KR20190063370A

KR20190063370A - 반송구, 반송 방법 및 반송구 유닛

Info

Publication number: KR20190063370A
Application number: KR1020180097831A
Authority: KR
Inventors: 히데히코 우에무라; 유지 오노데라; 다카유키 미야하라
Original assignee: 가부시키가이샤 유엠아이
Priority date: 2017-11-29
Filing date: 2018-08-22
Publication date: 2019-06-07
Also published as: JP2019102509A; TW201926521A; JP6353969B1; TWI666722B; KR102170518B1; CN109835714A; CN109835714B

Abstract

[과제] 점착력이 강한 반송구와 반송 방법을 제공하는 것.
[해결 수단] 대좌와, 상기 대좌의 표면에 배치된 복수의 기둥 형상의 돌기를 포함하고, 상기 복수의 기둥 형상의 돌기는 각각 정상부에 1개의 오목부를 갖는 반송구를 사용한다. 상기 반송구를 복수개 플레이트 위에 겹치지 않게 하고, 상기 돌기를 표면으로 하여 배치한 대형 반송구를 사용한다. 상기 반송구를 복수개 플레이트 위에 겹치지 않고, 상기 돌기를 표면으로 하여 배치한 대형 반송구를 사용하여, 제조의 대상물을 반송하는 반송 방법을 사용한다.

Description

반송구, 반송 방법 및 반송구 유닛{Transport tool, transport method and transport unit}

본 발명은 반송구, 반송 방법 및 반송 유닛에 관한 것이다. 특히, 제조라인 등에서 일시적으로 대상물을 반송하기 위한 반송구, 반송 방법 및 반송 유닛에 관한 것이다.

제조라인에서는, 기판이나 유리 등을 반송하는 반송구가 종래부터 사용되고 있다(특허문헌 1). 이 반송구에서는, 금속판 위에 고무가 설치되어 있다. 고무에 대상물이 일시적으로 점착되어 반송되고, 목적지에서 대상물이 반송구로부터 떼어진다.

일본 특개 2006-186398호 공보

그러나, 이 반송구에서는, 흡착력이 약하여 적절하게 대상물을 유지할 수 없다. 따라서, 본원 과제는 점착력이 강한 반송구와 반송 방법을 제공하는 것이다.

상기 종래의 과제를 해결하기 위하여, 대좌(台座)와, 상기 대좌의 표면에 배치된 복수의 기둥 형상의 돌기를 포함하고, 상기 복수의 기둥 형상의 돌기는 각각 정상부에 1개의 오목부를 갖는 반송구를 사용한다.

또한, 상기 반송구를 복수개 플레이트 위에 겹치지 않게 하고, 상기 돌기를 표면으로 하여 배치한 대형 반송구를 사용한다.

또한, 상기 반송구를 복수개 플레이트 위에 겹치지 않게 하고, 상기 돌기를 표면으로 하여 배치한 대형 반송구를 사용하여, 제조의 대상물을 반송하는 반송 방법을 사용한다.

상기 반송구의 복수개를, 상기 대좌를 1개로 하여, 1개의 반송구로 한 반송구 유닛을 사용한다.

본 발명의 반송구에서는, 대상물을 충분히 유지하여, 목적의 장소까지 확실하게 반송할 수 있다.

도 1(a)는 실시형태 1의 반송구의 평면도, (b) 대상물을 유지한 실시형태 1의 반송구의 측면도, (c) 실시형태 1의 반송구의 확대 평면도, (d) 실시형태 1의 반송구에 대상물을 유지시킨 상태에서의 실시형태 1의 반송구의 확대 평면도.
도 2는 실시형태 2의 반송구의 평면도, (b) 실시형태 2의 반송구의 측면도, (c) 실시형태 2의 반송구에 대상물을 유지시킨 측면도.
도 3(a)는 대상물을 유지하기 전의 실시형태 2의 반송구의 확대 평면도, (b) 대상물을 유지 중의 실시형태 2의 반송구의 확대 평면도.
도 4(a)는 실시형태 3의 반송구의 돌기의 확대 측면도, (b) 실시형태 3의 반송구의 돌기 위에 대상물이 유지된 경우의 확대 측면도, (c) 실시형태 3의 반송구의 돌기의 확대 평면도..
도 5(a)는 실시형태 4의 대형 반송구가 대상물을 유지하고 있는 중의 측면도, (b) 실시형태 4의 대형 반송구의 평면도, (c) 실시형태 4의 반송구 유닛의 평면도, (d) 실시형태 4의 반송구 유닛의 측면도.

