JP2006205270A - 保持装置 - Google Patents
保持装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006205270A JP2006205270A JP2005016817A JP2005016817A JP2006205270A JP 2006205270 A JP2006205270 A JP 2006205270A JP 2005016817 A JP2005016817 A JP 2005016817A JP 2005016817 A JP2005016817 A JP 2005016817A JP 2006205270 A JP2006205270 A JP 2006205270A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- holding
- holding jig
- deformation
- fluid
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Abstract
【課題】吸着し保持する対象物を開放するとともに伸縮可能でチャック装置との干渉を避けることができる保持装置を提供する。
【解決手段】伸縮型保持装置10は、流体を独立して導入排出可能な帯状の管であって一体的に形成された第1変形部2a、第2変形部2b、第3変形部2c及び第4変形部2dと、各変形部に密着かつ固定されて板状に形成された真空排気可能な帯状の管で吸着穴5を有する保持部6とを備え、各変形部と保持部6とが密接する箇所に、形状維持用スプリング8a、8b、8c、8dが設けられている。保持部6を真空排気して基板を吸着保持し、各変形部に充填した流体を排出して流体圧をゼロにしていくと形状維持用スプリング8a、8b、8c、8dの自然状態の形状に変形していき、保持装置の先端が曲がり、チャック装置との干渉を避けることができる。可変ステージ及び可変ハンドとして使用可能である。
【選択図】 図1
【解決手段】伸縮型保持装置10は、流体を独立して導入排出可能な帯状の管であって一体的に形成された第1変形部2a、第2変形部2b、第3変形部2c及び第4変形部2dと、各変形部に密着かつ固定されて板状に形成された真空排気可能な帯状の管で吸着穴5を有する保持部6とを備え、各変形部と保持部6とが密接する箇所に、形状維持用スプリング8a、8b、8c、8dが設けられている。保持部6を真空排気して基板を吸着保持し、各変形部に充填した流体を排出して流体圧をゼロにしていくと形状維持用スプリング8a、8b、8c、8dの自然状態の形状に変形していき、保持装置の先端が曲がり、チャック装置との干渉を避けることができる。可変ステージ及び可変ハンドとして使用可能である。
【選択図】 図1
Description
本発明は、保持装置に係り、特に、対象物を吸着して保持する伸縮可能な保持装置、より、詳しくは可変ステージ及び可変ハンドとなり、対象物を吸着保持し開放する伸縮型保持装置に関するものである。
従来、電子部品を基板に実装したり、部品を把持して組み付けたり、試験したりするとき、一定の位置、高さ及び姿勢などを保つために、部品などを保持器具上で保持し、この部品をロボットハンド(例えば特許文献1参照)やチャック(例えば特許文献2参照)などのハンドや真空パッドで掴むような部品把持装置が用いられている。
特許文献1に示すロボットハンドでは、複数の部品を爪と吸着子とで保持可能となっており、ロボットハンドの姿勢を変えることなく、爪と吸着子とで各部品を組み合わせて保持でき、各部品の組み付け速度の向上を図っている(特許文献1、[0005]、図1)。
また特許文献2に示す部品保持装置では、パッドの貫通孔に負圧を印可することにより、パッドに部品が吸着されるが、これと同時にパッド貫通孔に印可された負圧によって蛇腹パッドが収縮し、パッド及びパッドピンとともに部品を吸い上げられるようになっており、部品に作用する力を小さくしている(特許文献1、[0008]、[0009]、図3)。
しかしながら、上記従来の構成では保持器具上の部品をロボットハンドで掴む際に、保持器具とロボットハンドとの干渉を避けることができない(例えば特許文献1参照)。
また特許文献2に示す例では、部品を吸着保持するとき、部品に作用する力を小さくしているが、このチャック装置と保持器具(特許文献2に示す例では、部品を搭載したトレイ)との干渉を避けられず、改善の余地がある。
