JPH0955U - Ｉｃ検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 ＩＣのリードを傷めずに位置決めを行い、検
査の精度を高める。 【構成】 ＩＣ１のボディを支持する支持用凸部を設
け、この支持用凸部の近傍にガイドピンに対応する位置
決め穴２０を設けたＩＣ検査装置において、４個のブロ
ックを４本のシャフトで連結して環状体を形成し、互い
に平行な第１、３のシャフト間にＸ軸スライダをスライ
ド自在に架け渡し、互いに平行な第２，４のシャフト間
にＹ軸スライダをスライド自在に架け渡し、両スライダ
にＩＣ吸着ノズルを貫通させ、両スライダの一方にリン
グ状の頭部を形成し、吸着ノズルにリング状のガイドを
嵌着し、このガイドの外周面にＶ溝を設け、両スライダ
の一方に取付ブロックを固定し、この取付ブロックに取
り付けた回動範囲調整ねじの先端をＶ溝に挿入し、回動
又はスライドしたスライダを基準位置に自動的に復帰さ
せる自動復帰手段を設けた。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、ＩＣ検査装置に関し、特にフラットパッケージ型ＩＣの電気的性 能の良否を自動的に検査するためのＩＣ検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

ＩＣ検査装置は、未検査のフラットパッケージ型ＩＣを収納しておくＩＣ供給 部と、検査済のフラットパッケージ型ＩＣを収納しておくＩＣ収納部と、ＩＣ供 給部とＩＣ収納部との間に配置され、フラットパッケージ型ＩＣの電気的良否を 検査するＩＣ検査部と、ＩＣ供給部、ＩＣ検査部及びＩＣ収納部間でフラットパ ッケージ型ＩＣをひろい上げて搬送する複数のＩＣ搬送装置とを備えている。

【０００３】 ＩＣ供給部とＩＣ検査部との間には未検査のフラットパッケージ型ＩＣをＩＣ 検査部へ運ぶ入口側スライドシャトルが配設され、ＩＣ検査部とＩＣ収納部との 間には検査済のフラットパッケージ型ＩＣをＩＣ収納部側へ運ぶ出口側スライド シャトルが配設されている。

【０００４】 入口側スライドシャトル、出口側スライドシャトル、ＩＣ供給部のＩＣ供給ト レー及びＩＣ収納部のＩＣ収納トレーの表面には、それぞれ位置決め用の凹部が 設けられている。この凹部の周壁面はテーパ状に形成され、ＩＣ搬送装置により 運ばれてきたフラットパッケージ型ＩＣはテーパ状の周壁面を滑って、凹部内に 収まるので、フラットパッケージ型ＩＣの位置決めができる。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

ところが、ＩＣの高集積化に伴うフラットパッケージ型ＩＣのファインピッチ 化が進み、フラットパッケージ型ＩＣのリードの強度が低下したので、図１７に 示すように、フラットパッケージ型ＩＣ１０１を入口側スライドシャトル１１２ 等の凹部１０２のテーパ状の周壁面１０２で滑らせたとき、フラットパッケージ 型ＩＣ１０１のリードが傷み易いという問題があった。

【０００６】 また、ＩＣ搬送装置によりフラットパッケージ型ＩＣ１０１をひろい上げては 置くという動作を繰り返すが、このときに位置ずれが生じ、更にＩＣ検査部内は 例えば−５５〜＋１５０℃の雰囲気温度に保たれるので、その温度変化に応じて フラットパッケージ型ＩＣ１０１が伸縮し、位置ずれが生じるなどして、ファイ ンピッチ化したフラットパッケージ型ＩＣ１０１の検査に支障を来たすという問 題があった。

【０００７】 この考案はこのような事情に鑑みてなされたもので、その課題はＩＣのリード を傷めずに位置決めを行うことができるＩＣ検査装置を提供することである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】

