JP3929287B2 - 平面体の搬送機構および薄膜形成装置 - Google Patents
平面体の搬送機構および薄膜形成装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3929287B2 JP3929287B2 JP2001343680A JP2001343680A JP3929287B2 JP 3929287 B2 JP3929287 B2 JP 3929287B2 JP 2001343680 A JP2001343680 A JP 2001343680A JP 2001343680 A JP2001343680 A JP 2001343680A JP 3929287 B2 JP3929287 B2 JP 3929287B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- substrate
- thin film
- sheet film
- suction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、シートフィルムや基板などの平面体を吸着保持しながら平面体を搬送する搬送機構、ならびに該搬送機構を設けた薄膜形成装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来より半導体装置や液晶表示装置などの電子部品を製造する製造工程においては、半導体ウエハやガラス基板などの基板を搬送するために基板を真空吸着しながら該基板を搬送する搬送機構が採用されている。その従来の搬送機構では、基板を保持するための吸着ハンドが設けられている。この吸着ハンドの一端側には吸着エア取入部が設けられる一方、他端側に複数個の吸着孔が設けられており、この吸着エア取入部と吸着孔との間、および吸着孔の相互間が、エア通路用の溝部によって相互に連通されている。
【0003】
そして、基板に収容されたカセットから所定の処理ユニットに基板を搬送する場合、上記吸着ハンドをカセットに差し込んで、基板を吸着孔で吸着保持してカセットから取り出し、さらに吸着保持したまま該基板を処理ユニットの手前まで搬送した後、吸着ハンドを処理ユニット内に差し込んで処理ユニットの基板保持部に受け渡す。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、従来の搬送機構では吸着孔を介して基板を吸着保持しているため、基板の表面領域のうち吸着孔と対向する吸着領域に対しては集中的に大きな負圧がかかり、すでに基板に形成されている配線や素子などに欠陥が発生するおそれがあった。特に、近年においては基板上に形成される配線や素子などの微細化および高集積化が進行しており、負圧集中による問題がより重大なものとなってきている。
【0005】
また、近年、半導体装置などの製造に用いる基板の大口径化、大面積化、多層配線化に伴い、基板に絶縁膜などの薄膜を形成する薄膜形成装置において、以下のような問題も顕著なものとなってきている。すなわち、基板の大口径化、大面積化、多層配線化に適合した薄膜形成方法として、加圧転写方法によって基板に薄膜を形成する薄膜形成装置が提案されているが、この薄膜形成装置において自動化を図る上でシートフィルムの搬送に好適な搬送機構の提供が重要となっている。
【0006】
この薄膜形成技術とは、処理容器の内部に形成される薄膜形成室内において、加熱ヒータを内蔵する基板用プレートが設けられており、薄膜形成対象となる基板を保持可能となっている。また、薄膜形成室内には、基板用プレートの下方にフィルム用プレートが基板用プレートと対向しながら配置されており、シートフィルムに形成される薄膜を基板用プレート上の基板に対向させながら、該シートフィルムを保持している。
【0007】
また、この薄膜形成室には真空ポンプが連通されており、基板を基板用プレートによって保持するとともに、シートフィルムをフィルム用プレートに保持し、さらに薄膜形成室を密閉する。その後、真空ポンプによって薄膜形成室内を排気減圧しながら、基板を保持する基板用プレートと、シートフィルムを保持するフィルム用プレートとを相互に近接移動させることによって、基板とシートフィルムとを相互に押し付けてシートフィルム上の薄膜を基板に転写する。
【0008】
このように構成された従来の薄膜形成装置では、転写処理の前にシートフィルムを薄膜形成室に搬入してフィルム用プレートに載置する一方、転写処理後においては薄膜転写後のシートフィルムを処理容器から搬出する必要があるが、かかるシートフィルムの搬送をオペレータの手作業で行っていた。というのも、シートフィルムは薄くて柔らかく弾性変形しやすいため、例えば上記のように構成された搬送機構をそのまま採用したのでは、吸着孔に集中的にかかる負圧によってシートフィルムのうち吸着孔に対向する領域が吸着孔に引き込まれてシートフィルムが変形してしまうからである。そのため、オペレータの手作業による搬送が必要となり、このことがスループット低下の主要因の一つとなっており、効率的なシートフィルムの吸着ハンドリング(保持・搬送)技術が強く要望されていた。