本発明は、前記実情に鑑みてなされたものであり、伸縮可能で、チャック装置などの周辺装置との干渉を避けることができる伸縮型の保持装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明の保持装置は、平坦面を構成して対象物を保持する保持層を備えた保持冶具であって、前記保持層に連設され、前記保持層と同一面を構成しうる補助保持層を備えた変形部とを具備している。
この構成により、例えば流体を充填し流体圧に基づく変形部の伸長により保持層に連設された補助保持層を拡張するとともに、変形部の流体を排出することにより補助保持層を縮減することができ、これによって、保持部が吸着し保持している対象物を、例えばチャック装置によりピックアップするとき、このチャック装置と干渉することがないように保持部を変位させることができる。このようにこの構成によればチャック装置などの周辺装置との干渉なしに作業を実行することができる。
また、本発明の保持装置は、変形部が弾性体を含み、変形部の流体を排出して、弾性体の自然状態の形状に復帰することにより伸縮するようにしている。この構成により、変形部に充填した流体を排出して流体圧をゼロにし(あるいは低くし)、変形部の形状を維持する弾性体が自然状態の形状に変形する。ここで弾性体は変形部全体に形成されていても良いし、一部に形成されていてもよい。これによって、保持部が吸着し保持している対象物を、例えばチャック装置によりピックアップするとき、このチャック装置と干渉することがないように保持部を変位させることができる。
本発明の伸縮型保持装置は、前記変形部は独立に伸縮可能な複数の領域に分離されている。
この構成により、変形部ごとに流体を排出すると、変形部ごとに変形するようにすることができる。
この構成により、変形部ごとに流体を排出すると、変形部ごとに変形するようにすることができる。
また、変形部が独立して複数個あり、これらの変形部に共通して流体を供給排出するようにすれば、各変形部の流体を排出すると除々に先端部から変形していくようにすることができる。
本発明の保持装置は、前記保持層は、真空吸着により対象物を吸着保持可能に形成された吸着孔を具備している。
この構成により、対象物の安定した固定が可能となる。
この構成により、対象物の安定した固定が可能となる。
本発明の保持装置は、前記変形部が、巻き込み可能に形成されている。
この構成により、収納が極めて容易となる。
この構成により、収納が極めて容易となる。
本発明の保持装置は、前記変形部が、前記保持層の幅方向に伸長可能に形成されている。
この構成により、ボンディングなどの処理工程では幅広の状態を保持しておき、チャック装置による把持を行なう場合に、幅方向に干渉するようなチャック装置の場合にも干渉を回避することができる。
この構成により、ボンディングなどの処理工程では幅広の状態を保持しておき、チャック装置による把持を行なう場合に、幅方向に干渉するようなチャック装置の場合にも干渉を回避することができる。
本発明の保持装置は、前記変形部は、前記保持層の長さ方向に伸長可能に形成されている。
この構成により、ボンディングなどの処理工程では長い状態を保持しておき、チャック装置による把持を行なう場合に、長さ方向に干渉するようなチャック装置の場合にも干渉を回避することができる。
この構成により、ボンディングなどの処理工程では長い状態を保持しておき、チャック装置による把持を行なう場合に、長さ方向に干渉するようなチャック装置の場合にも干渉を回避することができる。
本発明の保持装置は、保持部が変形部とともに変形可能である。
この構成により、変形部の変形にともなって保持部が変形することにより、最終的な収納が容易となる。
この構成により、変形部の変形にともなって保持部が変形することにより、最終的な収納が容易となる。
本発明の伸縮型保持装置は、前記保持層と前記補助保持層とによって可変ステージを形成している。
この構成により、可変ステージになる。
この構成により、可変ステージになる。
本発明の保持装置は、前記変形部の先端に前記保持部を設けることにより可変ハンドを形成している
この構成により、可変ハンドになる。
この構成により、可変ハンドになる。
本発明の保持装置では、吸着して保持する対象物をチャック装置がピックアップするような場合、対象物を開放するとともに伸縮してチャック装置から離れ、チャック装置との干渉を避けることができる。
