CN102870204B - 板状构件的移送装置及吸附垫 - Google Patents

板状构件的移送装置及吸附垫 Download PDF

Info

Publication number
CN102870204B
CN102870204B CN201180022261.8A CN201180022261A CN102870204B CN 102870204 B CN102870204 B CN 102870204B CN 201180022261 A CN201180022261 A CN 201180022261A CN 102870204 B CN102870204 B CN 102870204B
Authority
CN
China
Prior art keywords
projection
absorption layer
tabular component
screening glass
matrix
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201180022261.8A
Other languages
English (en)
Other versions
CN102870204A (zh
Inventor
小山范男
桥本隆志
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Electric Glass Co Ltd
Original Assignee
Nippon Electric Glass Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to JP2010130010 priority Critical
Priority to JP2010-130010 priority
Application filed by Nippon Electric Glass Co Ltd filed Critical Nippon Electric Glass Co Ltd
Priority to PCT/JP2011/062938 priority patent/WO2011155443A1/ja
Publication of CN102870204A publication Critical patent/CN102870204A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN102870204B publication Critical patent/CN102870204B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67784Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations using air tracks
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/061Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/063Transporting devices for sheet glass
    • B65G49/064Transporting devices for sheet glass in a horizontal position
    • B65G49/065Transporting devices for sheet glass in a horizontal position supported partially or completely on fluid cushions, e.g. a gas cushion
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/067Sheet handling, means, e.g. manipulators, devices for turning or tilting sheet glass
    • HELECTRICITY
    • H01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/6838Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping with gripping and holding devices using a vacuum; Bernoulli devices
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2249/00Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
    • B65G2249/04Arrangements of vacuum systems or suction cups
    • B65G2249/045Details of suction cups suction cups

Abstract

本发明提供一种板状构件的移送装置及吸附垫。所述板状构件的移送装置在利用经由吸附垫而作用的负压对作为板状构件的玻璃板(P)进行吸附保持的状态下,对板状构件进行移送,其中,吸附垫(30)在内表面具有突起(39),在对与玻璃板(P)的表面重合的保护片(B)进行吸附时,突起(39)贯通保护片(B),且在保护片的由突起形成的贯通部分的周围形成通气部(b1),经由该通气部将玻璃板(P)与保护片(B)一起进行吸附保持。