【0009】
また、シートフィルムの搬送に人手が介在すると、シートフィルムにパーティクルが付着したり、シートフィルムの熱が放熱されて熱履歴を管理し難くなるという問題が生じて薄膜品質の低下、さらには製品歩留りの低下を招いてしまう。さらに、装置を設置するのに広い床面積が必要になるという問題点もある。これらの問題を解消するためには、シートフィルム搬送の自動化が不可欠であるが、従来、この自動化に適した搬送機構は存在していなかった。
【0010】
本発明は上記課題に鑑みなされたものであり、シートフィルムや基板などの平面体に対してダメージを与えることなく吸着保持しながら該平面体を良好に搬送することができる搬送機構、ならびに該搬送機構を備えた薄膜形成装置を提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明にかかる搬送機構は、平面体の一方主面の一部または全部を吸着領域とし、その吸着領域を吸着保持しながら、前記平面体を搬送する搬送機構であって、上記目的を達成するため、多孔質材料で形成された多孔質部材の吸着面を前記吸着領域に当接可能となっている吸着ハンドと、前記多孔質部材を介して前記吸着領域に負圧を与える負圧手段とを備え、前記吸着ハンドは、前記吸着領域を向いた表面に溝が形成されたハンド本体と、前記溝内に配置されて前記多孔質部材と接触する弾性部材とを有し、前記多孔質部材が前記弾性部材の弾発力に抗しながら前記吸着面を前記ハンド本体の前記表面から突出させた状態で前記溝内を移動自在に配置されていることを特徴としている(請求項1)。
【0012】
このように構成された搬送機構では、多孔質部材が吸着領域に当接した状態で負圧手段が作動すると、多孔質部材を介して平面体の吸着領域に負圧がかかり、吸着ハンドにより平面体が吸着保持される。このため、負圧手段により平面体に作用する負圧が吸着領域の全面にほぼ均等にかかることとなり、シートフィルムや基板などの平面体に対してダメージを与えることなく平面体が吸着ハンドに吸着保持される。そして、このような吸着保持状態で平面体が搬送されることとなる。
【0013】
また、本発明にかかる薄膜形成装置は、シートフィルムの表面に形成された薄膜を基板の表面に転写して前記基板に薄膜を形成するものであって、上記目的を達成するため、前記シートフィルムの表面に形成された前記薄膜を前記基板に密着させて前記薄膜を介して前記基板と前記シートフィルムとが一体化された密着物を得る密着機構と、前記密着物から前記シートフィルムを選択的に剥離する剥離機構と、前記密着機構に前記シートフィルムおよび前記基板を搬送する搬送機構とを備え、前記搬送機構は、多孔質材料で形成されたフィルム用多孔質部材の吸着面を前記シートフィルムに当接させるとともに前記フィルム用多孔質部材を介して前記シートフィルムに負圧を与えて吸着保持しながら、前記シートフィルムを前記密着機構に搬送し、前記吸着ハンドは、前記シートフィルムを向いた表面に溝が形成されたハンド本体と、前記溝内に配置されて前記フィルム用多孔質部材と接触する弾性部材とを有し、前記フィルム用多孔質部材が前記弾性部材の弾発力に抗しながら前記吸着面を前記ハンド本体の前記表面から突出させた状態で前記溝内を移動自在に配置されていることを特徴としている(請求項2)。
【0014】
このように構成された発明では、密着機構にシートフィルムを搬送するために、多孔質材料で形成されたフィルム用多孔質部材を用いてシートフィルムを吸着保持している。すなわち、多孔質部材を介してシートフィルムに負圧がかかり、シートフィルムが吸着保持される。このため、シートフィルムに作用する負圧は、フィルム用多孔質部材とシートフィルムとが相互に当接する領域全面にほぼ均等にかかることとなり、従来技術の問題、つまり吸着孔へのシートフィルムの引き込みによりシートフィルムが変形するという問題を発生させることなく、シートフィルムを良好に吸着保持しながら搬送することが可能となる。
【0015】
また、基板についても、多孔質材料で形成された基板用多孔質部材を介して前記基板に負圧を与えて吸着保持しながら、前記基板を前記密着機構に搬送するようにしてもよく、これによって基板へのダメージを抑えることができる(請求項3)。
【0016】
さらに、薄膜形成装置が、シートフィルムの表面に薄膜材料を塗布して該シートフィルムの表面に薄膜を形成する塗布機構をさらに備えている場合には、上記したフィルム用多孔質部材により薄膜形成前のシートフィルムを吸着保持しながら塗布機構に対するシートフィルム搬送を行うようにしてもよい(請求項4)。
【0017】
【発明の実施の形態】