本発明の伸縮型保持装置は、電子部品などの対象物を保持するための保持部と、保持部の下部に複数の形に変形する変形部とを有し、保持部と変形部とが互いに接しているため、変形部の変形に倣って保持部も同様の変形をするので、保持装置上の対象物をハンドで掴む際、保持装置が一時的に逃げることが可能となるので、保持装置とハンドとの干渉を防ぐことができる。
(実施の形態1)
以下、図1から図13に基づき、実質的に同一又は対応する部材には同一符号を用いて本発明による伸縮型保持装置の好適な実施の形態を詳細に説明する。
以下、図1から図13に基づき、実質的に同一又は対応する部材には同一符号を用いて本発明による伸縮型保持装置の好適な実施の形態を詳細に説明する。
先ず、基板などの電子部品を保持する保持装置が可変ステージである実施の形態1にかかる伸縮型保持装置について説明する。
図1は、実施の形態1にかかる伸縮型保持装置の外観図である。
図1を参照して、実施の形態1にかかる伸縮型保持装置10は、水などの流体をそれぞれ独立して導入排出可能な帯状の管であって一体的に形成された第1変形部2a、第2変形部2b、第3変形部2c及び第4変形部2dと、これらの第1変形部2a、第2変形部2b、第3変形部2c及び第4変形部2dに密着かつ固定されて板状に形成された真空排気可能な帯状の管である保持部6とを備え、各第1変形部2a、第2変形部2b、第3変形部2c及び第4変形部2dと保持部6とが密接する箇所に弾性体、例えば、形状維持用スプリング8a、8b、8c、8dが設けられている。
図1を参照して、実施の形態1にかかる伸縮型保持装置10は、水などの流体をそれぞれ独立して導入排出可能な帯状の管であって一体的に形成された第1変形部2a、第2変形部2b、第3変形部2c及び第4変形部2dと、これらの第1変形部2a、第2変形部2b、第3変形部2c及び第4変形部2dに密着かつ固定されて板状に形成された真空排気可能な帯状の管である保持部6とを備え、各第1変形部2a、第2変形部2b、第3変形部2c及び第4変形部2dと保持部6とが密接する箇所に弾性体、例えば、形状維持用スプリング8a、8b、8c、8dが設けられている。
図2は図1のA−A線断面図である。
図2を参照して、伸縮型保持装置10は、各第1変形部2a、第2変形部2b、第3変形部2c及び第4変形部2dに流体が充填され、流体圧と形状維持用スプリング8a、8b、8c、8dとにより平板状の形状が維持され形成されている。
図2を参照して、伸縮型保持装置10は、各第1変形部2a、第2変形部2b、第3変形部2c及び第4変形部2dに流体が充填され、流体圧と形状維持用スプリング8a、8b、8c、8dとにより平板状の形状が維持され形成されている。
また保持部6には、各変形部の境界に対応した箇所に、各変形部が変形したときに曲がりやすいように溝7が形成されている。
さらに保持部6は、例えば一列状に配列された吸着穴5から大気が吸入されるようになっており、電子部品などの基板が保持部6の吸着穴5を塞いで保持部6が真空排気されると、基板が真空吸着されるようになっている。
なお、図2に示す保持部6の矢印は空気の流れを示し、各変形部の矢印は流体の充填方向を示す。
基板を真空吸着しているとき、大気圧により保持部6が圧迫され、保持部6の形状が維持できないような樹脂製の場合には、保持部6の適宜の箇所に例えば球形のスペーサーや形状維持用のスティを挿入し、空気の流通路を確保可能にしておくのがよい。
図3は自然状態の形状維持用スプリングの例を示す外観図であり、(a)は図1に示した各変形部に対応する幅の広い板状スプリング、(b)は幅が相対的に狭いが第1変形部から第4変形部までにわたって配設可能な長さの板状スプリング、(c)はワイヤー状のスプリングを示す図である。
伸縮型保持装置10は、第1変形部2a、第2変形部2b、第3変形部2c及び第4変形部2dのそれぞれに流体圧がかかっているとき、平板状の形状に維持され、流体圧がゼロになったとき、図3(a)から(b)に示した自然状態のリング状又は渦巻き状の形状に変形し復帰するようになっている。
図4は変形部の外観図である。
第1変形部について説明するが、他の変形部も同様である。
図4を参照して、第1変形部2aは段差を有する帯状の管であり、段になっている箇所に、例えば、板状スプリングを外部から挿入可能にポケット22が設けられている。
第1変形部について説明するが、他の変形部も同様である。