Description

板状构件的移送装置及吸附垫
技术领域
[0001] 本发明涉及对玻璃板、树脂板、将玻璃层与树脂层层叠而构成的层叠体板、金属板等板状构件进行移送的移送装置及该装置用的吸附垫,更详细而言,涉及用于将带有保护片的板状构件与保护片一起移送的移送装置及吸附垫。
背景技术
[0002] 例如,在液晶显示器、等离子体显示器等图像显示设备用显示面板的制作中使用的玻璃基板、作为电子显示功能元件或薄膜形成用的基材而使用的玻璃基板、建筑结构物用的玻璃板材等(以下,将它们统称为玻璃板)在制造、搬运、保管等工序中被向规定的位置移送。在该移送中,利用吸附垫来吸附玻璃板并利用移动机构使该吸附垫向规定位置移动这种类型的移送装置被广泛使用。与真空源连接的吸附垫在紧贴于玻璃板的状态下使垫内成为负压,由此来吸附玻璃板。
[0003] 另一方面,为了防止加工后的伤痕或污垢,或者为了防止在向捆包托盘装载时因玻璃板彼此的接触而产生的擦伤,玻璃板大多在由纸、合成树脂等保护片(日本纸)覆盖表面的状态下被移送。而且,平板显示器用的玻璃板隔着保护片由吸附垫吸附,以免留下吸附垫的接触痕。这些情况下,吸附垫的负压都首先作用于保护片,因此需要隔着保护片来吸附玻璃板。
[0004] 在使用例如纸等具有通气性的保护片时,能够通过保护片而使吸附力作用于玻璃板。例如,在专利文献1、2及3所记载的移送装置中,通过使用多孔质等具有通气性的保护片,来使负压作用于玻璃板。然而,这些情况下,保护片的材质受限定。特别是将层叠在捆包托盘上的玻璃板利用卡车等进行移送时,由于振动而玻璃板有时会发生错动,因此作为保护片,多使用具有缓冲性且难以发生错动的发泡树脂片,这种情况下,无法隔着保护片来吸附玻璃板。
[0005] 关于此,在专利文献4所记载的装置中,先利用吸附垫仅对作为保护片来使用的发泡树脂片进行吸附,使发泡树脂片的面与针状或刀状的突刺构件接触,由此形成切口而具有通气性。然后,将该保护片移动到玻璃板上,使吸附垫紧贴在切口形成位置来进行吸弓丨,由此使负压作用于玻璃板。根据该装置,无论保护片的材质如何,都能够使负压可靠地作用于玻璃板。然而,需要经过先仅对保护片进行吸附来形成切口这样的工序,存在工序和装置复杂化的缺点。
[0006]【在先技术文献】
[0007]【专利文献】
[0008]【专利文献1】日本特开2004_136926 (段落0009)
[0009]【专利文献2】日本实公昭60-11860(第2栏)
[0010]【专利文献3】日本特开2004-153157(段落0013)
[0011]【专利文献4】日本特开2005-75482(段落0041〜0045)
发明内容
[0012] 因此,本发明目的在于提供一种能够简便且可靠地进行经由保护片的对玻璃板等板状构件的吸附的移送装置及其使用的吸附垫。
[0013] 为了实现所述目的,本发明提供一种板状构件的移送装置,在利用经由吸附垫而作用的负压对板状构件进行吸附保持的状态下,对所述板状构件进行移送,其特征在于,所述吸附垫在其内表面具有突起,在利用负压对与所述板状构件的表面重合的保护片进行吸附时,所述突起贯通所述保护片,且在所述保护片的由所述突起形成的贯通部分的周围形成通气部,利用经由该通气部而作用于所述板状构件的负压,将所述板状构件与所述保护片一起进行吸附保持。
[0014] 该移送装置如上述那样,吸附垫在其内表面具有突起,在利用负压对玻璃板等板状构件的表面的保护片进行吸附时,突起贯通保护片。伴随于此,在保护片的由突起形成的贯通部分的周围形成通气部,吸附垫利用经由该通气部而作用于板状构件的负压,将板状构件与保护片一起进行吸附保持。因此,通过在垫内表面设置突起并利用负压而通过该突起在保护片上形成通气部这样简单的结构,就能够简便且可靠地进行经由保护片的对玻璃板的吸附。
[0015] 也可以构成为,所述突起在其表面具有沿着突出方向延伸的切刃。该切刃在保护片由吸附垫吸附时,贯通该保护片,而在贯通部分的周围可靠地形成通气部。
[0016] 也可以构成为,所述突起呈多棱锥形状,该多棱锥形状的棱线构成所述切刃。由此,形成于保护片的孔通过从多棱锥的棱线沿着放射方向延伸的切痕而产生通气部。尤其是由于该切痕在因吸引而延展的保护片上以较长延伸的方式形成,因此能够使吸引力更有效地作用于板状构件。