前述の課題を解決するため請求項１記載の考案のＩＣ検査装置は、第１の所定 個所からＩＣをひろい上げ、そのＩＣを第２の所定個所に運ぶＩＣ搬送装置を備 え、このＩＣ搬送装置のＩＣ吸着ノズルにホルダを介して互いに平行な複数のガ イドピンを取り付け、前記第１及び第２の所定個所の表面に前記ＩＣのボディを 支持する支持用凸部を設け、この支持用凸部の近傍に前記ガイドピンに対応する 位置決め穴を設けたＩＣ検査装置において、４個のブロックを４本のシャフトで 連結して環状体を形成し、前記シャフトのうち互いに平行な第１、３のシャフト 間にＸ軸スライダをスライド自在に架け渡し、前記シャフトのうち互いに平行な 第２，４のシャフト間にＹ軸スライダをスライド自在に架け渡し、前記両スライ ダに前記ＩＣ吸着ノズルを貫通させ、前記両スライダの一方にリング状の頭部を 形成し、前記ＩＣ吸着ノズルにリング状のガイドを嵌着し、このガイドの外周面 にＶ溝を設け、前記両スライダの一方に取付ブロックを固定し、この取付ブロッ クに取り付けた回動範囲調整ねじの先端を前記Ｖ溝に挿入し、回動又はスライド した前記両スライダを基準位置に自動的に復帰させる自動復帰手段を設けた。

【０００９】 また、請求項２記載の考案のＩＣ検査装置は、第１の所定個所からＩＣをひろ い上げ、そのＩＣを第２の所定個所に運ぶＩＣ搬送装置を備え、このＩＣ搬送装 置のＩＣ吸着ノズルにホルダを介して互いに平行な複数のガイドピンを取り付け 、前記第１及び第２の所定個所の表面に前記ＩＣのボディを支持する支持用凸部 を設け、この支持用凸部の近傍に前記ガイドピンに対応する位置決め穴を設けた ＩＣ検査装置において、筒状のフローティングブロック内に前記ＩＣ吸着ノズル を摺動自在に収容し、前記フローティングブロックにフランジを設け、そのフラ ンジの下面側にリフトプレートを配置し、前記フランジの上面側に吸着用配管が 接続されるサクションベースを配置し、前記フランジ及び前記リフトプレート間 、並びに前記フランジ及びサクションベース間のそれぞれに、リテーナで転動自 在に支持されたベアリングボールを配設し、前記リフトプレート、前記フランジ 及び前記サクションベースをガイドねじで連結し、このガイドねじが挿通する前 記フランジの孔の内径をそのガイドねじの外径よりも十分大きくした。

【００１０】 更に、請求項３記載のＩＣ検査装置は、第１の所定個所からＩＣをひろい上げ 、そのＩＣを第２の所定個所に運ぶＩＣ搬送装置を備え、このＩＣ搬送装置のＩ Ｃ吸着ノズルにホルダを介して互いに平行な複数のガイドピンを取り付け、前記 第１及び第２の所定個所の表面に前記ＩＣのボディを支持する支持用凸部を設け 、この支持用凸部の近傍に前記ガイドピンに対応する位置決め穴を設けたＩＣ検 査装置において、筒状のフローティングブロック内に前記ＩＣ吸着ノズルを摺動 自在に収容し、前記フローティングブロックにフランジを設け、このフランジを 吸着用配管が接続されるサクションベースに筒状弾性体を介して懸架し、前記フ ランジ側の通路開口と前記サクションベース側の通路開口とを対向させ、前記フ ランジのサクションベース対向面に凸部又は凹部を設け、この凸部又は凹部と嵌 合する凹部又は凸部を前記サクションベースのフランジ対向面に設けた。

【００１１】 また、請求項４記載のＩＣ検査装置は、第１の所定個所からＩＣをひろい上げ 、そのＩＣを第２の所定個所に運ぶＩＣ搬送装置を備え、このＩＣ搬送装置のＩ Ｃ吸着ノズルにホルダを介して互いに平行な複数のガイドピンを取り付け、前記 第１及び第２の所定個所の表面に前記ＩＣのボディを支持する支持用凸部を設け 、この支持用凸部の近傍に前記ガイドピンに対応する位置決め穴を設けたＩＣ検 査装置において、４個のブロックを４本のシャフトで連結して環状体を形成し、 前記シャフトのうち互いに平行な第１、３のシャフト間にＸ軸スライダをスライ ド自在に架け渡し、前記シャフトのうち互いに平行な第２，４のシャフト間にＹ 軸スライダをスライド自在に架け渡し、前記両スライダに前記ＩＣ吸着ノズルを 貫通させ、前記両スライダの一方にリング状の頭部を形成し、その頭部をホルダ プレートに回動自在に配設されたプーリベアリングで回動自在に支持し、回動又 はスライドした前記両スライダを基準位置に自動的に復帰させる自動復帰手段を 設けた。