図4を参照して、第1変形部2aは段差を有する帯状の管であり、段になっている箇所に、例えば、板状スプリングを外部から挿入可能にポケット22が設けられている。
この第1変形部2aは、流体圧により板状の形状を維持する樹脂や板状の形状を維持可能に水密処理をした布で作製されており、各変形部との境界に対応した箇所に形状維持を補強するためのスティ24を適宜設けていてもよい。
図5は第1変形部を変形させたときの伸縮型保持装置の外観図である。
図5を参照して、伸縮型保持装置10は、第1変形部2aに充填されていた流体を排出し、流体圧をゼロにすると、板状スプリング8aが図3(a)に示す自然状態に戻り、第1変形部2aが変形するようになっている。
図5を参照して、伸縮型保持装置10は、第1変形部2aに充填されていた流体を排出し、流体圧をゼロにすると、板状スプリング8aが図3(a)に示す自然状態に戻り、第1変形部2aが変形するようになっている。
同様にして第2変形部2bの流体を排出し、流体圧をゼロにすると、板状スプリング8bが図3(a)に示す自然状態に戻り、第2変形部が変形する。他の変形部も同様である。
以上説明したように、保持装置が可変ステージである実施の形態1にかかる伸縮型保持装置では、第1変形部2aとこれに対応する保持部6の部分とで第1可変ステージを構成しており、さらに、第2変形部2bとこれに対応する保持部6の部分とで第2可変ステージを、第3変形部2cとこれに対応する保持部6の部分とで第3可変ステージを、第4変形部2dとこれに対応する保持部6の部分とで第4可変ステージを構成する。
次に、可変ステージである実施の形態1にかかる伸縮型保持装置の動作を説明する。
本発明の伸縮型保持装置は、例えば電子部品を実装する実装装置などの搬送ユニットに設けられ、この搬送ユニットにより本発明の伸縮型保持装置を、実装装置のチャックなどの所定位置に搬送し、保持する基板をピックアップするものである。
本発明の伸縮型保持装置は、例えば電子部品を実装する実装装置などの搬送ユニットに設けられ、この搬送ユニットにより本発明の伸縮型保持装置を、実装装置のチャックなどの所定位置に搬送し、保持する基板をピックアップするものである。
図6は実施の形態1にかかる伸縮型保持装置の使用状態を示す外観図である。
図7は可変ステージが変形した状態を示す外観図である。
図7は可変ステージが変形した状態を示す外観図である。
図6に示すように、可変ステージの伸縮型保持装置10は、真空吸着により基板34を吸着して保持し、実装装置などのチャック36によって搬送される。
図2、図5及び図7を参照して、第1可変ステージ32がチャック36の位置に来ると、第1変形部2aの流体を排出し、流体圧を低くしていくと(ゼロにしてもよい)、形状維持用スプリング8aが図3(a)に示す自然状態のリング状に変形していく。
流体圧の減少と形状維持用スプリング8aの自然状態への変形とにより第1可変ステージ32の先端が曲がっていき、このときチャック36が基板34をピックアップする。
このように上記実施の形態1にかかる伸縮型保持装置10では、チャック36が基板34をピックアップするとき、基板34を保持する第1可変ステージ32がチャック36から逃げていくことになり、チャック36と基板保持装置とが干渉しないという効果を有する。
(実施の形態2)
次に、基板などの電子部品を保持する保持装置が可変ハンドである実施の形態2にかかる伸縮型保持装置について説明する。
次に、基板などの電子部品を保持する保持装置が可変ハンドである実施の形態2にかかる伸縮型保持装置について説明する。
図8は可変ハンドである伸縮型保持装置の一部外観図である。
図8を参照して、可変ハンド40は、水などの流体をそれぞれ独立して導入排出可能な帯状の管であって一体的に形成された第1変形部42a、第2変形部42b、第3変形部42c及び第4変形部42dと、第1変形部42aの端部に密着固定された真空排気可能な吸着パッド44とを備える。
図8を参照して、可変ハンド40は、水などの流体をそれぞれ独立して導入排出可能な帯状の管であって一体的に形成された第1変形部42a、第2変形部42b、第3変形部42c及び第4変形部42dと、第1変形部42aの端部に密着固定された真空排気可能な吸着パッド44とを備える。
各第1変形部42a、第2変形部42b、第3変形部42c及び第4変形部42dには、充填された流体の流体圧により平板状に変形して、各々の形状を平板状に維持するための形状維持用スプリング48a、48b、48c、48dが設けられている。