図1は、本発明にかかる薄膜形成装置の一実施形態の概略構成を示すブロック図であり、薄膜形成装置を構成する装置各部のレイアウトを示している。この薄膜形成装置は、同図に示すように、上手側(同図の左側)にインデクサ部1が設けられている。
【0018】
このインデクサ部1の上手側には、薄膜形成処理終了後の基板Wを回収する基板回収カセット3と、未処理の基板Wを供給する基板供給カセット4と、未使用のシートフィルムFを供給するフィルム供給カセット5と、薄膜形成処理終了後のシートフィルムFを回収するフィルム回収カセット6とが配設されている。また、インデクサ部1の下手側には、各カセット3〜6に基板WやシートフィルムFを出し入れするためのインデクサ用搬送部7が設置されている。
【0019】
このインデクサ用搬送部7には、基板WまたはシートフィルムFを仮置きする仮置き台8と、本発明の搬送機構に相当するインデクサ用搬送ロボット9とが備えられている。インデクサ用搬送ロボット9は、図1中に矢印RAで示した搬送経路を移動可能であるとともに、ロボット9のハンドリング用のアームはスライド自在で、かつ昇降および旋回可能に構成されている。
【0020】
一方、ユニット部2には、後述する各処理ユニットに基板WやシートフィルムFを搬送するためのユニット用搬送部10が設置されている。このユニット用搬送部10には、本発明の搬送機構に相当するユニット用搬送ロボット11が設けられており、同図中に矢印RDで示した搬送経路を移動する。そして、このユニット用搬送ロボット11の搬送経路の両側に複数種類のユニット12〜15が配設されている。より詳しくは、ユニット部2には、シートフィルムFに塗布液を塗布してシートフィルムF上に薄膜を形成する塗布ユニット12と、後述する密着ユニット15において形成される密着物からシートフィルムFだけを選択的に剥離する剥離ユニット13と、その表面に塗布液の薄膜が形成されたシートフィルムFに対して熱処理を行って薄膜中の溶媒を揮発させる2つの乾燥ユニット14(14a,14b)と、薄膜が形成されたシートフィルムFと基板Wとを相互に密着させて密着物を形成する密着ユニット15 (15a,15b)とが備えられている。
【0021】
次に、インデクサ用搬送ロボット9と、ユニット用搬送ロボット11との構成および動作について、図2と図3とを参照しながら説明する。なお、図2および図3中の基板WとシートフィルムFとの厚みについては、インデクサ用搬送ロボット9とユニット用搬送ロボット11との説明の都合上、厚めに表示している。また同様に、図4以降の基板WとシートフィルムFとの厚みについても,各図の都合上、厚みは変わっているが、実際の厚みはそれぞれ同じとする。
【0022】
インデクサ用搬送ロボット9およびユニット用搬送ロボット11はともに同一構成を有しており、以下のように構成されている。搬送ロボット9,11は、図2(a)の側面図に示すように、支持台16と、支柱17と、アーム支持部18とを備えている。
【0023】
支持台16は、図2(a)および(b)に示すように、搬送経路RA、 RDの方向に移動可能である。支柱17は、その軸心周り、即ち、図2中の矢印REの方向に回転可能である。また、支柱17は、上下方向、即ち、図2中の矢印RFの方向に移動可能である。基板保持アーム19はアーム支持部18の表面に対して、フィルム保持アーム20はアーム支持部18の裏面に対して、図2中の矢印RGの方向にそれぞれスライド移動可能である。基板保持アーム19は、水平軸心周り、即ち、図2中の矢印RHの方向に回転可能であるとともに、縦軸心周り、即ち図2中の矢印RIの方向に旋回可能である。
【0024】
アーム支持部18には、図2(a)の側面図および図2(b)の平面図に示すように、基板Wを保持する基板保持アーム19と、シートフィルムFを保持する馬蹄形のフィルム保持アーム20とが配設されている。これらのアームのうち基板保持アーム19には、基板Wを吸着して保持する複数個の吸着部19aが備えられている。一方、フィルム保持アーム20には、シートフィルムFを吸着保持する吸着ハンド21が取り付けられている。
【0025】
例えば基板Wを保持するときには、図2 (a)に示すように、薄膜を形成すべき薄膜形成面を上に向けた状態、いわゆるフェイスアップの状態にして、基板保持アーム19の先端部表面に基板Wを吸着する。基板保持アーム19を矢印RHの方向に回転させることによって、いわゆるフェイスダウンの状態にして、基板Wを保持することもできる。シートフィルムFを保持するときには、図2(a)に示すように、フィルム保持アーム20の吸着ハンド21によって、シートフィルムFをフェイスアップ状態にして、シートフィルムFの周縁部を吸着する。
【0026】
