CN102468204A - 基板搬送用手及具有该基板搬送用手的基板搬送装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种基板搬送用手及具有该基板搬送用手的基板搬送装置，所述基板搬送用手的吸附部(3)包括吸盘(5)和弹性部件(8)，所述吸盘(5)与基板(2)接触并吸附基板(2)，所述弹性部件(8)被设置在叉(1)与吸盘(5)之间，并具有吸附流路(7)，所述吸附流路(7)使吸附用流体(6)在叉(1)与吸盘(5)之间连通，所述基板搬送用手的吸附部(3)构成为能够通过使弹性部件(8)的一部分变形来改变吸盘(5)相对于叉(1)的突起量(9)。

Description

基板搬送用手及具有该基板搬送用手的基板搬送装置
技术领域
本发明涉及吸附并保持基板的基板搬送用手及具有该基板搬送用手的基板搬送装置。
背景技术
为了对在液晶显示器、等离子显示器以及半导体等的制造中使用的玻璃或半导体晶片等薄板状的基板进行搬送，使用了基板搬送装置。基板搬送装置多用于以下情况：取出收纳于盒内的基板并将其交给基板处理装置、或接受来自基板处理装置的基板并将其收纳于盒。多数用于这样的用途的基板搬送装置包括用于载置并搬送基板的基板搬送用手(例如，参照日本特开2007-83322号公报)。
基板搬送用手在支承部件上具有多根棒状的叉，将基板载置于所述叉上。在每个叉设置有吸附部，所述吸附部用于使基板在搬送时不产生偏移。基板通过所述吸附部被吸附保持。基板搬送装置例如将叉插入盒内，并利用叉上的吸附部吸附保持基板，然后将基板搬送至基板处理装置等目标位置。
另一方面，以提高生产率为目的，为了提高盒中的基板收纳率，盒内的基板间间距(基板与基板之间的间隔)变得越来越小。另外，同样以提高生产率为目的，基板变得越来越大，伴随着基板的变大，基板容易弯曲而产生变形。另外，伴随着基板的变大，叉也有必要形成为长棒状，因此当基板搬送装置使基板搬送用手进行动作时，特别是叉的末端会发生大的振动。因此，基板搬送用手的叉变得越来越难以进入到盒内，研究了在使叉的厚度变薄的同时提高叉的刚度以抑制振动等的各种方法。
通过以上的背景可知，因为吸附部必须按照基板的弯曲和变形进行紧贴，所以所述吸附部必须构成为能够产生微小的倾斜。因此，在一般情况下，吸附部构成为从叉的表面突起几毫米左右，从而能够倾斜。但是，若吸附部从叉的表面突起的突起量大，则如上所述，当盒内的基板间间距小时，会产生叉不能够进入盒的问题。另外，存在以下情况：即使叉和吸附部为能够进入基板间间距的尺寸，如果考虑到叉的振动，叉还是不能够进入盒。也就是说，问题在于如何使吸附部从叉的表面突起的突起量减小。
发明内容
因此，根据本发明的一个实施方式，提供一种基板搬送用手，即使盒中的基板间间距小，所述基板搬送用手也能够顺利地吸附基板。
本发明的实施方式的一个形态涉及的基板搬送用手包括叉和吸附部，所述吸附部设置于所述叉并对基板进行吸附，所述基板搬送用手通过所述吸附部来吸附保持所述基板并进行搬送，其中，所述吸附部包括：吸盘，所述吸盘与所述基板接触并吸附所述基板；和弹性部件，所述弹性部件设置在所述叉与所述吸盘之间，并且所述弹性部件具有吸附流路，所述吸附流路使吸附用流体在所述叉与所述吸盘之间连通，所述吸附部构成为能够通过使所述弹性部件的一部分变形来任意地改变所述吸盘相对于所述叉的突起量。
另外，通过本发明的实施方式的一个形态涉及的基板搬送用手，从以多层方式收纳基板的盒中搬出所述基板的基板搬送方法为如下所述的方法：使所述吸盘相对于所述叉的突起量减小，在减小了所述突起量的状态下使所述叉插入到所述盒内的想要搬出的所述基板和与所述想要搬出的基板相邻的基板之间，在完成所述插入后，停止所述突起量的减小，并使所述叉靠近所述想要搬出的基板以使所述吸盘与所述想要搬出的基板接触，使所述想要搬出的基板吸附于所述吸盘，并将所述叉从所述盒抽出。
