CN109835714A - 搬运用具、搬运方法以及搬运用具单元 - Google Patents

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Abstract

本发明的课题在于提供粘合力强的搬运用具、搬运方法以及搬运用具单元。使用的搬运用具包括：底座；以及多个柱状的突起，其配置于所述底座的表面，多个所述柱状的突起分别在顶部具有一个凹部。使用的大型搬运用具将上述搬运用具以不重叠且将所述突起作为表面的方式配置在板上。使用将上述搬运用具以不重叠且将所述突起作为表面的方式配置在板上的大型搬运用具而对制造的对象物进行搬运。

Description

搬运用具、搬运方法以及搬运用具单元
技术领域
本发明涉及搬运用具、搬运方法以及搬运用具单元。尤其涉及用于在制造生产线等中临时搬运对象物的搬运用具、搬运方法以及搬运用具单元。
背景技术
在制造生产线中，一直以来使用对基板、玻璃等进行搬运的搬运用具(专利文献1)。在该搬运用具中，在金属板上设置有橡胶。将对象物临时粘合于橡胶并进行搬运，且在目的地将对象物从搬运用具卸下。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2006-186398号公报
发明内容
发明所要解决的课题
然而，该搬运用具的吸附力弱从而无法适当地保持对象物。因而，本发明的课题是提供粘合力强的搬运用具和搬运方法。
用于解决课题的方案
为了解决所述现有的课题，使用如下的搬运用具，其包括：底座；以及多个柱状的突起，其配置于所述底座的表面，多个所述柱状的突起分别在顶部具有一个凹部。
另外，使用如下的大型搬运用具，其将多个上述搬运用具以不重叠且将所述突起作为表面的方式配置在板上。
并且，使用如下的搬运方法，其中，使用将多个上述搬运用具以不重叠且将所述突起作为表面的方式配置在板上而成的大型搬运用具对制造的对象物进行搬运。
使用如下的搬运用具单元，其使多个所述搬运用具共用一个所述底座，从而作为一个搬运用具。
发明效果
根据本发明的搬运用具，能够充分地保持对象物并将其可靠地搬运至目的场所。
附图说明
图1的(a)是实施方式1的搬运用具的俯视图，(b)是保持有对象物的实施方式1的搬运用具的侧视图，(c)是实施方式1的搬运用具的放大俯视图，(d)是使实施方式1的搬运用具保持对象物的状态下的实施方式1的搬运用具的放大俯视图。
图2的(a)是实施方式2的搬运用具的俯视图，(b)是实施方式2的搬运用具的侧视图，(c)是使实施方式2的搬运用具保持对象物的侧视图。
图3的(a)是保持对象物之前的实施方式2的搬运用具的放大俯视图，(b)是正在保持对象物的实施方式2的搬运用具的放大俯视图。
图4的(a)是实施方式3的搬运用具的突起的放大侧视图，(b)是实施方式3的搬运用具的突起上保持有对象物的情况下的放大侧视图，(c)是实施方式3的搬运用具的突起的放大俯视图。
图5的(a)是实施方式4的大型搬运用具正在保持对象物的侧视图，(b)是实施方式4的大型搬运用具的俯视图，(c)是实施方式4的搬运用具单元的俯视图，(d)是实施方式4的搬运用具单元的侧视图。
附图标记说明
10、20、30 搬运用具
11、11c 突起
11a 第一突起
11b 第二突起
11d 突起凸部
11e 突起侧部
13、41 凹部
14 间隙
15 底座
16 对象物
17 搬运台
30 搬运用具
50 大型搬运用具
51 搬运用具单元
52 标记。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。需要说明的是，并非利用本实施方式来限定本发明。
(实施方式1)
使用图1的(a)～图1的(d)来说明实施方式1的搬运用具10。图1的(a)是搬运用具10的俯视图。图1的(b)是保持有对象物16的搬运用具10的侧视图。图1的(c)是搬运用具10的放大俯视图。图1的(d)是在使搬运用具10保持对象物16的状态下，对搬运用具10的对象物16进行保持的部分的放大俯视图。需要说明的是，在图1的(d)中，去除对象物16而示出。
<结构>
搬运用具10包括底座15、突起11、凹部13以及间隙14。
底座15呈平板状，在一面具有突起11。底座15是一边约为30mm的正方形形状。作为一边，能够制作为1cm～100cm。
突起11为圆柱状的突起11。突起11的圆的直径约为0.5mm～2mm。突起11的高度也约为0.5mm～2mm。突起11的高度相对于圆的直径的比(长径比)优选为0.5至1.5。不限于圆柱，只要为柱状即可。