ユニット用搬送ロボット11が、薄膜を介して基板WとシートフィルムFとを密着してなる密着物Cを保持する場合について説明する。後で詳述するように基板WとシートフィルムFとが密着されたときには、基板Wの薄膜形成面とシートフィルムFの表面が、図3(a)の側面図に示すように、重なり合う。密着処理時には、後で詳述するように、シートフィルムFはフェイスアップ状態、基板Wはフェイスダウン状態になる。一方、基板保持アーム19を図2中の矢印RHの方向に180°回転させ、図2中の矢印RIの方向に180°旋回させることで、図3(a)の側面図または図3(b)の平面図に示すように、フィルム保持アーム20の上に基板保持アーム19が移動してくる。このような状態で、密着物Cを保持する。即ち、基板Wは、基板保持アーム19によって保持され、シートフィルムFは、フィルム保持アーム20によって保持される形態となる。
【0027】
図4は吸着ハンドの外観構成を示す斜視図である。また、図5は吸着ハンドの部分断面図であり、同図(a)は吸着ハンドの排気ポート部分Aでの断面図である一方、同図(b)は排気ポート以外の部分Bでの断面図である。この吸着ハンド21は、リング状のハンド本体22を備えている。このハンド本体22の下面側には、シートフィルムFの周縁部25を臨むようにリング溝23が形成され、さらに該リング溝23に発泡樹脂(例えば、トリフルオロエチレンなどのフッ素樹脂からなる発泡フッ素樹脂)、焼結部材、発泡セラミックスなどの多孔質材料で形成された多孔質部材24が圧入されている。
【0028】
また、リング溝23内の底部(図5(a)、(b)ではリング溝23の上壁)には、リング溝23の2つの側壁に沿ってそれぞれ固定溝23aが形成されている。固定溝23aはリング溝23に沿って、ハンド本体22の全周にわたって形成されている。そして、固定溝23aには弾性部材28が嵌め込まれている。
【0029】
弾性部材28は、多孔質部材24に比べて弾性を有する材料で構成され、断面が略円形のリング状部材である。弾性部材28を構成する材料としてはエチレンプロピレンゴム、パーフロロエラストマ、フッ素ゴムが挙げられる。また、弾性部材28は固定溝23aから突出するような断面寸法を有する。弾性部材28が固定溝23aから突出する寸法は多孔質部材24がシートフィルムFに押し付けられ、多孔質部材24が図中上方に移動した場合でも、多孔質部材24とハンド本体22との間に隙間が残るような寸法である。
【0030】
多孔質部材24は上面24aが前記弾性部材28に接触した状態で配置される。また、該多孔質部材24の下面(吸着面24b)はハンド本体22の下面22aから突出している。吸着面24bが前記下面22aに対して突出する寸法は0.1mm〜1mm程度が好ましい。特に、多孔質部材24がシートフィルムFに押し付けられたとき、前記多孔質部材24が弾性部材28の弾発力に抗してリング溝23内に移動するが、このとき前記吸着面24bが前記下面22aと同一平面になるような寸法にすることが好ましい。このような構成で、フィルム保持アーム20がシートフィルムF側に降下移動して吸着ハンド21がシートフィルムFの表面まで移動すると、多孔質部材24がシートフィルムFの周縁部25に当接する。
【0031】
さらに、多孔質部材24がシートフィルムFに押し付けられると、多孔質部材24によって弾性部材28が押されて弾性部材28が変形するとともに多孔質部材24リング溝23内に退行する。これにより、シートフィルムF表面と多孔質部材24下面との平行度が少々悪くても、良好に多孔質部材24がシートフィルムF表面に密着することができる。
【0032】
また、ハンド本体22の上面部には、排気ポート26が取り付けられており、この排気ポート26を介してリング溝23の内部空間と排気ブロア27とが相互に連通されている。この排気ブロア27は本発明の「負圧手段」として機能するものであり、装置全体を制御する制御部(図示省略)からの制御指令に応じて作動することで、リング溝24内を排気する。なお、多孔質部材24がシートフィルムFに押し付けられたとき、多孔質部材24が弾性部材28側に移動しても多孔質部材24とハンド本体22との間に隙間が残るように弾性部材28を構成したので前記隙間を通して多孔質部材24の上面24aすべてに排気が行き渡る。その結果、吸着面24b全面において均等に負圧が生じる。
【0033】
こうして排気動作を実行することで、多孔質部材24がシートフィルムFと当接する領域、つまりシートフィルムFの周縁部25が、多孔質部材24を介して周縁部25に負圧がかかり、吸着ハンド21によりシートフィルムFが吸着保持される。このように、この実施形態では、シートフィルムFの周縁部25を吸着領域として吸着保持するが、シートフィルムFに作用する負圧が周縁部25の全面にほぼ均等にかかることとなり、吸着孔を用いてシートフィルムFを吸着保持する従来技術において発生していた問題を解消することができる、つまりシートフィルムFに対してダメージを与えることなくシートフィルムFを吸着保持することができる。
【0034】
次に、上記のように構成された薄膜形成装置の動作について、1枚の基板Wに薄膜を形成する手順に絞って、図6および図7を参照しつつ説明する。
