KR20190131651A - 기판 반송 장치 - Google Patents

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KR20190131651A
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Abstract

본 발명은 기판을 반송 경로를 따라 이송하거나 틸팅하여도 적재 상태를 유지할 수 있는 기판 반송 장치에 관한 것으로, 사각형상의 프레임과 이 프레임의 내부 영역을 가로질러 배치된 다수의 지지 바아를 구비한 트레이와; 및 기판의 타면과 접촉되는 지지 바아의 전면에 구비된 하나 이상의 그리퍼;를 포함하며, 상기 트레이(10)의 후면에 배치되고 상하방향으로 이동가능한 리프트(20)를 이용하여 상기 그리퍼(30)와 상기 기판(S)을 적어도 분리하며, 기판의 성막면과 대향되는 타면을 하나 이상의 그리퍼를 수단으로 하여 트레이 상에 기판을 재치할 수 있다.
특별하기로, 본 발명은 흡착기능을 갖춘 하나 이상의 그리퍼를 트레이에 배치하여 기판의 타면을 확실하게 흡착하여 신뢰할 수 있는 기판의 재치 상태를 유지할 수 있다.

Description

기판 반송 장치 {Substrate carrying apparatus}
본 발명은 기판 반송 장치에 관한 것으로, 특별하기로 대면적화된 평판표시장치의 유리 기판을 다양한 각도로 재치(載置)하여 반송시킬 수 있는 기판 반송 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 액정 디스플레이(Liquid Crystal display), 플라즈마 디스플레이(Plasma Display), 유기발광소자(Organic Light Emitting Diodes) 등의 평판표시장치는 판형상의 유리 기판을 사용하고 있다. 현재 평판표시장치는 급속하게 대면적화되고 있는 추세이며 그에 따라 대면적 유리 기판을 생산할 수 있는 양산 장치가 개발되고 있는 게 현실이다.
당해 분야의 숙련자들에게 널리 알려져 있듯이, 이러한 기판은 일면에 예컨대 진공 하에서 스퍼터링(sputtering) 방식을 통해 금속층등을 성막할 수 있다. 기판은 특허문헌 1에 개시된 이송 장치(160;도 1 참조)의 제1 캐리어(141)에 장착되어 각 챔버로 이송될 수 있다. 이송 장치는 기판을 수평 또는 중력방향에 대해 소정의 각도로 틸팅(tilting)되어 이송하는데, 고(高)경사각으로 기판을 틸팅시켜 반송되는 과정에서 제1 캐리어로부터 기판의 이탈을 방지하기 위한 별도의 체결수단을 구비해야 한다. 특허문헌 1에서는 기판의 고정을 위한 체결수단에 대해 구체적으로 언급하고 있지 않지만 통상적으로 캐리어의 가장자리를 따라 다수의 체결수단(예컨대, 클램프(clamp))을 배치하는데, 클램프를 이용하여 기판을 파지하는 과정 또는 이송시 기판과 클램프 사이의 유격으로 인한 마찰 작용으로 파티클(particle)의 발생을 유발하거나 기판의 일부에 처짐 현상이 유발되어 완제품에 결함 요소로 작용하게 된다.
대한민국 등록특허 제10-1176843호
본 발명은 전술된 문제점을 해결하기 위해 창출된 것으로, 대면적 기판을 다양한 각도로 틸팅시켜도 안정적인 자세로 재치할 수 있는 기판 반송 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 트레이 상에 그리퍼를 배치하는 단순한 구조로도 기판의 위치고정을 가능하게 할 수 있는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 반송 장치는 사각형상의 프레임과 이 프레임의 내부 영역을 가로질러 배치된 다수의 지지 바아를 구비한 트레이와; 이 트레이의 후면에 배치되고 상하방향으로 이동가능한 리프트; 및 기판의 타면과 대면하는 지지 바아의 전면에 구비된 하나 이상의 그리퍼;로 이루어지는 것을 특징으로 한다. 본 발명은 그리퍼를 수단으로 하여 기판을 트레이 상에 재치하여 반송 경로를 따라 이송 및/또는 회전할 수도 있다.
본 발명의 실시예에서, 그리퍼는 지지 바아에 결합되는 베이스와 이 베이스 상에서 전방을 향해 돌출된 흡착성 미세섬모를 구비할 수 있다.
바람직하기로, 본 발명은 도마뱀붙이 타입의 흡착방식으로 기판을 고정할 수 있는 그리퍼를 구비할 수 있다.
본 발명은 리프트의 전면에 다수의 핀을 배치할 수 있다.
본 발명은 트레이의 내부 영역에 개구부를 형성할 수 있다.
