TWI609749B - 產業用機器人之手部及產業用機器人 - Google Patents

Description

產業用機器人之手部及產業用機器人

本發明係關於搬送玻璃基板之產業用機器人之手部。又，本發明係關於包含上述手部之產業用機器人。

先前，已知有藉由真空蒸鍍法製造有機EL裝置之有機EL裝置製造裝置(例如，參照專利文獻1)。專利文獻1所記載之有機EL裝置製造裝置包含搬送玻璃基板之搬送機器人。又，作為藉由真空蒸鍍法製造有機EL裝置時之玻璃基板之搬送方法，一般，已知有於使蒸鍍面朝向下側之狀態下搬送玻璃基板之下表面搬送。

於以下表面搬送搬送玻璃基板之情形時，由於玻璃基板之下表面為蒸鍍面，故搬送機器人不可接觸於蒸鍍面。因此，於以下表面搬送搬送玻璃基板之情形時，搬送機器人係以手部接觸於形成於蒸鍍面周圍之框部分之方式將玻璃基板搭載於手部，且搬送玻璃基板。於該情形時，為了防止搬送玻璃基板時玻璃基板之相對於手部之位置偏移，有時於搭載玻璃基板之手部之上表面安裝O形環。

[先前技術文獻] [專利文獻]

專利文獻1：日本特開2010-62043號公報

近年來，以有機EL裝置製造裝置等之搬送機器人搬送之玻璃基 板大型化。當玻璃基板大型化時，於以下表面搬送搬送玻璃基板之情形時，以手部接觸於蒸鍍面之周圍之框部分之方式搭載於手部之玻璃基板之彎曲量增大。又，近年來，對有機EL裝置製造裝置等之搬送機器人，玻璃基板之搬送時間之縮短化要求提高。根據本申請案發明者之研究，可明確：當搭載於手部之玻璃基板之彎曲量增大時，又，當為了縮短玻璃基板之搬送時間，而加快搭載玻璃基板而移動之手部之加速度時，即使於手部之上表面安裝有O形環，亦會產生搬送玻璃基板時玻璃基板之相對於手部之位置偏移。

因此，本發明之目的在於提供一種產業用機器人之手部，其係搬送玻璃基板之產業用機器人之手部，且即使搭載於手部之玻璃基板之彎曲量大，並且，搭載玻璃基板而移動之手部之加速度大，亦可抑制搬送玻璃基板時玻璃基板之相對於手部之位置偏移。又，本發明之目的在於提供一種包含上述手部之產業用機器人。

為了解決上述問題，本發明之產業用機器人之手部係搬送玻璃基板之產業用機器人之手部，且係搭載玻璃基板之手部，其特徵在於包含形成接觸於玻璃基板下表面之接觸面之橡膠製或樹脂製之複數個墊塊，且接觸面形成為球面狀。

於本發明之產業用機器人之手部中，球面狀地形成有接觸於玻璃基板下表面之墊塊之接觸面。因此，於本發明中，即使搭載於手部之玻璃基板之彎曲量增大，亦可使墊塊之接觸面確實地接觸於玻璃基板下表面。又，於本發明中，由於形成為球面狀之接觸面點接觸於玻璃基板之下表面，故可提高接觸面與玻璃基板之接觸壓力。如此，於本發明中，即使搭載於手部之玻璃基板之彎曲量增大，亦可使接觸面確實地接觸於玻璃基板之下表面，且可提高接觸面與玻璃基板之接觸壓力而提高手部對玻璃基板之保持力。因此，於本發明中，即使搭載 於手部之玻璃基板之彎曲量大，並且，搭載玻璃基板而移動之手部之加速度大，亦可抑制搬送玻璃基板時玻璃基板之相對於手部之位置偏移。

於本發明中，較佳的是，玻璃基板形成為長方形狀，複數個墊塊係以接觸面接觸於形成為長方形狀之玻璃基板之外周端部分之下表面之方式，沿著大致長方形之框狀形狀配置。如此構成時，於藉由於使蒸鍍面朝向下側之狀態下搬送玻璃基板之下表面搬送搬送玻璃基板之情形時，即使搭載於手部之玻璃基板之彎曲量大，並且，搭載玻璃基板而移動之手部之加速度大之情形時，亦可抑制搬送玻璃基板時玻璃基板之相對於手部之位置偏移。

