パッドの詳細構造の説明
図である。

【図５】本発明の真空吸着パッドの第３実施例を説明す
る断面図である。

【図６】図５に示した真空吸着パッドの詳細構造の説明
図である。

【図７】吸着パッドを備えた移載装置を使用する製造装
置の一例としての液晶パネル製造ラインに設置されるレ
ジスト塗布装置の配置と動作を説明する概念図である。

【図８】図７の移載アームの構成の一例を説明する要部
構造図である。

【図９】大サイズのガラス基板を移載アームに載置した
ときの当該ガラス基板の撓み状態を説明する模式図であ
る。

【図１０】吸着跡を残さない構造とした従来の真空吸着
パッドの１構成例の説明図である。

【図１１】吸着跡を残さない構造とした従来の真空吸着
パッドの他の構成例の説明図である。

【図１２】吸着跡を残さない構造とした従来の真空吸着
パッドのさらに他の構成例の説明図である。

【符号の説明】 １ ゴム製のベローズ １ａ 基部 １ｂ 径小開口部 ２ 吸引基部部材 ２ａ 真空路 ２ｂ 吸引基部部材の導口 ３ 吸着部 ３ａ 吸着面 ３ｂ 吸着部の導口 ２１ 移載アーム ２１ａ 真空路 ２１ｂ 移載アームの開口。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 野田 彰一 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社日立 製作所電子デバイス事業部内 (72)発明者 小泉 清秀 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社日立 製作所電子デバイス事業部内

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】移載アームの内部に真空路を有し、この真
   空路に連通して前記移載アームの表面に開放した開口に
   少なくとも吸着面を露呈して設置してなる真空吸着パッ
   ドにおいて、 前記真空吸着パッドは、基部と上部径小開口部を有する
   ベローズとこのベローズの基部を前記移載アームの表面
   に開放した開口に嵌合すると共に前記真空路と前記ベロ
   ーズの内部を連通する導口をもつ吸引基部部材と、前記
   ベローズの上部に有する径小開口部に係合する凹部と前
   記ベローズの内部と当該ベローズの上方空間を連通する
   導口を有すると共に上部に吸着面をもつ樹脂材料からな
   る吸着部とから構成したことを特徴とする真空吸着パッ
   ド。
2. 【請求項２】前記ベローズの上部に有する径小開口部の
   内周と前記吸着部の凹部外周とを前記ベローズの弾性で
   保持したことを特徴とする請求項１に記載の真空吸着パ
   ッド。
3. 【請求項３】前記吸着部の凹部に溝を有し、前記ベロー
   ズの上部に有する径小開口部の内周と端縁を前記凹部の
   溝に係合したことを特徴とする請求項１に記載の真空吸
   着パッド。
4. 【請求項４】移載アームの内部に真空路を有し、この真
   空路に連通して前記移載アームの表面に開放した開口に
   少なくとも吸着面を露呈して設置してなる真空吸着パッ
   ドにおいて、 前記真空吸着パッドは、基部と上部径小開口部を有する
   ベローズと前記ベローズの基部を前記移載アームの表面
   に開放した開口に嵌合すると共に前記真空路と前記ベロ
   ーズの内部を連通する導口をもつ吸引基部部材と、前記
   ベローズの上部に有する径小開口部の内面に接着する段
   差と前記ベローズの内部と当該ベローズの上方空間を連
   通する導口を有すると共に開口部に吸着面をもつ樹脂材
   料からなる吸着部とから構成したことを特徴とする真空
   吸着パッド。