KR20080041173A

KR20080041173A - 기판 맞붙이기 장치

Info

Publication number: KR20080041173A
Application number: KR1020080039095A
Authority: KR
Inventors: 히로무 니시지마; 사또시 무라따; 사또루 이마이; 사또루 가와이
Original assignee: 샤프 가부시키가이샤
Priority date: 2003-03-14
Filing date: 2008-04-28
Publication date: 2008-05-09
Also published as: TWI286627B; JP2004279679A; KR20040081069A; JP4286562B2; KR100908960B1; TW200424623A

Abstract

본 발명은 기판 맞붙이기 장치에 관한 것으로, 기판이 왜곡되지 않도록 정전 척에 보유 지지되도록 한 기판 맞붙이기 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

기판 맞붙이기 장치는 진공 챔버(22)와 상기 진공 챔버에 배치되고, 제1 기판을 보유 지지하기 위해 진공 흡착 구멍을 갖는 제1 정전 척(28)과 상기 진공 챔버에 상기 제1 정전 척과 대향해서 배치되고, 제2 기판을 보유 지지하기 위해 진공 흡착 구멍을 갖는 제2 정전 척(34)과 상기 제1 및 제2 정전 척의 적어도 한 쪽에 설치되고, 관련되는 기판의 중앙부를 흡착 가능한 흡반(42)을 구비한 구성으로 한다.

기판, 기판 맞붙이기 장치, 진공 챔버, 하부 정전 척, 진공 흡착 구멍

Description

기판 맞붙이기 장치 {SUBSTRATE BONDING APPARATUS}

본 발명은 액정 표시 장치의 기판 맞붙이기 장치에 관한 것이다.

액정 표시 장치는 한 쌍의 기판과 이들 기판 사이에 삽입된 액정으로 이루어진다. 예를 들어 한 쌍의 기판의 한 쪽은 TFT를 형성한 TFT 기판이며, 다른 쪽 기판과 컬러 필터를 형성한 컬러 필터 기판이다. 한 쪽 기판에는 광경화성 시일제로 이루어지는 환형의 시일이 형성되고, 환형의 시일은 한 쌍의 기판을 맞붙인 후에 자외선을 조사(照射)함으로써 경화한다. 액정은 환형의 시일에 의해 둘러싸여진 영역에 삽입된다.

종래 액정 표시 장치의 제조 방법에 있어서는, 한 쌍의 기판을 맞붙인 후, 액정은 진공 챔버 내에서 환형의 시일에 설치된 주입 구멍으로부터 주입된다. 그 후, 환형의 시일의 주입 구멍은 가려지고, 한 쌍의 기판으로 이루어지는 액정 패널은 진공 챔버의 외부로 반송되고, 환형의 시일은 적절한 셀 갭을 형성하도록 가압된다.

최근, 적하 주입법이라고 불리우는 액정 표시 장치의 제조 방법이 제안되고 있다(예를 들어, 특허 문헌 1 참조). 적하 주입법에서는 한 쪽 기판에 환형의 시 일을 형성하고, 액정을 그 기판의 환형의 시일 내에 적하한다. 그리고나서, 한 쌍의 기판은 진공 챔버 내에서 맞붙여진다. 그리고나서, 환형의 시일은 자외선의 조사 혹은 자외선의 조사와 가열의 병용에 의해 경화된다. 적하 주입법에 의하면, 제조 공정이 단축되고 액정 표시 장치의 제조 비용을 저감할 수 있다.

[특허 문헌 1]

일본 특허 공개 평11-326857호 공보

한 쌍의 기판을 진공 챔버 내에서 맞붙이기 위해 한 쌍의 기판은 각각 기판 반송 아암에 의해 진공 챔버 내의 한 쌍의 정전 척의 위치에 반송된다. 한 쪽 기판은 하방에 위치하는 정전 척의 위에 얹어지고, 다른 쪽 기판은 상방에 위치하는 정전 척의 아래에 배치된다. 상방에 위치하는 정전 척에 보유 지지되기 위해 기판에는 기판 하면측에 미세 패턴이 형성되어 있기 때문에 기판 반송 아암이 미세 패턴에 접촉하지 않도록 기판의 주변부를 보유 지지하여 반송하도록 되어 있다. 그 때문에, 기판의 중앙부에는 지탱하는 것이 없기 때문에 기판의 중앙부가 중력에 의해 휜 상태로 반송되는 경향이 있다.

정전 척은 정전 흡착력을 발생시키기 위한 전극과 함께 기판을 진공 흡착력에 의해 보유 지지하기 위한 진공 흡착 구멍을 갖는다. 기판은 최초 진공 흡착력에 의해 보유 지지되고, 그리고나서 정전 흡착력에 의해 보유 지지된다. 기판은 정전 척으로 진공 흡착하는 경우 기판의 대형화에 따라 기판이 있는 정도 휜 상태로 정전 척의 위치에 반송되고 진공 흡착되는 일이 있다. 이 경우, 기판은 정전 척에 최초에 접촉한 부분(주변부)으로부터 흡착되어가기 때문에 기판의 주변부로부 터 진공 흡착이 시작되고 최후에 중앙부가 흡착된다. 그러면, 기판의 중앙부에 왜곡이 집중되고, 왜곡의 도피 장소가 없어진다. 그 때문에, 한 쌍의 기판을 맞붙이기 위해 위치 맞춤을 행할 경우 맞붙이기 마크가 정규의 위치에 오지 않게 되며 위치 맞춤 불량이 발생한다.

또한, 기판의 위치 맞춤을 위해 기판의 적재된 정전 척을 진공 중에서 이동시킬 필요가 있다. 정전 척은 진공 챔버 내에 배치되고, 그 이동 수단은 진공 챔버 외부에 배치된다. 이동 수단은 정전 척에 고정된 샤프트와 이 샤프트를 덮는 벨로우즈형 탄성체를 포함하고, XYθ 테이블을 이동시키는 구동부가 벨로우즈형 탄성체 내의 샤프트를 거쳐서 정전 척을 이동시킨다. 위치 맞춤을 위해 정전 척을 이동시킬 때에는 벨로우즈형 탄성체에 응력이 걸리고, 벨로우즈형 탄성체의 파손에 의한 설비 가동률 저하가 우려된다.

본 발명의 목적은 기판이 왜곡되지 않도록 정전 척에 보유 지지되도록 한 기판 맞붙이기 장치를 제공하는 데 있다.

본 발명의 다른 목적은 부품이 내구성 좋게 동작할 수 있도록 한 기판 맞붙이기 장치를 제공하는 데 있다.

본 발명에 의한 기판 맞붙이기 장치는 진공 챔버와, 상기 진공 챔버에 배치되고 제1 기판을 보유 지지하기 위해 진공 흡착 구멍을 갖는 제1 정전 척과, 상기 진공 챔버에 상기 제1 정전 척과 대향해서 배치되고 제2 기판을 보유 지지하기 위해 진공 흡착 구멍을 갖는 제2 정전 척과, 상기 제1 및 제2 정전 척의 적어도 한 쪽에 설치되고 관련되는 기판의 중앙부를 흡착 가능한 흡반을 구비한 것을 특징으로 하는 것이다.

이 구성에 의하면, 기판을 진공 흡착할 경우 중앙부로부터 흡착시킴으로써 흡착에 의한 기판의 왜곡을 기판의 주변부로부터 놓아 주도록 하고 있다.

또한, 본 발명에 의한 기판 맞붙이기 장치는 진공 챔버와, 상기 진공 챔버에 배치되고 제1 기판을 보유 지지 하기 위해 진공 흡착 구멍을 갖는 제1 정전 척과, 상기 진공 챔버에 상기 제1 정전 척과 대향해서 배치되고 제2 기판을 보유 지지하기 위해 진공 흡착 구멍을 갖는 제2 정전 척과, 상기 제1 정전 척을 승강시키는 제1 이동 수단과, 상기 제2 정전 척을 적어도 XY 방향으로 이동하는 제2 이동 수단을 구비하고, 상기 제2 이동 수단은, 상기 진공 챔버 내에 위치하는 상기 제2 정전 척과, 상기 진공 챔버 외부에 위치하는 구동 수단을 결합하는 샤프트와, 상기 샤프트를 덮는 강성체와, 상기 샤프트와 상기 강성체 사이에 배치된 자기 유체 시일로 이루어지는 것을 특징으로 하는 것이다.

이 구성에 의하면, 제2 이동 수단은 XY 방향으로 이동 가능한 제2 정전 척과 진공 챔버 외부에 위치하는 구동 수단을 결합하는 샤프트와, 상기 샤프트를 덮는 강성체와, 상기 샤프트와 상기 강성체 사이에 배치된 자기 유체 시일로 이루어진다. 이와 같이, 샤프트의 주변을 강성체와 자기 시일로 기밀하게 보유 지지함으로써 샤프트의 주변을 덮는 구조물에 응력이 걸리지 않도록 한다.

본 발명에 의하면, 기판이 왜곡되지 않고, 부품의 내구성 좋게, 수율, 가동률이 높은 기판 맞붙이기 장치를 얻을 수 있다.

이하 본 발명의 실시예에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다. 액정 표시 장치는 한 쌍의 기판(10, 12)과 한 쌍의 기판 사이에 삽입된 액정(14)으로 이루어진다. 액정 표시 장치는 적하 주입법에 의해 제조된 것이다. 한 쌍의 기판 중 한 쪽 기판은 TFT를 형성한 TFT 기판이며, 다른 쪽 기판은 컬러 필터를 형성한 컬러 필터 기판이다.

도1은 일 실시예의 액정 표시 장치의 한 쪽 기판을 도시하는 사시도이다. 한 쪽 기판(10)은 환형의 시일(13)을 포함한다. 액정(14)은 이동하는 디스펜 서(16)로부터 기판(10) 상에 환형의 시일(13)로 둘러싸인 영역에 액적형으로 적하된다. 환형의 시일(13)을 형성하는 시일제는 UV 경화성 접착성 수지 또는 UV와 열의 병용에 의해 경화하는 접착성 수지로 이루어진다. 또 한 쪽 기판(12)(도2에는 도시하지 않음)이 준비된다. 시일제가 기판(10)에 도포되고, 기판(10)이 또 한 쪽 기판(12)에 맞붙여진 후에 경화된다. 또 한 쪽 기판(12)에는 스페이서에 접착제를 코팅한 접착성 스페이서가 도포된다. 스페이서 대신에 지지 기둥을 설치하여 스페이스 산포 공정을 생략할 수도 있다.

도2는 본 발명에 의한 액정 표시 장치의 기판 맞붙이기 장치를 도시하는 도면이다. 도2에 있어서, 액정 표시 장치의 기판 맞붙이기 장치(20)는 진공 챔버(22)를 포함한다. 진공 챔버(22)는 가동되는 상부 하우징(24)과 고정되는 하부 하우징(26)으로 이루어진다. 도2는 진공 챔버(22)가 개방된 상태를 도시한다. 도2의 상태에서 상부 하우징(24)이 하부 하우징(26)을 향해 하강하면 진공 챔버(22)는 폐쇄된다. 진공 챔버(22)는 진공 챔버(22)를 배기하기 위해 진공 펌프에 접속된다.

하부 정전 척(또는 하부 정전 척 플레이트)(28)은 직접 또는 적절한 정반에 의해 하부 하우징(28)에 설치되고, 샤프트(30)에 의해 XYθ 구동 장치(32)에 결합된다. 하부 정전 척(28)은 도면에 도시하지 않은 공지의 전극을 갖고, 이 전극에 통전함으로써 발생하는 정전력에 의해 하부 정전 척(28)의 위에 기판을 보유 지지한다. 하부 정전 척(28)의 위에 얹어지는 기판은 액정(14)이 적하되어 있다. 또한, 정전 척(28)은 진공 흡착 구멍을 갖는다. 진공 흡착 구멍은 하부 정전 척(28) 의 표면에 개구하고, 진공원으로부터 공급된 진공력에 의해 하부 정전 척(28)의 위에 배치된 기판을 보유 지지한다. 도면에 도시하지 않은 리프트 핀이 하부 정전 척(28)에 설치된 수직인 구멍 내에서 승강 가능하게 배치된다.

상부 정전 척(또는 하부 정전 척 플레이트)(34)은 직접 또는 적절한 정반에 의해 상부 하우징(24)에 설치되고, 샤프트(36)에 의해 승강 구동 장치(38)에 결합된다. 상부 정전 척(34)은 도면에 도시하지 않은 공지의 전극을 갖고, 그 전극에 통전함으로써 발생하는 정전력에 의해 상부 정전 척(34)의 아래에 배치된 기판을 보유 지지한다. 또한, 상부 정전 척(34)은 진공 흡착 구멍(40)을 갖는다.

도3은 상부 정전 척(34)의 일예를 도시하는 평면 개략도이다. 진공 흡착 구멍(40)은 상부 정전 척(34)의 표면에 전체적으로 분포하여 배치된다. 하부 정전 척(28)의 진공 흡착 구멍도 마찬가지이다. 상부 정전 척(34)의 진공 흡착 구멍(40) 및 하부 정전 척(28)의 진공 흡착 구멍은 각각 도면에 도시하지 않은 밸브를 진공원에 접속한다.

흡반(42)이 상부 정전 척(34)의 중앙부에 설치된다. 흡반(42)은 그 표면이 상부 정전 척(34)의 표면과 동일면으로 이루어지도록 배치되고, 또 상부 정전 척(34)의 표면으로부터 하방으로 돌출하도록 이동 가능하다. 흡반(42)의 샤프트부는 상부 정전 척(34)을 관통하여 연장하고, 도면에 도시하지 않은 구동 수단에 결합된다.

도2에 있어서는, 상부 하우징(24)은 하부 하우징(26)으로부터 이격되어 있으며, 진공 챔버(22)는 개방되어 있다. 이 상태에서 제1 및 제2 기판(10, 12)이 각 각 기판 반송 아암에 의해 진공 챔버(22)에 반송된다. 하나의 기판(10)은 도1에 도시한 바와 같이 액정이 적하된 기판이며, 하부 정전 척(28)의 위에 얹어진다. 또 하나의 기판(12)은 상부 정전 척(34)의 아래에 배치된다.

도4는 기판(12)이 기판 반송 아암(44)에 의해 상부 정전 척(34)의 아래에 배치된 상태를 도시하는 도면이다. 상부 정전 척(34)에 보유 지지되기 위해 기판(12)에는 기판 하면측에 미세 패턴이 형성되어 있기 때문에 기판 반송 아암(44)이 미세 패턴에 접촉하지 않도록 기판(12)의 주변부를 보유 지지하여 반송하도록 되어 있다. 그 때문에 기판(12)의 중앙부에는 지탱하는 것이 없기 때문에 기판(12)의 중앙부가 중력에 의해 휘는 경향이 있다.

도5는 기판(12)이 상부 정전 척(34)의 아래에 왔을 때에 흡반(42)이 하강하여, 기판(12)의 중앙부를 흡착하는 상태를 도시하는 도면이다. 도6은 기판(12)이 상부 정전 척(34)에 진공 흡착된 상태를 도시하는 도면이다. 흡반(42)은 기판(12)의 중앙부를 띄우고, 기판(12)은 아래의 볼록한 상태로부터 위의 볼록한 상태가 된다. 그 후, 기판 반송 아암(44)이 흡반(42)과 동시에 상승하고, 상부 정전 척(34)이 기판(12)을 진공 흡착한다.

이와 같이 하여, 기판(12)의 중앙부가 최초로 상부 정전 척(34)에 흡착되고, 기판(12)의 흡착은 기판(12)의 주변부로 확대되어 가고, 도6에 도시된 바와 같이, 기판(12)이 상부 정전 척(34)에 평탄한 자세로 진공 흡착될 수 있다. 실시예에서는 상부 정전 척(34)의 중앙부에 흡반(42)을 설치했지만 복수의 흡반(42)을 복수의 위치에 설치하고, 흡착을 제어함으로써 휨을 수정하면서 임의의 위치로부터 흡착을 행할 수 있다. 또, 하부 정전 척(28)에 보유 지지되기 위해 기판(10)은 아래에 볼록한 형태로 되어 있으며, 또한 도면에 도시하지 않은 리프트 핀에 의해 하부 정전 척(28) 상에 내려지므로 기판(10)의 자세를 흡반에 의해 특별히 조절하는 일은 없다.

기판(12, 10)은 우선 진공 흡착력에 의해 상하 정전 척(34, 28)에 흡착된다. 그리고나서, 상하 정전 척(34, 28)의 전극에 전류가 흐르고 기판(12, 10)은 정전 흡착력에 의해 상하 정전 척(34, 28)에 흡착된다. 이와 같이, 기판(12, 10)을 진공 흡착에 의해 상하 정전 척(34, 28)의 표면에 딱 맞게 배치시킨 상태에서 정전 흡착력을 작용시킴으로써 흡착력에 변동이 적어도 안정된 정전 흡착력을 얻을 수 있다. 그 후, 진공 흡착은 정지된다.

그리고나서, 가동의 상부 하우징(24)은 하부 하우징(25)에 눌려지고, 진공 챔버(22)는 폐쇄된다. 그리고나서, 진공 챔버(22)의 내부가 배기되고, 진공 챔버(22)의 내부는 진공 상태가 된다. 다음에, 상부 정전 척(34)이 하부 정전 척(28)을 향해 이동되고, 기판(12)은 기판(10)을 향해 눌려지고, 기판(12)의 표면이 기판(10)의 환형의 시일(13)에 접촉되고, 기판(12)의 스페이서가 기판(10)의 표면에 대하여 접촉한다. 최초에 대략 맞붙이기를 행한 후, CCD 카메라 등에 의해 기판(12, 10)의 얼라인먼트 마크를 독취하고, 그 결과로 하부 정전 척(28)의 위치를 미세 조정하면서 얼라인먼트 마크를 맞춘다. 마지막으로, 상부 정전 척(34)을 하부 정전 척(28)에 대하여 더욱 하강시켜 가압하면서 맞붙이기를 행한다.

이제까지의 일련의 동작에 의해 기판(44)의 맞붙이기가 완료되면 정전 척(22)은 대기에 개방되고, 진공 챔버(22)가 개방된다. 상하 정전 척(34, 28)의 전극에의 통전이 정지되고, 기판(12, 10)의 보유 지지가 없어진다. 상부 정전 척(34)이 상승되고, 맞붙여진 기판(12, 10)은 하부 정전 척(28)의 위에 있다. 하부 정전 척(28)에 설치된 리프트 핀이 상승하고, 맞붙이기가 완료된 기판을 리프트한다. 리프트된 맞붙이기 완료된 기판은 하류측에 설치된 반송 로봇에 의해 다음 공정으로 반송되고 환형의 시일(13)에 자외선을 조사하여 경화시킨다.

도7은 본 발명의 다른 실시예를 도시하는 도면이다. 도8은 도7의 부분 확대도이다. 도7 및 도8에 있어서, 도2의 부분과 마찬가지 부재는 마찬가지 참조 번호를 붙여 도시하고, 중복된 설명을 생략한다. 도2에 있어서는 하부 정전 척(또는 하부 정전 척 플레이트)(28)은 샤프트(30)에 의해 XYθ 구동 장치(32)에 결합되고, 샤프트(30)의 주변은 예를 들어 벨로우즈형 탄성체(도면에 도시하지 않음)에 의해 기밀하게 시일된다.

도7 및 도8에 있어서는, 하부 정전 척(또는 정전 척 플레이트)(28)은 샤프트(30)에 의해 XYθ 구동 장치(32)에 결합되고, 샤프트(30)는 강성관(50)에 의해 덮어지고, 자기 유체 시일(52)이 샤프트(30)와 강성관(50) 사이에 배치된다. 샤프트(30)의 주변에는 자기 유체 시일(52)에 의해 기밀하게 시일된다.

즉, 하부 정전 척(28)을 이동시키는 이동 장치는 진공 챔버(22) 내에 위치하는 하부 정전 척(28)과 진공 챔버(22) 외부에 위치하는 XYθ 구동 장치(구동 수단)(32)를 결합하는 샤프트(30)와, 샤프트(30)를 덮는 강성관(강성체)(50)과, 샤프트(30)와 강성관(50) 사이에 배치된 자기 유체 시일(52)로 이루어진다. 그리고, 영구 자석(54)이 강성관(50)의 내면측에 배치되고, 영구 자석(54)에 접촉하는 자극 부재(56, 58)가 자기 유체 시일(52)에 자력을 전달한다. 자기 유체 시일(52)은 영구 자석(54)의 자력에 의해 소정의 위치에 보유 지지된다.

하부 정전 척(28)의 이동 장치를 진공 챔버(22) 내에 조립하는 것은 진공 챔버(22)의 용적이 커지게되므로 진공을 만들 때 불리해지기 때문에 진공 챔버(22) 외부의 대기 중에 설치된다. 이동 장치의 운동은 샤프트(30)를 거쳐서 하부 정전 척(28)에 전달된다. 샤프트(30)의 주변은 진공 영역(60)으로 되어 있으며, 그 부분을 진공으로 보유 지지하기 위해 자기 유체 시일(52)이 사용되고 있다. 자기 유체 시일(52)을 사용함으로써 강성체(50)에 응력이 걸리지 않고, 부품이 내구성 좋게 동작할 수 있도록 한 기판 맞붙이기 장치를 제공할 수 있다. 또, 도7 및 도8의 실시예의 특징을 도2의 실시예에 적용할 수 있다.

도1은 일 실시예의 액정 표시 장치의 한 쪽 기판을 도시하는 사시도.

도2는 본 발명에 의한 액정 표시 장치의 기판 맞붙이기 장치를 도시하는 도면.

도3은 상부 정전 척의 일예를 도시하는 평면 개략도.

도4는 기판이 기판 반송 아암에 의해 상부 정전 척의 아래에 배치된 상태를 도시하는 도면.

도5는 기판이 상부 정전 척의 아래에 왔을 때에 흡착 패드가 하강하여 기판의 중앙부를 흡착하는 상태를 도시하는 도면.

도6은 기판이 상부 정전 척에 흡착된 상태를 도시하는 도면.

도7은 본 발명의 다른 실시예를 도시하는 도면.

도8은 도7의 부분 확대도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

10 : 기판

12 : 기판

13 : 환형의 시일

14 : 액정

20 : 기판 맞붙이기 장치

22 : 진공 챔버

28 : 하부 정전 척

30 : 샤프트

32 : XYθ 구동 장치

34 : 상부 정전 척

36 : 샤프트

38 : 승강 구동 장치

40 : 진공 흡착 구멍

42 : 흡반

44 : 기판 반송 아암

50 : 강성관

52 : 자기 유체 시일

54 : 영구 자석

Claims

진공 챔버와,

상기 진공 챔버에 배치되고 상측의 기판을 보유 지지하기 위해 진공 흡착 구멍을 갖는 제1 정전 척과,

상기 진공 챔버에서 상기 제1 정전 척에 대향하는 하측에 배치되고 하측의 기판을 보유 지지하기 위해 진공 흡착 구멍을 갖는 제2 정전 척과,

상기 제1 정전 척에 설치되고, 상기 상측의 기판 중에서 자중에 의해 아래로 볼록하게 되어있는 부위인, 상기 상측의 기판의 특정의 흡착 부위를 흡착 가능한 흡반과,

상기 상측의 기판의 주변부를 보유 지지하는 기판 보유 지지 부재를 구비하고,

상기 흡반은, 상기 흡반의 표면이, 상기 제2 정전 척에 대향하는 제1 정전 척의 표면과 동일면이 되도록 하는 위치인 인입 위치에 배치되고,

상기 흡반은, 인입 위치로부터 하강하여 상기 상측의 기판의 상기 흡착 부위를 흡착하고, 다음에 상기 상측의 기판을 흡착한 상태로 상승함으로써 상기 흡착 부위가 위로 볼록하게 되도록 상기 상측의 기판을 변형시키면서 상방으로 운반하여, 상기 인입 위치까지 상승하는 것을 특징으로 하는 기판 맞붙이기 장치.
제1항에 있어서, 상기 흡반은, 상기 흡반이 설치된 정전 척을 관통하여 연장 하는 샤프트를 가지는 기판 맞붙이기 장치.
제1항에 있어서, 상기 흡착 부위는, 상기 기판 중, 외부의 반송부에 의해 지지되지 않고 아래로 볼록하게 되어있는 부위인 기판 맞붙이기 장치.
제1항에 있어서, 상기 흡착 부위는, 상기 기판의 중앙부인 기판 맞붙이기 장치.
제1항에 있어서, 상기 흡착 부위는, 상기 기판의 임의의 복수의 위치인 기판 맞붙이기 장치.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기판 보유 지지 부재가, 상기 상측의 기판과 관련하여, 상기 기판의 주변부를 보유 지지한 상태로 상기 기판을 상측의 정전 척에 접촉하는 위치까지 운반하는 기판 반송 아암인 기판 맞붙이기 장치.
제6항에 있어서, 상기 기판 반송 아암은, 상기 상측의 기판의 주변부를 보유 지지하는 동시에, 상기 기판의 중앙부는 보유 지지하지 않는 기판 맞붙이기 장치.