KR20170068678A - 기판 처리 장치 - Google Patents

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KR20170068678A
KR20170068678A KR1020150175126A KR20150175126A KR20170068678A KR 20170068678 A KR20170068678 A KR 20170068678A KR 1020150175126 A KR1020150175126 A KR 1020150175126A KR 20150175126 A KR20150175126 A KR 20150175126A KR 20170068678 A KR20170068678 A KR 20170068678A
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housing
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hoist
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박용성
이성광
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국제엘렉트릭코리아 주식회사
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Abstract

본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치는 반출 또는 반입을 위한 카세트가 위치되는 탑재대를 갖는 카세트 공급부; 및 상기 카세트 공급부의 상부에 위치되어, 상기 카세트를 임시로 수용할 수 있는 버퍼 모듈을 포함하되, 상기 버퍼 모듈은, 상기 카세트 공급부의 상부에 위치되어 내측에 수용공간을 형성하고 전방이 개방된 하우징; 및 상기 하우징의 내측에 위치되어, 상기 카세트를 상기 하우징의 내측과 상기 탑재대 사이로 이송하는 호이스트를 포함한다.

Description

기판 처리 장치{substrate treating apparatus}
본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자는, 기판인 웨이퍼(wafer) 상에 여러 가지 물질을 박막형태로 증착하고 이를 패터닝하여 구현되는데, 이를 위하여 증착공정, 식각공정, 세정공정, 건조공정 등 여러 단계의 서로 다른 공정이 요구된다.
이러한 각각의 공정에서 처리 대상물인 웨이퍼는 해당공정의 진행에 적절한 환경을 가지고 있는 반도체 제조 설비로 이송되어 처리되며, 이상과 같은 각 반도체 제조 설비로의 웨이퍼 이송은 대부분 약 25매의 웨이퍼가 적재되는 웨이퍼 카세트 단위로 수행된다.
따라서, 작업자 또는 소정 이송수단에 의하여 약 25매의 웨이퍼가 적재된 웨이퍼 카세트가 반도체 제조 설비로 이송되면, 반도체 제조설비는 웨이퍼 카세트에 적재된 웨이퍼를 순차적으로 인출한 다음 공정을 진행하고, 공정을 진행한 후에는 웨이퍼가 인출된 카세트로 웨이퍼를 다시 수납시키거나 별도로 마련된 빈 카세트로 웨이퍼를 수납시키는 방법으로 공정을 진행한다.
본 발명은 기판을 효율적으로 처리할 수 있는 기판 처리 장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 반출 또는 반입을 위한 카세트가 위치되는 탑재대를 갖는 카세트 공급부; 및 상기 카세트 공급부의 상부에 위치되어, 상기 카세트를 임시로 수용할 수 있는 버퍼 모듈을 포함하되, 상기 버퍼 모듈은, 상기 카세트 공급부의 상부에 위치되어 내측에 수용공간을 형성하고 전방이 개방된 하우징; 및 상기 하우징의 내측에 위치되어, 상기 카세트를 상기 하우징의 내측과 상기 탑재대 사이로 이송하는 호이스트를 포함하는 기판 처리 장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 호이스트는, 상기 하우징의 내측에 연결되는 주행부; 상기 주행부에 대해 전후 방향으로 이동 가능하게 제공되는 지지부; 상기 지지부에 대해 상하 방향으로 이동 가능하게 제공되고, 상기 카세트를 파지하는 홀더부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 주행부는 좌우 방향으로 이동 가능하게 제공될 수 있다.
또한, 상기 호이스트는, 일측은 상기 주행부에 연결되고, 타측은 상기 지지부에 연결되되 그 길이가 가변 가능하게 제공되는 신축부를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 홀더부는, 그 저면에 서로 이격되어 위치되어, 상기 카세트를 파지하는 한 쌍의 홀더; 및 그 저면에 위치되어 상기 카세트가 상기 홀더에 의해 파지 되었는지 여부를 감지하는 센서를 포함할 수 있다.
또한, 상기 센서는 상기 한 쌍의 홀더 사이에 위치될 수 있다.
또한, 상기 센서는 복수가 서로 이격 되게 제공될 수 있다.
또한, 상기 센서는 복수가 상기 홀더부 저면의 중심을 기준으로 이격되어 위치되고, 상기 홀더가 상기 카세트를 파지할 때 상기 카세트의 상면에 의해 눌러지는 버튼 형식으로 제공될 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 의하면, 기판을 효율적으로 처리 할 수 있는 기판 처리 장치가 제공될 수 있다.