根据本发明的实施方式的一个形态涉及的基板搬送用手，能够将处于基板间间距狭小的状态下的基板搬入和搬出。也就是说，例如，收纳基板的盒能够以基板间间距狭小的状态进行收纳，因此能够使制造半导体或液晶的装置成为高生产率的装置。
附图说明
图1是示出具有本发明的实施方式的一个形态涉及的基板搬送用手的基板搬送装置的立体图。
图2是示出基板搬送用手的一个实施方式的图。
图3是基板搬送用手从盒中搬出基板时的图。
图4是示出基板搬送用手的吸附部的第一实施方式的图。
图5是示出基板搬送用手的吸附部的第二实施方式的图。
图6是示出基板搬送用手的吸附部的第三实施方式的图。
图7是示出基板搬送用手的吸附部的第四实施方式的图。
图8是示出基板搬送用手的吸附部的第一变形例的图。
图9是示出基板搬送用手的吸附部的第二变形例的图。
具体实施方式
图1是示出具有本发明的实施方式的一个形态涉及的基板搬送用手4的基板搬送装置22的立体图。如图1所示，本实施方式中的基板搬送装置22是用于搬送收纳于盒27中的基板2的装置。盒27被设置在基板搬送装置22的动作范围内，也就是说，盒27被设置在基板搬送用手4能够到达的范围内。在本实施方式中，盒27以使基板2的面为水平的方式在竖直方向上收纳有多层所述基板2。此外，也存在以下情况：盒27以使基板2的面为大致竖直的方式收纳所述基板2。
基板搬送用手4通过基板搬送装置22而运动，并且所述基板搬送用手4吸附收纳于盒27中的基板2以进行搬送。基板2由基板搬送用手4的叉1支承并搬送。叉1例如利用碳纤维强化塑料形成。叉1的基端被支承在支承部件23上。此外，在支承部件23，通常支承有多根叉1。支承部件23被支承在伸缩机构26的末端。
在本实施方式中，伸缩机构26是以相互间能够自由旋转的方式连结多个臂而成的水平多关节臂。因此，基板搬送用手4通过伸缩机构26在水平方向上移动。伸缩机构26的基端被支承于回转机构25。
回转机构25能够以竖直方向的转轴为中心进行回转动作。也就是说，回转机构25使伸缩机构26及基板搬送用手4在水平面内回转。此外，在回转机构25还设置有另一个伸缩机构26，从而总共包括两个伸缩机构26。在另一个伸缩机构26的末端也设置有基板搬送用手4。此外，为了便于理解，另一个伸缩机构26从中途起省略了图示。通过设置两个伸缩机构26及基板搬送用手4，能够增加单位时间的基板2的搬送片数。回转机构25被支承于升降机构24。升降机构24使回转机构25、伸缩机构26以及基板搬送用手4在竖直方向上升降。在本实施方式中，回转机构25利用连杆机构构成。
升降机构24被支承于底座。底座被设置在工厂等的地面上。此外，也存在以下情况：底座被支承于未图示的移动机构的动作部分。当被支承于移动机构时，底座能够在地面上移动。
以上说明的各机构利用未图示的伺服马达驱动。对这些伺服马达的动作进行控制的设备为控制器21。为了使基板搬送装置22进行目标动作从而使基板搬送用手4向所希望的位置进行动作，在控制器21中事先存储有程序，所述程序对各伺服马达的动作速度和旋转位置等进行教示。
根据以上的结构，基板搬送装置22按照控制器21的指令，将基板2载置于基板搬送用手4，并从某一位置搬送至目标位置。
图2是示出本发明的基板搬送用手的一个实施方式的图。图2的(a)示出了从上方观察基板搬送用手4的俯视图。图2的(b)是从图2的(a)内的箭头X方向观察到的侧视图。图2的(c)示出了仅仅后述的吸附部3的俯视图。
如图2的(a)所示，在本实施方式中，两根叉1的基端被支承于支承部件23。用于使吸附用流体通过的管37被安设于支承部件23。吸附用流体为真空气体。管37从图1中的底座侧开始在升降机构24、回转机构25以及伸缩机构26的内部进行布线，从而到达支承部件23。未图示的管37的基端侧与例如泵等吸附用流体的供应源连接。叉1被形成为在从基端侧到末端侧的内部具有空洞，在本实施例中，在所述空洞中安设有管37。