【0035】
図6は図1の薄膜形成装置の基本動作を示す図であり、同図中の実線矢印は基板Wの搬送順序を示し、1点鎖線矢印はシートフィルムFの搬送順序を示し、白抜矢印は密着物の搬送を示している。また、図7は図6の基本動作を示す模式図である。この薄膜形成装置では、その表面に電極配線31が形成された基板Wが基板供給カセット4に収容される一方、薄膜形成前の未使用シートフィルムFがフィルム供給カセット5に収容されている。
【0036】
この薄膜形成装置では、まずインデクサ用搬送ロボット9は、フィルム保持アーム20をフィルム供給カセット5に進入させて、シートフィルムFを吸着保持した後、該シートフィルムFを吸着保持したままフィルム保持アーム20をフィルム供給カセット5から後退させる。こうすることで、シートフィルムFをフィルム供給カセット5から取り出す。
【0037】
また、インデクサ用搬送ロボット9はシートフィルムFを仮置き台8まで搬送して、仮置き台8に仮置きした後、基板保持アーム19を基板供給カセット4に進入させて、基板Wを取り出して保持する。一方、ユニット用搬送ロボット11は、仮置き台8に仮置きされたシートフィルムFを受け取り、塗布ユニット12まで搬送する。なお、シートフィルムFが搬送されて仮置き台8が空になると、インデクサ用搬送ロボット9は保持している基板Wを仮置き台8に仮置きする。
【0038】
塗布ユニット12に未使用のシートフィルムFが搬入されると、図7(a)に示すように、そのシートフィルムFの表面に本発明の「薄膜」として絶縁膜32を塗布する(ステップS1:塗布処理)。そして、塗布処理済みのシートフィルムFをユニット用搬送ロボット11が次の乾燥ユニット14に搬送し、その絶縁膜32を乾燥させる(ステップS2:乾燥処理)。
【0039】
乾燥処理が完了すると、ユニット用搬送ロボット11は乾燥ユニット14からシートフィルムFを受け取り、密着ユニット15に搬送する。また、密着ユニット15へのシートフィルムFの搬送に前後して、ユニット用搬送ロボット11は仮置き台8に仮置きされた基板Wを受け取り、密着ユニット15まで搬送する。この密着ユニット15では、シートフィルムFの表面に形成された絶縁膜32に対して基板Wの薄膜形成面、つまり電極配線31が形成された側の表面33を対向するように、シートフィルムFおよび基板Wがそれぞれ所定位置に配置される(図7(b))。そして、その対向状態のまま基板WおよびシートフィルムFに相互に近接移動させることによって、絶縁膜32を薄膜形成面33に密着させて、絶縁膜32を介して基板WとシートフィルムFとが一体化された密着物Cを形成する(ステップS3:密着処理)。
【0040】
次に、上記のようにして形成された密着物Cを、ユニット用搬送ロボット11が密着ユニット15から剥離ユニット13に搬送する。そして、その剥離ユニット13において、密着物CからシートフィルムFのみが選択的に剥離されて基板Wへの絶縁膜32の転写が完了する(ステップS4:剥離処理)。こうすることで基板Wの薄膜形成面33に絶縁膜32が形成される。
【0041】
その後、ユニット用搬送ロボット11が絶縁膜32が形成された基板Wを仮置き台8に搬送するとともに、その基板Wをインデクサ用搬送ロボット9が仮置き台8から受け取り、基板回収カセット3に収容する。また、剥離された使用済シートフィルムFについても、基板Wと同様にしてフィルム回収カセット6に収容される。すなわち、ユニット用搬送ロボット11が使用済みのシートフィルムFを仮置き台8に搬送するとともに、そのシートフィルムFをインデクサ用搬送ロボット9が仮置き台8から受け取り、フィルム回収カセット6に収容する。
【0042】
以上のように、シートフィルムFを搬送する搬送機構として機能するインデクサ用搬送ロボット9およびユニット用搬送ロボット11では、フィルム用多孔質部材24を介してシートフィルムFの周縁部(吸着領域)に負圧を与えることによってシートフィルムFを吸着保持しているため、シートフィルムFに作用する負圧を周縁部25の全面に均等化することができ、シートフィルムFに対してダメージを与えることなくシートフィルムFを吸着保持することができる。
【0043】
また、上記したようにシートフィルムFを良好に吸着保持しながら、各カセット5,6、仮置き台8およびユニット12〜15の間を搬送することができるように構成されており、シートフィルムFを単独でハンドリングしていた従来技術に比べてシートフィルムFのハンドリングを容易に、しかも効率的に行うことができる。また、シートフィルムFを直接オペレータがハンドリングする必要がなくなり、薄膜形成装置の自動化が可能となった。その結果、基板Wの1枚当たりの処理時間を短くすることができ、スループットの向上を図ることができる。
【0044】