도 1 은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치의 측면도이다.
도 2는 기판 처리 장치의 정면도이다.
도 3은 카세트를 파지한 상태의 호이스트를 나타내는 도면이다.
도 4는 지지부가 전방으로 이동된 상태의 호이스트를 나타내는 도면이다.
도 5는 홀더부가 아래쪽으로 이동 된 상태의 호이스트를 나타내는 도면이다.
도 6 내지 도 8은 탑재대에 위치된 카세트를 버퍼 모듈로 이동 시키는 과정을 나타내는 도면이다.
도 9는 홀더부의 저면 사시도이다.
도 10은 홀더부가 카세트를 파지한 상태를 나타내는 도면이다.
도 11은 다른 실시 예에 따른 홀더부를 나타내는 도면이다.
도 12는 카세트가 도 11의 홀더부에 파지된 상태를 나타내는 도면이다.
도 13은 또 다른 실시 예에 따른 홀더부를 나타내는 도면이다.
도 14는 카세트가 도 13에 따른 홀더부에 파지된 상태를 나태는 도면이다.
이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형할 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다.
도 1 은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치의 측면도이고, 도 2는 기판 처리 장치의 정면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 기판 처리 장치(1)는 카세트 공급부(100) 및 버퍼 모듈(200)을 포함한다.
기판 처리 장치(1)는 기판에 대해 공정 처리를 수행한다. 기판은 반도체 웨이퍼 또는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display), FED(FieldEmission Display), ELD(Electro Luminescence Display)와 같은 평판 디스플레이(flat panel display, 이하 'FPD') 소자를 제조하기 위한 기판일 수 있다.
카세트 공급부(100)는 이송 장치(300)로부터 공정 처리될 기판을 수용한 카세트(C)를 제공받고, 공정 처리된 기판을 수용한 카세트(C)를 이송 장치(300)로 제공한다. 이송 장치(300)는 기판 처리 장치(1)의 위쪽에 설치된 레일(L)을 따라 이동 가능하게 제공된다. 카세트 공급부(100)는 독립적인 모듈의 형태로 제공되어, 기판 처리 장치(1)의 전방에 설치 될 수 있다. 이처럼, 카세트 공급부(100)는 설비의 전방 단부에 설치되기 때문에 설비 전방 단부 모듈(equipment front end module; EFEM)이라 할 수 있다.
카세트 공급부(100)에는 카세트(C)의 반입 및 카세트(C)의 반출 시 카세트(C)가 위치되는 탑재대(110)가 하나 이상 제공될 수 있다.
버퍼 모듈(200)을 카세트 공급부(100)의 상부에 위치된다. 버퍼 모듈(200)은 카세트(C)를 임시로 수용한다.
버퍼 모듈(200)은 하우징(1000) 및 호이스트(2000)를 포함한다.
하우징(1000)은 버퍼 모듈(200)의 골격을 제공한다. 하우징(1000)은 카세트 공급부(100)의 상부에 제공된다. 하우징(1000)의 측면은 카세트 공급부(100)의 측면에 대응되게 위치될 수 있다. 또한, 하우징(1000)의 전단은 카세트 공급부(100)의 전방에 대응되게 위치될 수 있다. 하우징(1000)의 내측에는 카세트(C)가 수용되는 공간이 형성되고, 그 전방은 개방되게 제공된다.
도 3은 카세트를 파지한 상태의 호이스트를 나타내는 도면이다.
도 3을 참조하면, 호이스트(2000)는 주행부(2100), 지지부(2200) 및 홀더부(2300)를 포함한다. 호이스트(2000)는 하우징(1000)의 내측에 위치되어, 하우징(2000)의 내측과 탑재대(200) 사이에 카세트(C)를 이송한다.
주행부(2100)는 하우징(1000)의 내측에 위치되어, 좌우 방향으로 이동 가능하게 제공된다. 일 예로, 주행부(2100)는 좌우 방향으로 이동 가능하게 하우징(1000)의 내측 상면에 연결될 수 있다. 또한, 주행부(2100)는 좌우 방향으로 이동 가능하게 하우징(1000)의 내측 측면에 연결될 수 도 있다. 주행부(2100)의 이동에 따라, 호이스트(2000)는 정면에서 보았을 때 탑재대(110) 가운데 하나와 정렬되게 위치될 수 있다.
