JP2010188465A - ロボットハンド - Google Patents

ロボットハンド Download PDF

Info

Publication number
JP2010188465A
JP2010188465A JP2009034834A JP2009034834A JP2010188465A JP 2010188465 A JP2010188465 A JP 2010188465A JP 2009034834 A JP2009034834 A JP 2009034834A JP 2009034834 A JP2009034834 A JP 2009034834A JP 2010188465 A JP2010188465 A JP 2010188465A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
workpiece
suction pad
robot hand
bellows
shaft
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2009034834A
Other languages
English (en)
Inventor
Yuji Fukaura
勇次 深浦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kanto Jidosha Kogyo KK
Toyota Motor East Japan Inc
Original Assignee
Kanto Jidosha Kogyo KK
Kanto Auto Works Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kanto Jidosha Kogyo KK, Kanto Auto Works Ltd filed Critical Kanto Jidosha Kogyo KK
Priority to JP2009034834A priority Critical patent/JP2010188465A/ja
Publication of JP2010188465A publication Critical patent/JP2010188465A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Abstract

【課題】ワークの横ズレや傾きによる位置ズレの発生がなく、確実にワークを保持、固定でき、また多種多様な形状、大きさのワークに対応でき、さらにワークの保持位置の自由度が高く、汎用性に優れたロボットハンドを提供する
【解決手段】ロボットアームの先端に取り付けられ、ワーク6を保持するためのロボットハンド1であって、ワーク面の形状に追従可能なベローズ式吸着パッド2と、ベローズ式吸着パッドの内側に配置され、ベローズ式吸着パッドとともにワークを保持、固定するための高硬度吸着パッド3と、ベローズ式吸着パッドの外側に配置され、ワークの傾きを固定するための固定ロッド4とからなる。固定ロッドはシャフト4aとシャフトの先端に取り付けられたワーク押さえ部4bとからなり、固定ロッドの先端に位置決めピン7が取り付けられていてもよい。
【選択図】図1