【００１２】

【作用】

ガイドピンが位置決め穴に挿入されたとき、ガイドピンは位置決め穴にガイド されて水平方向に動き、その動きに対してＩＣ吸着ノズルがホルダを介して追随 し、ＩＣが位置決めされる。

【００１３】

【実施例】

以下この考案の実施例を図面に基いて説明する。

【００１４】 図１はこの考案の一実施例に係るＩＣ検査装置全体を示す平面図、図２は図１ のＩＩ−ＩＩ線に沿う断面図である。このＩＣ検査装置は、未検査のフラットパ ッケージ型ＩＣ（以下ＩＣという）を収納しておくＩＣ供給部２と、検査済のＩ Ｃ１を収納しておくＩＣ収納部３と、ＩＣ１の電気的良否を検査するＩＣ検査部 ４と、ＩＣ１を搬送する第１、第２及び第３のＩＣ搬送装置５〜７とを備えてい る。

【００１５】 前記ＩＣ収納部２にはＩＣ収納トレー８が配置され、ＩＣ収納トレー８には未 検査のＩＣ１が収納されている。

【００１６】 前記ＩＣ検査部４はＩＣ供給部２とＩＣ収納部３との間に配置され、断熱壁９ で形成されたチャンバ内には環状のターンテーブル１０が配設され、ターンテー ブル１０に囲まれるようにしてＩＣソケット１１が配設されている。また、チャ ンバ内を−５５〜＋１５０℃の範囲の雰囲気温度に設定することができる。

【００１７】 チャンバとＩＣ供給部２との間には水平方向に移動するプレート状の入口側ス ライドシャトル１２が、チャンバとＩＣ収納部３との間にはプレート状の出口側 スライドシャトル１３がそれぞれ配設されている。入口側スライドシャトル１２ は駆動機構１４により水平にスライドし、ＩＣ収納部２側からチャンバ内にＩＣ １を運び、出口側スライドシャトル１３は駆動機構１５により水平にスライドし 、チャンバ側からＩＣ供給部３にＩＣを運ぶ。

【００１８】 また、ターンテーブル１０の下面はプーリ１６に連結され、モータ１７の回転 力がベルト１８を介してプーリ１６に伝わり、ターンテーブル１０が回転する。

【００１９】 前記ＩＣ収納部３にはＩＣ収納トレー１９が配置され、検査済のＩＣ１が収納 される。

【００２０】 前記両スライドシャトル１２，１３、ターンテーブル１０及びＩＣソケット１ １には位置決め穴２０〜２３が設けられている。

【００２１】 また、入口側スライドシャトル１２、ターンテーブル１０、ＩＣソケット１１ 及び出口側スライドシャトル１３に、図１０に示すように、ＩＣ１のボディーを 支持する凸部３８，３９が設けられている。

【００２２】 ＩＣ供給部２にはＩＣ搬送装置５が配設され、このＩＣ搬送装置５はＩＣ吸着 部２４と、このＩＣ吸着部２４をＸＹ方向に動かすＸ軸ガイド機構２５とＹ軸ガ イド機構２６とからなる。ＩＣ吸着部２４はＩＣ供給部２のＩＣ収納トレー８か ら未検査のＩＣ１をひろい上げ、入口側スライドシャトル１２の所定位置にのせ る。

【００２３】 ＩＣ収納部３側のＩＣ搬送装置７も、ＩＣ吸着部２７と、このＩＣ吸着部２７ をＸＹ方向に動かすＸ軸ガイド機構２８とＹ軸ガイド機構２９とからなる。ＩＣ 吸着部２７は出口側スライドシャトル１３から検査済のＩＣ１をひろい上げ、Ｉ Ｃ収納トレー１９にのせる。