도 4는 지지부가 전방으로 이동된 상태의 호이스트를 나타내는 도면이다.
도 4를 참조하면, 지지부(2200)는 주행부(2100)에 대해 전후 방향으로 이동 능하게 제공된다. 지지부(2200)는 전후방으로 이동됨에 따라, 탑재대(110)의 위쪽에 위치되거나 하우징(1000)의 내측 공간에 위치될 수 있다. 지지부(2200)는 신축부(2400)를 통해 주행부(2100)에 연결될 수 있다. 신축부(2400)의 일측은 주행부(2100)에 연결된다. 신축부(2400)의 일측은 주행부(2100)에 고정되도록 연결되거나, 주행부(2100)에 대해 전후 방향으로 이동 가능하게 연결될 수 있다. 신축부(2400)의 타측은 지지부(2200)에 연결된다. 신축부(2400)의 타측은 지지부(2200)에 고정되도록 연결되거나, 지지부(2200)에 대해 전후 방향으로 이동 가능하게 연결될 수 있다. 또한, 신축부(2400)는 전후 방향으로 이동 가능하게 서로 연결되는 2이상의 신축 아암(2410, 2420)을 포함하도록 제공되어 그 길이가 변경되도록 제공될 수 있다.
도 5는 홀더부가 아래쪽으로 이동 된 상태의 호이스트를 나타내는 도면이다.
도 5를 참조하면, 홀더부(2300)는 카세트(C)를 파지한다. 홀더부(2300)는 상하로 이동 가능하도록 지지부(2200)의 하부에 연결된다. 예를 들어, 홀더부(2300)는 승강부(2500)에 의해 지지부(2200)에 연결된다. 승강부(2500)는 상하 방향으로 그 길이가 조절되는 벨트, 끈 등으로 제공될 수 있다.
도 6 내지 도 8은 탑재대에 위치된 카세트를 버퍼 모듈로 이동 시키는 과정을 나타내는 도면이다.
도 6 내지 도 8을 참조하여, 카세트(C)가 버퍼 모듈(200)로 이동되는 과정을 설명한다.
먼저, 주행부(2100)가 하우징(1000)에 대해 이동하여, 호이스트(2000)는 전방에서 보았을 때 이동시키고자 하는 카세트(C)가 위치된 탑재대(110)와 상하로 정렬된다. 주행부(2100)가 좌우로 이동할 때, 홀더부(2300) 및 지지부(2200)는 하우징(1000)의 내측 공간에 위치될 수 있다. 또한, 주행부(2100)가 좌우로 이동할 때, 지지부(2200)는 전방으로 이동하여 하우징(1000)의 외측에 위치되고, 홀더부(2300)는 지지대에 위치된 카세트(C)와 간섭되지 않도록 지지부(2200)에 인접하도록 상승한 상태일 수 있다.
이 후, 지지부(2200)는 주행부(2100)에 대해 전방으로 이동하여 목표로 하는 탑재대(110)와 상하로 정렬된다. 그리고, 홀더부(2300)는 지지부(2200)에 대해 하강하여, 탑재재에 위치된 카세트(C)를 파지한다. 그리고, 홀더부(2300)가 상승하여, 카세트(C)는 하우징(1000)의 개방된 부분 전방에 위치된다. 그리고, 카세트(C)가 하우징(1000)의 내측 공간에 위치되도록, 지지부(2200)가 후방으로 이동한다. 그리고, 홀더부(2300)는 아래쪽으로 설정 거리이동 후, 카세트(C)를 하우징(1000)의 내측 상면에 위치시킨다.
또한, 호이스트(2000)는 카세트(C)를 들어올린 탑재대(110)와 상하로 정렬되는 위치 외의 장소로 카세트(C)를 이동 시킬 수 있다. 즉, 홀더부(2300)가 탑재대(110)의 카세트(C)를 픽업 한 시점부터 홀더부(2300)가 카세트(C)를 하우징(1000)의 내측 상면에 위치시키는 시점 사이에, 주행부(2100)는 하우징(1000)에 대해 이동될 될 수 있다.
또한, 호이스트(2000)는 상술한 순서와 반대되는 순서를 통해, 하우징(1000)에 위치된 카세트(C)를 탑재대(110)로 이동시킬 수 있다.
도 9는 홀더부의 저면 사시도이고, 도 10은 홀더부가 카세트를 파지한 상태를 나타내는 도면이다.