Description

本発明はロボットハンドに関し、特に様々な形状をしたワークを確実に保持、固定することができ、構造が簡素でコストメリットの高いロボットハンドに関する。
自動車の組み立て工程においては、ロボットアームの先端に取り付けられたロボットハンドにワークを保持し、搬送することが行われている。このような工程で用いられるロボットハンドは、エアーを吸引し、ロボットハンドの先端に設けられた吸盤部によりワークを吸引、保持して搬送するようにしている。
具体例を挙げると、ロボット腕部の先端から延設される複数の指部と、各指部に配される吸盤部とを具備しており、各吸盤部の姿勢を変更自在にするようにしたロボットハンドが知られている(例えば、特許文献1参照)。
このような構造とすることにより、大きな平坦面を有するような特定形状のワークに限らず、多様な形状のワークであっても姿勢変更自在な複数の吸盤部を用いて確実に保持することができる。
特開2008―207263号公報
上記従来の技術に関し、ワークを保持し搬送を行う場合やワークを加工する場合、あるいはワークに外部から力がかかってしまうような場合、吸着方向に対して横方向から力が掛かるとワークが横にずれる虞があるという問題があった。
また、ワークを吸着した際にワークが傾いたりワークにブレが発生しワークに荷重が掛かったりした場合に保持力が十分に確保され難いという問題もあった。
本発明は、上記難点を解消するためになされたもので、曲面などの多様な形状を有しているワークに対して柔軟に対応でき、ワークを保持するために吸着した上でさらにワークを強固に固定することが可能なロボットハンドを提供するものである。
上記課題を解決するために本発明によるロボットハンドの第1の態様は、ワークを保持するためにロボットアームの先端に取り付けられるロボットハンドであって、ワーク面の形状に追従可能なベローズ式吸着パッドと、ベローズ式吸着パッドの内側に配置され、ベローズ式吸着パッドとともにワークを保持、固定するための高硬度吸着パッドと、ベローズ式吸着パッドの外側に配置され、ワークの傾きを固定するための固定ロッドとからなることを特徴とする。
また、本発明によるロボットハンドの第2の態様は、第1の態様において、高硬度吸着パッドのみにエアー吸引口が設けられていることを特徴とする。
さらに、本発明によるロボットハンドの第3の態様は、第1の態様または第2の態様において、固定ロッドはシャフトと当該シャフトの先端に取り付けられたワーク押さえ部とからなることを特徴とする。
また、本発明によるロボットハンドの第4の態様は、第1から第3のいずれかの態様において、固定ロッドの先端に位置決めピンが取り付けられていることを特徴とする。
さらに、本発明によるロボットハンドの第5の態様は、第1から第4のいずれかの態様において、固定ロッドのシャフトは上下動可能に取り付けられていることを特徴とする。
また、本発明によるロボットハンドの第6の態様は、第5の態様において、固定ロッドのシャフトはサーボモータにより上下動可能とされていることを特徴とする。
さらに、本発明によるロボットハンドの第7の態様は、第5の態様において、固定ロッドのシャフトはバネにより上下動可能とされていることを特徴とする。
本発明によれば、ワークの横ズレや傾きによる位置ズレの発生がなく、確実にワークを保持、固定でき、また多種多様な形状や大きさのワークに対応でき、さらにワークの保持位置の自由度が高く、汎用性に優れたロボットハンドを提供することができる。
また、エアーの吸引口を高硬度吸着パッドのみに設けることでベローズ式吸着パッドの吸引も兼ねて行うことができるのでエアーを節約でき、構造が簡素でコストメリットの高いロボットハンドを提供することができる。
本発明のロボットハンドの一実施の形態を表す図である。 ベローズ式吸着パッド及び高硬度吸着パッドのワークへの保持固定状況を説明する図である。 ベローズ式吸着パッドと高硬度吸着パッドのワーク保持動作を説明するための図である。 固定ロッドを使用した場合のワークへの保持固定状況を説明する図である。 本発明のロボットハンドの他の実施の形態を表す図である。 本発明のロボットハンドを複数用いた場合の図である。
以下、本発明によるロボットハンドの好ましい実施の形態について図面を参照して説明する。
図1は本発明のロボットハンド及びこのロボットハンドによるワークの保持状況を示した図である。図1(a)、(b)において、本発明のロボットハンド1はベローズ式吸着パッド2と、このベローズ式吸着パッド2の内側に配置された高硬度吸着パッド3と、ベローズ式吸着パッド2の外側に配置された固定ロッド4とから構成されている。
ベローズ式吸着パッド2は例えばポリウレタンゴム等の伸縮性のある素材から作られている。また高硬度吸着パッド3もやはりポリウレタンゴム等の素材から作られており、ベローズ式吸着パッド2よりも高硬度(例えばゴム硬度60)となっている。なお、ベローズ式吸着パッド2は上部に円筒部2aが連接されており、高硬度吸着パッド3は内部にエアー吸引口3aが通じている円筒部3bが連接されている。