於本發明中，較佳的是，沿著大致長方形之框狀形狀而配置由第1墊塊、第2墊塊及第3墊塊3個墊塊構成之複數個墊塊群，於墊塊群中，以自上下方向觀察時，連結第1墊塊之接觸面之中心、第2墊塊之接觸面之中心及第3墊塊之接觸面之中心之虛擬線形成三角形狀之方式，配置第1墊塊、第2墊塊及第3墊塊，且於上下方向觀察時，連結第1墊塊之接觸面之中心與第2墊塊之接觸面之中心之虛擬線與玻璃基板之端面大致平行，第3墊塊係較第1墊塊及第2墊塊配置於更靠向玻璃基板之外周側，且於將玻璃基板搭載於手部時，第1墊塊之接觸面與第2墊塊之接觸面接觸於玻璃基板之下表面。

如此構成時，於各墊塊群中，由於2個墊塊之接觸面接觸於玻璃基板之下表面，故於搬送玻璃基板時，可使搭載於手部之玻璃基板之狀態穩定。又，如此構成時，由於第3墊塊較第1墊塊及第2墊塊配置於更靠向玻璃基板之外周側，故而即使例如於將載置於特定處理裝置架之玻璃基板搭載於手部時玻璃基板搖晃，亦可以第3墊塊之作用抑制玻璃基板之搖晃。即，藉由第3墊塊，可抑制將玻璃基板搭載於手部時玻璃基板不穩定。

本發明之手部可使用於包含於其前端側可轉動地連結手部之機械臂、與可轉動地連結機械臂之基端側之本體部之產業用機器人。於該產業用機器人中，即使搭載於手部之玻璃基板之彎曲量大，並且，搭載玻璃基板而移動之手部之加速度大，亦可抑制搬送玻璃基板時玻璃基板之相對於手部之位置偏移。

於本發明中，手部係例如配置於真空中。當手部配置於真空中時，手部無法吸引保持玻璃基板，但於本發明中，即使手部無法吸引玻璃基板，又，即使搭載於手部之玻璃基板之彎曲量大，並且，搭載玻璃基板而移動之手部之加速度大，亦可抑制搬送玻璃基板時玻璃基板之相對於手部之位置偏移。

如以上般，於本發明中，即使搭載於手部之玻璃基板之彎曲量大，並且，搭載玻璃基板而移動之手部之加速度大，亦可抑制搬送玻璃基板時玻璃基板之相對於手部之位置偏移。

2‧‧‧玻璃基板

2a‧‧‧蒸鍍區域

2b‧‧‧框區域

2c‧‧‧蒸鍍區域

2d‧‧‧框區域

2e‧‧‧區劃區域

2f‧‧‧框區域

3‧‧‧手部

4‧‧‧機械臂

5‧‧‧基部

6‧‧‧手叉

7‧‧‧叉本體

8‧‧‧第1叉部

8a‧‧‧基端部

8b‧‧‧傾斜部

8c‧‧‧前端部

9‧‧‧第2叉部

12‧‧‧墊塊

12a‧‧‧接觸面

12A‧‧‧墊塊(第1墊塊)

12b‧‧‧接觸部

12B‧‧‧墊塊(第2墊塊)

12c‧‧‧保持部

12C‧‧‧墊塊(第3墊塊)

12d‧‧‧防脫落部

13‧‧‧墊塊保持構件

13a‧‧‧墊塊保持孔

15‧‧‧墊塊群

25‧‧‧基部

26‧‧‧叉

E‧‧‧部位

CL‧‧‧等高線

F-F‧‧‧方向

G‧‧‧部位

H‧‧‧部位

L1~L3‧‧‧虛擬線

X‧‧‧方向

Y‧‧‧方向

圖1係本發明之實施形態之手部之圖，(A)係俯視圖，(B)係側視圖。

圖2係用以說明圖1所示之玻璃基板之構成之俯視圖。

圖3係圖1(A)之E部之放大圖。

圖4係自圖3之F-F方向顯示手叉之前端側部分之圖。

圖5係圖3之G部之放大圖。

圖6係用以說明圖4之H部之構成之圖。

圖7係用以說明本發明之其他實施形態之玻璃基板之構成之俯視圖。

圖8(A)、(B)係本發明之其他實施形態之手部之俯視圖。

以下，參照圖式，說明本發明之實施形態。

(產業用機器人之概略構成及手部之構成)