另一方面，多个吸附部3被设置于叉1的平坦面。吸附部3的详细结构将在后面进行叙述，构成为将所述管37与吸附部3连接，从而能够任意地吸附基板2。如图2的(c)所示，在吸附部3设置有与基板2接触的吸盘5，通过吸盘5来吸附基板2。吸盘5例如利用树脂形成。在叉1的平坦面上，与吸附部3一起设置有多个基板支承件34。
如图2的(b)所示，当吸附部3吸附并支承了基板2时，基板2因为较薄而在重力的作用下弯曲，在这样的情况下，基板2与叉1直接接触，基板支承件34正是为了防止这一点而设置的。
对吸附部3进行更详细的说明。本发明的一个实施方式的基板搬送用手4的吸附部3被构成为能够改变吸盘5相对于叉1的突起量。因此，例如，即使基板2在基板间的间距狭小的状态下被收纳于盒27等，也可以通过在减小了吸盘5相对于叉1的突起量的状态下使叉1进入盒27，来使吸附部3顺利地接近基板2并进行吸附及搬送。
图3示出了本发明的一个实施方式的基板搬送用手4从盒27搬出基板2时的图。图3示出了从末端侧对多根叉1中的任一根叉1进行观察的侧视图。首先，如图3的(a)所示，在充分减小了吸盘5的突起量9的状态下，基板搬送用手4被插入到想要吸附并搬送的搬送基板2b与位于其正下方的正下方基板2c之间。此时，因为吸盘5的突起量9充分小，所以吸附部3的吸盘5不会与搬送基板2b的下表面接触。另外，叉1的下表面也不会与正下方基板2c接触。
接下来，如图3的(b)所示，在搬送基板2b与正下方基板2c之间，吸附部3的突起量9返回到通常状态。此时，吸附部3的吸盘5位于与搬送基板2b的下表面接触或不接触的高度。
接下来，如图3的(c)所示，基板搬送用手4通过基板搬送装置22被稍稍抬起。此时，吸附部3的吸盘5与搬送基板2b的下表面接触并支承基板2。在此，当搬送基板2b弯曲时，吸盘5仿照搬送基板2b的弯曲而倾斜。
然后，吸附部3的吸盘5吸附基板2。随后，基板搬送装置22从盒27中抽出基板搬送用手4。也就是说，从正上方基板2a与正下方基板2c之间抽出搬送基板2b。然后，基板搬送装置22将搬送基板2b搬送至目标位置。
即，根据本发明的一个实施方式的基板搬送用手4，可以使作为叉1和从叉1突起的吸附部3的总和的基板搬送用手4的厚度暂时变薄，因此，即使对于在基板间的间距狭小的状态下放置的基板2，也能够顺利地使基板搬送用手4的吸附部3接近基板2。
接下来，对用于改变吸附部3中的吸盘5相对于叉1的突起量9的具体实施方式进行说明。说到以下说明的几个实施方式的共同情况，例如，如示出第一实施方式的图4所示，吸附部3包括：吸盘5，其与基板2接触并吸附基板2；和弹性部件8，其设置在叉1与吸盘5之间，并具有吸附流路7，所述吸附流路7使吸附用流体在叉1与吸盘5之间连通，所述吸附部3构成为通过使弹性部件8的一部分变形，来改变吸盘5相对于叉1的突起量9。更具体地说，弹性部件8包括吸附流路空间20和与吸附流路空间20相独立的突起量调节空间10，叉1包括供应吸附用流体6的第一流路11和第二流路12，第一流路11和第二流路12构成为能够各自分别进行抽吸，并且第一流路11与第二流路12中的一方与突起量调节空间10连通、另一方与吸附流路空间20连通，通过向与突起量调节空间10连通的第一流路11或第二流路12供应吸附用流体6，来使突起量调节空间10和吸附流路空间20减小，从而改变突起量9。也就是说，在以下说明的几个实施方式中，示出了将用于吸附基板2的吸附用流体6利用于改变吸盘5的突起量9的结构。更具体地说，弹性部件8构成为包括：吸盘支承部13，其对吸盘5进行支承并且形成有吸附流路7；和第一环状腿部16，其形成于吸盘支承部13，并且该第一环状腿部16在吸盘支承部13和叉1之间形成吸附流路空间20，所述吸附流路空间20与吸附流路7连通，通过使第一环状腿部16发生变形、并使第一环状腿部16减小，来改变突起量9。