【００２４】 ＩＣ検査部４のチャンバ内に配設されたＩＣ搬送装置６は、ガイドシャフト３ ０と、ガイドシャフト３０にスライド自在に取り付けられたスライダ３１と、ス ライダ３１に取り付けられた３個のＩＣ吸着部３２〜３４と、ＩＣ吸着部３２〜 ３４を下方へ動かすエアシリンダ３５〜３７とからなる。ＩＣ吸着部３２はチャ ンバ内に入り込んだ入口側スライドシャトル１２からＩＣ１をひろい上げ、ター ンテーブル１０にのせ、ＩＣ吸着部３３はターンテーブル１０からＩＣ１をひろ い上げ、ＩＣソケット１１にのせる。ＩＣ吸着部３４はＩＣソケット１１上のＩ Ｃ１を保持し、検査後ひろい上げ、出口側スライドシャトル１３にのせる。

【００２５】 図３は図２のＩＣ吸着部３４を示す拡大側面図、図４はその縦断面図である。

【００２６】 ＩＣ吸着ノズル４０にはホルダ４１を介して２本のガイドピン４２，４３が取 り付けられている。図６に示すように、４個のブロック４４〜４７を４本のシャ フト４８〜５１で連結して環状体を形成し、シャフト４８，５０間にＸ軸スライ ダ５２を、シャフト４９，５１間にＹ軸スライダ５３をそれぞれスライド自在に 架け渡した。ＩＣ吸着ノズル４０は両スライダ５２，５３を貫通している。ＩＣ 吸着ノズル４０にはノズルホルダブロック５４を介してリング状のガイド５５が 嵌着され、このガイド５５の外周面にＶ溝５６が設けられている（図５）。

【００２７】 また、スライダ５３にリング状の頭部５３ａが形成され、その頭部５３ａがノ ズルホルダブロック５４に回動自在に取り付けられている。図５に示すように、 頭部５３ａには取付ブロック５７がボルト６２で連結され、この取付ブロック５ ７に回動範囲調整ねじ５８が取り付けられている。回転範囲調整ねじ５８の先端 はＶ溝５６に挿入され、その挿入量によって回動範囲が調整される。また、取付 ブロック５７とガイド５５とに自動復帰手段としての巻ばね５９がかけ渡され、 Ｙ軸スライダ５３が回動しても元の位置に自動的に復帰する。巻ばね５９の一端 はブロック５７のねじ６０の先端で保持され、巻ばね５９の他端はガイド５５の 孔６１に挿入されている。

【００２８】 また、シャフト４８〜５１にはそれぞれ２個のコイルバネ６３〜７０が取り付 けられ、コイルバネ６３，６４，６７，６８はＸ軸スライダ５２がＸ軸方向に動 いたとき、そのＸ軸スライダ５２を自動的に基準位置に復帰させるようにバネ力 が働き、コイルバネ６５，６６，６９，７０はＹ軸スライダ５３がＹ軸方向に動 いたとき、そのＹ軸スライダ５３を自動的に基準位置に復帰させるようにバネ力 が働く。

【００２９】 図７は図２のＩＣ吸着部３２，３３を示す拡大側面図、図８はその平面図、図 ９は縦断面図である。

【００３０】 フローティングブロック７１内にＩＣ吸着ノズル７２が摺動自在に収容され、 そのフローティングブロック７１のフランジ７１ａの下面側にリフトプレート７ ３が配置されている。フランジ７１ａの上面側に吸着用配管７４が接続されるサ クションベース７５が配置されている。フランジ７１ａ及びリフトプレート７３ 間、フランジ７１ａ及びサクションベース７５間のそれぞれに、リテーナ７６， ７７で転動自在に支持されたベアリングボール７８，７９が配設されている。リ フトプレート７３、フランジ７１ａ及びサクションベース７５はガイドねじ８０ で連結されている。ガイドねじ８０が挿通されるフランジ７１ａの孔８１の内径 は、そのガイドねじ８０の外径よりも十分大きい。

【００３１】 次に、この実施例のＩＣ検査装置の作動を説明する。

【００３２】 図示しない起動スイッチをオンにすると、ＩＣ搬送装置５〜７が作動してＩＣ 吸着部２４がＩＣ供給部２のＩＣ収納トレー８から未検査のＩＣ１を吸着し、そ のＩＣ１を入口側スライドシャトル１２まで運び、その入口側スライドシャトル １２の所定位置に置く。