도 9 및 도 10을 참조하면, 홀더부(2300)는 홀더(2310) 및 센서(2311)를 포함한다.
홀더(2310)는 홀더부(2300)의 하부에 위치되어, 카세트(C)를 파지한다. 일 예로, 홀더(2310)는 홀더부(2300)의 저면에 한 쌍이 제공될 수 있다. 한 쌍의 홀더(2310)는 전후 방향 또는 좌우 방향으로 서로 이격되어 제공될 수 있다. 한 쌍의 홀더(2310)는 홀더부(2300)의 저면 중심을 기준으로 대칭되는 위치에 위치될 수 있다. 카세트(C)의 상부에는 홀더(2310)로 파지되는 파지부(C1)가 제공된다. 파지부(C1)는 상단의 아래쪽에 내측으로 들어간 홈이 형성될 수 있다. 홀더(2310)의 내측 하부는 파지부(C1)의 홈에 끼워질 수 있는 형상으로 제공될 수 있다. 그리고, 한 쌍의 홀더(2310)는 홀더(2310)의 이격 방향으로 이동되거나, 그 하부가 홀더(2310)의 이격 방향으로 회전되는 방식으로 제공되어, 카세트(C)를 파지하거나 카세트와 분리될 수 있다.
홀더부(2300)의 하부에는 카세트(C)가 홀더부(2300)에 파지 되었는지 여부를 감지할 수 있는 센서(2311)가 제공된다. 일 예로, 센서(2311)는 홀더부(2300)의 저면에 위치될 수 있다. 센서(2311)는 근접한 물체를 비접촉으로 감지할 수 있는 근접 센서로 제공될 수 있다. 따라서, 카세트(C)가 홀더(2310)에 파지되어, 카세트(C)의 상면이 홀더부(2300)의 하면에서 설정 거리 이격되게 위치되면, 센서(2311)가 카세트(C)를 감지할 수 있다.
센서(2311)는 한 쌍의 홀더(2311) 사이에 위치될 수 있다. 따라서, 카세트(C)가 홀더(2310)에 의해 파지되면, 센서(2311)의 아래쪽에는 파지부(C1)가 위치될 수 있다. 카세트(C)가 홀더부(2310)에 파지되면, 파지부(C1)는 홀더부(2300)의 하면과 인접하게 위치됨에 따라, 센서(2311)는 파지부(C1)를 통해 카세트(C)의 유무를 효율적으로 감지할 수 있다.
도 11은 다른 실시 예에 따른 홀더부를 나타내는 도면이고, 도 12는 카세트가 도 11의 홀더부에 파지된 상태를 나타내는 도면이다.
도 11 및 도 12를 참조하면, 홀더부는 홀더 및 센서를 포함한다.
홀더(2320)는 홀더부(2301)의 하부에 위치되어, 카세트(C)의 상부에 위치되는 파지부(C1)를 파지한다. 일 예로, 홀더(2320)는 홀더부(2301)의 저면에 한 쌍이 제공될 수 있다. 홀더(2320)의 구성 및 동작은 도 9 및 도 10의 홀더(2310) 와 동일 또는 유사하므로 반복된 설명은 생략한다.
홀더부(2301)의 하면에는 카세트(C)가 홀더부(2301)에 파지 되었는지 여부를 감지할 수 있는 센서(2321)가 제공된다. 센서(2321)는 한 쌍의 홀더(2320) 사이에 위치된다. 센서(2321)는 물체가 센서(2321)에 접촉되었는지 여부를 감지하는 접촉식 센서로 제공된다. 일 예로, 센서(2321)는 물체가 접촉하면서 가하는 압력에 의해 눌러지는 버튼 형식으로 제공될 수 있다. 그리고, 센서(2321)의 하단은, 카세트(C)가 홀더(2301)로 파지되었을 때 파지부(C1)의 상단이 위치되는 곳보다 아래쪽에 위치되도록 제공될 수 있다. 그 결과, 홀더(2301)가 파지부(C1)를 파지하면, 파지부(C1)의 상면은 반드시 센서(2321)에 압력을 가하여 센서(2321)를 누른다. 따라서, 센서(2321)는 높은 신뢰성을 가지고 카세트(C)가 홀더부(2301)에 파지 되었는지 여부를 감지할 수 있다.