另外，更具体地说，弹性部件8构成为：还包括第二环状腿部17，该第二环状腿部17与第一环状腿部16分开地形成于吸盘支承部13，所述第二环状腿部17在吸盘支承部13与叉1之间形成突起量调节空间10，通过抽吸突起量调节空间10的内部气体，第一环状腿部16和第二环状腿部17发生变形，吸附流路空间20减小，从而突起量9被改变。此外，如后面所述，吸盘支承部13也可以构成为：被分割为包括第一环状腿部16的第一吸盘支承部14、和包括第二环状腿部17的第二吸盘支承部15。
首先，对吸附部3的第一实施方式进行说明。图4示出了表示基板搬送用手4的吸附部3的第一实施方式的图。图4的(a)示出了吸盘5处于通常状态时的叉1及吸附部3的侧剖视图。图4的(b)示出了吸盘5的突起量9小于图4的(a)的状态。
如图4的(a)和(b)所示，在叉1的表面形成有低于表面的台阶面，并且在该低的台阶面上载置有弹性部件8。在弹性部件8形成有吸盘支承部13，并且所述吸盘支承部13被固定或嵌合于吸盘5。在吸盘支承部13的与吸盘5相反的一侧形成有第一环状腿部16。第一环状腿部16以具有倾斜面31的方式从吸盘支承部13垂下并形成为环状。第一环状腿部16由例如薄的弹性体形成。此外，优选吸盘支承部13也由与第一环状腿部16相同的材料形成并与所述第一环状腿部16形成为一体，但并不限于此。第一环状腿部16的端部与叉1的台阶面相接触。
在吸盘支承部13上，第二环状腿部17以围绕第一环状腿部16的方式形成于第一环状腿部16的外侧，并且所述第二环状腿部17位于与第一环状腿部16同心的位置。与第一环状腿部16相同，第二环状腿部17以具有倾斜面31的方式从吸盘支承部13垂下并形成为环状。与第一环状腿部16相同，第二环状腿部17也由例如薄的弹性体形成。与第一环状腿部16的端部相同，第二环状腿部17的端部也与叉1的台阶面相接触。
如上所述，第一环状腿部16和第二环状腿部17形成为相对于叉1具有倾斜面31。如后述那样，这是为了使第一环状腿部16和第二环状腿部17容易变形。但是，也可以不是倾斜面31那样的形状，只要至少第一环状腿部16和第二环状腿部17能够形成突起量调节空间10和吸附流路空间20并容易变形即可，例如可以形成为波纹状等。如上所述，吸盘5处于以下状态：通过弹性部件8的第一环状腿部16和第二环状腿部17而相对于叉1被弹性地支承。
此外，在吸盘5的最外周部，在吸盘5的整个周部或一部分设置有卡定部33。以相对于叉1压住所述卡定部33的方式设置有吸盘压板32。吸盘压板32形成为环状，并且以容纳于叉1的台阶面的方式被相对于叉1固定。利用吸盘压板32的环的内周部压住吸盘5的卡定部33。吸盘压板32将吸盘5的卡定部33从吸盘5被弹性部件8弹性支承的状态起下压一定量，从而使第一环状腿部16和第二环状腿部17的端部能够与叉1可靠地接触。另外，吸盘压板32压住吸盘5，从而形成为在卡定部33与叉1之间具有一定量的间隙的状态。通过所述间隙，在直到卡定部33与叉1接触为止的范围内，允许吸盘5相对于叉1倾斜，并且允许吸盘5如后述的图4的(b)那样下降从而接近叉1。
另一方面，在叉1中形成有第一流路11和第二流路12。通过如上所述的管37，吸附用流体6被供应给第一流路11和第二流路12。虽然未图示，但在管37的中途设置有例如电磁阀等，从而能够在必要时向第一流路11和第二流路12分别供应吸附用流体6。第一流路11与被第一环状腿部16、第二环状腿部17、叉1以及吸盘支承部13包围而成的吸附流路空间20连通。第二流路12与被第二环状腿部17、叉1以及吸盘支承部13包围而成的突起量调节空间10连通。此外，在吸盘支承部13中形成有吸附流路7。吸附流路7与吸附流路空间20连通。吸附流路7与吸盘5连通。在本实施方式中，在吸盘5中形成有与吸附流路7连通的吸附孔38，当基板2与吸盘5接触时，若向第一流路11供应吸附用流体6，则基板2被吸盘5吸附。但是，存在以下情况：例如当吸盘5由陶瓷等多孔材料制成时，在吸盘5中不一定必须形成与吸附流路7连通的孔。