(발명을 실시하기 위한 형태)

이하 본 발명의 실시형태에 대하여, 도면을 참조하면서 설명한다. 또한, 이 실시형태에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니다.

(실시형태 1)

도 1(a)∼도 1(d)를 사용하여, 실시형태 1의 반송구(10)를 설명한다. 도 1(a)는 반송구(10)의 평면도이다. 도 1(b)는 대상물(16)을 유지한 반송구(10)의 측면도이다. 도 1(c)는 반송구(10)의 확대 평면도이다. 도 1(d)는, 반송구(10)에 대상물(16)을 유지시킨 상태에서, 반송구(10)의 대상물(16)을 유지하고 있는 부분의 확대 평면도이다. 또한, 도 1(d)에서는 대상물(16)을 제거하고 표시되어 있다.

<구조>

반송구(10)는 대좌(15)와 돌기(11)와 오목부(13)와 간극(14)을 포함한다.

대좌(15)는 평판 형상이며, 일방의 면에 돌기(11)를 갖는다. 대좌(15)는 1변이 약 가로세로 30mm의 정방형 형상이다. 1변으로서 1cm∼100cm까지 제작할 수 있다.

돌기(11)는 원기둥 형상의 돌기(11)이다. 돌기(11)의 원의 직경은 약 0.5mm∼2mm이다. 돌기(11)의 높이도 약 0.5mm∼2mm이다. 돌기(11)의 원의 직경에 대한 높이의 비(애스팩트비)는 0.5 내지 1.5가 바람직하다. 원기둥에 한정되지 않고 기둥 형상이면 된다.

돌기(11)의 정상부의 면적의 비율(점유 면적, 돌기(11)가 존재하는 전체 영역에서의 단위면적당의 돌기(11) 부분이 차지하는 면적 밀도)은 50% 이상이 좋다. 60% 이상이 바람직하다. 대상물(16)을 유지하기 위해, 클수록 좋다. 단, 돌기(11)는 변형할 필요가 있으므로, 각각 독립한 복수의 돌기(11)로 하고 있다. 돌기(11)의 정상부의 면적의 비율을 늘리기 위해, 돌기(11)는 지그재그 배열로 하고 있다. 또한 돌기(11)는 변형했을 때에 균등하게 적어도 4방향으로 퍼지도록 원기둥 형상이 바람직하다. 그 때문에 돌기(11)의 정상부의 면적의 비율은 95% 이하가 좋다. 90% 이하가 바람직하다.

오목부(13)는 돌기(11)와 대좌(15)로 둘러싸인 공간이다.

간극(14)은 돌기(11) 간의 간극이다. 돌기(11)가 대상물(16)을 유지했을 때, 변형할 수 있도록, 간극(14)이 필요하다. 간극(14)은 0.1mm 이하이다. 반송구(10)는 재질이 화학적으로 안정한 불소 고무가 바람직하고, 프레스 성형 혹은 주형 성형으로 제작된다.

불소 고무로서는 불화 비닐리덴 유래의 구성 단위, 헥사플루오로프로필렌의 구성 단위, 및 테트라플루오로에틸렌 유래의 구성 단위를 주로 한 구성을 갖는 불소 고무 조성물도 이용할 수 있다. 또한, 불소 고무 전반에 적응할 수 있다. 테트라플루오로에틸렌 유래의 구성 단위, 또는 퍼플루오로(알킬비닐에테르) 또는 퍼플루오로(알콕시알킬비닐에테르) 유래의 구성 단위를 주로 한 구성을 함유하는 퍼플루오로 엘라스토머도 이용할 수 있다.