また、搬送ロボット11が移動するユニット用搬送部10に沿って各ユニット12〜15がそれぞれ配設されているので、より多くのユニットをユニット用搬送部10に沿って配設することができ、その結果、基板Wに対する薄膜形成処理をより効率良く行うことができる。
【0045】
また、各ユニット12〜15をまとめてシステム化しているので、上述の一連の処理シーケンス(塗布処理、乾燥処理、密着処理および剥離処理)にわたって管理・制御・操作を行い易く、基板WとシートフィルムFとに対する各ユニット間の処理履歴を管理することができ、薄膜形成処理においてプロセスの安定化を図ることができる。
【0046】
さらに、各ユニット12〜15間での基板WやシートフィルムFの搬送に人手を介さないので、基板WやシートフィルムFにパーティクルが付着し難くなる。また、各ユニット12〜15をまとめてシステム化しているので設置面積が軽減されるという効果もある。
【0047】
なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば、上記実施形態では、本発明の搬送機構たるインデクサ用搬送ロボット9およびユニット用搬送ロボット11において、シートフィルム側についてのみフィルム用多孔質部材24を介して吸着保持するように構成しているが、基板側についてもシートフィルム側と同様に多孔質部材、つまり基板用多孔質部材を介して基板Wを吸着保持するようにしてもよく、これによって基板Wに形成されている配線や素子などに対して負圧が集中するのを防止することができ、吸着保持した際に配線などに欠陥が発生するのを防止することができる。特に、基板の薄肉化、配線や素子の微細化が進行する場合には、本発明の有用性はより高いものとなる。
【0048】
また、上記実施形態では、シートフィルムFの周縁部25のみを吸着保持しているが、多孔質部材24がシートフィルムFの全面と当接するように構成し、シートフィルムFの全面を吸着保持するように構成してもよい。これに関しては、基板用多孔質部材を介して基板を吸着保持する場合にも全く同様である。
【0049】
また、上記実施形態では、シートフィルムFを本発明の「平面体」として吸着保持する搬送機構に本発明を適用しているが、この「平面体」にはシートフィルムF以外に、上記したように基板Wやその他の平面体を搬送する搬送機構全般に本発明を適用することができる。
【0050】
また、上記実施形態では、シートフィルムFと基板Wとを搬送する搬送ロボット9,11に対して本発明を適用しているが、いずれか一方のみを搬送する搬送ロボットに対しても本発明を適用することができることはいうまでもない。
【0051】
また、上記実施形態では、本発明の密着機構としての密着ユニット15と、本発明の剥離機構としての剥離ユニット13とをそれぞれ独立して設けているが、これらのユニット13,15の代わりに密着機構と剥離機構とを兼ね備えたユニットを設けた薄膜形成装置に対して本発明を適用するようにしてもよい。
【0052】
さらに、本発明は、半導体ウエハや液晶パネル用ガラス基板以外に、フォトマスク用ガラス基板、プラズマ表示用ガラス基板、光ディスク用基板などの基板に薄膜を形成する場合のみならず、さらにはICカードや太陽電池装置の製造などにも適用することができる。
【0053】
【発明の効果】
以上のように、本発明にかかる搬送機構によれば、多孔質部材を介して平面体の吸着領域に負圧を与えることによって平面体を吸着保持するように構成しているので、平面体に作用する負圧を吸着領域の全面にほぼ均等にかけることができ、シートフィルムや基板などの平面体に対してダメージを与えることなく平面体を吸着ハンドにより吸着保持することができる。そして、このような吸着保持状態で平面体を搬送することができ、平面体の搬送を良好に行うことができる。
【0054】
また、本発明にかかる薄膜形成装置によれば、多孔質材料で形成されたフィルム用多孔質部材を介してシートフィルムを吸着保持しながら搬送するように構成しているので、シートフィルムに作用する負圧を、フィルム用多孔質部材とシートフィルムとが相互に当接する領域全面にほぼ均等にかけることができ、シートフィルムを変形させることなく、良好な状態のまま搬送することができる。また、このようにオペレータを介さずとも、搬送機構によりシートフィルムを搬送することができるため、薄膜形成装置の自動化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明にかかる薄膜形成装置の一実施形態の概略構成を示すブロック図である。
【図2】図1の薄膜形成装置に採用されている搬送機構を示す図である。
【図3】図1の薄膜形成装置に採用されている搬送機構の動作を示す図である。
【図4】吸着ハンドの外観構成を示す斜視図である。
【図5】吸着ハンドの部分断面図である。
【図6】図1の薄膜形成装置の基本動作を示す図である。
【図7】図6の基本動作を示す模式図である。
【符号の説明】
9…インデクサ用搬送ロボット(搬送機構)
11…ユニット用搬送ロボット(搬送機構)