【００３３】 入口側スライドシャトル１２がＩＣ１を受け取ると、駆動機構１４が作動して ＩＣ１をＩＣ検査部４の所定雰囲気温度に設定されたチャンバ内に運ぶ。ＩＣ１ がチャンバ内に運ばれると、ＩＣ吸着部３２がＩＣ１を吸着してひろい上げ、タ ーンテーブル１０上に置く。ＩＣ１はターンテーブル１０上をほぼ一回転したと ころで、ＩＣ吸着部３３により吸着されてひろい上げられ、ＩＣソケット１１上 に置かれる。ＩＣ１はここで測定され、測定後ＩＣ吸着部３４により吸着されて ひろい上げられ、出口側スライドシャトル１３の所定位置に置かれる。

【００３４】 出口側スライドシャトル１３がＩＣ１を受け取ると、ＩＣ１をＩＣ収納部３側 へ運ぶ。

【００３５】 ＩＣ１がＩＣ収納部３に運ばれると、ＩＣ搬送装置７のＩＣ吸着部２７がＩＣ １を吸着してひろい上げ、測定結果に応じていずれかのＩＣ収納トレー１９に置 く。

【００３６】 ＩＣ吸着部３２〜３４がＩＣ１を入口側スライドシャトル１２、ターンテーブ ル１０、ＩＣソケット１１からひろい上げるとき、又はＩＣ１をターンテーブル １０、ＩＣソケット１１及び出口側スライドシャトル１３におくとき、図１０に 示すように、ＩＣ吸着部３２〜３４のガイドピン４２，４３はガイド穴２０〜２ ３に入り込む。ＩＣ吸着ノズルはＸＹ方向及びθ方向に、動くことができるので 、吸着パッド３８からＩＣ１を離したとき、ＩＣ１は常に正確な位置に置かれる 。

【００３７】 また、入口側スライドシャトル１２、ターンテーブル１０、ＩＣソケット１１ 及び出口側スライドシャトル１３に、図１０に示すように、ＩＣ１のボディーを 支持する凸部３８，３９が設けられているので、ＩＣ１のリードは傷まない。

【００３８】 図１１は他のＩＣ吸着部を示す縦断面図である。

【００３９】 筒状のフローティングブロック８２内にＩＣ吸着ノズル８３が摺動自在に収容 され、フローティングブロック８２にフランジ８２ａが設けられている。吸着用 配管８５が接続されるサクションベース８４にフローティングブロック８２のフ ランジ８２ａが筒状弾性体８５を介して懸架されている。フランジ８２ａ側の通 路開口８２ｂとサクションベース８４側の通路開口８４ａとが対向している。フ ランジ８２ａのサクションベース対向面に凸部８２ｃが設けられ、その凸部８２ ｃと嵌合する凹部８４ｂがサクションベース８４のフランジ対向面に設けられて いる。

【００４０】 この実施例のＩＣ吸着部は、構造が簡単であり、前述の実施例のＩＣ吸着部と 同様の機能を発揮する。

【００４１】 図１２は他のＩＣ吸着部を示す縦断面図、図１３はその平面図である。

【００４２】 ホルダプレート８６の中央部にはホルダブロック８７が固定され、このホルダ ブロック８７にはＩＣ搬送装置のアームの連結ピン８８が挿入される。

【００４３】 ホルダプレート８６の両端部にはそれぞれ３個のプーリ８９が回動自在に設け られ、プーリ８９を介してＩＣ吸着ノズルがそれぞれ連結されている。

【００４４】 ４個のブロック９０を４本のシャフト９１で連結して環状体を形成し、シャフ ト９１のうち互いに平行なシャフト９１の間にＸ軸スライダ９２をスライド自在 に架け渡し、残りの互いに平行なシャフト９１の間に図１６に示すＹ軸スライダ ９３をスライド自在に架け渡し、両スライダ９２，９３に筒状のノズルホルダ９ ４を貫通させるようにして固定させた。

【００４５】 Ｙ軸スライダ９３には図１４及び図１５に示すようにリング状の頭部９３ａが 形成され、この頭部９３ａは前述したホルダプレート８６側のプーリ８９に回動 自在に支持されている。また、シャフト９１にはそれぞれ２個のコイルバネ９５ が取り付けられ、コイルバネ９５はＸ軸スライダ９２がＸ軸方向に動いたとき、 そのＸ軸スライダ９２を自動的に基準位置に復帰させるようにバネ力が働き、コ イルバネ９１はＹ軸スライダ９３がＹ軸方向に動いたとき、そのＹ軸スライダ９ ３を自動的に基準位置に復帰させるようにバネ力が働く。