[0017] 也可以构成为,所述吸附垫具备与真空源连接的基体部和从该基体部呈碗状延伸而形成开口端面的裙部,所述突起设置在所述基体部。如此设置于基体部的突起位于碗状的裙部的里端。因此,在基于负压的吸引时,能够可靠地防止板状构件与突起接触的情况。尤其是在裙部伴随着吸引而向板状构件侧发生弹性变形时,该点有效。
[0018] 也可以构成为,所述吸附垫具备与真空源连接的基体部和从该基体部呈碗状延伸而形成开口端面的裙部,所述突起设置在所述基体部与所述裙部的边界附近。被吸引的保护片以大致沿着裙部及基体部的方式变形而到达突起。另一方面,在裙部伴随着吸引而发生弹性变形时,在接近基体部的基端部侧变形量小,因此板状构件难以到达裙部与基体部的边界附近,从而可靠地防止板状构件与突起的接触。
[0019] 也可以构成为,所述吸附垫具备从其内表面向开口端面侧延伸的限动件,该限动件超过所述突起的前端部且延伸到比所述开口端面更靠跟前侧的位置。若使用该吸附垫,则在吸附保护片时,即使裙部发生挠曲而板状构件接近突起,也通过板状构件与限动件抵接,由此板状构件向突起侧的进一步的移动受到限制,因此能可靠地防止板状构件与突起接触而受到损伤的情况。
[0020] 也可以构成为,所述突起为金属制。由此,在基于吸附垫的吸附时,贯通保护片的切削性良好,而且能长期维持良好的切削性。
[0021] 为了实现所述目的,本发明提供一种吸附垫,与产生负压的真空源连通,其特征在于,在垫内表面具有突起,该突起在其表面具有沿着突出方向延伸的切刃。
[0022] 如此,由于吸附垫在其内表面具有突起,因此在保护片与板状构件的表面重合的情况下,突起贯通吸附着的保护片。伴随于此,在保护片的由突起形成的贯通部分的周围形成通气部,吸附垫利用经由该通气部而作用于板状构件的负压,将板状构件与保护片一起进行吸附保持。因此,通过在垫内表面设置突起并利用负压而通过该突起在保护片上形成通气部这样简单的结构,就能够简便且可靠地进行经由保护片的对板状构件的吸附。
[0023] 也可以构成为,所述突起呈多棱锥形状,该多棱锥形状的棱线构成所述切刃。由此,形成于保护片的孔通过从多棱锥的棱线沿着放射方向延伸的切痕而产生通气部。尤其是由于该切痕在因吸引而延展的保护片上以较长延伸的方式形成,因此能够使吸引力更有效地作用于板状构件。
[0024]【发明效果】
[0025] 如上述那样,根据本发明,提供一种能够简便且可靠地进行经由保护片的对玻璃板等板状构件的吸附的移送装置及其使用的吸附垫。
附图说明
[0026] 图1是简要表示本发明的移送装置的一实施方式的主视图。
[0027] 图2是表示图1所示的移送装置中的吸附垫的纵向剖视图。
[0028] 图3是图2所示的吸附垫的仰视图。
[0029] 图4是表示图2所示的吸附垫的使用状态的纵向剖视图。
[0030] 图5是表示图4的使用状态下的保护片的穿孔形态的仰视图。
[0031] 图6(la)是表示图2的吸附垫所使用的突起的形态的图。
[0032] 图6(lb)是表示图2的吸附垫所使用的突起的另一形态的图。
[0033] 图6(2a)是表示图2的吸附垫所使用的突起的另一形态的图。
[0034] 图6(2b)是表示图2的吸附垫所使用的突起的另一形态的图。
[0035] 图6(3a)是表示图2的吸附垫所使用的突起的另一形态的图。
[0036] 图6(3b)是表示图2的吸附垫所使用的突起的另一形态的图。
[0037] 图7是表示本发明的吸附垫的另一实施方式的纵向剖视图。
[0038] 图8是图7所示的吸附垫的仰视图。
[0039] 图9(a)是表示吸附垫的另一方式的纵向剖视图。
[0040] 图9(b)是表示吸附垫的另一方式的纵向剖视图。
[0041] 图9(c)是表示吸附垫的另一方式的纵向剖视图。
[0042] 图9(d)是表示吸附垫的另一方式的纵向剖视图。
[0043] 图10(a)是表示吸附垫的又一方式的纵向剖视图。
[0044] 图10(b)是表示吸附垫的又一方式的纵向剖视图。
[0045] 图10(c)是表示吸附垫的又一方式的纵向剖视图。
具体实施方式
[0046] 以下,参照附图,说明本发明的实施方式。对于附图中的同一或同类的部分,标注相同符号而省略一部分说明。
[0047] 图1是简要表示本发明的移送装置的一实施方式的主视图。该移送装置具备由轨道10支承的移动机构1和与该移动机构1结合的吸附装置3。