12…塗布ユニット(塗布手段)
13…剥離ユニット(剥離機構)
15,15a,15b…密着ユニット(密着機構)
21…吸着ハンド
22…ハンド本体
23…リング溝
24…(フィルム用)多孔質部材
25…周縁部(吸着領域)
27…排気ブロア(負圧手段)
32…絶縁膜(薄膜)
C…密着物
F…シートフィルム
W…基板
Claims (4)
- 平面体の一方主面の一部または全部を吸着領域とし、その吸着領域を吸着保持しながら、前記平面体を搬送する搬送機構において、
多孔質材料で形成された多孔質部材の吸着面を前記吸着領域に当接可能となっている吸着ハンドと、
前記多孔質部材を介して前記吸着領域に負圧を与える負圧手段とを備え、
前記吸着ハンドは、前記吸着領域を向いた表面に溝が形成されたハンド本体と、前記溝内に配置されて前記多孔質部材と接触する弾性部材とを有し、
前記多孔質部材が前記弾性部材の弾発力に抗しながら前記吸着面を前記ハンド本体の前記表面から突出させた状態で前記溝内を移動自在に配置されていることを特徴とする平面体の搬送機構。 - シートフィルムの表面に形成された薄膜を基板の表面に転写して前記基板に薄膜を形成する薄膜形成装置において、
前記シートフィルムの表面に形成された前記薄膜を前記基板に密着させて前記薄膜を介して前記基板と前記シートフィルムとが一体化された密着物を得る密着機構と、
前記密着物から前記シートフィルムを選択的に剥離する剥離機構と、
前記密着機構に前記シートフィルムおよび前記基板を搬送する搬送機構とを備え、
前記搬送機構は、多孔質材料で形成されたフィルム用多孔質部材の吸着面を前記シートフィルムに当接させるとともに前記フィルム用多孔質部材を介して前記シートフィルムに負圧を与えて吸着保持しながら、前記シートフィルムを前記密着機構に搬送し、
前記吸着ハンドは、前記シートフィルムを向いた表面に溝が形成されたハンド本体と、前記溝内に配置されて前記フィルム用多孔質部材と接触する弾性部材とを有し、
前記フィルム用多孔質部材が前記弾性部材の弾発力に抗しながら前記吸着面を前記ハンド本体の前記表面から突出させた状態で前記溝内を移動自在に配置されていることを特徴とする薄膜形成装置。 - 前記搬送機構は、多孔質材料で形成された基板用多孔質部材を介して前記基板に負圧を与えて吸着保持しながら、前記基板を前記密着機構に搬送する請求項2記載の薄膜形成装置。
- シートフィルムの表面に薄膜材料を塗布して該シートフィルムの表面に薄膜を形成する塗布機構をさらに備え、
前記搬送機構は、前記フィルム用多孔質部材により薄膜形成前のシートフィルムを吸着保持しながら前記塗布機構に搬送し、また前記塗布機構により薄膜が形成されたシートフィルムを前記フィルム用多孔質部材で吸着保持しながら前記塗布機構から搬送する請求項2または3記載の薄膜形成装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001343680A JP3929287B2 (ja) | 2001-11-08 | 2001-11-08 | 平面体の搬送機構および薄膜形成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001343680A JP3929287B2 (ja) | 2001-11-08 | 2001-11-08 | 平面体の搬送機構および薄膜形成装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003152050A JP2003152050A (ja) | 2003-05-23 |
JP3929287B2 true JP3929287B2 (ja) | 2007-06-13 |
Family
ID=19157325
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001343680A Expired - Fee Related JP3929287B2 (ja) | 2001-11-08 | 2001-11-08 | 平面体の搬送機構および薄膜形成装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3929287B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101543681B1 (ko) * | 2009-01-15 | 2015-08-11 | 주성엔지니어링(주) | 기판 처리 시스템 |
JP2018074092A (ja) * | 2016-11-04 | 2018-05-10 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 基板移送装置及び作業システム |
-
2001