또한 고무로서 상기 이외의 불소 고무도 사용할 수 있다. 실리콘 고무, 엘라스토머도 사용할 수 있다. 실온에서, 가압으로 변형할 수 있는 것이라면 사용할 수 있다.

<제조 방법>

반송구(10)의 형상에 대응하는 오목부를 형성한 뒤 금형을 작성하고, 프레스기에 금형을 설치한다. 금형을 180℃까지 가열해 두고, 고무 성형 후에 고무가 벗겨지기 쉽게 하도록 이형제(불소계, 실리콘계 등)를 도포한다.

고무 시트를 적절한 사이즈로 자르고, 하금형에 놓고, 상금형으로 프레스를 행한다. 프레스는 180℃, 240초로 설정한다. 고무의 재질에 따라 온도·시간은 설정을 변경한다. 적절한 사이즈보다 적을 것 같다면 미가황 상태가 되어 고무를 성형할 수 없다.

프레스 후, 고무가 찢어지지 않도록 주의하여 금형(상하 금형)으로부터 고무를 벗긴다. 다 벗긴 후, 외관 확인을 하여 문제없으면 그 고무 제품을 오븐에 넣고 232℃, 10시간 열을 가한다. 온도·시간이 적으면 고무의 물성이 나오지 않을 우려가 있다. 고무의 재질에 따라 온도·시간은 설정을 변경한다. 오븐에서의 작업 후, 외관 확인을 하고 문제 없으면 제품의 완성이다.

또한, 고무 시트의 성형이 아니어도 된다. 통상의 성형 가공이어도 된다. 대좌(15)와 돌기(11)는 일체로 제작하는 편이 바람직하다. 왜냐하면, 돌기(11)는 대상물(16)에 의해 압을 받아, 변형하므로, 파손되기 쉽다. 그 때문에 대좌(15)와 돌기(11)는 1개의 재료로 일체로 형성되는 편이 강도면에서 좋다.

<유지 상태>

도 1(b)는 반송구(10)로 대상물(16)을 유지하고 있는 상태를 나타낸다. 반송구(10)에서는, 돌기(11)의 정상부에서 대상물(16)과 접하고, 대상물(16)을 유지한다. 돌기(11)의 정상부에는 점착성이 있어, 대상물(16)을 점착 유지한다.

도 1(c)는 대상물(16)을 유지하고 있지 않을 때의 반송구(10)의 확대 평면이며, 도 1(d)는 대상물(16)을 유지하고 있을 때의 반송구(10)의 확대 평면이다.

돌기(11)의 정상부는 대상물(16)의 무게로 변형하여, 퍼져서, 대상물(16)을 유지한다. 이 때문에, 돌기(11) 사이에는 간극(14)이 설치되어 있다. 보다 돌기(11)의 정상부의 면적을 증가시킴으로써 대상물(16)을 보다 유지하기 쉽다. 그 때문에 돌기(11)를 평면 내에서 조밀하게 배치하고 있다.

또한, 돌기(11)는 대상물(16)에 의해, 압축 변형하여 퍼지므로, 복수의 비접촉의 돌기(11)를 설치하는 것이 바람직하다.

반송구(10)의 경도는 20∼90이 좋다. 바람직하게는, 60∼80이 바람직하다. 여기에서, 경도는 듀로미터 타입 A에서의 값이다. 반송구(10)의 경도는 돌기(11)의 변형 용이성, 유지성 때문에 상기 범위가 된다.

실시형태 1의 반송구(10)에서는, 돌기(11)가 조밀하게 배치되지만, 변형할 수 있다. 대상물(16)을 돌기(11)의 정상부의 넓은 면적으로, 확실하게 유지할 수 있다.

(실시형태 2)

도 2(a)∼도 2(c)를 사용하여, 실시형태 2의 반송구(20)를 설명한다. 도 2(a)는 반송구(20)의 평면도이다. 도 2(b)는 반송구(20)의 측면도이다. 도 2(c)는 반송구(20)에 대상물(16)을 유지시킨 측면도이다. 기재하지 않은 사항은 실시형태 1과 마찬가지이다.