突起11的顶部的面积的比例(占有面积、突起11所存在的整个区域中的单位面积的突起11部分所占的面积密度)为50％以上即可。优选为60％以上。为了保持对象物16，越多越好。其中，突起11需要变形，因此设为分别独立的多个突起11。为了增加突起11的顶部的面积的比例，突起11交错排列。另外，突起11优选为圆柱形状以便在变形时均匀地向至少四个方向延展。因此，突起11的顶部的面积的比例为95％以下即可。优选为90％以下。
凹部13是由突起11与底座15包围的空间。
间隙14是突起11间的间隙。为了突起11能够在保持对象物16时变形，间隙14是必需的。间隙14为0.1mm以下。
搬运用具10的材质优选为化学性稳定的氟橡胶，通过冲压成形或注模成形制作。
作为氟橡胶，也能够利用具有以源于偏二氟乙烯的结构单位、源于六氟丙烯的结构单位、以及源于四氟乙烯的结构单位为主的结构的氟橡胶组合物。需要说明的是，能够适用所有氟橡胶。也能够利用含有以源于四氟乙烯的结构单位、或者源于全氟(烷基乙烯基醚)或全氟(烷氧基烷基乙烯基醚)的结构单位为主的结构的全氟弹性体。
另外，作为橡胶，也能够使用上述以外的氟橡胶。也能够使用硅橡胶、弹性体。只要是在室温下能够通过加压而变形的物质便能够使用。
<制造方法>
制作实施有与搬运用具10的形状对应的凹部的上模，将模具设置于冲压机。将模具预先加热至180℃，涂布脱模剂(氟系、硅系等)以使得在橡胶成形后橡胶容易剥离。
将橡胶片切割为适当的尺寸，放置于下模，利用上模进行冲压。冲压设定为180℃、240秒。温度、时间根据橡胶的材质而改变设定。若比适当的尺寸少则成为未硫化状态，从而橡胶无法成形。
冲压后，小心地从模具(上下模具)剥离橡胶以使得橡胶不被撕碎。剥离结束后进行外观确认，若没有问题，则将该橡胶产品放入烘箱并以232℃加热10小时。若温度、时间少则可能无法引出橡胶的物性。温度、时间根据橡胶的材质而改变设定。在烘箱中的作业后进行外观确认，若没有问题，则完成产品。
需要说明的是，也可以不是橡胶片的成形。也可以是通常的成形加工。优选底座15与突起11一体地制作。这是由于，突起11从对象物16受到压力而变形，因此容易破损。因此，在底座15与突起11由一个材料一体地形成的情况下，强度优异。
<保持状态>
图1的(b)示出由搬运用具10保持对象物16的状态。在搬运用具10中，通过突起11的顶部与对象物16接触而保持对象物16。突起11的顶部具有粘合性，对对象物16进行粘合保持。
图1的(c)是未保持对象物16时的搬运用具10的放大俯视图，图1的(d)是保持对象物16时的搬运用具10的放大俯视图。
突起11的顶部由于对象物16的重量而变形、延展，对对象物16进行保持。因此，在突起11间设置有间隙14。通过进一步增加突起11的顶部的面积，从而更容易保持对象物16。因此，在平面内密集地配置突起11。
需要说明的是，突起11由于对象物16而压缩变形、延展，因此优先设置多个非接触的突起11。
搬运用具10的硬度为20～90即可。优选为60～80。在此，硬度是基于硬度计类型A得到的值。在突起11的变形的容易性、保持性方面，搬运用具10的硬度为上述范围。
在实施方式1的搬运用具10中，突起11密集地配置，但能够变形。能够利用突起11的顶部的较大的面积牢固地保持对象物16。
(实施方式2)
使用图2的(a)～图2的(c)来说明实施方式2的搬运用具20。图2的(a)是搬运用具20的俯视图。图2的(b)是搬运用具20的侧视图。图2的(c)是使搬运用具20保持对象物16的侧视图。未记载的事项与实施方式1相同。
<结构>
搬运用具20包括底座15、第一突起11a、第二突起11b、凹部13以及间隙14。
底座15呈平板状，在一面具有第一突起11a和第二突起11b。
第一突起11a为圆柱状的突起。与实施方式1的突起11相同。
第二突起11b为圆柱状的突起。第二突起11b的截面积比第一突起11a的截面积小，高度与第一突起11a的高度相同。第一突起11a为主要的突起。
凹部13是由第一突起11a、第二突起11b以及底座15包围的空间。
间隙14是第一突起11a与第二突起11b之间的间隙。
第一突起11a的直径比第二突起11b的直径大。为了增加突起的占有面积，在紧密地排列时，第一突起11a的直径为第二突起11b的2.3倍以下。
