JP2015217509A - 産業用ロボットのハンドおよび産業用ロボット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】このハンドは、ガラス基板2の下面に接触する接触面12aが形成されるゴム製または樹脂製の複数のパッド12を備えており、接触面12aは、球面状に形成されている。
【選択図】図6
Description
図1は、本発明の実施の形態にかかるハンド3の図であり、(A)は平面図、(B)は側面図である。図2は、図1に示すガラス基板2の構成を説明するための平面図である。図3は、図1(A)のE部の拡大図である。図4は、図3のF−F方向からハンドフォーク6の先端側部分を示す図である。図5は、図3のG部の拡大図である。図6は、図4のH部の構成を説明するための図である。
以上説明したように、本形態では、ガラス基板2の枠領域2bにパッド12の接触面12aが接触するように、複数のパッド12が略長方形の枠状の形状に沿って配置されているため、蒸着面を下側に向けた状態でガラス基板2を搬送する下面搬送によってガラス基板2を搬送することが可能になる。また、本形態では、ガラス基板2の枠領域2bに接触面12aが接触するため、ハンドフォーク6に搭載されたガラス基板2の撓み量が大きくなるが、本形態では、ガラス基板2の下面に接触するパッド12の接触面12aが球面状に形成されているため、ハンドフォーク6に搭載されたガラス基板2の撓み量が大きくなっても、ガラス基板2の下面に接触面12aを確実に接触させることが可能になる。また、本形態では、球面状に形成される接触面12aがガラス基板2の下面に点接触するため、接触面12aとガラス基板2との接触圧を高めることが可能になる。
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
3 ハンド
4 アーム
12 パッド
12A パッド(第1パッド)
12B パッド(第2パッド)
12C パッド(第3パッド)
12a 接触面
15 パッド群
L1〜L3 仮想線
Claims (5)
- ガラス基板を搬送する産業用ロボットのハンドであって、前記ガラス基板が搭載されるハンドにおいて、
前記ガラス基板の下面に接触する接触面が形成されるゴム製または樹脂製の複数のパッドを備え、
前記接触面は、球面状に形成されていることを特徴とするハンド。 - 前記ガラス基板は、長方形状に形成され、
複数の前記パッドは、長方形状に形成される前記ガラス基板の外周端部分の下面に前記接触面が接触するように、略長方形の枠状の形状に沿って配置されていることを特徴とする請求項1記載のハンド。 - 第1パッド、第2パッドおよび第3パッドの3個の前記パッドによって構成される複数のパッド群が略長方形の枠状の形状に沿って配置され、
前記パッド群では、上下方向から見たときに、前記第1パッドの前記接触面の中心と前記第2パッドの前記接触面の中心と前記第3パッドの前記接触面の中心とを結んだ仮想線が三角形状をなすように、前記第1パッド、前記第2パッドおよび前記第3パッドが配置され、
上下方向から見たときに、前記第1パッドの前記接触面の中心と前記第2パッドの前記接触面の中心とを結んだ仮想線は、前記ガラス基板の端面と略平行になっており、
前記第3パッドは、前記第1パッドおよび前記第2パッドよりも前記ガラス基板の外周側に配置され、
前記ガラス基板が前記ハンドに搭載されているときに、前記第1パッドの前記接触面と前記第2パッドの前記接触面とが前記ガラス基板の下面に接触していることを特徴とする請求項2記載のハンド。 - 請求項1から3のいずれかに記載のハンドと、前記ハンドがその先端側に回動可能に連結されるアームと、前記アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備えることを特徴とする産業用ロボット。
- 前記ハンドは、真空中に配置されていることを特徴とする請求項4記載の産業用ロボット。
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