도 13은 또 다른 실시 예에 따른 홀더부를 나타내는 도면이고, 도 14는 카세트가 도 13에 따른 홀더부에 파지된 상태를 나태는 도면이다.
도 13 및 도 14를 참조하면, 홀더부(2302)는 홀더(2330) 및 센서들(2331a, 2331b, 2331c, 2331d)을 포함한다.
홀더(2330)는 홀더부(2302)의 하부에 위치되어, 카세트(C)의 상부에 위치되는 파지부(C1)를 파지한다. 일 예로, 홀더(2330)는 홀더부(2302)의 저면에 한 쌍이 제공될 수 있다. 홀더(2330)의 구성 및 동작은 도 9 및 도 10의 홀더(2310) 와 동일 또는 유사하므로 반복된 설명은 생략한다.
홀더부(2302)의 하면에는 카세트(C)가 홀더부(2302)에 파지 되었는지 여부를 감지할 수 있는 센서들(2331a, 2331b, 2331c, 2331d)이 제공된다. 센서들(2331a, 2331b, 2331c, 2331d)은 한 쌍의 홀더(2330) 사이에 위치된다. 센서들(2331a, 2331b, 2331c, 2331d)은 서로 설정거리 이격 되어 위치된다. 각각의 센서(2331a, 2331b, 2331c, 2331d)는 홀더부(2302) 저면의 중심에서 이격된 위치에 위치될 수 있다. 제1센서(2331a)와 제2센서(2331b)는 홀더부(2302) 저면의 중심을 기준으로 반대되는 곳에 각각 위치될 수 있다. 그리고, 제3센서(2331c)와 제4센서(2331d)는 홀더부(2302) 저면의 중심을 기준으로 제1센서(2331a)와 제2센서(2331b)가 이격 되는 방향과 교차되는 방향으로 이격되어 위치될 수 있다. 예를 들어, 제1센서(2331a)와 제2센서(2331b)는 홀더부(2302) 저면의 중심을 기준으로 전후 방향으로 이격 되어 위치되고, 제3센서(2331c)와 제4센서(2331d)는 홀더부(2302) 저면의 중심을 기준으로 좌우 방향으로 이격 되어 위치될 수 있다.
센서들(2331a, 2331b, 2331c, 2331d)은 물체가 접촉되었는지 여부를 감지하는 접촉식 센서로 제공된다. 일 예로, 센서들(2331a, 2331b, 2331c, 2331d)은 물체가 접촉하면서 가하는 압력에 의해 눌러지는 버튼 스위치 형식으로 제공될 수 있다. 그리고, 각각의 센서(2331a, 2331b, 2331c, 2331d) 하단은, 카세트(C)가 홀더(2330)로 파지되었을 때 파지부(C1)의 상단이 위치되는 곳보다 아래쪽에 위치되도록 제공될 수 있다. 그 결과, 홀더(2302)가 파지부(C1)를 파지하면, 파지부(C1)의 상면은 반드시 센서들(2331a, 2331b, 2331c, 2331d)에 압력을 가하여 센서들(2331a, 2331b, 2331c, 2331d)을 누른다. 따라서, 센서들(2331a, 2331b, 2331c, 2331d)은 높은 신뢰성을 가지고 카세트(C)가 홀더부(2302)에 파지 되었는지 여부를 감지할 수 있다. 또한, 센서들(2331a, 2331b, 2331c, 2331d)이 복수로 제공됨에 따라 센서들(2331a, 2331b, 2331c, 2331d) 가운데 일부가 작동하지 않는 경우에도, 센서들(2331a, 2331b, 2331c, 2331d) 가운데 정상적으로 동작하는 것을 통해 카세트(C)가 홀더부(2302)에 파지 되었는지 여부를 감지할 수 있다.
각각의 센서(2331a, 2331b, 2331c, 2331d)는 파지부(C1)에 의해 눌러 지는지 여부와 함께, 파지부(C1)에 의해 눌러지는 정도를 감지하게 제공될 수 있다. 카세트(C)가 홀더부(2302)에 파지될 때, 카세트(C)가 수평을 유지하지 못하는 경우가 발생할 수 있다. 예를 들면, 지지부(2200)에 위치되어 승강부(2500)를 구동하는 도르래의 노후에 따른 연결 불량과 같이, 승강부(2500)와 지지부(2200)가 서로 연결되거나 지지부(2200)에 의해 승강부(2500)가 구동되는 부분에 발생되는 문제는 각각의 승강부(2500) 하단의 높이차를 야기한다. 이는 홀더부(2302)가 수평을 이루지 못하게 하고, 그 결과 홀더부(2302)에 파지된 카세트(C)가 기울어 지게 한다. 그리고, 기울어진 상태의 카세트(C)는 홀더부(2302)가 기울어진 정도보다 더 기울어 지면서 파지부(C1)의 상면이 각각의 센서(2331a, 2331b, 2331c, 2331d)를 누르는 정도에 차이를 야기할 수 있다.