- 2001-11-08 JP JP2001343680A patent/JP3929287B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003152050A (ja) | 2003-05-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5455987B2 (ja) | 剥離装置、剥離システム、剥離方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | |
JP3751246B2 (ja) | 薄膜形成装置および搬送方法 | |
KR101880766B1 (ko) | 접합 장치, 접합 시스템, 접합 방법 및 컴퓨터 판독가능한 기억매체 | |
JP5478565B2 (ja) | 接合システム | |
WO2012026262A1 (ja) | 剥離システム、剥離方法及びコンピュータ記憶媒体 | |
WO2012140988A1 (ja) | 剥離方法、剥離装置及び剥離システム | |
TW201324648A (zh) | 洗淨方法、電腦記憶媒體、洗淨裝置及剝離系統 | |
KR101805964B1 (ko) | 박리 시스템, 박리 방법 및 컴퓨터 기억 매체 | |
WO2013035620A1 (ja) | 接合方法及び接合システム | |
JP5374462B2 (ja) | 剥離システム、剥離方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | |
WO2013058129A1 (ja) | 剥離装置、剥離システム及び剥離方法 | |
JP5886783B2 (ja) | シート剥離装置、接合システム、剥離システム、シート剥離方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | |
JP3929287B2 (ja) | 平面体の搬送機構および薄膜形成装置 | |
JP5563530B2 (ja) | 剥離装置、剥離システム、剥離方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | |
JP2005123642A (ja) | 搬送機構および搬送方法 | |
JP6025759B2 (ja) | 剥離システム | |
JP5905407B2 (ja) | シート剥離装置、接合システム、剥離システム、シート剥離方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | |
JP5869960B2 (ja) | 接合システム、接合方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | |
JP4152378B2 (ja) | 搬送機構 | |
JP2005104733A (ja) | フィルム供給機構 | |
WO2015040915A1 (ja) | 搬入出装置および搬入出方法 | |
JP2014049554A (ja) | 基板搬送治具及び基板処理システム | |
KR20230026951A (ko) | 박리 방법, 박리 장치 및 박리 시스템 | |
JP2005094035A (ja) | フィルム収容カセット | |
JPH07135152A (ja) | 回転塗布によって形成された塗布基板の不要膜除去装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040224 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20061218 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061226 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070208 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070306 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070306 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100316 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100316 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110316 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110316 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |