JP2014101192A - 吸着保持装置、吸着保持装置による被搬送物の吸着保持方法及びプログラム - Google Patents
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Abstract
【課題】 吸着ノズルの被搬送物に対する安定した吸着保持状態を確保すると共に被搬送物の反りを矯正して高い平面性を確保する。
【解決手段】 被搬送物を搬送する搬送機構と、上下に貫通されたノズル挿入孔を有し上面が搬送機構によって搬送された被搬送物が載置される載置面として形成されたテーブルと、少なくとも一部がノズル挿入孔に挿入された状態で被搬送物を下方から吸着して被搬送物を載置面に引き付ける吸着ノズルとを備え、吸着ノズルの上端部に、吸着時に弾性変形された状態で被搬送物に密着される吸着パッドが設けられ、吸着ノズルが上下方向へ移動可能とされ吸着パッドの少なくとも一部が載置面から上方へ突出可能とされた。
【選択図】 図11
【解決手段】 被搬送物を搬送する搬送機構と、上下に貫通されたノズル挿入孔を有し上面が搬送機構によって搬送された被搬送物が載置される載置面として形成されたテーブルと、少なくとも一部がノズル挿入孔に挿入された状態で被搬送物を下方から吸着して被搬送物を載置面に引き付ける吸着ノズルとを備え、吸着ノズルの上端部に、吸着時に弾性変形された状態で被搬送物に密着される吸着パッドが設けられ、吸着ノズルが上下方向へ移動可能とされ吸着パッドの少なくとも一部が載置面から上方へ突出可能とされた。
【選択図】 図11
Description
本発明は、搬送機構によって搬送される被搬送物を吸着する吸着ノズルを備えた吸着保持装置、この吸着保持装置による被搬送物の吸着保持方法及びこの吸着保持装置において動作処理を行わせるプログラムについての技術分野に関する。
被搬送物、例えば、基板やパネル等が搬送機構によって搬送され、搬送された被搬送物を所定の状態に吸着保持する吸着保持装置があり、吸着保持装置には、被搬送物を吸着する手段として吸着パッドを有する吸着ノズルが用いられたものがある(例えば、特許文献1及び特許文献2参照)。
このような吸着保持装置においては、吸着ノズルによって被搬送物が吸着保持された状態において、被搬送物である基板やパネル等に、例えば、印刷ヘッドによる印刷、穴開け処理やダイシング等の加工、電子部品の実装等の所定の処理が施される。
従って、吸着保持装置にあっては、印刷ヘッドによる印刷等の所定の処理が適正に行われるようにするために、吸着ノズルの被搬送物に対する安定した吸着保持状態を確保する必要があると共に被搬送物の反りを矯正して高い平面性を確保する必要がある。
ところが、特許文献1に記載された吸着保持装置にあっては、複数の吸着ノズルが上下方向へ移動され各吸着パッドがそれぞれ必要な位置において被搬送物に密着されるため、被搬送物の変形状態に拘わらず被搬送物に対する安定した吸着保持状態を確保することが可能であるが、被搬送物を反りが生じた状態で吸着するため被搬送物の高い平面性は確保されない。
一方、特許文献2に記載された吸着保持装置にあっては、吸着パッドを有する吸着機構に吸着された被搬送物が搬送機構の上面に引き付けられるため、被搬送物の高い平面性を確保することが可能であるが、吸着機構が搬送機構に設けられているため搬送時の振動等によって吸着状態の安定性が損なわれるおそれがある。
そこで、本発明吸着保持装置、吸着保持装置による被搬送物の吸着保持及びプログラムは、吸着ノズルの被搬送物に対する安定した吸着保持状態を確保すると共に被搬送物の反りを矯正して高い平面性を確保することを課題とする。
吸着保持装置は、上記した課題を解決するために、被搬送物を搬送する搬送機構と、上下に貫通されたノズル挿入孔を有し上面が前記搬送機構によって搬送された前記被搬送物が載置される載置面として形成されたテーブルと、少なくとも一部が前記ノズル挿入孔に挿入された状態で前記被搬送物を下方から吸着して前記被搬送物を前記載置面に引き付ける吸着ノズルとを備え、前記吸着ノズルの上端部に、吸着時に弾性変形された状態で前記被搬送物に密着される吸着パッドが設けられ、前記吸着ノズルが上下方向へ移動可能とされ前記吸着パッドの少なくとも一部が前記載置面から上方へ突出可能とされたものである。
吸着保持装置による被搬送物の吸着保持方法は、上記した課題を解決するために、上記した吸着保持装置において、前記吸着ノズルが上方へ移動されて前記吸着パッドの少なくとも一部が前記載置面から上方へ突出され、前記搬送機構によって搬送された前記被搬送物が前記吸着パッドに接触され、前記吸着ノズルによって前記被搬送物が吸着され前記吸着パッドが弾性変形された状態で前記被搬送物に密着され前記被搬送物が前記載置面に引き付けられるものである。
プログラムは、上記した課題を解決するために、上記した吸着保持装置の制御手段に、前記吸着ノズルを上方へ移動させて前記吸着パッドの少なくとも一部を前記載置面から上方へ突出させる処理と、前記搬送機構によって搬送した前記被搬送物を前記吸着パッドに接触させる処理と、前記吸着ノズルによって前記被搬送物を吸着させ前記吸着パッドを弾性変形させた状態で前記被搬送物に密着させ前記被搬送物を前記載置面に引き付ける処理とを実行させるようにしたものである。
従って、吸着保持装置、吸着保持装置による被搬送物の吸着保持方法及びプログラムにあっては、吸着時に吸着ノズルの吸着パッドが弾性変形された状態で被搬送物に密着されて被搬送物が載置面に引き付けられる。
本発明にあっては、吸着ノズルの被搬送物に対する安定した吸着保持状態を確保することができると共に被搬送物の反りを矯正して高い平面性を確保することができる。
以下に、本発明を実施するための形態を添付図面を参照して説明する。
以下に示した実施の形態は、本発明吸着保持装置を、基板を吸着して保持する装置に適用し、本発明吸着保持装置による被搬送物の吸着保持方法を、基板を吸着して保持する装置による被搬送物の吸着保持方法に適用し、本発明プログラムを、基板を吸着して保持する装置におけるプログラムに適用したものである。
但し、本発明の適用範囲は、これらの基板を吸着して保持する装置等に限られることはない。本発明吸着保持装置は、基板以外の被搬送物、例えば、パネル、ディスプレイ、電子部品等の各種の部品等の電子機器等に設けられ高い平面性が必要とされる各種の部材を搬送して吸着保持する各種の吸着保持装置、これらの吸着保持装置による被搬送物の吸着保持方法及びこれらの吸着保持装置におけるプログラムに広く適用することが可能である。
尚、以下に示す吸着保持装置等の説明においては、被搬送物の搬送方向を左右方向として前後上下左右の方向を示すものとする。但し、以下に示す前後上下左右の方向は説明の便宜上のものであり、本発明の実施に関しては、これらの方向に限定されることはない。また、以下には、必要に応じて左右方向をX方向とし、前後方向をY方向とし、上下方向をZ方向として説明を行う。
<吸着保持装置の構造>
先ず、吸着保持装置1の構造について説明する(図1乃至図7参照)。
先ず、吸着保持装置1の構造について説明する(図1乃至図7参照)。
吸着保持装置1はガイド機構2とヘッド機構3と検出機構4と搬送機構5と保持機構6を備えている(図1及び図2参照)。ガイド機構2はヘッド機構3と検出機構4をX方向(左右方向)、Y方向(前後方向)及びZ方向(上下方向)へ案内する機構であり、搬送機構5は被搬送物100、例えば、基板をX方向へ搬送する機構であり、保持機構6は搬送機構5によって搬送された被搬送物100を吸着保持する機構である。
ガイド機構2はヘッド機構3、検出機構4、搬送機構5及び保持機構6を後方及び左右から囲む位置に配置され、後側に位置されたX方向ガイド7と左右両側にそれぞれ位置されたY方向ガイド8、8とX方向ガイド7の前端部に支持されたZ方向ガイド9とを有している。
X方向ガイド7は左右に延び、前端部がガイドレール部7aとして設けられ、左右両端部がそれぞれ被ガイド部7b、7bとして設けられている。
Y方向ガイド8、8は前後に延びる状態で設けられている。Y方向ガイド8、8にはそれぞれX方向ガイド7の被ガイド部7b、7bが摺動自在に支持され、X方向ガイド7がY方向ガイド8、8に案内されて前後方向へ移動される。
Z方向ガイド9は被案内部9aと被案内部9aの前面に設けられた案内レール部9b、9bとを有している。Z方向ガイド9は被案内部9aがX方向ガイド7のガイドレール部7aに摺動自在に支持され、ガイドレール部7aに案内されて左右方向へ移動される。案内レール部9b、9bは左右に離隔して位置され上下に延びる状態で設けられている。
ヘッド機構3は機構ケース3aと機構ケース3aの内部に設けられた印刷ヘッド3bと機構ケース3aの後面に設けられた被案内突部3c、3cとを有している。印刷ヘッド3bは、例えば、インクジェットプリンタヘッドであり、被搬送物100である基板上に所定の印刷を施す機能を有している。ヘッド機構3は被案内突部3c、3cがそれぞれZ方向ガイド9の案内レール部9b、9bに摺動自在に支持され、案内レール部9b、9bに案内されて上下方向へ移動される。
検出機構4はヘッド機構3における機構ケース3aの一方の側面に取り付けられている。ヘッド機構3と検出機構4は一体になって左右方向、前後方向及び上下方向へ移動される。ヘッド機構3と検出機構4は、X方向ガイド7に対してZ方向ガイド9が左右方向へ移動されることによりZ方向ガイド9と一体になって左右方向へ移動され、Y方向ガイド8、8に対してX方向ガイド7が前後方向へ移動されることによりX方向ガイド7に支持されたZ方向ガイド9と一体になって前後方向へ移動され、Z方向ガイド9に対して上下方向へ移動される。
検出機構4は機構ケース3aに取り付けられたブラケット10とブラケット10に取り付けられた所定の各部とから成る(図3参照)。
ブラケット10は前後に延びる形状に形成されたベース部10aとベース部10aの前端部から下方へ突出された照明支持部10bとベース部10aの前端寄りの位置から上方へ突出されたカメラ取付部10cとベース部10aの長手方向における中央部から下方へ突出されたセンサー取付部10dとを有している。
ベース部10aの長手方向における略中央部にはプッシャー11が取り付けられている。プッシャー11はベース部10aから下方へ突出するように設けられ、支持筒部11aと支持筒部11aに対して上下方向へ移動可能とされた軸部11bと軸部11bの下端に連続して設けられた押圧部11cとを有し、支持筒部11aがベース部10aの下面に取り付けられている。
照明支持部10bには照明12が回動自在に支持され、カメラ取付部10cには位置検出用カメラ13が取り付けられている。位置検出用カメラ13は被搬送物100、例えば、基板が搬送機構5によって所定の位置に搬送されたときに、被搬送物100の位置を検出するために、例えば、四つの角部の位置を撮影する。このとき照明12が必要に応じて回動され、照明12から被搬送物100の角部に照明光が照射される。
センサー取付部10dには高さ検出センサー14が取り付けられている。高さ検出センサー14は、例えば、レーザー変位計であり、被搬送物100の各部における高さを検出する機能を有している。
搬送機構5は保持機構6の左方から右方へ亘るように位置され(図4及び図5参照)、上下方向へ移動可能とされている。搬送機構5は前後に離隔して位置された搬送部15、15、・・・と搬送部15、15、・・・を支持する支持部材16、16、・・・と搬送部15、15、・・・に駆動力を付与する搬送モータ17とを有している。
搬送部15は搬送ベルト15aと搬送ベルト15aを送るローラー15b、15b、・・・とを有している。保持機構6の直ぐ左側において前後に並んで位置されたローラー15b、15b、・・・と保持機構6の直ぐ右側において前後に並んで位置されたローラー15b、15b、・・・とは、それぞれ前後に延びる支持軸15c、15cに支持されている。一方の支持軸15cの後端部には搬送モータ17が連結されている。
搬送機構5において、搬送モータ17が回転されると、搬送モータ17の駆動力が支持軸15cを介してローラー15b、15b、・・・に伝達され、搬送ベルト15a、15a、・・・が所定の方向へ送られ、搬送ベルト15a、15a、・・・上に載置される被搬送物100が搬送される。被搬送物100は搬送機構5によって搬送前の搬送開始位置Sから全体が保持機構6の真上に位置される中間位置Mを経て搬送後の搬送終了位置Eまで左方から右方へ搬送される(図4参照)。
保持機構6は下側から順に配置された基台18、下側ベース板19、ノズル取付板20、20、・・・、上側ベース板21及びテーブル22が何れも上下方向を向いた状態で配置されている。保持機構6はテーブル22の略中央を支点として水平方向において搬送機構5と一体になって回転可能とされている。
下側ベース板19は取付柱24、24、・・・によって基台18に取り付けられている。取付柱24、24、・・・は基台18と下側ベース板19の外周部に位置されている。
下側ベース板19の上面における外周部にはエアーシリンダ25、25、・・・が取り付けられ、エアーシリンダ25、25、・・・の上端部にそれぞれ搬送機構5の支持部材16、16、・・・が取り付けられ、支持部材16、16、・・・が下側ベース板19の上方において保持されている。
下側ベース板19の上面におけるエアーシリンダ25、25、・・・の内側には取付軸26、26、・・・が取り付けられ、取付軸26、26、・・・の上端部に上側ベース板21が取り付けられ、上側ベース板21が下側ベース板19及びノズル取付板20の上方において保持されている。下側ベース板19の上面にはシリンダ27、27、・・・が配置されている。上側ベース板21には上下に貫通された挿通孔21a、21a、・・・が形成されている。
ノズル取付板20、20、・・・は横長又は縦長の形状に形成され、前後方向又は左右方向に並んで位置されている(図4及び図5参照)。ノズル取付板20、20、・・・はそれぞれシリンダ27、27、・・・の上端部に連結されている。従って、ノズル取付板20、20、・・・はそれぞれシリンダ27、27、・・・の動作によって各別に上下方向へ移動される。
ノズル取付板20には、一部を除き前後方向又は左右方向に並んで吸着ノズル28、28、・・・が取り付けられている。吸着ノズル28は上下方向に延び上端部に吸着パッド28aを有している。吸着パッド28aは弾性変形可能であり密着性の高い材料、例えば、合成ゴム等の各種のゴム材料によって形成されている。
吸着ノズル28、28、・・・はシリンダ27によるノズル取付板20の上下方向への移動に伴って上下方向へ移動される。従って、吸着ノズル28、28、・・・は各ノズル取付板20、20、・・・に取り付けられたグループ毎に上下方向へ移動可能とされている。
テーブル22は前後に離隔して設けられた載置板23、23、・・・によって構成されている。テーブル22は載置板23、23、・・・がそれぞれ上側ベース板21と連結軸29、29、・・・によって連結されている。連結軸29、29、・・・は上側ベース板21とテーブル22の外周部に位置されている。
テーブル22の上面は被搬送物100が載置される載置面22aとして形成されている。テーブル22の載置板23、23、・・・間の空間はそれぞれベルト挿入用空間30、30、・・・として形成されている。載置板23、23、・・・のうち前後方向における中央部に位置された載置板23には、右端部を除く部分に上下に貫通された複数の吸引孔23a、23a、・・・が形成されている。
テーブル22には上下に貫通されたノズル挿入孔22b、22b、・・・が形成され、ノズル挿入孔22b、22b、・・・にはそれぞれ吸着ノズル28、28、・・・の上端部の少なくとも一部が挿入される(図6及び図7参照)。吸着ノズル28は、吸着動作が行われる前の状態において吸着パッド28aの全体がノズル挿入孔22bに挿入され(図6参照)、吸着動作が行われるときに上方へ移動され吸着パッド28aの少なくとも一部がテーブル22の載置面22aより上方に位置される。
吸着ノズル28、28、・・・の下端部にはそれぞれ図示しないチェックバルブが連結されている。チェックバルブは吸着ノズル28の内圧の変化により吸着ノズル28の内部に形成された吸気口の開放量を変更する機能を有し、吸着ノズル28の負圧が高い場合には吸気口の開放量が大きくなるように動作され、吸着ノズル28の負圧が低い場合には吸気口の開放量が小さくなるように動作される。従って、吸着ノズル28の内部が真空状態に近付くほど吸気口の開放量が大きくされて大きな吸引力が作用される。
このように吸着ノズル28の内部が真空状態に近付くほど吸気口の開放量が大きくされることにより、吸着ノズル28、28、・・・による被搬送物(基板)100の後述する吸着動作において、被搬送物100に対する吸着パッド28a、28a、・・・の密着状態が不安定な吸着ノズル28、28、・・・における吸引エアーの漏れ量が少なくなると共に被搬送物100に対する吸着パッド28a、28a、・・・の密着状態が安定されている吸着ノズル28、28、・・・における良好な負圧状態が確保される。従って、吸着ノズル28、28、・・・による被搬送物100に対する吸着動作時において、吸着ノズル28、28、・・・に対する吸着に関する制御動作の効率化を図ることができる。
上記のように、ノズル取付板20、20、・・・は吸着ノズル28、28、・・・をグループ毎に上下方向へ移動させるために複数が設けられている(図1及び図4参照)。即ち、ノズル取付板20、20、・・・は、例えば、六つが設けられ、それぞれノズル取付板20A、20A、20B、20B、20C、20C、20D、20D、20E、20Fとされている。ノズル取付板20A、20A、20B、20B、20C、20C、20D、20Dは前後に並んで配置され、ノズル取付板20E、20Fはノズル取付板20A、20A、20B、20B、20C、20C、20D、20Dの右方において左右に並んで位置されている。
ノズル取付板20A、20Aは前後方向において最も外側に位置され、ノズル取付板20B、20Bはノズル取付板20A、20Aの内側に位置され、ノズル取付板20C、20Cはノズル取付板20B、20Bの内側に位置され、ノズル取付板20D、20Dは最も内側に位置されている。ノズル取付板20Eは最も右側に位置され、ノズル取付板20Fはノズル取付板20Eの左側に位置されている。
吸着保持装置1においては、異なる大きさの被搬送物(基板)100、100、・・・が搬送機構5によって搬送可能とされ、搬送開始位置Sから中間位置Mに搬送された被搬送物100の大きさに応じて上下方向へ移動されるノズル取付板20、20、・・・が選択される。即ち、吸着保持装置1にあっては、吸着動作が行われる前の状態において、全てのノズル取付板20、20、・・・は上端がテーブル22の載置面22aより下方に位置されており、搬送された被搬送物100の大きさに応じて選択されたノズル取付板20、20、・・・が上方へ移動され上方へ移動されたノズル取付板20、20、・・・に取り付けられた吸着ノズル28、28、・・・によって被搬送物100の吸着が行われる。従って、搬送された被搬送物100の大きさに応じてノズル取付板20、20、・・・が選択されることにより、搬送された被搬送物100の大きさに応じて複数の吸着ノズル28、28、・・・から所定の吸着ノズル28、28、・・・が選択されることになる。
例えば、最も大きな被搬送物100が中間位置Mに搬送されたときにはノズル取付板20A、20Aとノズル取付板20Eが上方へ移動されて被搬送物100が吸着され、次に大きな被搬送物100が搬送されたときにはノズル取付板20A、20Aとノズル取付板20Eが上方へ移動されて被搬送物100が吸着される。
また、その次に大きな被搬送物100が中間位置Mに搬送されたときにはノズル取付板20A、20Aが上方へ移動されて被搬送物100が吸着され、以下、被搬送物100の大きさが小さくなるに従って、順に、ノズル取付板20B、20Bが上方へ移動され、ノズル取付板20C、20Cが上方へ移動され、ノズル取付板20D、20Dが上方へ移動され、それぞれ被搬送物100が吸着される。
このように選択された吸着ノズル28、28、・・・によって大きさの異なる被搬送物100が吸着されたときには、大きさに拘わらず各被搬送物100、100、・・・の外周部が吸着ノズル28、28、・・・によって吸着される。
尚、前後方向における中央に配置された載置板23には、吸引孔23a、23a、・・・が形成された領域の左右両端部にもノズル挿入孔22b、22b、・・・が形成されており、このノズル挿入孔22b、22b、・・・を挿通される吸着ノズル28、28、・・・が設けられているが、これらの吸着ノズル28、28、・・・は最も内側に位置されたノズル取付板20D、20Dに伴って上下方向へ移動されるように構成されている。
上記のように中間位置Mに搬送される被搬送物100の大きさに応じ、複数の吸着ノズル28、28、・・・から被搬送物100を吸着する吸着ノズル28、28、・・・が選択されるため、被搬送物100の吸着に必要最低限の吸着ノズル28、28、・・・が使用され、吸着動作における動作効率の向上を図ることができる。
また、大きさに拘わらず被搬送物100の外周部が吸着ノズル28、28、・・・によって吸着されるため、吸着動作における動作効率の向上を図った上で被搬送物100の反りの解消を効果的に図ることができる。
さらに、被搬送物100の吸着時に、被搬送物100の吸着のために選択されなかった吸着ノズル28、28、・・・が載置面22aの上面より下方において保持されるため、選択されなかった吸着ノズル28、28、・・・が被搬送物100に接触されることがなく、被搬送物100に不必要な負荷が付与されず吸着に関して動作効率の向上を図ることができると共に被搬送物100の反りを確実に解消することができる。
<吸着保持装置の制御構成>
次に、吸着保持装置1の制御構成について説明する(図8参照)。尚、吸着保持装置1の制御構成は、特に、電気系統の要部のみを示している。
次に、吸着保持装置1の制御構成について説明する(図8参照)。尚、吸着保持装置1の制御構成は、特に、電気系統の要部のみを示している。
主制御部31は例えば、マイクロコンピュータ(CPU:Central Processing Unit)により形成された演算処理装置であり、各部の動作制御を行う。
メモリ部32は、主制御部31が各種の制御で用いるROM(Read Only Memory)、RAM(Random Access Memory)、EEP−ROM(Electrically Erasable and Programmable Read Only Memory)等の不揮発性メモリ等の記憶領域を総括的に示している。
尚、メモリ部32としては、マイクロコンピュータの内部に形成される記憶領域(レジスタ、RAM、ROM、EEP−ROM等)や、マイクロコンピュータとしてのチップ外部で外付けされるメモリチップの領域の両方をまとめて示している。つまり、何れの記憶領域が用いられても良いため区別せずに示したものである。
メモリ部32におけるROM領域には、主制御部31としてのCPUが実行するプログラムが記憶される。メモリ部32におけるRAM領域は、主に、主制御部31としてのCPUが各種の演算処理のためのワークメモリとして用いたり、各種の演算処理過程の一時的なデータ記憶等に用いられる。メモリ部32における不揮発性メモリ領域は、演算制御処理のための係数、定数等、必要な情報が格納される。
主制御部31はメモリ部32に格納されるプログラムや、入力部33からのオペレータの操作入力に基づいて、或いは、図示しないライン制御コンピュータ等からの指示に基づいて必要な演算処理や制御処理を行う。
入力部33は、オペレータが操作入力を行う部位とされる。例えば、後述する表示部にタッチパネルが形成される場合にはタッチパネルが入力部33となる。また、操作キーやリモートコントローラ等による入力部33が設けられてもよい。
入力部33からの入力情報は主制御部31に供給され、主制御部31は入力情報に応じた処理を行う。
撮像部34は、主制御部31の制御に基づいて画像を撮像する。撮像部34は、テーブル22上で吸着ノズル28、28、・・・に吸着されて保持される被搬送物100のXY平面における位置の観測や回転角度θの観測に用いられる。撮像部34には上記した位置検出用カメラ13が設けられている。
撮像部34による撮像画像信号(例えば、静止画撮像信号)は、画像処理部35でA/D変換処理、輝度処理、色処理などが行われ、所定のフォーマットの撮像画像データとして主制御部31に受け渡される。主制御部31は撮像画像データを解析することにより、被搬送物100のテーブル22上でのXY平面における位置や回転角度θを検出することができる。
表示部36は、液晶パネル、蛍光表示パネル、有機EL(Electroluminescence)パネルなどで構成され、オペレータに対して各種の動作数値、メッセージ、操作アイコン等の表示を行う。主制御部31は表示駆動部37に表示データを供給し、表示部36での表示を実行させる。表示駆動部37は、供給された表示データに基づいて表示部36を表示駆動する。
外部インターフェース38は外部機器との通信やネットワーク通信を行う。主制御部31は外部インターフェース38を介して各種の情報を通信により入力したり出力することができる。例えば、ライン上の各機器がネットワークシステム化されている場合には、ホスト機器や他の機器との間で通信を行うことができる。
この通信により、外部機器から操作情報、制御データ、被搬送物100の情報等の供給を受けたり、或いは、バージョンアッププログラムをロードしたり、各種の処理係数、定数の変更設定を受け付けたりすることができる。また、主制御部31がホスト機器に対してエラーメッセージ、ワーニング等を送信したり、撮像画像データを送信することなども可能とされる。
回転モータ駆動部39は、主制御部31の制御に基づいて回転モータ46の回転駆動を実行させる。回転モータ46によって保持機構6と搬送機構5が一体になって回転される。保持機構6が回転されることにより、保持機構6のテーブル22上に載置された被搬送物100のθ方向における位置調整を行うことができる。
搬送モータ駆動部40は、主制御部31の制御に基づいて搬送モータ17の駆動を行う。搬送モータ17の駆動による搬送機構5の搬送動作によって被搬送物100がX方向において搬送される。
搬送機構昇降駆動部41は搬送機構5の昇降を行うエアーシリンダ25を主制御部31の制御に基づいて駆動する。搬送機構5は、被搬送物100を中間位置Mまで搬送したときにエアーシリンダ25によって下方へ移動され、また、吸着位置におけるヘッド機構3による被搬送物100に対する印刷が終了したときにエアーシリンダ25によって上方へ移動される。
ノズル昇降駆動部42は、主制御部31の制御に基づいてノズル用シリンダ27を駆動し、吸着のために使用される吸着ノズル28、28、・・・が取り付けられたノズル取付板20、20、・・・を選択的に昇降させる。
吸引駆動部43は吸引機構47による吸引動作を主制御部31の制御に基づいて実行させる。吸引機構47によって吸着ノズル28、28、・・・による被搬送物100の吸着動作とテーブル22に形成された吸引孔23a、23a、・・・を介しての被搬送物100の吸着動作とが行われる。
機構移動駆動部44は、主制御部31からの指示に応じて移動機構48のXモータ、Yモータ、Zモータをそれぞれ駆動し、ヘッド機構3又は検出機構4の所定の位置への移動を実行させる。Xモータの駆動によってヘッド機構3と検出機構4が一体になってX方向ガイド7に案内されて左右方向へ移動され、Yモータの駆動によってY方向ガイド8、8に案内されてヘッド機構3と検出機構4が一体になって前後方向へ移動され、Zモータの駆動によってZ方向ガイド9に案内されてヘッド機構3と検出機構4が一体になって上下方向へ移動される。
プッシャー駆動部45は、主制御部31の制御に基づいてプッシャー用駆動モータ49の駆動を実行させる。プッシャー用駆動モータ49によってプッシャー11の軸部11bと押圧部11cが上下方向へ移動され、プッシャー11の軸部11bと押圧部11cが下方へ移動されることにより押圧部11cによって被搬送物100がテーブル22の載置面22aに押し付けられる。
印刷ヘッド3bによる印刷動作は主制御部31によって制御される。
高さ検出センサー14によって検出された被搬送物100の高さ方向における位置検出結果は主制御部31に通知される。
尚、図示はしていないが、保持機構6、搬送機構5及びヘッド機構3にはそれぞれ位置センサー又は位置カウンターが設けられている。従って、保持機構6、搬送機構5及びヘッド機構3における回転モータ46、搬送モータ17及び移動機構48の各モータによるXYZ方向及びθ方向の移動位置は、主制御部31が認識できる構成とされている。具体的には、X、Y、Z各軸の移動機構上に機械的又は光学的なセンサが設けられて位置を検出するようにしても良いし、或いは、ステッピングモータを用いる場合には正逆方向の駆動ステップ数をアップ/ダウンカウントするカウンタとし、そのカウント値を検出位置とするものでもよい。また、各モータに取り付けられたFG(Frequency Generator)やロータリエンコーダ等の信号を用いて、現在位置を計測するものでもよい。
<被搬送物の吸着保持等の動作処理>
次いで、主制御部31による被搬送物100の吸着保持等の動作処理について説明する(図9乃至図11参照)。以下に説明する動作処理は、主制御部31がメモリ部32に記憶されているプログラムに基づいて実行する。
次いで、主制御部31による被搬送物100の吸着保持等の動作処理について説明する(図9乃至図11参照)。以下に説明する動作処理は、主制御部31がメモリ部32に記憶されているプログラムに基づいて実行する。
尚、以下には、1枚の被搬送物(基板)100に対する動作処理を示しているが、吸着保持装置1においては、以下に示す動作処理が、順次搬送される被搬送物100、100、・・・に対して繰り返し実行される。
先ず、ステップS101で、主制御部31は被搬送物100のデータの取り込みを行う。例えば、外部インターフェース38を介して製造ラインのホストコンピュータから印刷対象とされた被搬送物100の型番データを受信する。型番データに応じてメモリ部32を参照して被搬送物100の大きさを認識する。また、外部機器から被搬送物100の大きさに関するデータを受信してもよく、入力部33からオペレータが被搬送物100の型番を入力したり、被搬送物100の大きさに関するデータを入力することも可能である。
主制御部31は被搬送物100のデータを取り込むことにより、対象とされた被搬送物100の大きさを認識でき、吸着時に使用する吸着ノズル28、28、・・・を決定することができる。
そこで、ステップS102では、被搬送物100の大きさに応じて吸着時に使用する吸着ノズル28、28、・・・を決定する。
ステップS103では、主制御部31は搬送モータ駆動部40を制御して搬送モータ17を駆動させ、搬送機構5により被搬送物100を搬送開始位置Sから中間位置Mまで搬送させる。
被搬送物100が中間位置Mに搬送されると、ステップS104で、主制御部31はテーブル22上において被搬送物100を吸着保持するための以下の処理を行う。
先ず、主制御部31はノズル昇降駆動部42に指示して、ステップS102で決定した吸着ノズル28、28、・・・が上昇するようにノズル用シリンダ27を駆動させてノズル取付板20、20、・・・を上昇させる。吸着ノズル28、28、・・・は上端部に設けられた吸着パッド28a、28a、・・・の各一部がテーブル22の載置面22aより上方に位置される(図10参照)。
また、主制御部31は吸引駆動部43に指示して、吸引機構47による吸着ノズル28、28、・・・及び吸引孔23a、23a、・・・を介しての吸引を開始させる。
さらに、主制御部31は搬送機構昇降駆動部41を制御してエアーシリンダ25を駆動させ、搬送機構5を下降させる。搬送機構5の下降に伴って被搬送物100が下方へ移動されて被搬送物100の下面に吸着ノズル28、28、・・・の吸着パッド28a、28a、・・・が密着され、吸引エアーによる吸引に伴って吸着パッド28a、28a、・・・が弾性変形される(図11参照)。被搬送物100は吸着ノズル28、28、・・・及び吸引孔23a、23a、・・・を介しての吸着動作により下方へ引き寄せられてテーブル22の載置面22aに引き付けられ、吸着パッド28a、28a、・・・は全体がそれぞれノズル挿入孔22b、22b、・・・に位置される。
下降された搬送機構5は、搬送ベルト15a、15a、・・・がテーブル22の載置板23、23、・・・間の挿入用空間30、30、・・・に挿入され、被搬送物100から下方に離隔される。
続いて、主制御部31はステップS105で、撮像部34により被搬送物100を撮像させ、その撮像画像により載置面22aに引き付けられた被搬送物100のX方向の位置、Y方向の位置及びθ方向の位置を検出する。このため主制御部31は機構移動駆動部44に指示して移動機構48の各モータ(Xモータ、Yモータ、Zモータ)を駆動させ、撮像部34を被搬送物100の撮影対象となる部分の上方における所定の撮影位置に移動させ、撮影位置において撮像部34に撮像を実行させて画像処理部35から撮像画像を取り込む。主制御部31は撮像画像を解析して被搬送物100の位置状態を認識する。
主制御部31は認識したθ方向の位置に基づいて、ステップS106で、θ補正が必要か否かを判断し、基準位置に対するθズレによるθ補正が必要であると判断した場合にはステップS107に進んでθ補正を行う。θ補正は、主制御部31が回転モータ駆動部39に指示して回転モータ46を駆動させ、θズレを解消するように保持機構6と搬送機構5の全体を所要の角度回転させることにより行う。θ補正が行われることにより、被搬送物100の位置が回転方向における基準位置に一致される。
次に、主制御部31はステップS108で、θ補正された被搬送物100のX方向及びY方向の位置と予め定められたX方向とY方向の基準位置とのズレ量及びズレ方向をXY位置情報としてそれぞれメモリ部32に記憶させる。記憶されたXY位置情報はヘッド機構3による被搬送物100に対する後述する印刷時に読み出され、ヘッド機構3が被搬送物100のX方向及びY方向のズレ量とズレ方向を考慮してX方向及びY方向へシフトして被搬送物100の予め定められた適正な位置への印刷が行われる。
次いで、主制御部31はステップS109で、高さ検出を行う。
被搬送物100は吸着ノズル28、28、・・・及び吸引孔23a、23a、・・・を介しての吸着動作により吸着保持されているが、例えば、被搬送物100の変形の程度等により被搬送物100の一部に反りが生じているおそれがある。そこで、主制御部31は高さ検出センサー14により、被搬送物100の複数の部分の高さ位置を検出させる。即ち、主制御部31は機構移動駆動部44に指示して移動機構48を駆動させ、高さ検出センサー14を被搬送物100の検出対象となる部分の上方に位置させるようにし、高さ検出を実行させる。
ステップS110では、検出した各部分の高さが許容範囲内であるか否かを判別する。許容範囲内でないと判別した場合には、ステップS111に進み、主制御部31は当該部分に対するプッシャー11による押圧動作を実行させる。即ち、主制御部31は機構移動駆動部44に指示して移動機構48を駆動させ、プッシャー11を許容範囲内にないと判別した部分の上方に位置させるようにし、次いで、プッシャー駆動部45に指示してプッシャー用駆動モータ49を駆動してプッシャー11の軸部11bと押圧部11cを下方へ移動させて当該部分を押圧部11cによって押圧させる。プッシャー11の押圧動作により、許容範囲内でないと判別された部分がテーブル22の載置面22aに引き付けられると共に吸着ノズル28の吸着パッド28aに密着され、当該部分の良好な吸着機能が確保され、被搬送物100の反りが解消される。
プッシャー11による押圧動作を行った場合には、再度、ステップS109で、高さ検出を行う。高さ検出の結果当該部分の高さが依然許容範囲にないと判別した場合には再度プッシャー11による押圧動作が行われ、以後、許容範囲内であると判別されるまで高さ検出とプッシャー11による押圧動作を交互に繰り返し行う。
高さ検出の結果、被搬送物100の各部分の高さが許容範囲内であることが判別されると、ステップS110からステップS112に進み、主制御部31は印刷方式を選定する。
印刷方式の選定とは、印刷時の印刷ヘッド3bの高さ、印刷ヘッド3bによる一方向走査、印刷ヘッド3bによる両方向走査、印刷ヘッド3bの走査速度等の選定である。
例えば、高さ検出センサー14による被搬送物100の各部分の高さ検出における検出結果が許容範囲内であっても、被搬送物100に僅かな反りが残存している場合には、反りが生じている状態における部分の高さに合わせて印刷時の印刷ヘッド3bの高さを設定する。また、被搬送物100の各部分の高さによって走査速度も適切な速度が異なる。例えば、印刷ヘッド3bの高さを高くする場合には、走査速度を遅くする設定を行う。さらに、反りが発生している部分の数や反りの発生量に応じて一方向走査又は両方向走査を選択して設定する。
これらの印刷方式を選定した後に、ステップS113に進み、主制御部31は印刷動作を制御する。即ち、機構移動駆動部44に指示して移動機構48を駆動させ、ヘッド機構3をX方向及びY方向へ移動させて被搬送物100に対する印刷ヘッド3bによる走査を行わせると共に印刷ヘッド3bに印刷パターンに従った印刷(インクジェット塗布動作)を実行させる。
上記した処理により、被搬送物100に対する印刷を完了すると、ステップS114で、主制御部31は被搬送物100を搬出させる。即ち、主制御部31は吸引駆動部43に指示して吸引機構47の吸引動作を停止させ、搬送機構昇降駆動部41に指示してエアーシリンダ25を駆動させて搬送機構5を上昇させて搬送ベルト15a、15a、・・・によって被搬送物100を持ち上げ被搬送物100をテーブル22の載置面22aから中間位置Mまで上方へ離隔させる。続いて、主制御部31は搬送モータ駆動部40に指示して搬送モータ17を動作させ、搬送機構5により被搬送物100を次工程が行われる搬送終了位置Eまで搬送させる。
以上の処理により、1枚の被搬送物100に対する動作処理が終了する。続いて同じ被搬送物100に対する動作処理を行う場合には、ステップS103から繰り返し処理を行い、他の型番の被搬送物100の動作処理を行う場合には、ステップS101から順に処理を行う。
<プログラム>
上記した実施の形態のプログラムは、図9乃至図11に示した被搬送物100の吸着保持等の動作処理を、例えば、CPU、DSP(Digital Signal Processor)等の演算処理装置に実行させるプログラムである。
上記した実施の形態のプログラムは、図9乃至図11に示した被搬送物100の吸着保持等の動作処理を、例えば、CPU、DSP(Digital Signal Processor)等の演算処理装置に実行させるプログラムである。
即ち、プログラムは、吸着ノズル28、28、・・・を上方へ移動させて吸着パッド28a、28a、・・・の少なくとも一部をテーブル22の載置面22aから上方へ突出させる処理と、搬送機構5によって搬送した被搬送物100を吸着パッド28a、28a、・・・に接触させる処理と、吸着ノズル28、28、・・・によって被搬送物100を吸着させ吸着パッド28a、28a、・・・を弾性変形させた状態で被搬送物100に密着させ被搬送物100を載置面22aに引き付ける処理とを実行させるプログラムである。
このようなプログラムは、吸着保持装置1に内蔵されている記録媒体としてのメモリ部32、或いは、HDD(Hard Disk Drive)等や、CPUを有するマイクロコンピュータ内のROM等に予め記録しておくことができる。
また、フレキシブルディスク、CD−ROM(Compact Disc Read Only Memory)、MO(Magneto optical)ディスク、DVD(Digital Versatile Disc)、ブルーレイディスク(Blu-ray Disc(登録商標))、磁気ディスク、半導体メモリ、メモリカードなどのリムーバブル記録媒体に、一時的あるいは永続的に格納(記録)しておくことができる。このようなリムーバブル記録媒体は、いわゆるパッケージソフトウェアとして提供することができる。
また、このようなプログラムは、リムーバブル記録媒体からパーソナルコンピュータ等にインストールする他、ダウンロードサイトから、LAN(Local Area Network)、インターネットなどのネットワークを介してダウンロードすることもできる。
このようなプログラムは吸着保持装置1及び吸着保持装置1による被搬送物100の吸着保持方法に好適である。
<まとめ>
以上に記載した通り、吸着保持装置1、吸着保持装置1による被搬送物100の吸着保持方法及び吸着保持装置1のプログラムにあっては、吸着ノズル28、28、・・・の上端部に弾性変形された状態で被搬送物100に密着される吸着パッド28a、28a、・・・が設けられ、吸着ノズル28、28、・・・が上下方向へ移動可能とされ吸着パッド28a、28a、・・・の少なくとも一部がテーブル22の載置面22aから上方へ突出可能とされている。
以上に記載した通り、吸着保持装置1、吸着保持装置1による被搬送物100の吸着保持方法及び吸着保持装置1のプログラムにあっては、吸着ノズル28、28、・・・の上端部に弾性変形された状態で被搬送物100に密着される吸着パッド28a、28a、・・・が設けられ、吸着ノズル28、28、・・・が上下方向へ移動可能とされ吸着パッド28a、28a、・・・の少なくとも一部がテーブル22の載置面22aから上方へ突出可能とされている。
従って、吸着時に吸着パッド28a、28a、・・・が弾性変形された状態で被搬送物100に密着されて被搬送物100が載置面22aに引き付けられるため、吸着ノズル28、28、・・・の被搬送物100に対する安定した吸着保持状態を確保することができると共に被搬送物100の反りを矯正して高い平面性を確保することができる。
また、テーブル22には吸着ノズル28、28、・・・の内側の位置に被搬送物100を吸引するための吸引孔23a、23a、・・・が形成されているため、吸着ノズル28、28、・・・の他に吸引孔23a、23a、・・・を介しても被搬送物100の吸引が行われ、被搬送物100に対する一層安定した吸着保持状態を確保することができると共に被搬送物100の反りを矯正して一層高い平面性を確保することができる。