圖1係本發明之實施形態之手部3之圖，(A)係俯視圖，(B)係側視圖。圖2係用以說明圖1所示之玻璃基板2之構成之俯視圖。圖3係圖1(A)之E部之放大圖。圖4係自圖3之F-F方向顯示手叉6之前端側部分之圖。圖5係圖3之G部之放大圖。圖6係用以說明圖4之H部之構成之圖。

本形態之產業用機器人係於真空中搬送有機EL顯示器用之玻璃基板2之機器人，組入於有機EL顯示器之製造系統而使用。於該製造系統中，藉由真空蒸鍍法製造有機EL顯示器。產業用機器人係於使蒸鍍面朝向下側之狀態搬送玻璃基板2。玻璃基板2形成為長方形之板狀。如圖2所示，玻璃基板2之下表面包含進行蒸鍍之長方形狀之蒸鍍區域2a、與包圍蒸鍍區域2a周圍之長方形框狀之框區域2b(圖2之斜線部分)。框區域2b構成玻璃基板2之外周端部分之下表面。

又，本形態之產業用機器人係適合於相對大型之玻璃基板2之搬送之機器人。該產業用機器人包含：手部3，其搭載玻璃基板2；機械臂4(參照圖1(B))，其係於其前端側可轉動地連結手部3；及本體部(省略圖示)，其係可轉動地連結機械臂4之基端側。手部3及機械臂4配置於本體部之上側。又，手部3及機械臂4配置於真空中。

手部3包含：基部5，其連結於機械臂4；及2個手叉6，其等搭載玻璃基板2。手叉6具備2條叉本體7。叉本體7形成為細長之直線之棒狀。2條叉本體7係於互相隔開特定之間隔之狀態下平行地配置。又，叉本體7之基端固定於基部5。2個手叉6中之一手叉6之2條叉本體7係以自基部5朝向水平方向之一側突出之方式固定於基部5，另一手叉6之2條叉本體7係以朝向與朝水平方向之一側突出之2條叉本體7相反側突出之方式固定於基部5。

於以下之說明中，將自上下方向觀察時叉本體7之長邊方向(圖1(A)之X方向)設為左右方向，將自上下方向觀察時正交於左右方向之方向(圖1(A)之Y方向)設為前後方向。搭載於手叉6之玻璃基板2之端面與左右方向或前後方向大致平行。

又，手叉6包含：複數個第1叉部8，其固定於叉本體7之前端側；及複數個第2叉部9，其固定於第1叉部8。玻璃基板2搭載於手叉6之、配置有第1叉部8及第2叉部9之部分。手叉6之配置有第1叉部8及第2叉部9之部分之外形略微大於玻璃基板2之外形。

第1叉部8係以自2條叉本體7朝向前後方向之外側延伸之方式固定於叉本體7。又，複數個第1叉部8係於於左右方向隔開特定之間隔之狀態下平行地配置。於本形態中，於在左右方向隔開特定之間隔之狀態下配置有7個第1叉部8。固定於構成1個手叉6之2條叉本體7各者之複數個第1叉部8各者係於左右方向上配置於相同位置。

第1叉部8係藉由將平板狀之構件折彎為特定形狀而形成。如圖4所示，第1叉部8包含：細長之平板狀之基端部8a，其係自叉本體7朝向前後方向之外側延伸；平板狀之傾斜部8b，其係與前後方向之基端部8a之外側端連接且以隨著朝向前後方向之外側而朝向上方向之方式傾斜；及平板狀之前端部8c，其係與傾斜部8b之上端連接且朝向前後方向之外側延伸。

第2叉部9形成為細長之平板狀。第2叉部9係如圖3所示，以自1個手叉6中配置於左右方向之最外側之第1叉部8朝向左右方向之外側延伸之方式固定於第1叉部8。即，於1個手叉6中，於配置於左右方向之最外側之4個第1叉部8各者固定有第2叉部9。具體而言，於4個第1叉部8各者固定有複數個第2叉部9。又，固定於4個第1叉部8各者之複數個第2叉部9係於於前後方向隔開特定之間隔之狀態下平行地配置。於本形態中，於4個第1叉部8各者固定有2個第2叉部9。固定於1個手 叉6中配置於左右方向之最外側之第1叉部8各者之複數個第2叉部9各者係於前後方向上配置於相同位置。

於複數個第1叉部8之前端部8c之前端側(前後方向之外側端側)及複數個第2叉部9之前端側(左右方向之外側端側)各者，安裝有形成接觸於玻璃基板2下表面之接觸面12a之墊塊12(參照圖5、圖6)。具體而言，於複數個第1叉部8之前端部8c之前端側及複數個第2叉部9之前端側各者之上表面，固定形成為方塊狀之墊塊保持構件13，於該墊塊保持構件13固定有墊塊12。即，於複數個第1叉部8之前端部8c之前端側及複數個第2叉部9之前端側各者之上表面，介隔墊塊保持構件13安裝有墊塊12。又，於2條叉本體7各者之上表面，亦介隔墊塊保持構件13安裝有墊塊12。安裝於叉本體7之墊塊12係於前後方向上，配置於與安裝於第2叉部9之前端側之墊塊12相同之位置。

墊塊12係以橡膠形成。具體而言，墊塊12係以氟橡膠形成。該墊塊12係如圖6所示，包含形成上述接觸面12a之接觸部12b、與被保持於墊塊保持構件13之保持部12c，整體上形成為蘑菇狀。接觸部12b之形狀為切除球體之一部分之形狀，形成為大致半球狀。接觸面12a構成接觸部12b之上表面，且形成為球面狀。保持部12c形成為大致圓筒狀，且接觸部12b連接於保持部12c之上端。保持部12c係如圖6所示，被壓入形成於墊塊保持構件13之墊塊保持孔13a。於保持部12c之下端側，以朝向保持部12c之徑向之外側擴展之方式形成有防止墊塊12自墊塊保持孔13a脫落之防脫落部12d。

如上述般，於複數個第1叉部8之前端部8c之前端側及複數個第2叉部9之前端側各者，介隔墊塊保持構件13而安裝有墊塊12。又，於2條叉本體7各者亦介隔墊塊保持構件13而安裝有墊塊12，且安裝於叉本體7之墊塊12係於前後方向上配置於與安裝於第2叉部9之前端側之墊塊12相同之位置。即，於本形態中，複數個墊塊12係以接觸面12a 接觸於玻璃基板2之框區域2b(即，玻璃基板2之外周端部分之下表面)之方式，沿著大致長方形之框狀形狀配置。具體而言，於本形態中，於墊塊保持構件13固定有3個墊塊12，由3個墊塊12構成之複數個墊塊群15係沿著大致長方形之框狀形狀配置。

另，於本形態中，為了使安裝於第1叉部8之前端部8c之前端側之墊塊12之上端之高度、安裝於第2叉部9之前端側之墊塊12之上端之高度、與安裝於叉本體7之墊塊12之上端之高度為相同高度，安裝於第1叉部8之前端部8c之前端側之墊塊保持構件13之高度、安裝於第2叉部9之前端側之墊塊保持構件13之高度、與安裝於叉本體7之墊塊保持構件13之高度不同。

如圖5所示，將固定於1個墊塊保持構件13之3個墊塊12各者設為墊塊12A~12C時，於墊塊群15中，以自上下方向觀察時，連結墊塊12A之接觸面12a之中心、墊塊12B之接觸面12a之中心與墊塊12C之接觸面12a之中心之虛擬線L1~L3形成正三角形狀之方式，將墊塊12A~12C固定於墊塊保持構件13。

又，於自上下方向觀察時，連結墊塊12A之接觸面12a之中心與墊塊12B之接觸面12a之中心之虛擬線L1係與搭載於手叉6之玻璃基板2之端面大致平行。即，於配置於第1叉部8之前端部8c之前端側之墊塊群15中，於自上下方向觀察時，虛擬線L1係與搭載於手叉6之玻璃基板2之前後端面大致平行(即，與左右方向大致平行)。又，於配置於第2叉部9之前端側及叉本體7之墊塊群15中，於自上下方向觀察時，虛擬線L1係與搭載於手叉6之玻璃基板2之左右端面大致平行(即，與前後方向大致平行)。

又，墊塊12C係較墊塊12A、12B配置於更靠向前後方向或左右方向之外側。即，於配置於第1叉部8之前端部8c之前端側之墊塊群15中，墊塊12C係較墊塊12A、12B配置於更靠向前後方向之外側，於配 置於第2叉部9之前端側及叉本體7之墊塊群15中，墊塊12C係較墊塊12A、12B配置於更靠向左右方向之外側。即，墊塊12C係較墊塊12A、12B配置於更靠向玻璃基板2之外周側。於本形態中，於將玻璃基板2搭載於手叉6時，墊塊12A之接觸面12a及墊塊12B之接觸面12a接觸於玻璃基板2之下表面(具體而言，為框區域2b)，但墊塊12C之接觸面12a不接觸於玻璃基板2之下表面(參照圖6)。本形態之墊塊12A係第1墊塊，墊塊12B係第2墊塊，墊塊12C係第3墊塊。