需要说明的是，第一突起11a的长径比与实施方式1的突起11的长径比相同，为1左右。因此，第二突起11b形成为细长的突起。第一突起11a承接对象物16，第二突起11b辅助地承接。第二突起11b用于提高粘合性以及实现真空吸附性。
<保持状态>
图3的(a)是保持对象物16之前的搬运用具20的放大俯视图。
图3的(b)是正在保持对象物16的搬运用具20的放大俯视图。省略对象物16而表示。
在对象物16载置于第一突起11a和第二突起11b上时，第一突起11a与第二突起11b被压缩，间隙14消失，第一突起11a与第二突起11b接触。在该状态下，凹部13形成为由第一突起11a、第二突起11b、底座15以及对象物16密闭的空间。此时，该空间成为大致真空状态，从而通过搬运用具10对对象物16进行吸附、保持。
即，能够利用第一突起11a与第二突起11b的顶部的粘性以及凹部13的真空对对象物16进行保持。
在将对象物16取下时，稍微将端部抬起，则形成间隙14，真空状态解除，从而容易取出。即，多个凹部13从端部起逐渐解除其真空，从而容易取出对象物16。
与实施方式1的搬运用具10相比，通过实施方式2的搬运用具20能够更牢固地保持对象物16。
(实施方式3)
使用图4的(a)～图4的(c)来说明实施方式3。未说明的事项与实施方式1、2相同。
图4的(a)是实施方式3的突起11c的放大侧视图。图4的(c)是突起11c的放大俯视图。图4的(b)是在突起11c上保持有对象物16的情况的放大侧视图。突起11c是实施方式1或2的搬运用具的突起。
突起11c呈圆柱形状且在顶部具有一个凹部41。凹部41的周围由突起凸部11d包围。也可以不呈圆柱形状，只要呈柱状即可。凹部41的深度为几微米，例如为1～5μm。突起11d的直径约为0.5mm～1.5mm。若凹部41的深度深，则空气残留于凹部41与对象物16间，从而吸附性不好。
在突起11c上保持有对象物16时，突起11c的顶部的突起凸部11d变形，突起11c的侧面膨胀，从而形成突起侧部11e。此时，突起11c的顶部能够作为更宽阔的面来保持对象物16。也可以不是圆柱而是棱柱。
突起11c能够作为实施方式1、2的突起而使用。并且，也可以与实施方式1、2无关地单独使用。
若将实施方式3的突起用于实施方式1、2的突起，则能够进一步保持对象物16，因而优选。
(实施方式4)
使用图5的(a)和图5的(b)来说明实施方式4。未记载的事项与上述的实施方式相同。
图5的(a)是大型搬运用具50的正在保持对象物16时的侧视图。
图5的(b)是大型搬运用具50的俯视图。
若对象物16变大，则也可以增大上述实施方式的搬运用具10、20，但考虑到制作上的问题、成本方面而不优选。
因此，在该实施方式中使用多个搬运用具30。搬运用具30为上述实施方式的搬运用具之一。也可以使用多种搬运用具。搬运用具30的大小为10mm见方～50mm见方的面积，可以为正方形、长方形、菱形、梯形。
大型搬运用具50包括搬运台17和搬运用具30。
搬运台17为金属板等，是搬运用的底座。
搬运用具30是上述实施方式的搬运用具中的一个或多个。
大型搬运用具50在其表面配置有多个搬运用具30。在多个搬运用具30上承载有对象物16，对对象物16进行保持。
搬运用具30优选相对于对象物16而均匀地配置。但是，也可以将搬运用具30配置在仅周边部或仅端部。作为整体来保持对象物16。搬运用具30粘合固定于搬运台17。
其结果是，即便不增大搬运用具30，也能够实现大型搬运用具50。
另外，也能够使用由图5的(c)的俯视图、图5的(d)的侧视图示出的搬运用具单元51。搬运用具单元51具有多个搬运用具30。这是在制作搬运用具30时，以共用底座15的方式制作多个搬运用具30而成的。以搬运用具单元51供给，沿标记52切割，从而用作多个搬运用具30。标记52能够在搬运用具单元51的制造时通过模具来设置。也可以没有标记52。在搬运用具单元51中，搬运用具30间是没有突起而仅为底座15的平面。
搬运用具30能够直接通过粘合材料等固定于搬运台17。然而，优选将搬运用具30的一端通过粘合材料粘贴于中间体，将该中间体通过螺钉等物理地固定于搬运台17。搬运用具30定期地消耗而更换，但搬运台17长期使用，因此优选不在搬运台17直接使用粘合材料等，以能够长期使用。
(整体)
上述实施方式1～4能够组合。
对象物16为玻璃面板、半导体芯片、透镜、晶片等，但不限定于此。
产业上的可利用性
本发明的搬运用具和大型搬运用具在半导体、显示器等设备的制造中，能够在搬运对象物时利用。在其他产品的制造中也能够利用。