[0048] 移动机构1具备:沿着轨道10滑动的滑动部11 ;与该滑动部结合而能够绕着铅垂轴线转动的回旋部12 ;与该回旋部结合而沿着上下方向伸缩的升降部13 ;与该升降部的下端部结合而绕着水平轴线转动的第一臂14 ;与该第一臂结合,在前端部支承吸附装置3且绕着水平轴线转动的第二臂15。
[0049] 轨道10架设于顶棚等,在需要移送板状构件、例如玻璃板P的台架间延伸。滑动部11、回旋部12、升降部13、第一臂14、第二臂15例如分别借助内置的电动机等驱动机构来进行规定的动作。由于可以适用公知的各种结构,因此在此省略详细的说明。而且,作为移动机构,除了支承于轨道的形态之外,可以形成为在设置于地板面上的回旋臂上支承摆动臂的形态、机械臂状的形态等各种形态。
[0050] 在各台架上,玻璃板P可以为单体或层叠、水平、垂直、倾斜等任一种设置状态。而且,玻璃板P与保护片重合以进行表面保护等。保护片(所谓日本纸)为发泡树脂片等合成树脂、纸等。保护片B优选具有伸缩性。由此,在后述的吸附垫进行吸附时,保护片不会成为褶皱而容易仿照垫内表面进行变形,从而能够通过突起可靠地形成贯通孔。
[0051] 吸附装置3具备:由第二臂15的前端部支承的支承板31 ;安装在该支承板上的多个吸附垫30 ;—端与支承板31连接且另一端经由滑动部11与图外的真空源连接的吸引软管33。
[0052] 在本实施方式中,支承板31形成为比需要移送的玻璃板略小的尺寸的平板状,且在内部形成有通气路(未图示)。通气路从吸引软管33的连接部34向各吸附垫30延伸。
[0053] 如图2的纵向剖视图、图3的仰视图所示,吸附垫(吸附头)30具备基体部35和从该基体部呈碗状延伸的裙部37。基体部35具备:基体主体351 ;从该基体主体延伸且与支承板31的通气路连接的转接器(adapter) 352。在转接器352形成有用于传递作用于通气路的负压的通孔352a,在基体主体351形成有与通孔352a连通的贯通孔351a。在转接器352的外周面形成有螺纹部,在该螺纹部螺合有螺母353。吸附垫30通过将转接器352插入到支承板31等垫安装板(托架)的贯通孔内并紧固螺母353来安装。
[0054] 裙部37由硅、NBR等挠性材料形成,从基体主体351呈碗状延伸,且在与基体主体351相反的一侧形成有开口端面371。基体主体351及裙部37形成用于吸附垫30作用吸引力的凹陷状内表面38。
[0055] 在本实施方式中,裙部37形成为从基体部35侧向开口端面371侧呈钟状扩径的形状。由此,在紧贴于保护片时,前端部容易挠曲,裙部内的负压维持变得可靠。而且,也可以取而代之,而如图9(d)所示,裙部37形成为在基体部35侧在平面上延伸且大致同径地延伸至开口端面371的筒状。这种情况下,为了提高与保护片的密接性,而优选在前端部设置富于挠性的垫372。
[0056] 吸附垫30还具备穿孔用的突起39。突起39从凹陷状内表面38朝向开口端面371延伸。该突起39具有锐利的前端部391,其基端部固接在基体部35。该固接可以通过粘接、热粘、螺纹紧固等来进行,粘接可以使用例如氰基丙烯酸酯系瞬间粘接剂、环氧系粘接剂、两液混合丙烯酸系粘接剂等。或者可以在基体主体351及裙部37的成形时镶嵌成形出突起39。突起39优选为超硬合金等硬度高的金属制,以维持保护片穿孔的良好的切削性。
[0057] 突起39形成为异形截面形状以防形成于保护片的孔的周缘部分与突起周面整体密接,在本实施方式中,如图6(la)、(lb)所示那样形成为三棱锥状。也可以取代这种情况而形成为图6 (2a)、(2b)所示的四棱锥状等其他的多棱锥状。形成为多棱锥状时,如这些图所示,锥面392优选形成为比将相邻的棱线连结的平面凹陷的凹状。由此,容易形成后述的通气部,经由保护片的吸引力更有效地作用于玻璃板。
[0058] 在图示的实施方式中,例如,裙部37将外径设为50〜150mm,将高度设为5〜20mm,这种情况下,突起39可以将高度设为5〜10mm,并将基端部的直径设为2〜5mm。
[0059] 突起39还可以如图6(3a)、(3b)所示形成为圆锥状,且在圆形截面的局部设有通气部形成用的槽393。就简单的圆锥状的突起来说,保护片的孔周缘部分容易与突起周面整体密接,其结果是,吸附垫的负压有时未充分地作用于玻璃板。相对于此,就设有槽393的突起39来说,即使保护片与周面密接也会与槽393之间产生间隙,因此将该间隙作为通气部而使负压到达玻璃板。