<구조>

반송구(20)는 대좌(15)와 제1 돌기(11a)와 제2 돌기(11b)와 오목부(13)와 간극(14)을 포함한다.

대좌(15)는 평판 형상이며, 일방의 면에 제1 돌기(11a)와 제2 돌기(11b)를 갖는다.

제1 돌기(11a)는 원기둥 형상의 돌기이다. 실시형태 1의 돌기(11)와 동일하다.

제2 돌기(11b)는 원기둥 형상의 돌기이다. 제2 돌기(11b)는 제1 돌기(11a)보다 단면적이 작고, 제1 돌기(11a)와 동일한 높이이다. 제1 돌기(11a)가 메인의 돌기이다.

오목부(13)는 제1 돌기(11a)와 제2 돌기(11b)와 대좌(15)로 둘러싸인 공간이다.

간극(14)은 제1 돌기(11a)와 제2 돌기(11b) 사이의 간극이다.

제1 돌기(11a)의 직경은 제2 돌기(11b)보다 크다. 돌기의 점유 면적을 늘리기 위해, 조밀하게 나열하면, 제1 돌기(11a)의 직경은 제2 돌기(11b)의 2.3배까지이다.

또한, 제1 돌기(11a)의 애스팩트비는 실시형태 1의 돌기(11)와 동일하며 1 전후이다. 그 때문에 제2 돌기(11b)는 가늘고 긴 돌기가 된다. 제1 돌기(11a)가 대상물(16)을 받고, 제2 돌기(11b)는 보조적으로 받는다. 제2 돌기(11b)는 점착성의 증가, 진공 흡착성을 위해 존재한다.

<유지 상태>

도 3(a)는 대상물(16)을 유지하기 전의 반송구(20)의 확대 평면도이다.

도 3(b)는 대상물(16)을 유지 중인 반송구(20)의 확대 평면도이다. 대상물(16)을 생략하여 표시되어 있다.

대상물(16)이 제1 돌기(11a)와 제2 돌기(11b) 위에 놓였을 때, 제1 돌기(11a)와 제2 돌기(11b)는 압축되어 간극(14)은 없어지고, 제1 돌기(11a)와 제2 돌기(11b)가 접촉한다. 이 상태에서, 오목부(13)는 제1 돌기(11a)와 제2 돌기(11b)와 대좌(15)와 대상물(16)로 밀폐된 공간이 된다. 이때, 이 공간은 약간 진공 상태가 되어, 대상물(16)을 반송구(10)에 의해 흡착, 유지한다.

즉, 제1 돌기(11a)와 제2 돌기(11b)의 정상부의 점성과 오목부(13)의 진공으로 대상물(16)을 유지할 수 있다.

대상물(16)을 떼어낼 때, 끝부를 조금 들어올리면, 간극(14)이 생기고, 진공 상태가 해제되어, 꺼내기 쉽다. 즉, 복수의 오목부(13)가 끝부로부터 서서히, 그 진공이 해제되어, 대상물(16)을 꺼내기 쉽다.

실시형태 2의 반송구(20)는 실시형태 1의 반송구(10)보다, 더욱 대상물(16)을 확실하게 유지할 수 있다.

(실시형태 3)

도 4(a)∼도 4(c)를 사용하여, 실시형태 3을 설명한다. 설명하지 않은 사항은 실시형태 1, 2와 동일하다.

도 4(a)는 실시형태 3의 돌기(11c)의 확대 측면도이다. 도 4(c)는 돌기(11c)의 확대 평면도이다. 도 4(b)는 돌기(11c) 위에 대상물(16)이 유지된 경우의 확대 측면도이다. 돌기(11c)는 실시형태 1 또는 2의 반송구의 돌기이다.

