JP2018074092A - 基板移送装置及び作業システム - Google Patents
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Abstract
Description
2 基板
12 作業部
14 基板移送装置
21 基体
22 アーム部
23 吸着部
23M 吸着面
25C コイルばね
25B 板ばね
32 多孔質部材
44 真空圧供給路
VP 真空源
Claims (7)
- 基板を吸着して作業部に移送し或いは前記作業部から移送する基板移送装置であって、
前記作業部に対して相対移動自在な基体と、
前記基体から水平方向に延びて設けられたアーム部と、
前記アーム部に取り付けられ、多孔質部材の下面を吸着面とする吸着部と、
真空源が送給する真空圧を前記多孔質部材に供給することにより前記吸着部の前記吸着面に前記基板を吸着する吸着力を発生させる真空圧供給路とを備えたことを特徴とする基板移送装置。 - 前記吸着部はばね部材を介して前記アーム部に取り付けられたことを特徴とする請求項1に記載の基板移送装置。
- 前記ばね部材はコイルばねと板ばねの組み合わせから成ることを特徴とする請求項2に記載の基板移送装置。
- 前記アーム部に複数の前記吸着部が取り付けられており、前記複数の吸着部から選択した1又は複数の吸着部の前記吸着面に選択的に吸着力を発生させることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の基板移送装置。
- 前記アーム部に複数の前記吸着部が取り付けられており、前記複数の吸着部の少なくとも1つは前記アーム部に対して移動自在であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の基板移送装置。
- 前記基板はフィルム状の部材から成ることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の基板移送装置。
- 請求項1〜6のいずれかに記載の基板移送装置と、
前記基板移送装置が移送する前記基板に対して作業を施す複数の作業部を備えたことを特徴とする作業システム。
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JP2016215770A JP2018074092A (ja) | 2016-11-04 | 2016-11-04 | 基板移送装置及び作業システム |
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Citations (6)
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-
2016
- 2016-11-04 JP JP2016215770A patent/JP2018074092A/ja active Pending
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