另，於本形態中，於手叉6搭載有玻璃基板2時，由於複數個墊塊12接觸於玻璃基板2之框區域2b，故若使用等高線CL示意性顯示搭載於手叉6之玻璃基板2之彎曲之狀態則如圖2所示，隨著朝向玻璃基板2之中心，玻璃基板2之彎曲量增大。

(本形態之主要效果)

如以上說明般，於本形態中，由於以墊塊12之接觸面12a接觸於玻璃基板2之框區域2b之方式，沿著大致長方形之框狀形狀配置有複數個墊塊12，故可藉由於使蒸鍍面朝向下側之狀態下搬送玻璃基板2之下表面搬送搬送玻璃基板2。又，於本形態中，由於接觸面12a接觸於玻璃基板2之框區域2b，故搭載於手叉6之玻璃基板2之彎曲量增大，但於本形態中，由於接觸於玻璃基板2之下表面之墊塊12之接觸面12a形成為球面狀，故即使搭載於手叉6之玻璃基板2之彎曲量增大，亦可使接觸面12a確實地接觸於玻璃基板2之下表面。又，於本形態中，由於形成為球面狀之接觸面12a點接觸於玻璃基板2之下表面，故可提高接觸面12a與玻璃基板2之接觸壓力。

如此，於本形態中，即使搭載於手叉6之玻璃基板2之彎曲量增大，亦可使接觸面12a確實地接觸於玻璃基板2之下表面，且可提高接觸面12a與玻璃基板2之接觸壓力而提高手叉6對玻璃基板2之保持力。因此，於本形態中，即使將手部3配置於真空中而手部3無法吸引玻璃 基板2，又，即使搭載於手叉6之玻璃基板2之彎曲量大，並且，搭載玻璃基板2而移動之手部3之加速度或減速度大，亦可抑制搬送玻璃基板2時玻璃基板2相對於手部3之位置偏移。例如，於本形態中，即使搭載玻璃基板2而移動之手部3之加速度為2G，亦可抑制搬送玻璃基板2時玻璃基板2相對於手部3之位置偏移。

於本形態中，於各墊塊群15中，2個墊塊12A、12B之接觸面12a接觸於玻璃基板2之下表面。因此，於本形態中，可使搭載於手叉6之玻璃基板2之狀態穩定。又，於本形態中，由於較墊塊12A、12B於更靠向前後方向或左右方向之外側配置有墊塊12C，故即使例如將載置於蒸鍍裝置之架之玻璃基板2搭載於手叉6時玻璃基板2搖晃，亦可藉由墊塊12C之作用，抑制玻璃基板2之搖晃。即，於本形態中，藉由墊塊12C，可抑制將玻璃基板2搭載於手叉6時玻璃基板2不穩定。

(其他實施形態)

上述之形態係本發明之較好形態之一例，但並非限定於此者，於不變更本發明主旨之範圍可實施各種變形。

於上述形態中，玻璃基板2之下表面包含長方形狀之蒸鍍區域2a、與包圍蒸鍍區域2a之周圍之長方形框狀之框區域2b。此外，例如，於玻璃基板2進一步大型化之情形時，玻璃基板2之下表面係如圖7所示，亦可包含形成為相同大小之長方形狀之4個蒸鍍區域2c、與包含形成為長方形框狀之框區域2d、區劃4個蒸鍍區域2c之十字狀區劃區域2e之框區域2f(圖7之斜線部分)。於該情形時，複數個墊塊12係以接觸面12a接觸於玻璃基板2之框區域2f之方式，沿著框區域2f之形狀而配置。另，若使用等高線CL示意性顯示將圖7所示之玻璃基板2搭載於手叉6時玻璃基板2之彎曲狀態，則如圖7般，隨著朝向各蒸鍍區域2c之中心，玻璃基板2之彎曲量增大。