さらに、吸着保持装置1にあっては、テーブル22が水平面内において回転可能とされているため、被搬送物100の水平面内における向きを適正な向きに補正することが可能であり、被搬送物100に対して適正な向きで印刷等の所定の処理を施すことができる。
上記した技術の最良の形態において示した各部の具体的な形状及び構造は、何れも本発明を実施する際の具体化のほんの一例を示したものにすぎず、これらによって本発明の技術的範囲が限定的に解釈されることがあってはならないものである。
1…吸着保持装置
5…搬送機構
11…プッシャー
14…高さ検出センサー
22…テーブル
22a…載置面
22b…ノズル挿入孔
23a…吸引孔
28…吸着ノズル
28a…吸着パッド
100…被搬送物
5…搬送機構
11…プッシャー
14…高さ検出センサー
22…テーブル
22a…載置面
22b…ノズル挿入孔
23a…吸引孔
28…吸着ノズル
28a…吸着パッド
100…被搬送物
Claims (9)
- 被搬送物を搬送する搬送機構と、
上下に貫通されたノズル挿入孔を有し上面が前記搬送機構によって搬送された前記被搬送物が載置される載置面として形成されたテーブルと、
少なくとも一部が前記ノズル挿入孔に挿入された状態で前記被搬送物を下方から吸着して前記被搬送物を前記載置面に引き付ける吸着ノズルとを備え、
前記吸着ノズルの上端部に、吸着時に弾性変形された状態で前記被搬送物に密着される吸着パッドが設けられ、
前記吸着ノズルが上下方向へ移動可能とされ前記吸着パッドの少なくとも一部が前記載置面から上方へ突出可能とされた
吸着保持装置。 - 前記ノズル挿入孔が複数形成され、
前記吸着ノズルが複数設けられてそれぞれ前記各ノズル挿入孔に少なくとも一部が挿入され、
前記載置面に載置される前記被搬送物の大きさに応じ、前記複数の吸着ノズルから前記被搬送物を吸着する前記吸着ノズルが選択される
ことを特徴とする請求項1に記載の吸着保持装置。 - 前記被搬送物の外周部が前記吸着ノズルによって吸着される
ことを特徴とする請求項2に記載の吸着保持装置。 - 前記吸着ノズルによる吸着時に、前記被搬送物の吸着のために選択されなかった前記吸着ノズルが前記載置面より下方において保持されるようにした
ことを特徴とする請求項2又は請求項3に記載の吸着保持装置。 - 前記吸着ノズルによる吸着時に前記被搬送物の各部の高さを検出する高さ検出センサーと、
前記高さ検出センサーの検出結果に基づいて基準の高さより高いと判別された前記被搬送物の各部分を下方へ押圧するプッシャーとが設けられた
ことを特徴とする請求項1、請求項2、請求項3又は請求項4に記載の吸着保持装置。 - 前記テーブルにおける前記吸着ノズルの内側の位置に前記被搬送物を吸引するための吸引孔が形成された
ことを特徴とする請求項1、請求項2、請求項3、請求項4又は請求項5に記載の吸着保持装置。 - 前記テーブルが水平面内において回転可能とされた
ことを特徴とする請求項1、請求項2、請求項3、請求項4、請求項5又は請求項6に記載の吸着保持装置。 - 被搬送物を搬送する搬送機構と、上下に貫通されたノズル挿入孔を有し上面が前記搬送機構によって搬送された前記被搬送物が載置される載置面として形成されたテーブルと、少なくとも一部が前記ノズル挿入孔に挿入された状態で前記被搬送物を下方から吸着して前記被搬送物を前記載置面に引き付け上端部に弾性変形可能な吸着パッドが設けられた吸着ノズルとを備えた吸着保持装置による被搬送物の吸着保持方法であって、
前記吸着ノズルが上方へ移動されて前記吸着パッドの少なくとも一部が前記載置面から上方へ突出され、
前記搬送機構によって搬送された前記被搬送物が前記吸着パッドに接触され、
前記吸着ノズルによって前記被搬送物が吸着され前記吸着パッドが弾性変形された状態で前記被搬送物に密着され前記被搬送物が前記載置面に引き付けられる
ことを特徴とする吸着保持装置による被搬送物の吸着保持方法。 - 被搬送物を搬送する搬送機構と、上下に貫通されたノズル挿入孔を有し上面が前記搬送機構によって搬送された前記被搬送物が載置される載置面として形成されたテーブルと、少なくとも一部が前記ノズル挿入孔に挿入された状態で前記被搬送物を下方から吸着して前記被搬送物を前記載置面に引き付け上端部に弾性変形可能な吸着パッドが設けられた吸着ノズルとを備えた吸着保持装置の制御手段に、前記被搬送物に対する吸着保持動作処理を実行させるプログラムであって、
前記吸着ノズルを上方へ移動させて前記吸着パッドの少なくとも一部を前記載置面から上方へ突出させる処理と、
前記搬送機構によって搬送した前記被搬送物を前記吸着パッドに接触させる処理と、
前記吸着ノズルによって前記被搬送物を吸着させ前記吸着パッドを弾性変形させた状態で前記被搬送物に密着させ前記被搬送物を前記載置面に引き付ける処理とを実行させる
ことを特徴とするプログラム。
Priority Applications (1)
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JP2012254388A JP2014101192A (ja) | 2012-11-20 | 2012-11-20 | 吸着保持装置、吸着保持装置による被搬送物の吸着保持方法及びプログラム |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP6353969B1 (ja) * | 2017-11-29 | 2018-07-04 | 株式会社ユー・エム・アイ | 搬送具と搬送方法と搬送具ユニット |
JP2018176735A (ja) * | 2017-04-03 | 2018-11-15 | ゼロックス コーポレイションXerox Corporation | 対物直接プリンタのための物体ホルダ |
-
2012
- 2012-11-20 JP JP2012254388A patent/JP2014101192A/ja active Pending
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