돌기(11c)는 원기둥 형상이며 정상부에 1개의 오목부(41)를 갖는다. 오목부(41)의 주위는 돌기 볼록부(11d)로 둘러싸인다. 원기둥 형상이 아니더라도 기둥 형상이면 된다. 오목부(41)의 깊이는 수 미크론, 1∼5μ이다. 돌기(11d)의 직경은 약 0.5mm∼1.5mm이다. 오목부(41)의 깊이가 깊으면, 공기가 오목부(41)와 대상물(16) 사이에 남아, 흡착성이 좋지 않다.

돌기(11c) 위에 대상물(16)이 유지되면, 돌기(11c)는 정상부의 돌기 볼록부(11d)가 변형하여, 돌기(11c)의 측면이 부풀어 올라, 돌기 측부(11e)가 생긴다. 이때, 돌기(11c)의 정상부는 보다 넓은 면으로 대상물(16)을 유지할 수 있다. 원기둥이 아니고 각기둥이어도 된다.

돌기(11c)는 실시형태 1, 2의 돌기로서 사용할 수 있다. 또한, 실시형태 1, 2와는 무관하게 단독으로 사용해도 된다.

실시형태 1, 2의 돌기에 실시형태 3의 돌기를 사용하면, 대상물(16)을 보다 유지할 수 있어 바람직하다.

(실시형태 4)

실시형태 4를 도 5(a)와 도 5(b)에서 설명한다. 기재하지 않은 사항은 상기의 실시형태와 동일하다.

도 5(a)는 대형 반송구(50)의 대상물(16)을 유지하고 있는 중의 측면도이다.

도 5(b)는 대형 반송구(50)의 평면도이다.

대상물(16)이 커지면, 상기 실시형태의 반송구(10, 20)를 크게 해도 되지만, 제작상의 문제, 비용면에서 바람직하지 않다.

그래서, 이 실시형태에서는, 복수의 반송구(30)를 사용한다. 반송구(30)는 상기 실시형태의 반송구 중 어느 하나이다. 복수 종류의 반송구를 사용해도 된다. 반송구(30)의 크기는 가로세로 10mm∼50mm의 면적으로 정방형, 장방형, 마름모꼴, 사다리꼴이어도 된다.

대형 반송구(50)는 반송대(17)와 반송구(30)를 포함한다.

반송대(17)는 금속판 등이며 운반용의 대좌이다.

반송구(30)는 상기 실시형태의 반송구 중 어느 1개 또는 복수이다.

대형 반송구(50)는, 그 표면에, 복수의 반송구(30)가 배치되어 있다. 복수의 반송구(30) 위에 대상물(16)이 놓이고, 대상물(16)이 유지되어 있다.

반송구(30)는, 대상물(16)에 대하여, 균등하게 배치되는 것이 바람직하다. 단, 반송구(30)를 주변부만 또는 끝부에만 배치해도 된다. 전체적으로 대상물(16)를 유지한다. 반송구(30)는 반송대(17)에 접착 고정되어 있다.

결과적으로, 반송구(30)를 크게 하지 않더라도, 대형 반송구(50)를 실현할 수 있다.

또한 도 5(c)의 평면도, 도 5(d)의 측면도에서 도시하는 반송구 유닛(51)을 사용할 수 있다. 반송구 유닛(51)은 반송구(30)를 복수 갖는다. 이것은, 반송구(30)를 제작할 때, 대좌(15)를 공통으로 하여 복수의 반송구(30)를 제작한 것이다. 반송구 유닛(51)으로 공급하고, 마크(52)를 따라 잘라, 복수의 반송구(30)로서 이용하는 것이다. 마크(52)는 반송구 유닛(51)의 제조시에 금형에 의해 설치할 수 있다. 마크(52)는 없어도 된다. 반송구 유닛(51)에 있어서, 반송구(30) 사이는 돌기가 없는 대좌(15)만의 평면이다.

반송구(30)는, 직접, 반송대(17)에 접착재 등으로 고정할 수 있다. 그러나, 반송구(30)를 일단 중간체에 접착재로 붙이고, 그 중간체를 나사 등 물리적으로 반송대(17)에 고정하는 것이 바람직하다. 반송구(30)는 정기적으로, 소모되어 교환되지만, 반송대(17)는 장기간 사용되므로, 장기간 사용할 수 있도록, 반송대(17)에 접착재 등을 직접 사용하지 않는 것이 바람직하다.