부가적으로, 본 발명은 리프트의 상하 이동시 다수의 핀이 트레이의 개구부를 관통할 수 있도록 개구부와 대응되는 위치에 다수의 핀을 구비할 수 있다.
본 발명은 트레이를 소정의 각도로 틸팅하는 회전부재를 추가로 구비하여, 기판을 다양한 틸팅 각도에서도 재치할 수 있다.
그리퍼의 미세섬모는 고온 분위기 하에서도 접착력을 제공할 수 있는 내열성 소재로 제작될 수 있다.
본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로 더욱 명백해질 것이다.
이에 앞서 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 사전적인 의미로 해석되어서는 아니 되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
이상 본 발명에 의하면 트레이에 배치된 하나 이상의 그리퍼를 수단으로 하여 신뢰할 수 있는 기판의 재치를 보장할 수 있는 기판 반송 장치를 제공할 수 있다.
본 발명은 도마뱀붙이의 발바닥 구조를 기초로 한 흡착 방식을 구현하는 그리퍼를 채용하여, 별도의 기계적 체결수단 없이 기판과 그리퍼 사이 미세섬모의 접촉만으로도 접착력을 확보하여 구조적으로 단순화되어 있다. 특히 진공 및 고온의 성막 공정 환경에서 이러한 구조를 채용하여 그리핑하는 점에서 장점을 가진다. 또한, 본 발명은 단순히 리프트의 상하 왕복이동으로 그리퍼에서 기판을 용이하게 분리하고 그리퍼와 기판을 접착시킬 수 있다.
본 발명은 기판의 성막면과 대향되는 타면을 그리퍼로 흡착고정하여 기판의 성막면 전체를 확실하게 성막할 수 있을 뿐만 아니라 파티클의 발생 요인을 제거할 수 있도록 설계되어 있다. 본 발명은 다수의 그리퍼를 통해 기판의 타면을 다지점에서 위치고정하여 기판의 처짐 혹은 휨 현상을 미연에 방지하여 평판 형태를 유지할 수 있도록 지지보유한다. 특히 기판의 모서리부가 아닌 기판의 배면(타면)을 직접 흡착함으로써 여러 장점을 가진다.
도 1은 종래기술에 따른 박막 증착 시스템 내에 이송 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 기판 반송 장치를 구비한 스퍼터링 시스템을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명에 따른 기판 반송 장치의 트레이를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 4는 기판 반송 장치 상에 기판의 재치 상태를 확인할 수 있는 도면으로, 도 4(a)는 본 발명에 따른 기판 반송 장치의 트레이 상에 기판을 부착한 도면이고 도 4(b)는 기판 반송 장치에서 기판의 분리 방식을 도시하고 있다.
본 발명의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관되어지는 이하의 상세한 설명과 실시예들로부터 더욱 명백해질 것이다. 본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다. 본 명세서에서, 제1, 제2 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위해 사용되는 것으로, 구성요소가 상기 용어들에 의해 제한되는 것은 아니다. 첨부 도면에 있어서, 일부 구성요소는 과장되거나 생략되거나 또는 개략적으로 도시되었으며, 각 구성요소의 크기는 실제 크기를 전적으로 반영하는 것은 아니다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명에 따른 기판 반송 장치를 구비한 스퍼터링 시스템을 개략적으로 도시한 도면으로, 챔버(200,400) 내부를 따라 이동할 수 있는 기판 반송 장치는 구성부재들의 명료한 이해를 돕기 위해 기판 반송 장치의 이동 수단을 배제하여 도시하였다. 기판 반송 장치는 일렬로 배치된 로딩 챔버(200)와 공정 챔버(400) 사이를 롤러, 자기부상 모듈 등의 이동 수단으로 이동할 수 있다.
스퍼터링 시스템은 OLED용 기판, LED용 기판, LCD용 기판 등을 제작할 수 있는 시스템으로, 반송 설비(100), 로딩 챔버(200), 공정 챔버(400) 등을 인-라인(in-line) 타입의 배치로 구성하고 있다. 이에 국한되지 않고, 스퍼터링 시스템은 클러스터(cluster) 타입으로 배치될 수도 있다.
도시된 바와 같이, 스퍼터링 시스템은 반송 설비(100)의 측면에는 로딩 챔버(200)와 하나 이상의 공정 챔버(400)를 배치한다.
반송 설비(100)는 반송 로봇을 통해 기판(S)을 재치한 트레이(10)를 인접배치된 로딩 챔버(200)와 공정 챔버(400)로의 반송을 돕는 중간 경로 역할을 한다.