对以上的结构中的动作作用进行说明。
(1)首先，在图4的(a)的状态下，即，在基板2未被吸附部3吸附的状态下，向第二流路12供应吸附用流体6。这样一来，突起量调节空间10内的气体被抽吸至第二流路12。这样一来，第一环状腿部16和第二环状腿部17发生弹性变形，各自的倾斜面31与叉1接触从而成为图4的(b)的状态。也就是说，突起量调节空间10和吸附流路空间20减小，并且弹性部件8以接近叉1并贴附7于叉1的方式进行动作。这样一来，被固定支承在吸盘支承部13上的吸盘5也以接近叉1的方式进行动作。此时，与向第二流路12供应吸附用流体6前相比，吸盘5相对于叉1的突起量9减小。
(2)在该状态下，随后，如在图3中说明的那样，对于在基板间间距狭小的状态下放置的基板2，基板搬送用手4使吸附部3靠近基板2。也就是说，基板搬送用手4进入以如图1的盒27那样的基板间间距狭小状态放置的基板2的正下方的间隙。在此，因为吸盘5相对于叉1的突起量9减小，所以该进入动作能够顺利地进行。
(3)随后，即在吸附部3靠近了基板2的状态下，停止向第二流路12供应吸附用流体6。这样一来，借助第一环状腿部16和第二环状腿部17的弹性体的回复力，再次返回到图4的(a)的状态。在该状态下，吸盘5被弹性部件8弹性支承，因此吸盘5处于能够在直到卡定部33与吸盘压板32接触为止的范围内相对于叉1倾斜和接近的状态。
(4)在该状态下，如果随后如在图3中说明的那样使基板搬送用手4进行动作从而使基板2载置于吸盘5，则即使例如基板2如图2的(b)所示那样弯曲，吸盘5也会在仿照基板2的面而倾斜的状态下与基板2接触。
(5)在该状态下，如果随后向第一流路11供应吸附用流体6，则吸盘5可靠地吸附基板2。此时，因为吸附流路空间20的内部的气体被抽吸，所以吸盘5及弹性部件8再次成为图4的(b)的状态。另外，此时基板2仿照吸盘5及弹性部件8，在相对于叉1的面大致平行的状态下被吸盘5吸附。
(6)随后，基板搬送用手4在吸附了基板2的状态下将其搬送至预定的位置。
此外，在例如基板2并未如图2的(b)所示那样弯曲的情况等、无需使基板2仿照吸盘5的情况下，在所述(3)中，也可以在停止向第二流路12供应吸附用流体6前、或在向第二流路12供应吸附用流体6的同时开始向第一流路11供应吸附用流体6，从而使基板搬送用手4进行动作以使基板2吸附在吸盘5上。
如上所述，在图4所示的第一实施方式中，第一环状腿部16和第二环状腿部17形成于弹性部件8的吸盘支承部13。图4的(c)示出了仅仅弹性部件8的仰视图。如图4的(c)所明确示出的那样，第一环状腿部16和第二环状腿部17形成在同心圆上。也就是说，第一环状腿部16和第二环状腿部17形成于共同的吸盘支承部13，并且在所述第一实施方式中，突起量调节空间10利用了第一环状腿部16与第二环状腿部17之间的空间。因此，与如下所示的第二实施方式等不同，根据所述第一实施方式，能够构成为小型的吸附部3。也就是说，适于针对只具有狭小的空间的叉1来使用。
接下来，对吸附部3的第二实施方式进行说明。图5示出了表示基板搬送用手4的吸附部3的第二实施方式的图。图5的(a)示出了吸盘5处于通常状态时的叉1及吸附部3的侧剖视图。图5的(b)示出了吸盘5的突起量9小于图5的(a)的状态。也就是说，图5的(b)示出了吸盘5被吸引至叉1侧的状态。图5的(c)仅仅示出了弹性部件8的下表面。此外，图5的(c)的弹性部件8相比于图5的(a)和图5的(b)的弹性部件8改变了尺寸且记载得较小。在图5中，对与上述的第一实施方式相同的部位标记了相同的标号，因此省略对这些部位的详细说明。以下，以与第一实施方式不同的部分为中心进行说明。