また、固定ロッド4はシャフト4a及びシャフト4aの先端に取り付けられたワーク押さえ部4bから構成されており、シャフト4aは金属からなり、ワーク押さえ部4bはワーク6を固定した時にワークに傷が付かないような素材、例えばポリウレタンゴム等の素材から構成されている。この固定ロッド4は固定ロッド支持部材5に支持されている。
次に、このようなロボットハンドによりワーク6を保持、固定する状況について図1〜図4を用いて説明する。図1(a)において、まずベローズ式吸着パッド2をワーク6に吸着させる。この時ベローズ式吸着パッド2は蛇腹状の構成を有しているので角度を自在に変化させることができるため、ワーク6の曲面の形状に追従するように吸着される。
ところで、ベローズ式吸着パッド2はワーク6の表面形状に柔軟に追従し、容易に密着できるので、ベローズ式吸着パッド2だけでもワーク6を吸着、保持することは可能であるが、ベローズ式吸着パッド2だけでワークを保持した場合、図2(a)に示すように、例えば横からの外力Fが加わり、ワーク6がある許容量を超えた変位量Aだけ横方向に動くとワーク6の保持が維持できなくなり、ワーク6を安定して搬送することができなくなる。なお、図2(a)において、太い実線で表しているワーク6は本来正しく保持固定されるべきワークの位置を示し、太い波線で表しているワーク6は位置がずれた状態を表しており、以下の図においても同様である。
このようにベローズ式吸着パッド2だけではワーク6の保持、固定の安定性に欠けるので、ベローズ式吸着パッド2をワーク6に吸着させた後、ベローズ式吸着パッド2の内側に配置された高硬度吸着パッド3をワーク6に押し付け、高硬度吸着パッド3のエアー吸引口3aからエアーを吸引してワーク6を吸着、保持する。
高硬度吸着パッド3は図2(b)に示すように例えばワーク6の表面が曲面形状である場合に隙間が生じ、安定した吸着が不可能となる。従って、図2(c)に示すように高硬度吸着パッド3及びワーク6の双方から外力Fを作用させて高硬度吸着パッド3とワーク6を密着させる必要がある。このようにすると高硬度吸着パッド3をワーク6に吸着させた状態での耐力が良好となる。従って、ワーク6の双方からの外力に相当するベローズ式吸着パッド2及び高硬度吸着パッド3によりワーク6を吸着、固定することにより、横方向の外力に対しても、また各吸着パッドからワーク6を引き剥がすように作用する外力に対しても強固な保持状態が維持される。
ここで、ベローズ式吸着パッドと高硬度吸着パッドによるワークの保持動作について説明する。図3はベローズ式吸着パッドと高硬度吸着パッドのワーク保持動作を説明するための図である。
まず図3(a)はまだワーク6にベローズ式吸着パッド2も高硬度吸着パッド3も吸着していない状況を示した図である。図3(a)に示すように、ベローズ式吸着パッド2の先端と高硬度吸着パッド3の先端との距離Lはベローズ式吸着パッド2がワーク6の形状に追従するためのストロークとなっている。また、エアー吸引口3aは高硬度吸着パッド3のみに設けられており、後述するようにこのエアー吸引口3aがベローズ式吸着パッド3のエアー吸引口も兼ねている。
図3(b)はワーク6にベローズ式吸着パッド2を吸着させた状態を表した図である。この時高硬度吸着パッド3のエアー吸引口3aからエアーを吸引すると矢印の如くエアーが吸引され、ベローズ式吸着パッド2の内部が真空状態になる。この結果ワーク6がベローズ式吸着パッド2に密着することになる。即ち、ベローズ式吸着パッド2の内部からエアーを吸引する際にも高硬度吸着パッド3のエアー吸引口3aからエアーの吸引を行うようにしているので、エアー吸引口3aはベローズ式吸着パッド2のエアー吸引口も兼ねていることになる。なお、図3(b)においてベローズ式吸着パッド2および高硬度吸着パッド3の内部の細かい点は真空状態を模式的に表したものであり、以下の図3(c)、図3(d)においても同様である。
図3(b)の状態からさらにエアー吸引を続けるとベローズ式吸着パッド2の蛇腹部分が収縮し、ワーク6が高硬度吸着パッド3に図中下方から矢印の如く押し付けられた状態となり、ワーク6と高硬度吸着パッド3が密着する。このような状態になると高硬度吸着パッド3の内部だけがエアー吸引されるので、図3(d)に示すようにベローズ式吸着パッド2と高硬度吸着パッド3の間の空間はエアー吸引が行われていない。即ち、エアーの吸引は高硬度吸着パッド3のみで行われるのでエアーの節約になり、またベローズ式吸着パッド2と高硬度吸着パッド3の双方にエアー吸引口を設ける必要がないので構造が簡素化でき、コスト的にも安価なロボットハンドを実現できる。
ところで、ベローズ式吸着パッド2と高硬度吸着パッド3を組み合わせてワーク6を保持、固定したとしても、例えば図4(a)に示すようにワーク6の一方の端に外力Fcが加わった場合外力のかかり方が不均等のためワーク6が太い破線で示したように傾いてしまう。このような状況が発生するとやはりワーク6の安定した保持状態の維持が困難になるので、図1(b)あるいは図4(b)に示すように固定ロッド4によりワーク6の一定以上の傾きを防止し、ワークが搬送可能な状態に維持されるようにワークの傾きを固定できるようにする。なお、固定ロッドは本実施の形態ではベローズ式吸着パッド2の両側に2個配置され、ワーク6の傾きを固定できるようにしているが、配置する数や位置には特に制限はなく、ワーク6の表面形状や大きさ、重量等を考慮して適宜最適に配置することができる。