於上述之形態中，手部3包含基部5、2條叉本體7、複數個第1叉 部8及複數個第2叉部9。此外，例如，如圖8所示，手部3亦可包含連結於機械臂4之基部25、及自基部25朝向水平方向之一側延伸之複數個叉26(例如，4條叉26)。於該情形時，如圖8(A)所示，可以支持玻璃基板2之下表面整體之方式，將複數個墊塊12安裝於叉26之上表面，亦可如圖8(B)所示，以支持玻璃基板2之下表面之四角部分之方式，將4個墊塊12安裝於叉26之上表面。

於上述形態中，將不接觸於搭載於手叉6之玻璃基板2之下表面之墊塊12C固定於墊塊保持構件13，但墊塊12C亦可不固定於墊塊保持構件13。於該情形時，將接觸於搭載於手叉6之玻璃基板2之下表面之1個以上之墊塊12固定於墊塊保持構件13即可。又，於上述形態中，以虛擬線L1~L3形成正三角形狀之方式將墊塊12A~12C固定於墊塊保持構件13，但亦可以虛擬線L1~L3形成等腰三角形狀等其他三角形狀之方式將墊塊12A~12C固定於墊塊保持構件13。

於上述形態中，墊塊12係以橡膠形成，但若以比覆蓋玻璃基板2之表面之覆蓋劑更柔軟之材料形成墊塊12(即，若墊塊12為不會使玻璃基板2之表面之覆蓋層產生損傷者)，則墊塊12係可以橡膠以外之材料形成。例如，墊塊12係可以聚醚醚酮(PEEK)等樹脂形成。

於上述形態中，產業用機器人搬送有機EL顯示器用之玻璃基板2，但產業用機器人亦可搬送液晶顯示器用之玻璃基板等其他玻璃基板。又，於上述之形態中，產業用機器人係於真空中搬送玻璃基板2，但產業用機器人亦可於大氣中搬送玻璃基板2。於於大氣中搬送玻璃基板2之情形時，吸引玻璃基板2之吸引墊塊可設置於手部3之上表面。另，於本發明中，由於以墊塊12之作用，可提高手叉6對玻璃基板2之保持力，故即使於將吸引墊塊設置於手部3之上表面之情形時，亦可減少吸引墊塊之數量。

2‧‧‧玻璃基板

8‧‧‧第1叉部

8c‧‧‧前端部

12‧‧‧墊塊

12a‧‧‧接觸面

12A‧‧‧墊塊

12b‧‧‧接觸部

12c‧‧‧保持部

12C‧‧‧墊塊

12d‧‧‧防脫落部

13‧‧‧墊塊保持構件

13a‧‧‧墊塊保持孔

15‧‧‧墊塊群

X‧‧‧方向

Y‧‧‧方向

Claims (4)

1. 一種手部，其係搬送玻璃基板之產業用機器人之手部，且係搭載上述玻璃基板之手部，其特徵在於：包含形成接觸於上述玻璃基板下表面之接觸面之橡膠製或樹脂製之複數個墊塊；且上述接觸面形成為球面狀；上述玻璃基板形成為長方形狀；複數個上述墊塊係以上述接觸面接觸於形成為長方形狀之上述玻璃基板之外周端部分之下表面之方式，沿著大致長方形之框狀形狀而配置；且沿著大致長方形之框狀形狀而配置複數個由第1墊塊、第2墊塊及第3墊塊3個上述墊塊構成之墊塊群；於上述墊塊群中，於自上下方向觀察時，以連結上述第1墊塊之上述接觸面之中心、上述第2墊塊之上述接觸面之中心與上述第3墊塊之上述接觸面之中心之虛擬線形成三角形狀之方式，配置上述第1墊塊、上述第2墊塊及上述第3墊塊。
2. 如請求項1之手部，其於自上下方向觀察時，連結上述第1墊塊之上述接觸面之中心與上述第2墊塊之上述接觸面之中心之虛擬線與上述玻璃基板之端面大致平行；上述第3墊塊係較上述第1墊塊及上述第2墊塊配置於更靠向上述玻璃基板之外周側；於將上述玻璃基板搭載於上述手部時，上述第1墊塊之上述接觸面與上述第2墊塊之上述接觸面接觸於上述玻璃基板之下表面。
3. 一種產業用機器人，其特徵在於包含：如請求項1或2之手部、 於其前端側可轉動地連結上述手部之機械臂、及可轉動地連結上述機械臂之基端側之本體部。
4. 如請求項3之產業用機器人，其中上述手部配置於真空中。