Claims (10)

1.一种搬运用具，包括：
底座；以及
多个柱状的突起，其配置于所述底座的表面，
多个所述柱状的突起分别在顶部具有一个凹部，且分别通过来自其顶部的加压而变形，并向侧面方向均匀地伸展，
所述凹部为吸附用，
多个所述柱状的突起通过来自其顶部的加压而变形，且与不同的四个方向的所述柱状的突起分别接触。
2.根据权利要求1所述的搬运用具，其中，
多个所述柱状的突起呈圆柱形状。
3.一种搬运用具，包括：
底座；以及
多个柱状的突起，其配置于所述底座的表面，
多个所述柱状的突起分别在顶部具有一个凹部，
多个所述柱状的突起通过来自其顶部的加压而变形，从而多个所述柱状的突起间接触，
通过所述加压，形成周围被多个所述柱状的突起包围且用于吸附的凹部。
4.一种搬运用具，包括：
底座；以及
多个柱状的突起，其配置于所述底座的表面，
多个所述柱状的突起分别在顶部具有一个凹部，
多个所述柱状的突起的高度相同，且包括截面积不同的多个第一突起和多个第二突起，
多个所述第一突起和多个所述第二突起分别通过来自其顶部的加压而变形，所述第一突起与四个所述第二突起接触，所述第二突起与四个所述第一突起接触。
5.根据权利要求4所述的搬运用具，其中，
所述搬运用具具有所述第一突起的列和所述第二突起的列，多个所述柱状的突起交错排列。
6.一种对象物的搬运方法，其中，
将所述对象物保持在权利要求1至5中任一项所述的搬运用具上，从而对所述对象物进行搬运。
7.一种大型搬运用具，其中，
将多个权利要求1至5中任一项所述的搬运用具以不重叠且将所述突起作为表面的方式配置在搬运台上。
8.根据权利要求7所述的大型搬运用具，其中，
将所述搬运用具粘合于中间体，从而将所述搬运用具物理地保持于所述中间体。
9.一种搬运方法，其中，
使用将多个权利要求1至5中任一项所述的搬运用具以不重叠且将所述突起作为表面的方式配置在搬运台上而成的大型搬运用具对制造的对象物进行搬运。
10.一种搬运用具单元，其中，
使多个权利要求1至5中任一项所述的搬运用具共用一个所述底座，从而作为一个搬运用具。
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7519290B2 (ja) 2020-12-24 2024-07-19 信越化学工業株式会社 微小構造体移載用スタンプ部品、移載方法、電気機器の製造方法、電子機器の製造方法、ｌｅｄディスプレイの製造方法
WO2024154425A1 (ja) * 2023-01-17 2024-07-25 ソフトバンクグループ株式会社 ロボットハンド、ロボットの制御システム、機能回復処理システム、ロボットの制御プログラム、機能回復処理プログラム