로딩 챔버(200)는 반송 설비(100)로부터 기판 반송 장치의 트레이(10)를 반입하는데, 도시된 바와 같이 L/Position으로 불려지는 반송 설비(100)에서 트레이(10)의 전면에 기판(S)을 재치할 수 있으며, 기판(S)을 재치한 다음에 트레이(10)를 후단 설비로의 반출을 돕도록 기판 반송 장치를 배치할 수 있다. 즉, 본 발명의 기판 반송 장치는 미리 설정된 반송 경로를 따라 기판을 이송하게 된다. 로딩 챔버(200)는 게이트(참조부호 없음)를 통해 후단에 배치된 성막용 공정 챔버(400)를 기밀상태를 유지할 수 있도록 연결되어 있다. 물론, 게이트는 인접배치된 각 챔버 내로 기판(S)의 반입 및/또는 반출을 가능하게 돕는 구성부재이다.
선택적으로, 로딩 챔버(200)는 챔버 내부를 진공 상태 또는 상압 상태로 신속하게 변경할 수 있도록 펌핑 설비와 벤팅(venting) 설비를 구비할 수 있다. 스퍼터링 시스템은 로딩 챔버(200)와 공정 챔버(400) 사이에 진공 챔버(미도시)를 별도로 구비할 수도 있다. 널리 알려져 있듯이, OLED는 빛을 발광하는 유기발광층이 수분과 산소에 민감하게 반응하기 때문에 전반적으로 제조 공정을 진공 상태로 유지하는 것이 바람직하다.
로딩 챔버(200)의 하류에는 스퍼터링 방식을 통해 기판의 일면(성막면)에 금속막 등을 형성할 수 있도록 진공 하에서 성막 공정을 실시하는 공정 챔버(400)를 배치한다. 성막용 공정 챔버(400)는 앞서 기술되었듯이 기판 상에 신뢰할 수 있는 성막을 진행하고 진공 분위기를 유지하는 것이 바람직하다.
도시된 바와 같이, 본 발명은 반송 설비(100)의 반송 로봇으로 트레이(10)의 전면에 기판(S)을 재치하고 별도의 이송 수단을 통해 로딩 챔버(200) 내에 안내된다. 물론, 스퍼터링 시스템에서는 기판(S)을 반송 설비 내에서 본 발명에 따른 기판 반송 장치의 트레이 상에 용이하게 적재될 수 있도록 트레이(10)를 수평 상태로 배치하고 있으며, 로딩 챔버(200)와 공정 챔버(400)에서는 스퍼터링 공정에 적합하게 중력방향에 대해 소정의 각도로 틸팅되어 있는 수직 상태로 정렬될 수 있다. 성막용 공정 챔버(400)에서는 도시되었듯이 약 87° 내지 90°의 틸팅 각도로 기판을 수직 상태로 이송하여 성막 처리할 수 있다. 이외에도, 성막용 공정 챔버(400)는 성막하는 방식에 따라 다양한 틸팅 각도로 경사지게 배열될 수 있고 필요에 따라서는 회전하면서 성막할 수도 있다.
본 발명에 따른 기판 반송 장치는 도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이 기판(S)의 재치를 가능하도록 구비된 트레이(10)와, 트레이(10)의 후면에 배치되어 상승 또는 하강 이동가능한 리프트(20), 및 기판(S)의 위치고정을 돕는 그리퍼(30)로 이루어져 있다. 본 발명에 따른 기판 반송 장치는 트레이(10)를 소정의 각도로 회전시킬 수 있는 회전부재(미도시)를 추가로 포함할 수 있다. 본 발명은 회전부재를 통해 기판을 각 공정에서 요구되는 소정의 틸팅 각도로 방향설정할 수 있다.
트레이(10)는 도시된 바와 같이 사각형상의 프레임(11)과 프레임(11)의 내부 영역을 가로지르는 다수의 지지 바아(12;bar)로 이루어져 있다. 트레이(10)는 이의 내부 영역에, 구체적으로 프레임(11)과 지지 바아(12)로 둘러싸인 부분에 개구부(13)를 형성할 수 있다. 지지 바아(12)는 프레임의 상부에서 하부를 향해 일직선으로 길게 뻗어 있지만, 다양한 패턴, 예컨대 격자모양의 배열로 형성될 수도 있다.
바람직하기로, 본 발명은 지지 바아(12) 상에, 다시 말하자면 기판(S)의 타면과 대면하는 지지 바아(12)의 전면에 하나 이상의 그리퍼(30)를 구비한다. 그리퍼(30)는 도시되었듯이 볼팅 방식으로 위치고정될 수 있으며, 이에 국한되지 않고 본딩 방식 등과 같이 다양한 결합 방식으로 지지 바아(12)에 위치고정될 수도 있다.