[0060] 该移送装置如下使用。首先,沿着轨道10使移动机构1到达规定的拾取位置。图1表示对斜靠在拾取位置的玻璃板进行吸附的状态。对移动机构1进行操作,使吸附垫30紧贴在覆盖玻璃板P的保护片B上。并且,从图外的真空源通过吸引软管33及支承板31使负压作用于吸附垫30。由此,如图4所示,保护片B被向吸附垫30的凹陷状内表面38侧吸引。并且,保护片B被吸引得超过突起39的前端部391,由此在保护片B上形成穿孔b0。而且,由突起39形成的三角形的穿孔b0通过从各顶点(多棱锥的棱线)沿着放射方向延伸的切痕而产生通气部bl。尤其是由于保护片B以夹持在裙部37与玻璃板P之间的状态被吸引而延展,因此通气部(切痕)bl以较长延伸的方式形成。通气部bl贯通保护片B的表背面而形成,其结果是,吸引力有效地作用于玻璃板。但是,当突起39为五棱锥以上的多棱锥时,穿孔b0的周缘部分容易与突起周面整体密接,而且,难以形成通气部bl,根据保护片的材质等的不同,存在无法获得充分的空气流的情况。
[0061] 当这样进行吸引时,来自真空源的负压通过穿孔b0及通气部bl而作用于玻璃板P,玻璃板P由吸附垫30吸附。在该状态下,若通过移动机构1使吸附装置3向规定的位置移动,并在移动后解除来自真空源的负压,则能够将玻璃板P与保护片B —起设置在规定位置。该设置可以为单体或层叠、水平、垂直、倾斜等的任一种。吸附垫的吸引力即使在保护片存在些许的褶皱的情况下,也能通过穿孔b0等而到达玻璃板,因此能够进行可靠的吸附。如此,吸附垫的吸引力可靠地作用于玻璃板,其结果是,能够防止移送中的玻璃板的落下等事故。
[0062] 图7及图8表示本发明的移送装置的另一实施方式。该移送装置中的吸附垫30具备从凹陷状内表面38向开口端面371侧延伸的限动件36。如图8所示,限动件36呈圆柱状且设置在基体部35的四个部位,分别超过突起39的前端部391而延伸到比开口端面371更靠跟前侧的位置。
[0063] 若使用该吸附垫30,则在吸附保护片B时,即使裙部37发生挠曲而玻璃板P接近突起39,玻璃板P在与限动件36抵接时也会被限制向突起39侧的进一步的移动,因此能够防止玻璃板P与突起39接触而受到损伤的情况。
[0064] 限动件36除了如图示那样分散配置多个之外,也可以形成为圆状、多边形形状等连续或断续的环状。而且,突起39除了设置在限动件36的配置区域的内部之外,也可以设置在外部。在该实施方式中,突起39与基体部35中的贯通孔351a的壁面粘接。
[0065] 以上,对本发明的一实施方式进行了说明,但本发明并未限定于此,只要不脱离其主旨就能够进行各种变更。例如,穿孔用的突起39如图9例示那样可以设置在凹陷状内表面38的各种部位。图9 (a)表示在裙部37的位置设有突起39的状态,图9 (b)表示在基体部35的位置设有突起39的状态,图9(c)表示在基体部35中的转接器352的位置设有突起39的状态,图9(d)表示在从基体部端面后退的转接器352的位置设有突起39的状态。转接器352通常为金属制,因此能够钎焊突起39。而且,也可以一体地进行机械加工来形成转接器352和突起39。
[0066] 突起可以设置多个。图10表示设有两个突起39的例子,图10(a)表示在裙部37和基体部35的位置设有突起39的状态,图10(b)表示在基体部35的位置设有突起39的状态,图10(c)表示在裙部37的位置设有突起39的状态。这样,通过设置多个突起39,能够通过形成于保护片的穿孔而获得更多的空气流,从而能够实现操作的迅速性。
[0067] 在上述实施方式中,示出了使用多个吸附垫来吸附一张玻璃板的例子,根据玻璃板的尺寸的不同,一张玻璃板可以由一个或两个〜几个吸附垫来吸附。而且,在上述实施方式中,以玻璃板P为移送对象物,但移送对象物也可以是树脂板、将玻璃层与树脂层层叠而构成的层叠体板、金属板等板状构件。
[0068]【符号说明】
[0069] 1:移动机构
[0070] 3:吸附装置
[0071] 30:吸附垫
[0072] 35:基体部
[0073] 36:限动件
[0074] 37:裙部
[0075] 38:凹陷状内表面
[0076] 39:突起
[0077] 371:开口端面
[0078] B:保护片
[0079] P:玻璃板
[0080] bO:穿孔
[0081] bl:切痕