固定ロッド4はシャフト4aおよびワーク押さえ部4bから構成されているが、シャフト4aは図4(b)の丸で囲んだAの部分において固定ロッド支持部材5に対して上下方向に摺動可能となっている。このようにシャフト4aが上下方向に摺動可能となっているとワーク6の傾きに追随して固定ロッド4も上下に動くことができるので、ワークの傾きに対して柔軟に対応でき、より安定したワークの固定が可能となる。なお、シャフト4aの可動範囲はワークの搬送に対して不都合が生じないような傾きが維持される程度となっている。シャフト4aの上下方向の摺動には例えば小型1軸サーボモータのような方式を用いることができる。
このように、ベローズ式吸着パッド2と高硬度吸着パッド3及び固定ロッド4を組み合わせることにより、ワークへの追従性があり、各方向からの外力に対しても十分耐力のある吸着を可能とするロボットハンドを実現することができる。
次に本発明の他の実施の形態について説明する。なお、以降の図の説明において図1〜図4で説明した箇所と同一の箇所には同一の符号を付している。
図5は本発明の他の実施の形態を説明するための図である。図5(a)において、本実施の形態では固定ロッド4の先端に位置決めピン7が取り付けられている。この位置決めピン7は、図5(a)に示すように、例えばワーク6が複数の穴8、8を有しているような場合、ワーク6のある一つの穴に位置決めピンを挿入するようにロボットハンド1の位置を設定する。
その後図1〜図4にて説明したようにワーク6を保持、固定するが、その際に図5(b)に示すようにワーク6のある一つの穴に位置決めピンを挿入し(図5(b)の場合左側の穴に位置決めピンを挿入)、ワーク6のXY方向の位置決めを行い、他の穴(図5(b)の場合右側の穴)に他の位置決めピンを挿入してY方向の位置決めを行う。このようにして穴を有するワークに対しても位置決めと強固な保持、固定を確実に行えることが可能となる。なお、Z方向(高さ方向)の位置決めは前記したようにベローズ式吸着パッド2と高硬度吸着パッド3により行う。
また、図5におけるロボットハンド1においては、固定ロッド4のシャフト4aの周囲にバネ9を巻き付け、ワーク押さえ部4b及び位置決めピン7を上下に可動できるようにしておくとよい。この場合においても図4(b)において説明したように、シャフト4aは丸で囲んだAの部分においてバネの伸縮によって固定ロッド支持部材5に対して上下方向に摺動可能となっている。このようにするとシャフト4が上下に動くことができるのでワーク6の表面形状に対してより追従性が高くなる。
なお、本発明のロボットハンドはロボットアームの先端に取り付ける際に複数取り付けてもよい。図6は複数(この場合は2個)のロボットハンドをロボットアーム(不図示)の先端に取り付けた例を示した図である。
図6において、本発明のロボットハンド2個がロボット取り付け部10に取り付けられている。ロボット取り付け部10は図示していないロボットアームに取り付けられるようになっている。具体的には、ロボットハンド1は取り付け基台11aに取り付けられ、取り付け基台11aがもう一方の取り付け基台11bに支柱12により固定されている。そして、取り付け基台11bがロボット取り付け部10に取り付けられている。また、ロボットハンド1の上部にはエアー吸引用部材13が設けられている。このように複数のロボットハンドを設置するとワークに対する保持固定力がより強固なものとなる。また、複数のロボットハンドを個別に例えばサーボモータ、バネ等の適宜な手段により上下に可動できるようにしてもよい。
以上説明したように、本発明のロボットハンドはワークの横ズレや傾きによる位置ズレの発生がなく、確実にワークを保持、固定でき、また多種多様な形状や大きさのワークに対応でき、さらにワークの保持位置の自由度が高く、汎用性に優れている。また、エアーの吸引を高硬度吸着パッドのみにて行うことでエアーを節約でき、しかもエアー吸引口が一つで済むために構造を簡素化でき、コストメリットが極めて高くなる。
本発明はロボットアームに取り付けられるロボットハンドだけではなく、固定式の吸着パッドとしても用いることができ、固定式吸着パッドを配置してワークを保持することが可能である。
1・・・・・・・・・・・・・・・ロボットハンド
2・・・・・・・・・・・・・・・ベローズ式吸着パッド
2a・・・・・・・・・・・・・円筒部
3・・・・・・・・・・・・・・・高硬度吸着パッド
3a・・・・・・・・・・・・・エアー吸引口
3b・・・・・・・・・・・・・円筒部
4・・・・・・・・・・・・・・・固定ロッド
4a・・・・・・・・・・・・・シャフト
4b・・・・・・・・・・・・・ワーク押さえ部
5・・・・・・・・・・・・・・・固定ロッド支持部材
6・・・・・・・・・・・・・・・ワーク
7・・・・・・・・・・・・・・・位置決めピン
8・・・・・・・・・・・・・・・穴
9・・・・・・・・・・・・・・・バネ
10・・・・・・・・・・・・・・ロボット取り付け部
11a、11b・・・・・・・・・取り付け基台
12・・・・・・・・・・・・・・支柱
13・・・・・・・・・・・・・・エアー吸引用部材