리프트(20)는 트레이 상에 재치된 기판을 분리시킬 수 있도록 이의 전면에 다수의 핀(21)을 배치하는데, 다수의 핀(21)은 리프트(20)의 전면에서 분산배치되고 트레이(10)를 향해 길이연장된다. 리프트(20)는 사각형상의 프레임(11)과 다수의 지지 바아(12)에 중첩되지 않는 개구부(13)에 대응되는 위치에 핀(21)을 배치한다.
본 발명에서, 그리퍼(30)는 기판(S)을 흡착 방식으로 위치고정을 가능하게 돕는 구성부재이다. 그리퍼(30)는 도마뱀붙이(gecko)의 발바닥 구조와 유사하게 나노 크기의 직경을 갖는 미세섬모(31)로 집약되어 있는바, 다시 말하자면 그리퍼(30)는 지지 바아(12)에 결합된 베이스(32) 상에 흡착성 미세섬모(31)를 촘촘하게 배치하게 된다. 베이스(32)는 볼팅 방식으로 지지 바아(12)에 결합될 수 있다. 여기서, 미세섬모는 기판과의 접촉을 통해 미세섬모와 기판의 타면 사이에 분자간 인력을 발생시켜 기판을 트레이(10) 상에 안정적으로 고정할 수 있다. 본 발명은 시중에서 구매가능한 흡착 방식으로 구현되는 다양한 유형의 그리퍼를 채용할 수 있으며, 전술된 바와 같이 도마뱀붙이의 흡착 원리를 이용한 RNR사의 G-N PAD(Gecko-None PAD) 제품을 사용할 수도 있다.
그리퍼(30)의 미세섬모(31)는 고온 분위기 하에서도, 예를 들면 200 도 내지 300도의 분위기에서도, 일정한 인력을 통한 접착력을 발생시킬 수 있는 폴리머 등의 내열성 소재로 제작될 수 있다.
본 발명에 따른 기판 반송 장치는 전술된 그리퍼(30)를 수단으로 하여 클램프, 마그네틱 등의 기계적 체결수단 없이도 단순히 두 물체(기판과 트레이 상에 구비된 그리퍼)의 접촉을 통해서 충분한 접착력을 제공할 수 있며 진공 분위기 및/또는 고온 분위기 하에서도 이러한 접착력을 유지하는 장점을 제공한다.
특히, 트레이(10) 및 그리퍼(30)는 고온의 공정 챔버(400) 내에서도 이용되며, 공정 챔버(400)는 스퍼터링을 위한 챔버일 수 있다.
도 4는 기판 반송 장치의 트레이에 기판의 재치 상태 또는 트레이로부터 기판의 이탈 상태를 확인할 수 있는 도면이다.
도 4(a)에 도시된 바와 같이, 본 발명은 수평 배열된 트레이(10)의 지지 바아(12) 상에 기판(S)을 배치하여, 지지 바아(12)의 전면에 배치된 하나 이상의 그리퍼(30)를 통해 트레이(10)에서 기판 접착력을 충분히 확보할 수 있게 된다. 지지 바아(12)는 기판 반송 장치의 수평 배열시 기판(S)을 지지하는 동시에 기판 반송 장치의 수직 배열시 기판(S)을 부착시켜 매달려 있게 한다. 바람직하기로, 본 발명은 기판과의 접착 부위를 기판의 타면으로 한정하고 있어 스퍼터링 공정시 기판의 성막면(다시 말하자면 일면) 전체에 균일한 성막을 제공할 수 있는 장점을 갖는다.
도 4(a)에서는 수평방향으로 위치된 트레이(10)의 전면에 기판(S)의 안정적인 재치 상태를 확인할 수 있지만, 상향식 회전 성막 방식, 상향 성막 방식, 하향 성막 방식, 수직형 성막 방식, 경사형 성막 박식 등의 다양한 성막 방식에 따라 기판(S)을 다양한 각도(고경사각)로 틸팅하여도 그리퍼의 접착력으로 트레이(10)에서 양호한 재치 상태로 지지보유할 수 있다.
본 발명은 반송될 기판의 면적과 크기에 따라 그리퍼의 갯수 및/또는 그리퍼의 배열 패턴을 달리 하여 대면적 기판을 트레이 상에 충분히 재치할 수 있다.