第二实施方式在共同的吸盘支承部13形成有第一环状腿部16和第二环状腿部17，这一点与第一实施方式相同，但第二环状腿部17的形状不同。也就是说，关于第二环状腿部17，在第一实施方式中为了形成突起量调节空间10而利用了第一环状腿部16，但在第二实施方式中，在第一环状腿部16与第二环状腿部17之间还包括另一个第二环状腿部17a。也就是说，包括两层第二环状腿部17。并且，形成突起量调节空间10的第二环状腿部17和第二环状腿部17a这两层第二环状腿部被设置在与第一环状腿部16同心的圆上。即，与第一实施方式相比，突起量调节空间10和吸附流路空间20形成于弹性部件8的一部分这一点是相同的，但第二实施方式构成为：在形成吸附流路空间20时，不利用第一环状腿部16。根据第二实施方式，能够使突起量调节空间10的空间容积大于第一实施方式中的突起量调节空间10的空间容积，因此能够使抽吸突起量调节空间10时的吸盘5的突起量9的减小变得可靠。另外，相比于第一实施方式，可以期待更可靠的弹性部件8的回复力。
接下来，对吸附部3的第三实施方式进行说明。图6示出了表示基板搬送用手4的吸附部3的第三实施方式的图。图6的(a)示出了吸盘5处于通常状态时的叉1及吸附部3的侧剖视图。图6的(b)示出了吸盘5的突起量9小于图6的(a)的状态。也就是说，图6的(b)示出了吸盘5被吸引至叉1侧的状态。图6的(c)仅仅示出了弹性部件8的下表面。在图6中，对与上述的第一和第二实施方式相同的部位标记了相同的标号，因此省略对这些部位的详细说明。以下，以与第一和第二实施方式不同的部分为中心进行说明。
在第三实施方式中，吸盘支承部13被分割为第一吸盘支承部14和第二吸盘支承部15，这一点与第一和第二实施方式大不相同。也就是说，在第一和第二实施方式中，第一环状腿部16和第二环状腿部17形成于共同的吸盘支承部13，但在第三实施方式中，第一环状腿部16形成于第一吸盘支承部14，第二环状腿部17形成于与第一吸盘支承部14相独立的第二吸盘支承部15。此外，如图6的(c)所明确示出的那样，在第三实施方式中，具有多个第二吸盘支承部15，并且所述第二吸盘支承部15以围绕具有第一环状腿部16的第一吸盘支承部14的方式配置在所述第一吸盘支承部14的周围。当向第二流路12供应了吸附用流体6时，如果第二吸盘支承部15及第二环状腿部17能够使吸盘5均匀而不倾斜地靠近叉1，则第一吸盘支承部14及第一环状腿部16的数目在本质上不存在限制等。在第三实施方式中，多个突起量调节空间10各自独立地存在，因此，即使在任一个形成突起量调节空间10的第二环状腿部17破损、从而不能够利用来自第二流路12的吸附用流体6进行抽吸的情况下，能够利用其他的突起量调节空间10进行抽吸的可能性也很高。
接下来，对吸附部3的第四实施方式进行说明。图7示出了表示基板搬送用手4的吸附部3的第四实施方式的图。图7的(a)示出了吸盘5处于通常状态时的叉1及吸附部3的侧剖视图。图7的(b)示出了吸盘5的突起量9小于图7的(a)的状态。也就是说，图7的(b)示出了吸盘5被吸引至叉1侧的状态。图7的(c)仅仅示出了弹性部件8的下表面。图7的(d)是表示第一吸盘支承部14及第一环状腿部16、和第二吸盘支承部15及第二环状腿部17的侧剖视图。在图7中，对与上述的第一、第二以及第三实施方式相同的部位标记了相同的标号，因此省略对这些部位的详细说明。以下，以与第一、第二以及第三实施方式不同的部分为中心进行说明。