Claims (7)

  1. ワークを保持するためにロボットアームの先端に取り付けられるロボットハンドであって、ワーク面の形状に追従可能なベローズ式吸着パッドと、前記ベローズ式吸着パッドの内側に配置され、前記ベローズ式吸着パッドとともに前記ワークを保持、固定するための高硬度吸着パッドと、前記ベローズ式吸着パッドの外側に配置され、前記ワークの傾きを固定するための固定ロッドとからなることを特徴とするロボットハンド。
  2. 前記高硬度吸着パッドのみにエアー吸引口が設けられていることを特徴とする請求項1記載のロボットハンド。
  3. 前記固定ロッドはシャフトと当該シャフトの先端に取り付けられたワーク押さえ部とからなることを特徴とする請求項1または請求項2記載のロボットハンド。
  4. 前記固定ロッドの先端に位置決めピンが取り付けられていることを特徴とする請求項1から請求項3までのいずれかの請求項に記載のロボットハンド。
  5. 前記固定ロッドのシャフトは上下動可能に取り付けられていることを特徴とする請求項1から請求項4までの何れかの請求項に記載のロボットハンド。
  6. 前記固定ロッドのシャフトはサーボモータにより上下動可能とされていることを特徴とする請求項5記載のロボットハンド。
  7. 前記固定ロッドのシャフトはバネにより上下動可能とされていることを特徴とする請求項5記載のロボットハンド。
JP2009034834A 2009-02-18 2009-02-18 ロボットハンド Pending JP2010188465A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009034834A JP2010188465A (ja) 2009-02-18 2009-02-18 ロボットハンド

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009034834A JP2010188465A (ja) 2009-02-18 2009-02-18 ロボットハンド

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2010188465A true JP2010188465A (ja) 2010-09-02

Family

ID=42815084

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009034834A Pending JP2010188465A (ja) 2009-02-18 2009-02-18 ロボットハンド

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2010188465A (ja)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018144225A (ja) * 2017-03-07 2018-09-20 株式会社日清製粉グループ本社 吸着ピックアップ及び移載方法
KR101933287B1 (ko) * 2013-12-10 2018-12-27 가와사끼 쥬고교 가부시끼 가이샤 로봇 핸드, 로봇, 및 로봇 셀
JP2019048369A (ja) * 2017-06-14 2019-03-28 ザ・ボーイング・カンパニーThe Boeing Company 自動装置の伸長リーチアームのツール保持端部の安定化
JP2020023022A (ja) * 2018-08-08 2020-02-13 Smc株式会社 吸着パッド
US10822177B2 (en) 2018-05-09 2020-11-03 Intelligrated Headquarters, Llc Method and system for manipulating articles
WO2021086776A3 (en) * 2019-10-27 2021-06-24 Comau Llc Glass decking system, adaptable end effector and methods
US11318620B2 (en) 2018-05-09 2022-05-03 Intelligrated Headquarters, Llc Method and system for manipulating items
US11458635B2 (en) 2018-05-09 2022-10-04 Intelligrated Headquarters, Llc Method and system for manipulating articles
EP4292780A1 (en) 2022-06-16 2023-12-20 SMC Corporation Vacuum pad swing prevention mechanism