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101529575A (zh) * 2006-10-18 2009-09-09 琳得科株式会社 芯片的拾取方法及拾取装置
US20110281509A1 (en) * 2006-03-15 2011-11-17 Lintec Corporation Holding jig, semiconductor wafer grinding method, semiconductor wafer protecting structure and semiconductor wafer grinding method and semiconductor chip fabrication method using the structure
CN102468204A (zh) * 2010-11-01 2012-05-23 株式会社安川电机 基板搬送用手及具有该基板搬送用手的基板搬送装置
CN102741995A (zh) * 2010-02-05 2012-10-17 东京毅力科创株式会社 基板保持用具、基板输送装置及基板处理装置
KR20120124700A (ko) * 2011-05-04 2012-11-14 엠.씨.케이 (주) 기판 흡착용 패드 및 이의 제조방법
CN102870204A (zh) * 2010-06-07 2013-01-09 日本电气硝子株式会社 板状构件的移送装置及吸附垫

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4272216B2 (ja) 2003-02-07 2009-06-03 パナソニック株式会社 基板保持具
JP4748795B2 (ja) * 2006-04-07 2011-08-17 東京エレクトロン株式会社 基板支持体及び基板搬送機構
JP2014101192A (ja) * 2012-11-20 2014-06-05 Alpha- Design Kk 吸着保持装置、吸着保持装置による被搬送物の吸着保持方法及びプログラム

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20110281509A1 (en) * 2006-03-15 2011-11-17 Lintec Corporation Holding jig, semiconductor wafer grinding method, semiconductor wafer protecting structure and semiconductor wafer grinding method and semiconductor chip fabrication method using the structure
CN101529575A (zh) * 2006-10-18 2009-09-09 琳得科株式会社 芯片的拾取方法及拾取装置
CN102741995A (zh) * 2010-02-05 2012-10-17 东京毅力科创株式会社 基板保持用具、基板输送装置及基板处理装置
CN102870204A (zh) * 2010-06-07 2013-01-09 日本电气硝子株式会社 板状构件的移送装置及吸附垫
CN102468204A (zh) * 2010-11-01 2012-05-23 株式会社安川电机 基板搬送用手及具有该基板搬送用手的基板搬送装置
KR20120124700A (ko) * 2011-05-04 2012-11-14 엠.씨.케이 (주) 기판 흡착용 패드 및 이의 제조방법

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