在第四实施方式中，吸盘支承部13被分割为第一吸盘支承部14和第二吸盘支承部15，这一点与第三实施方式相同，但第二吸盘支承部15的形状与第三实施方式不同。也就是说，在第三实施方式中，具有多个第二吸盘支承部15及第二环状腿部17，但在第四实施方式中，第二吸盘支承部15及第二环状腿部17形成为环形(ド一ナツ型)，并配置成与第一吸盘支承部14及第一环状腿部16同心地围绕在该第一吸盘支承部14及第一环状腿部16的周围。所述第四实施方式相当于在利用图5说明的第二实施方式中、将所述吸盘支承部13分割为第一吸盘支承部14和第二吸盘支承部15而成的实施方式。根据第四实施方式，与第三实施方式相比能够减少第二吸盘支承部15及第二环状腿部17的零件数。此外，当第二吸盘支承部15及第二环状腿部17、或第一吸盘支承部14及第一环状腿部16中的任一方受到损伤时，可以仅仅更换该任一方零件。
接下来，对能够应用于以上说明的第一至第四实施方式的第一变形例进行说明。针对第一变形例，对将其应用于在图4中说明的第一实施方式的情况进行说明。图8是示出所述第一变形例的吸附部3的侧剖视图。简单地说，所述第一变形例将对在第一至第四实施方式中说明的突起量调节空间10及吸附流路空间20的使用方法颠倒过来。事先在弹性体8中形成有预备吸附流路35，该预备吸附流路35与相当于图4至图7中所说的突起量调节空间10的空间连通。并且，将吸盘5的吸附孔38变更至与预备吸附流路35对应的位置来使用。若在制造弹性部件8时事先配备预备吸附流路35，则在本变形例和非本变形例的情况下，无需更换弹性部件8，能够使零件通用。在图5、图6以及图7中也绘有预备吸附流路35。
这样，在第一至第四实施方式中，能够将曾经作为突起量调节空间10使用的空间作为吸附流路空间20来使用，并能够将曾经作为吸附流路空间20使用的空间作为突起量调节空间10来使用。也就是说，这表示：在第一至第四实施方式中，未必一定按照上述的实施方式那样使用突起量调节空间10和吸附流路空间20。
此外，对能够应用于上述第一至第四实施方式的第二变形例进行说明。针对第二变形例，对将其应用于在图4中说明的第一实施方式、和在图6中说明的第三实施方式的情况进行说明。图9的(a)和图9的(b)分别示出了在应用于第一实施方式和应用于第三实施方式时的吸附部3的侧剖视图。简单地说，第二变形例针对在第一至第四实施方式中说明的弹性部件8，公开了用于使突起量9增大的结构。在所述第二变形例中，在吸盘支承部13(或者第一吸盘支承部14和第二吸盘支承部15)与吸盘5之间还包括：第一辅助环状腿部18，其形成与吸附流路空间20连通的吸附流路辅助空间28；和第二辅助环状腿部19，其形成与突起量调节空间10连通的突起量调节辅助空间29。另外，与此相伴，还具有用于使突起量调节空间10与突起量调节辅助空间29连通的连通路36。
这样一来，在第一至第四实施方式中，通过第一辅助环状腿部18和第二辅助环状腿部19的作用，吸盘5的突起量9的变化量增大。也就是说，若对突起量调节空间10进行抽吸，则突起量调节辅助空间29也被抽吸，从而空间容积减小，由此突起量9的变化量增大。
此外，此次公开的实施方式以及变形例的所有技术方案都是例示性的，并不应该被认为是限制性的技术方案。另外，应该认为对此次公开的实施方式及变形例进行适当组合而构成的技术方案也是被一并公开的内容。本发明的范围并不仅限于所述的实施方式及变形例中的说明，而是由分开记述的权利要求书所示的内容，还包括与权利要求书中的记载含义相同的内容以及权利要求范围内的全部变更。

Claims (12)

1.一种基板搬送用手，其包括叉和吸附部，所述吸附部设置于所述叉并对基板进行吸附，所述基板搬送用手通过所述吸附部来吸附保持所述基板并进行搬送，其中，
所述吸附部包括：
吸盘，所述吸盘与所述基板接触并吸附所述基板；和
弹性部件，所述弹性部件设置在所述叉与所述吸盘之间，并且所述弹性部件具有吸附流路，所述吸附流路使吸附用流体在所述叉与所述吸盘之间连通，
并且所述吸附部构成为能够通过使所述弹性部件的一部分变形来任意地改变所述吸盘相对于所述叉的突起量。
2.根据权利要求1所述的基板搬送用手，其中，
所述弹性部件包括：
与所述吸附流路连通的吸附流路空间；以及
与所述吸附流路相独立的突起量调节空间，