Claims (6)

1.一种板状构件的移送装置,在利用经由吸附垫而作用的负压对板状构件进行吸附保持的状态下,对所述板状构件进行移送,其特征在于, 所述吸附垫在其内表面具有突起,该突起呈多棱锥形状,该多棱锥形状的棱线构成切刃,且该多棱锥形状的各锥面分别形成为比将相邻的所述棱线连结的平面凹陷的凹状,在利用负压对与所述板状构件的表面重合的保护片进行吸附时,所述突起贯通所述保护片,且在所述保护片的由所述突起形成的贯通部分的周围形成通气部,利用经由该通气部而作用于所述板状构件的负压,将所述板状构件与所述保护片一起进行吸附保持。
2.根据权利要求1所述的板状构件的移送装置,其特征在于, 所述吸附垫具备与真空源连接的基体部和从该基体部呈碗状延伸而形成开口端面的裙部,所述突起设置在所述基体部。
3.根据权利要求1所述的板状构件的移送装置,其特征在于, 所述吸附垫具备与真空源连接的基体部和从该基体部呈碗状延伸而形成开口端面的裙部,所述突起设置在所述基体部与所述裙部的边界附近。
4.根据权利要求1所述的板状构件的移送装置,其特征在于, 所述吸附垫具备从其内表面向开口端面侧延伸的限动件,该限动件超过所述突起的前端部且延伸到比所述开口端面更靠跟前侧的位置。
5.根据权利要求1所述的板状构件的移送装置,其特征在于, 所述突起为金属制。
6.一种吸附垫,与产生负压的真空源连通,其特征在于, 在所述吸附垫的内表面具有突起,该突起呈多棱锥形状,该多棱锥形状的棱线构成切刃,且该多棱锥形状的各锥面分别形成为比将相邻的所述棱线连结的平面凹陷的凹状。
CN201180022261.8A 2010-06-07 2011-06-06 板状构件的移送装置及吸附垫 Active CN102870204B (zh)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010130010 2010-06-07
JP2010-130010 2010-06-07
PCT/JP2011/062938 WO2011155443A1 (ja) 2010-06-07 2011-06-06 板状部材の移送装置及び吸着パッド