第2変形部42bの端部46a、第3変形部42cの端部46b、第4変形部42dの端部46cにそれぞれ空隙が設けられており、各変形部が変形するとき各々が干渉することなく曲がるようになっている。
可変ハンド40は、各第1変形部42a、第2変形部42b、第3変形部42c及び第4変形部42dに流体が充填され、流体圧と各々の形状維持用スプリング48a、48b、48c、48dとにより平板状の形状が形成されており、流体を排出し流体圧を低くしていくと(ゼロにしてもよい)図3(a)に示したように自然状態のリング状の形状に変形するようになっている。
吸着パッド44は、多数の吸着穴45を有し、さらにフレキシブルチューブ43を介して真空排気でき、基板などが吸着穴45を塞ぐと、真空排気により基板を吸着するようになっている。
図9は変形部が一つの場合の可変ハンドを示す外観図である。
可変ハンド50は、形状維持用スプリング54が配設され、流体の導入排出が可能な帯状の管からなる変形部52と、この変形部52の端部に密着固定された真空排気可能な吸着パッド44とを備える。
可変ハンド50は、形状維持用スプリング54が配設され、流体の導入排出が可能な帯状の管からなる変形部52と、この変形部52の端部に密着固定された真空排気可能な吸着パッド44とを備える。
図10は変形部が一つの場合に複数の形状維持用スプリングを設けた可変ハンドの例を示す外観図である。
可変ハンド60は、可変ハンド50における形状維持用スプリング54を細くしたもので(図3(b)参照)、変形部62と、複数の形状維持用スプリング64a、64b、64cと、吸着パッド44とを備える。
可変ハンド60は、可変ハンド50における形状維持用スプリング54を細くしたもので(図3(b)参照)、変形部62と、複数の形状維持用スプリング64a、64b、64cと、吸着パッド44とを備える。
次に、可変ハンドの動作について説明する。
図11は可変ハンドの使用状態を示す外観図である。
図12は可変ハンドが変形した状態を示す外観図である。
図11に示す可変ハンド70は、第1変形部から第6変形部まであるもので、変形部の個数が異なるだけで図8に示す例と同様の構成である。
図11は可変ハンドの使用状態を示す外観図である。
図12は可変ハンドが変形した状態を示す外観図である。
図11に示す可変ハンド70は、第1変形部から第6変形部まであるもので、変形部の個数が異なるだけで図8に示す例と同様の構成である。
図11を参照して、可変ハンド70は、真空吸着により吸着パッド44が基板34を吸着して保持し、実装装置のチャック36によって搬送される。
チャック36が可変ハンド70の保持する基板34の位置に来ると、真空排気をやめ、フレキシブルチューブ43を介して空気を導入し、保持する基板34を吸着パッド44から開放する。
チャック36が可変ハンド70の保持する基板34の位置に来ると、真空排気をやめ、フレキシブルチューブ43を介して空気を導入し、保持する基板34を吸着パッド44から開放する。
このときチャック36が基板34をピックアップすると同時に、第1変形部から第6変形部の流体を排出し、流体圧をゼロにして、形状維持用スプリングが自然状態のリング状に変形していく。
図13は可変ハンド70の保持する対象物が基板ではなく、携帯電話などのケースの例を示したものである。
可変ハンド70の場合、対象物に吸着パッドで吸着可能な領域があれば、可変ハンド70により吸着保持することができる。
可変ハンド70の場合、対象物に吸着パッドで吸着可能な領域があれば、可変ハンド70により吸着保持することができる。
このように、上記実施の形態2にかかる伸縮型保持装置では、薄くてはさめないもの、ケースのように簡単にはさんでもてるものなど、複数の形状のワークを同じチャックでつかむことができる。すなわち、チャック36が基板34をピックアップするとき、基板34を保持する可変ハンドがチャック36から逃げていくことになり、チャック36と基板保持装置とが干渉することがなくなるという効果を有する。
以上説明してきたように、本発明の保持装置は、例えば吸着して保持する対象物をチャック装置がピックアップするような場合、対象物を開放するとともに伸縮してチャック装置から離れ、チャック装置との干渉をさけることができるという効果を有し、可変ステージ及び可変ハンドとして対象物を吸着保持する保持装置として有用である。