본 발명은 기판(S)의 타면을 하나 이상의 그리퍼의 갯수와 대응되는 다지점에서 지지보유할 수 있도록 하나 이상의 그리퍼(30)를 트레이(10)의 지지 바아(12) 상에 배치하게 되는데, 이는 기판(S)의 엣지부와 내부 영역을 동시에 흡착하여 예컨대 장시간 동안 기판을 기립하여도 기판의 처짐 현상을 방지하여 일정한 평판 형태를 유지할 수 있으며 트레이로부터 기판의 분리 현상을 미연에 방지할 수 있다.
도 4(b)는 트레이(10) 상에서 기판(S)을 분리하는 공정을 개략적으로 도해한 것으로, 트레이(10)의 후면에 배치된 리프트(20)를 단순히 트레이(10)를 향해 상하 이동시킴으로써 기판(S)을 그리퍼(30)로부터 용이하게 분리할 수 있게 된다. 리프트(20)가 상승 이동하면서, 다수의 핀(21)이 트레이(10)의 개구부(13)를 지나 기판(S)의 타면을 전방측으로 강제로 밀어붙여 기판을 분리할 수 있다.
이러한 분리 과정에서, 다수의 핀(21)이 기판의 타면을 다지점에서 균일한 외력으로 동시에 가압하면서 분리한다. 분리후 각 핀(21)의 선단이 기판(S)을 트레이(10)의 전면 보다 높은 위치에서 지지하고 있어 기판과 트레이의 이격 틈새 사이로 반송 로봇(미도시)을 유입시켜 반송 로봇이 기판(S)을 핸들링할 수 있게 된다.
이와 반대로 트레이(10)에 기판(S)을 재치하고자 할 때에는, 리프트(20)가 상승 이동하여 각 핀(21)의 선단이 트레이(10)의 전면 보다 높은 위치로 상승한 상태에서 반송 로봇이 기판(S)을 각 핀(21)의 선단 상에 안착시키고 그런 다음에 리프트(20)를 하강 이동시켜 기판의 타면과 그리퍼가 접촉되며, 기판의 자중에 의해서 기판과 그리퍼 상호 간에 접착력을 발생시킬 수 있다.
본 발명에 따른 기판 반송 장치는 스퍼터링을 실시하는 공정 챔버에만 국한되어 사용되지 않고, 다양한 위치로 평판형 기판을 이송해야 하는 시스템 내에서도 구비될 수 있다. 또한, 본 발명은 진공 분위기, 고온 분위기 하에서도 탁월한 흡착성능을 구현할 수 있다.
이상 본 발명은 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명에 따른 기판 반송 장치는 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당해 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함은 명백하다고 할 것이다. 본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 모두 본 발명의 영역에 속하는 것으로 본 발명의 구체적인 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의하여 명확해질 것이다.
10 ----- 트레이(tray),
20 ----- 리프트(lift),
30 ----- 그리퍼(gripper),
100 ----- 반송 설비,
200 ----- 로딩 챔버,
400 ----- 공정 챔버.

Claims (10)

  1. 기판(S)을 반송 경로를 따라 이송할 수 있는 기판 반송 장치에 있어서,
    사각형상의 프레임(11)과 상기 프레임(11)의 내부 영역을 가로질러 배치된 다수의 지지 바아(12)를 구비한 트레이(10)와;
    상기 기판(S)의 타면과 접촉되는 상기 지지 바아(12)의 전면에 구비된 하나 이상의 그리퍼(30);를 포함하며,
    상기 트레이(10)의 후면에 배치되고 상하방향으로 이동가능한 리프트(20)를 이용하여 상기 그리퍼(30)와 상기 기판(S)을 적어도 분리하며,
    상기 기판(S)는 상기 그리퍼(30)를 통해 상기 트레이(10)에서 위치고정되는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 그리퍼(30)는 베이스(32)와 상기 베이스(32) 상에서 돌출된 흡착성 미세섬모(31)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 그리퍼(30)는 도마뱀붙이 타입의 흡착방식으로 상기 기판(S)을 고정하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 리프트(20)는 전면에 다수의 핀(21)을 배치하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 트레이(10)는 내부 영역에 개구부(13)를 형성하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 다수의 핀(21)은 상기 개구부(13)와 대응되는 위치에 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  7. 청구항 1에 있어서,
    회전부재를 추가로 구비하고,
    상기 회전부재는 상기 트레이(10)를 소정의 각도로 틸팅하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 그리퍼(30)의 미세섬모(31)는 내열성 소재로 제작되는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  9. 청구항 1에 있어서,
    상기 트레이(10) 상기 그리퍼(30)는 고온의 공정 챔버 내에서도 이용되는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  10. 청구항 1에 있어서,
    상기 공정 챔버는 스퍼터링을 위한 챔버인 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
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