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS562393U (ja) * 1979-06-21 1981-01-10
JPH0955U (ja) * 1992-10-20 1997-01-21 株式会社ティー・イー・エス Ic検査装置
JP2003225880A (ja) * 2002-02-05 2003-08-12 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 物品の吸着搬送用吸盤

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS562393U (ja) * 1979-06-21 1981-01-10
JPH0955U (ja) * 1992-10-20 1997-01-21 株式会社ティー・イー・エス Ic検査装置
JP2003225880A (ja) * 2002-02-05 2003-08-12 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 物品の吸着搬送用吸盤

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101933287B1 (ko) * 2013-12-10 2018-12-27 가와사끼 쥬고교 가부시끼 가이샤 로봇 핸드, 로봇, 및 로봇 셀
JP2018144225A (ja) * 2017-03-07 2018-09-20 株式会社日清製粉グループ本社 吸着ピックアップ及び移載方法
JP7038571B2 (ja) 2017-03-07 2022-03-18 株式会社日清製粉グループ本社 吸着ピックアップ及び移載方法
JP2019048369A (ja) * 2017-06-14 2019-03-28 ザ・ボーイング・カンパニーThe Boeing Company 自動装置の伸長リーチアームのツール保持端部の安定化
JP7232581B2 (ja) 2017-06-14 2023-03-03 ザ・ボーイング・カンパニー 自動装置の伸長リーチアームのツール保持端部の安定化
US10822177B2 (en) 2018-05-09 2020-11-03 Intelligrated Headquarters, Llc Method and system for manipulating articles
US11318620B2 (en) 2018-05-09 2022-05-03 Intelligrated Headquarters, Llc Method and system for manipulating items
US11458635B2 (en) 2018-05-09 2022-10-04 Intelligrated Headquarters, Llc Method and system for manipulating articles
JP2020023022A (ja) * 2018-08-08 2020-02-13 Smc株式会社 吸着パッド
JP7160248B2 (ja) 2018-08-08 2022-10-25 Smc株式会社 吸着パッド
WO2021086776A3 (en) * 2019-10-27 2021-06-24 Comau Llc Glass decking system, adaptable end effector and methods
EP4292780A1 (en) 2022-06-16 2023-12-20 SMC Corporation Vacuum pad swing prevention mechanism

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2010188465A (ja) ロボットハンド
JP2007253249A (ja) 吸着装置及びこの吸着装置を用いた吸着方法
JP5589790B2 (ja) 基板搬送用ハンドおよび基板搬送ロボット
JP6486140B2 (ja) 搬送ハンド、リソグラフィ装置及び被搬送物を搬送する方法
JP5578973B2 (ja) 産業用ロボット
JP2008235472A (ja) 基板処理装置
JP5606517B2 (ja) バネによって安定化された真空グリッパー組立体
JP2010240749A (ja) ワーク倣い機能付きロボットハンド
JP4519743B2 (ja) 基板吸着装置、基板支持体、基板搬送装置、およびガラス基板搬送用ロボット。
JP2005230941A (ja) ガラス基板の搬送用ロボット
JP2008073803A (ja) 制振制御機能を持ったロボットハンド
JP2008073788A (ja) 基板吸着装置およびそれを用いた基板搬送ロボット
JP7173210B2 (ja) ピッキング設備
JPH05131389A (ja) 対象物取扱装置
JP6675223B2 (ja) ロボットアームおよびロボット
KR20110029705A (ko) 기판 이송장치
WO2011148560A1 (ja) 搬送方法
JP6276090B2 (ja) 搬送装置、搬送システム
TWI609749B (zh) 產業用機器人之手部及產業用機器人
JP2009154213A (ja) 搬送装置、搬送方法、およびデバイス製造方法
JP2018074092A (ja) 基板移送装置及び作業システム
JP2005144589A (ja) 搬送用ハンガー
JPH0977266A (ja) パレタイズ用ハンド
JP2020070154A (ja) 物品移載設備
JP2006205270A (ja) 保持装置

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Effective date: 20110208

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

A131 Notification of reasons for refusal

Effective date: 20110215

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20110705