所述叉包括供应所述吸附用流体的第一流路和第二流路，
所述第一流路和所述第二流路构成为能够各自分别进行抽吸，
所述第一流路与所述第二流路中的任一方与所述吸附流路空间连通，另一方与所述突起量调节空间连通，
通过向与所述突起量调节空间连通的所述第一流路或所述第二流路供应所述吸附用流体，来使所述吸附流路空间和所述突起量调节空间减小，从而改变所述突起量。
3.根据权利要求1所述的基板搬送用手，其中，
所述弹性部件包括：
吸盘支承部，所述吸盘支承部对所述吸盘进行支承，并且形成有所述吸附流路；以及
第一环状腿部，所述第一环状腿部形成于所述吸盘支承部，并在所述吸盘支承部与所述叉之间形成所述吸附流路空间，
通过所述第一环状腿部发生变形，所述突起量被改变。
4.根据权利要求3所述的基板搬送用手，其中，
所述弹性部件在所述吸盘支承部还具有第二环状腿部，所述第二环状腿部在所述吸盘支承部与所述叉之间形成所述突起量调节空间，
通过抽吸所述突起量调节空间的内部气体，所述第一环状腿部和所述第二环状腿部发生变形，所述吸附流路空间减小，从而所述突起量被改变。
5.根据权利要求4所述的基板搬送用手，其中，
所述第二环状腿部与所述第一环状腿部同心，并且形成于所述第一环状腿部的外侧，由所述第一环状腿部与所述第二环状腿部包围的空间构成为所述突起量调节空间。
6.根据权利要求4所述的基板搬送用手，其中，
所述第二环状腿部与所述第一环状腿部同心，并且以双层的形式形成于所述第一环状腿部的外侧。
7.根据权利要求4所述的基板搬送用手，其中，
所述吸盘支承部构成为被分割成：
第一吸盘支承部，所述第一吸盘支承部包括所述第一环状腿部；和
第二吸盘支承部，所述第二吸盘支承部包括所述第二环状腿部。
8.根据权利要求7所述的基板搬送用手，其中，
在所述第一吸盘支承部的周围形成有多个所述第二吸盘支承部。
9.根据权利要求4所述的基板搬送用手，其中，
在所述吸盘支承部具有与所述突起量调节空间连通的预备吸附流路，使得所述突起量调节空间与所述吸附流路空间能够相互交换使用。
10.根据权利要求4至8中的任一项所述的基板搬送用手，其中，
所述弹性部件在所述吸盘支承部与所述吸盘之间还包括：
第一辅助环状腿部，所述第一辅助环状腿部形成与所述吸附流路空间连通的吸附流路辅助空间；以及
第二辅助环状腿部，所述第二辅助环状腿部形成与所述突起量调节空间连通的突起量调节辅助空间。
11.一种基板搬送装置，其包括：
权利要求1所述的基板搬送用手；
使所述基板搬送用手运动的动作机构；以及
事先对使所述基板搬送用手运动的位置进行存储的控制器。
12.一种基板搬送方法，所述基板搬送方法从以多层方式收纳基板的盒中搬出所述基板，所述基板搬送方法利用基板搬送用手来吸附保持并搬出所述盒内的所述基板，
所述基板搬送用手包括叉和吸附部，所述吸附部设置于所述叉并对所述基板进行吸附，
所述吸附部包括：
吸盘，所述吸盘与所述基板接触并吸附所述基板；以及
弹性部件，所述弹性部件设置在所述叉与所述吸盘之间，并且所述弹性部件具有吸附流路，所述吸附流路使吸附用流体在所述叉与所述吸盘之间连通，
并且所述吸附部构成为能够通过使所述弹性部件的一部分变形来任意地改变所述吸盘相对于所述叉的突起量，
在所述基板搬送方法中，
通过对所述突起量调节空间进行抽吸来使所述弹性部件变形，由此减小所述吸盘相对于所述叉的突起量，
在减小了所述突起量的状态下，使所述叉插入到所述盒内的想要搬出的所述基板和与所述想要搬出的基板相邻的基板之间，
在完成所述插入后，停止对所述突起量调节空间的抽吸，
使所述叉靠近所述想要搬出的基板，以使所述吸盘与所述想要搬出的基板接触，
向所述吸附流路供应所述吸附用流体，从而使所述想要搬出的基板吸附于所述吸盘，
将所述叉从所述盒抽出。
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