(전체로서)

상기 실시형태 1∼4는 조합할 수 있다.

대상물(16)은 유리 패널, 반도체칩, 렌즈, 웨이퍼 등이며, 한정되지 않는다.

본 발명의 반송구와 대형 반송구는 반도체, 디스플레이 등의 디바이스의 제조에 있어서, 대상물을 반송할 때 이용할 수 있다. 그 밖의 제품의 제조에서도 이용할 수 있다.

10, 20, 30 반송구
11, 11c 돌기
11a 제1 돌기
11b 제2 돌기
11d 돌기 볼록부
11e 돌기측부
13, 41 오목부
14 간극
15 대좌
16 대상물
17 반송대
30 반송구
50 대형 반송구
51 반송구 유닛
52 마크

Claims

대좌와,
상기 대좌의 표면에 배치된 복수의 기둥 형상의 돌기를 포함하고,
상기 복수의 기둥 형상의 돌기는 각각 정상부에 1개의 오목부를 갖고, 각각 그 정상부로부터의 가압으로 변형하여 측면 방향으로 균등하게 퍼지고,
상기 오목부는 흡착용이며,
상기 복수의 기둥 형상의 돌기는 그 정상부로부터의 가압으로 변형하여, 다른 4방향의 상기 기둥 형상의 돌기와 각각 접촉하는 것을 특징으로 하는 반송구.
대좌와,
상기 대좌의 표면에 배치된 복수의 기둥 형상의 돌기를 포함하고,
상기 복수의 기둥 형상의 돌기는 각각 정상부에 1개의 오목부를 갖고,
상기 복수의 기둥 형상의 돌기는 그 정상부로부터의 가압으로 변형하여, 상기 복수의 기둥 형상의 돌기 간에 접촉하고,
상기 가압에 의해, 상기 복수의 기둥 형상의 돌기로 주위가 둘러싸인 흡착하기 위한 오목부가 형성되는 것을 특징으로 하는 반송구.
대좌와,
상기 대좌의 표면에 배치된 복수의 기둥 형상의 돌기를 포함하고,
상기 복수의 기둥 형상의 돌기는 각각 정상부에 1개의 오목부를 갖고,
상기 복수의 기둥 형상의 돌기는 높이가 동일하고 단면적이 다른 복수의 제1 돌기와 제2 돌기를 포함하고,
상기 복수의 제1 돌기와 제2 돌기는 각각 그 정상부로부터의 가압으로 변형하여, 상기 제1 돌기는 4개의 상기 제2 돌기와 접촉하고, 상기 제2 돌기는 4개의 상기 제1 돌기와 접촉하는 것을 특징으로 하는 반송구.
제 3 항에 있어서,
상기 제1 돌기의 열과 상기 제2 돌기의 열이 있고, 상기 복수의 기둥 형상의 돌기는 지그재그 배열인 것을 특징으로 하는 반송구.
제 1 항에 있어서,
상기 복수의 기둥 형상의 돌기는 원기둥 형상인 것을 특징으로 하는 반송구.
제 1 항에 기재된 반송구 위에 대상물을 유지시켜, 상기 대상물을 반송하는 상기 대상물의 반송 방법.
상기 제 1 항에 기재된 반송구를 복수개 반송대 위에 겹치지 않게 하고, 상기 돌기를 표면으로 하여 배치한 대형 반송구.
제 7 항에 있어서,
상기 제 1 항에 기재된 반송구를 중간체에 접착하고, 상기 중간체에 물리적으로 유지하는 것을 특징으로 하는 대형 반송구.
상기 제 1 항에 기재된 반송구를 복수개 반송대 위에 겹치지 않게 하고, 상기 돌기를 표면으로 하여 배치한 대형 반송구를 사용하여, 제조의 대상물을 반송하는 반송 방법.
상기 제 1 항에 기재된 반송구의 복수개를 상기 대좌를 1개로 하여, 1개의 반송구로 한 반송구 유닛.