【００４６】 ノズルホルダ９４内にはＩＣ吸着ノズル９６が摺動自在に挿入され、ＩＣ吸着 ノズル９６の後端部に装着した平ワッシャ９７で支持されている。ＩＣ吸着ノズ ル９６の先端にはパッドホルダ９８を介して吸着パッド３８が装着されている。 また、パッドホルダ９８のフランジ９８ａとノズルホルダ９４の端面との間には スプリング９９が配設され、そのスプリング９９によりパッドホルダ９８が下方 へ付勢される。ＩＣ吸着ノズル９６の後端には継手１００が装着され、その継手 １００には図示しない配管が接続される。

【００４７】 ノズルホルダ９４にはホルダ４１を介してＩＣ吸着ノズル９６に平行な２本の ガイドピン４２，４４が取り付けられている。

【００４８】 この実施例のＩＣ吸着部によれば、ＩＣ１を２個同時に吸着することができる 。

【００４９】

【考案の効果】

以上説明したようにこの考案のＩＣ検査装置によれば、検査時におけるＩＣの リードの損傷を防ぐことができるとともに、位置決め穴にガイドピンが挿入した とき、そのガイドピンの水平方向の動きにＩＣ吸着ノズルが追随するので、ＩＣ の位置決めがより正確になり、検査の精度が向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１はこの考案の一実施例に係るＩＣ検査装置
を示す平面図である。

【図２】図２は図１のＩＩ−ＩＩ線に沿う断面図であ
る。

【図３】図３はＩＣ搬送装置のＩＣ吸着部を示す側面図
である。

【図４】図４は図３のＩＣ吸着部の縦断面図である。

【図５】図５は図３のＩＣ吸着部の上面図である。

【図６】図６は図３のＩＣ吸着部の下面図である。

【図７】図７は他のＩＣ吸着部を示す側面図である。

【図８】図８は図７のＩＣ吸着部の上面図である。

【図９】図９は図７のＩＣ吸着部の縦断面図である。

【図１０】図１０はＩＣ吸着部がＩＣを吸着又は置くと
きの状態を示す断面図である。

【図１１】図１１は他の実施例のＩＣ吸着部を示す縦断
面図である。

【図１２】図１２は他の実施例のＩＣ吸着部を示す縦断
面図である。

【図１３】図１３は図１２のＩＣ吸着部の上面図であ
る。

【図１４】図１４は図１２のＩＣ吸着部のＹ軸スライダ
を示す平面図及び破断面図である。

【図１５】図１５は図１２のＩＣ吸着部のＹ軸スライダ
を示す破断面図である。

【図１６】図１６は図１２のＩＣ吸着部のＸ軸スライダ
を示す平面図及び断面図である。

【図１７】図１７は従来のＩＣ検査装置におけるＩＣの
保持構造を示す断面図である。

【符号の説明】

１ ＩＣ ６ ＩＣ搬送装置 ２０ 位置決め穴 ３８，３９ 支持用凸部 ４０ ＩＣ吸着ノズル ４１ ホルダ ４２，４３ ガイドピン ４４〜４７ ブロック ４８〜５１ シャフト ５２ Ｘ軸スライダ ５３ Ｙ軸スライダ ５３ａ 頭部 ５５ ガイド ５６ Ｖ溝 ５７ 取付ブロック ５９ 巻きばね ６３〜７０ コイルスプリング