2a、42a 第1変形部
2b、42b 第2変形部
2c、42c 第3変形部
2d、42d 第4変形部
5、45 吸着穴
6 保持部
7 溝
8a 、8b、8c、8d、48a、48b、48c、48d、54、64a、64b、64c 形状維持用スプリング
10 伸縮型保持装置
22 ポケット
24 スティ
32 可変ステージ
36 チャック
40、50、60、70 可変ハンド
43 フレキシブルチューブ
44 吸着パッド
46a、46b、46c 端部
52、62 変形部
2b、42b 第2変形部
2c、42c 第3変形部
2d、42d 第4変形部
5、45 吸着穴
6 保持部
7 溝
8a 、8b、8c、8d、48a、48b、48c、48d、54、64a、64b、64c 形状維持用スプリング
10 伸縮型保持装置
22 ポケット
24 スティ
32 可変ステージ
36 チャック
40、50、60、70 可変ハンド
43 フレキシブルチューブ
44 吸着パッド
46a、46b、46c 端部
52、62 変形部
Claims (11)
- 平坦面を構成して対象物を保持する保持層を備えた保持冶具であって、
前記保持層に連設され、前記保持層と同一面を構成しうる補助保持層を備えた変形部とを具備した保持冶具。 - 請求項1に記載の保持冶具であって、
前記変形部が弾性体を含み、前記変形部の流体を排出して、弾性体の自然状態の形状に復帰することにより伸縮するようにした保持冶具。 - 請求項1または2に記載の保持冶具であって、
前記変形部は流体の供給および排出により変形可能な空間部を具備しており、前記流体の供給により補助保持層を構成し、前記流体の排出により、元の形状に復帰する保持冶具。 - 請求項1に記載の保持冶具であって、
前記変形部は独立に伸縮可能な複数の領域に分離されている保持冶具。 - 請求項1乃至4のいずれかに記載の保持冶具であって、
前記保持層は、真空吸着により対象物を吸着保持可能に形成された吸着孔を具備した保持冶具。 - 請求項1乃至5のいずれかに記載の保持冶具であって、
前記変形部は、巻き込み可能に形成されている保持冶具。 - 請求項1乃至6のいずれかに記載の保持冶具であって、
前記変形部は、前記保持層の幅方向に伸長可能に形成された保持冶具。 - 請求項1乃至6のいずれかに記載の保持冶具であって、
前記変形部は、前記保持層の長さ方向に伸長可能に形成された保持冶具。 - 請求項1乃至8のいずれかに記載の保持冶具であって、
前記保持部が前記変形部とともに変形可能に形成された保持冶具。 - 請求項1乃至9のいずれかに記載の保持冶具であって、
前記保持層と前記補助保持層とによって可変ステージを形成した保持装置。 - 請求項1乃至6のいずれかに記載の保持冶具であって、
前記変形部の先端に前記保持部を設けることにより可変ハンドを形成している保持装置 。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005016817A JP2006205270A (ja) | 2005-01-25 | 2005-01-25 | 保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005016817A JP2006205270A (ja) | 2005-01-25 | 2005-01-25 | 保持装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006205270A true JP2006205270A (ja) | 2006-08-10 |
Family
ID=36962636
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005016817A Withdrawn JP2006205270A (ja) | 2005-01-25 | 2005-01-25 | 保持装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006205270A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104380076A (zh) * | 2012-06-18 | 2015-02-25 | 日东电工株式会社 | 颗粒吸附微探头 |