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN102870204A CN102870204A (zh) 2013-01-09
CN102870204B true CN102870204B (zh) 2016-02-03

Family

ID=45098050

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201180022261.8A Active CN102870204B (zh) 2010-06-07 2011-06-06 板状构件的移送装置及吸附垫

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JP5803670B2 (zh)
KR (1) KR102043656B1 (zh)
CN (1) CN102870204B (zh)
TW (2) TWI516429B (zh)
WO (1) WO2011155443A1 (zh)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6470331B2 (ja) * 2017-03-13 2019-02-13 株式会社東芝 把持ツール、把持システム、および把持性能の評価方法
JP6353969B1 (ja) * 2017-11-29 2018-07-04 株式会社ユー・エム・アイ 搬送具と搬送方法と搬送具ユニット
CN111470317B (zh) * 2020-04-13 2021-09-07 广州大学 一种具有自清洁吸盘机械手的餐具分拣机
KR102279857B1 (ko) * 2020-10-08 2021-07-22 (주)하이엠시 초경합금을 접합한 디젤 엔진용 타펫의 개량된 제조방법

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1947226A (zh) * 2004-04-23 2007-04-11 琳得科株式会社 吸附装置

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5930703Y2 (zh) * 1979-10-18 1984-09-01
JPS6011860U (zh) 1983-07-05 1985-01-26
JPH01264798A (en) * 1988-04-11 1989-10-23 San Pearl:Kk Manufacture of container with fine holes
JPH0513911U (ja) * 1991-06-07 1993-02-23 三菱マテリアル株式会社 ホツパー用袋カツター
JP3297019B2 (ja) * 1999-03-12 2002-07-02 信越化学工業株式会社 真空吸着方法及び真空吸着装置
JP2004136926A (ja) 2002-10-17 2004-05-13 Nippon Sheet Glass Co Ltd 合紙付き湾曲ガラス板の移載方法および合紙付き湾曲ガラス板の移載装置
JP2004153157A (ja) 2002-10-31 2004-05-27 Seiko Epson Corp 真空ピンセット及び半導体ウェハ搬送方法
JP2005075482A (ja) 2003-08-28 2005-03-24 Nippon Electric Glass Co Ltd ガラス板梱包方法及びガラス板梱包装置
WO2007059122A1 (en) * 2005-11-14 2007-05-24 Heat Wave Technologies Llc Self-heating container

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1947226A (zh) * 2004-04-23 2007-04-11 琳得科株式会社 吸附装置

Also Published As

Publication number Publication date
WO2011155443A1 (ja) 2011-12-15
CN102870204A (zh) 2013-01-09
JPWO2011155443A1 (ja) 2013-08-01
TW201604109A (zh) 2016-02-01
TW201200443A (en) 2012-01-01
TWI516429B (zh) 2016-01-11
KR102043656B1 (ko) 2019-11-12
KR20130086114A (ko) 2013-07-31
JP5803670B2 (ja) 2015-11-04
TWI530447B (zh) 2016-04-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102870204B (zh) 板状构件的移送装置及吸附垫
KR20120046084A (ko) 기판 반송용 핸드 및 그것을 구비한 기판 반송 장치
CN204997683U (zh) 一种真空吸盘和带有真空吸盘的机械手
CN205166195U (zh) 真空吸附装置
JP2013055307A (ja) 剥離装置、及び電子デバイスの製造方法
CN105223712A (zh) 一种用于基板外接电路绑定的装置、压接系统及绑定方法
CN107139568A (zh) 一种面板贴合装置及其处理方法
CN102758831A (zh) 真空吸附装置
KR20160043688A (ko) 자유변형 흡착척
CN205705637U (zh) 一种面板贴合装置
KR101712595B1 (ko) 라미네이팅 장치 및 라미네이팅 방법
CN205870260U (zh) 玻璃研磨机
CN205364764U (zh) 贴膜装置
CN105500391A (zh) 真空吸附头及使用其的真空吸附装置
CN204479873U (zh) 贴合治具
JP2016011210A (ja) 積層体の剥離装置及び剥離方法並びに電子デバイスの製造方法
CN1527108A (zh) 液晶面板定位吸附装置
JP6471606B2 (ja) 積層体の剥離装置及び剥離方法並びに電子デバイスの製造方法
CN105035761B (zh) 脆性材料基板的搬送方法及搬送装置
JP6468462B2 (ja) 積層体の剥離装置及び剥離方法並びに電子デバイスの製造方法
JP6354945B2 (ja) 積層体の剥離装置及び剥離方法並びに電子デバイスの製造方法
CN106041718A (zh) 玻璃研磨机及其使用方法
JP2016001733A (ja) 積層体の剥離装置及び剥離方法並びに電子デバイスの製造方法
KR20190045971A (ko) 합착기
CN206357257U (zh) 一种吸嘴结构

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
C06 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C10 Entry into substantive examination
GR01 Patent grant
C14 Grant of patent or utility model