Claims (4)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 第１の所定個所からＩＣをひろい上げ、
   そのＩＣを第２の所定個所に運ぶＩＣ搬送装置を備え、
   このＩＣ搬送装置のＩＣ吸着ノズルにホルダを介して互
   いに平行な複数のガイドピンを取り付け、前記第１及び
   第２の所定個所の表面に前記ＩＣのボディを支持する支
   持用凸部を設け、この支持用凸部の近傍に前記ガイドピ
   ンに対応する位置決め穴を設けたＩＣ検査装置におい
   て、４個のブロックを４本のシャフトで連結して環状体
   を形成し、前記シャフトのうち互いに平行な第１、３の
   シャフト間にＸ軸スライダをスライド自在に架け渡し、
   前記シャフトのうち互いに平行な第２，４のシャフト間
   にＹ軸スライダをスライド自在に架け渡し、前記両スラ
   イダに前記ＩＣ吸着ノズルを貫通させ、前記両スライダ
   の一方にリング状の頭部を形成し、前記ＩＣ吸着ノズル
   にリング状のガイドを嵌着し、このガイドの外周面にＶ
   溝を設け、前記両スライダの一方に取付ブロックを固定
   し、この取付ブロックに取り付けた回動範囲調整ねじの
   先端を前記Ｖ溝に挿入し、回動又はスライドした前記両
   スライダを基準位置に自動的に復帰させる自動復帰手段
   を設けたことを特徴とするＩＣ検査装置。
2. 【請求項２】 第１の所定個所からＩＣをひろい上げ、
   そのＩＣを第２の所定個所に運ぶＩＣ搬送装置を備え、
   このＩＣ搬送装置のＩＣ吸着ノズルにホルダを介して互
   いに平行な複数のガイドピンを取り付け、前記第１及び
   第２の所定個所の表面に前記ＩＣのボディを支持する支
   持用凸部を設け、この支持用凸部の近傍に前記ガイドピ
   ンに対応する位置決め穴を設けたＩＣ検査装置におい
   て、筒状のフローティングブロック内に前記ＩＣ吸着ノ
   ズルを摺動自在に収容し、前記フローティングブロック
   にフランジを設け、そのフランジの下面側にリフトプレ
   ートを配置し、前記フランジの上面側に吸着用配管が接
   続されるサクションベースを配置し、前記フランジ及び
   前記リフトプレート間、並びに前記フランジ及びサクシ
   ョンベース間のそれぞれに、リテーナで転動自在に支持
   されたベアリングボールを配設し、前記リフトプレー
   ト、前記フランジ及び前記サクションベースをガイドね
   じで連結し、このガイドねじが挿通する前記フランジの
   孔の内径をそのガイドねじの外径よりも十分大きくした
   ことを特徴とするＩＣ検査装置。
3. 【請求項３】 第１の所定個所からＩＣをひろい上げ、
   そのＩＣを第２の所定個所に運ぶＩＣ搬送装置を備え、
   このＩＣ搬送装置のＩＣ吸着ノズルにホルダを介して互
   いに平行な複数のガイドピンを取り付け、前記第１及び
   第２の所定個所の表面に前記ＩＣのボディを支持する支
   持用凸部を設け、この支持用凸部の近傍に前記ガイドピ
   ンに対応する位置決め穴を設けたＩＣ検査装置におい
   て、筒状のフローティングブロック内に前記ＩＣ吸着ノ
   ズルを摺動自在に収容し、前記フローティングブロック
   にフランジを設け、このフランジを吸着用配管が接続さ
   れるサクションベースに筒状弾性体を介して懸架し、前
   記フランジ側の通路開口と前記サクションベース側の通
   路開口とを対向させ、前記フランジのサクションベース
   対向面に凸部又は凹部を設け、この凸部又は凹部と嵌合
   する凹部又は凸部を前記サクションベースのフランジ対
   向面に設けたことを特徴とするＩＣ検査装置。
4. 【請求項４】 第１の所定個所からＩＣをひろい上げ、
   そのＩＣを第２の所定個所に運ぶＩＣ搬送装置を備え、
   このＩＣ搬送装置のＩＣ吸着ノズルにホルダを介して互
   いに平行な複数のガイドピンを取り付け、前記第１及び
   第２の所定個所の表面に前記ＩＣのボディを支持する支
   持用凸部を設け、この支持用凸部の近傍に前記ガイドピ
   ンに対応する位置決め穴を設けたＩＣ検査装置におい
   て、４個のブロックを４本のシャフトで連結して環状体
   を形成し、前記シャフトのうち互いに平行な第１、３の
   シャフト間にＸ軸スライダをスライド自在に架け渡し、
   前記シャフトのうち互いに平行な第２，４のシャフト間
   にＹ軸スライダをスライド自在に架け渡し、前記両スラ
   イダに前記ＩＣ吸着ノズルを貫通させ、前記両スライダ
   の一方にリング状の頭部を形成し、その頭部をホルダプ
   レートに回動自在に配設されたプーリベアリングで回動
   自在に支持し、回動又はスライドした前記両スライダを
   基準位置に自動的に復帰させる自動復帰手段を設けたこ
   とを特徴とするＩＣ検査装置。