CN109304727A (zh) * | 2017-07-28 | 2019-02-05 | 松下知识产权经营株式会社 | 机械手装置、机械手系统以及保持方法 |
-
2005
- 2005-01-25 JP JP2005016817A patent/JP2006205270A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104380076A (zh) * | 2012-06-18 | 2015-02-25 | 日东电工株式会社 | 颗粒吸附微探头 |
CN109304727A (zh) * | 2017-07-28 | 2019-02-05 | 松下知识产权经营株式会社 | 机械手装置、机械手系统以及保持方法 |
JP2019025644A (ja) * | 2017-07-28 | 2019-02-21 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | ロボットハンド装置、ロボットハンドシステム及び保持方法 |
JP7162235B2 (ja) | 2017-07-28 | 2022-10-28 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | ロボットハンド装置、ロボットハンドシステム及び保持方法 |
CN109304727B (zh) * | 2017-07-28 | 2022-11-01 | 松下知识产权经营株式会社 | 机械手装置、机械手系统以及保持方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN110625540B (zh) | 薄膜状部件支撑设备 | |
JP5059573B2 (ja) | 基板保持具、基板搬送装置および基板処理システム | |
JP4973501B2 (ja) | 半導体ウェハの収納ケース及び半導体ウェハの収納方法 | |
WO2018088046A1 (ja) | 把持ツールおよび把持システム | |
EP3434428B1 (en) | Robot hand apparatus, robot hand system, and holding method | |
JP2006212718A (ja) | 真空吸着具 | |
CN109304727B (zh) | 机械手装置、机械手系统以及保持方法 | |
WO2009128376A1 (ja) | 基板貼り合わせ装置 | |
JP2006205270A (ja) | 保持装置 | |
JP4863350B2 (ja) | 粘着性シート及び保持治具 | |
JP2012009751A (ja) | 真空ピンセット | |
JP2003245886A (ja) | 吸着機構 | |
JP2019166589A (ja) | 保持機構、マニピュレータ、及びハンドリングロボットシステム | |
JP2009160713A (ja) | 搬送装置、搬送方法 | |
JP2002313881A (ja) | ウェハ取り出し装置 | |
JP2007329297A (ja) | 薄膜状物体の保持装置及び薄膜状物体を保持するためのハンド | |
JP2022098006A (ja) | ワーク搬送用ハンド | |
JP2004153157A (ja) | 真空ピンセット及び半導体ウェハ搬送方法 | |
KR101684739B1 (ko) | 웨이퍼 이송 장치 | |
JP2012009540A (ja) | 真空ピンセット | |
CN111613566B (zh) | 一种超薄晶圆转运装置 | |
KR20200022425A (ko) | 비-접촉식 핸들러 및 이를 이용한 작업물 취급 방법 | |
JP2012033723A (ja) | 真空ピンセット及び真空吸着方法 | |
KR102230770B1 (ko) | 홀딩장치, 이를 포함하는 이송시스템 및 이송방법 | |
JP6276090B2 (ja) | 搬送装置、搬送システム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20071113 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20071120 |
|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20080401 |