카세트(C)가 기울어진 상태로 파지되는 또 다른 예로, 승강부(2500)가 사용 과정에서 늘어짐이 발생하되 각각의 승강부(2500)의 늘어짐 사이에 차이가 발생한 경우, 복수의 승강부(2500) 가운데 일부와 홀더부(2302)의 연결 부분에 문제가 발생된 경우, 홀더(2330)에 문제가 발생하여 홀더(2330)가 카세트(C)를 수평이 유지된 상태로 파지하지 못하는 경우 등이 있을 수 있다. 또한, 신축부(2400)의 동작 특성에 문제가 발생하여, 지지부(2200)에 진동이 발생하고 이 진동이 홀더부(2302)에 전달되어 카세트(C)가 흔들리는 경우 카세트(C)는 기울어지는 방향이 바뀌는 현상이 발생될 수 있다.
위에 예시된 이유와 같은 문제 등으로 인해 파지된 카세트(C)가 수평을 이루지 못하거나 흔들리는 경우, 각각의 센서(2331a, 2331b, 2331c, 2331d)가 눌러지는 정도에 차이가 발생하는 것을 통해 감지될 수 있다. 그리고, 카세트(C)가 수평을 유지하지 못하는 것으로 감지되면, 홀더부(2302) 또는 홀더부(2302)에 연결되는 구성의 점검을 통해 그 원인을 해소하는, 호이스트(2000)의 유지 보수 작업을 효과적으로 수행할 수 있다.이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 저술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
100: 카세트 공급부 110: 탑재대
200: 버퍼 모듈 1000: 하우징
2000: 호이스트 2100: 주행부
2200: 지지부 2300: 홀더부

Claims (8)

  1. 반출 또는 반입을 위한 카세트가 위치되는 탑재대를 갖는 카세트 공급부; 및
    상기 카세트 공급부의 상부에 위치되어, 상기 카세트를 임시로 수용할 수 있는 버퍼 모듈을 포함하되,
    상기 버퍼 모듈은,
    상기 카세트 공급부의 상부에 위치되어 내측에 수용공간을 형성하고 전방이 개방된 하우징; 및
    상기 하우징의 내측에 위치되어, 상기 카세트를 상기 하우징의 내측과 상기 탑재대 사이로 이송하는 호이스트를 포함하는 기판 처리 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 호이스트는,
    상기 하우징의 내측에 연결되는 주행부;
    상기 주행부에 대해 전후 방향으로 이동 가능하게 제공되는 지지부;
    상기 지지부에 대해 상하 방향으로 이동 가능하게 제공되고, 상기 카세트를 파지하는 홀더부를 포함하는 기판 처리 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 주행부는 좌우 방향으로 이동 가능하게 제공되는 기판 처리 장치.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 호이스트는,
    일측은 상기 주행부에 연결되고, 타측은 상기 지지부에 연결되되 그 길이가 가변 가능하게 제공되는 신축부를 더 포함하는 기판 처리 장치.
  5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 홀더부는,
    그 저면에 서로 이격되어 위치되어, 상기 카세트를 파지하는 한 쌍의 홀더; 및
    그 저면에 위치되어 상기 카세트가 상기 홀더에 의해 파지 되었는지 여부를 감지하는 센서를 포함하는 기판 처리 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 센서는 상기 한 쌍의 홀더 사이에 위치되는 기판 처리 장치.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 센서는 복수가 서로 이격 되게 제공되는 기판 처리 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 센서는 복수가 상기 홀더부 저면의 중심을 기준으로 이격되어 위치되고, 상기 홀더가 상기 카세트를 파지할 때 상기 카세트의 상면에 의해 눌러지는 버튼 형식으로 제공되는 기판 처리 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20190019286A (ko) * 2017-08-17 2019-02-27 세메스 주식회사 웨이퍼 공급 모듈 및 이를 포함하는 다이 본딩 장치

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