CN201350632Y - 基板吸附装置 - Google Patents
基板吸附装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN201350632Y CN201350632Y CNU2008201842149U CN200820184214U CN201350632Y CN 201350632 Y CN201350632 Y CN 201350632Y CN U2008201842149 U CNU2008201842149 U CN U2008201842149U CN 200820184214 U CN200820184214 U CN 200820184214U CN 201350632 Y CN201350632 Y CN 201350632Y
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- sucker
- absorption device
- spare
- substrate absorption
- sucker spare
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 title abstract description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 72
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 55
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 208000002193 Pain Diseases 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Manipulator (AREA)
Abstract
一种基板吸附装置，其由一个以上吸盘组合所组成，其中吸盘组合包括：软质或可变角度吸盘件，其具有至少一个软质或可变角度的吸嘴；以及硬质吸盘件，其中该硬质吸盘件的主体具有镂空部以容纳软质或可变角度吸盘件于镂空部内以进行上下相对运动。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种基板吸附装置，特别是一种具有吸盘可上下相对运动的基板吸附装置。
背景技术
基板在不同阶段工作区时，传送平台提供基板传递功能到工作区，而平台上的吸盘在传送时提供吸附作用，使基板可在传送平台上平稳行进。此外，在基板行进的过程中，还可进行其它工艺，如光学检测等。
图1a与图1b所示为一种现有基板吸附装置的俯视示意图与剖面示意图。如图所示，基板吸附装置10由一个以上的硬质吸盘件200所组成，并且设置于固定装置300上，其中硬质吸盘件200的主体250具有镂空部255，并且硬质吸盘件200具有多个硬质吸孔270设置于主体250上，而这些硬质吸孔270对称设置于镂空部255旁。此外，该基板吸附装置10还包括一抽力装置(图中未示)，其对硬质吸盘件200提供一抽真空的吸力，使基板在固定装置300上的硬质吸盘件200进行传送时，通过抽真空的抽力能够吸附住基板。
然而，当基板经过固化(curing)等工艺后，造成基板翘曲、基板表面不平整的情况下，就难以保证基板在每个硬质吸盘件200上的有效吸附，倘若在一排硬质吸盘件200中，发生一个以上的硬质吸盘件200抽真空失效，则导致整个系统的抽真空效果将会减损。因此，如何使每个硬质吸盘件200能有效达成抽真空吸附的质量，成为发展的目标。
图2a和图2b所示为现有的另一种基板吸附装置的俯视示意图和剖面示意图。如图所示，该基板吸附装置10与图1a和图1b的类似，在此不加以赘述。其差异为，图1a与1b在硬质吸盘件200的主体250的镂空部255内容纳软质吸盘件400，其具有至少一个软质吸嘴450和管状主体455，并且与硬质吸盘件200同时设置于固定装置300上。当吸真空时，如果基板置于硬质吸盘件200上，发生难以拉下吸附状况时，可通过软质吸嘴450的协助，增加咬附基板的吸附能力。
然而，上述的现有基板吸附装置10的硬质吸盘件200与软质吸盘件400两者之间并无公差，只存在约0.1mm至0.2mm的微小高度差。当利用两者的固定高度差配合吸真空时，利用硬质吸盘件200与软质吸盘件400本体的下拉作用而吸附住基板。但此结构犹对调控翘曲基板，难以灵活精确控制。此外，软质吸嘴450的材料较软，经过多次的利用真空效果产生下拉力以咬贴住基板的操作，会造成材料磨损。
实用新型内容
为了解决上述问题，本实用新型目的之一是提供一种基板吸附装置，其通过固定的吸盘件与可上下相对运动的吸盘件的设置，提供可调整的吸附力并且减少软质吸盘的损耗。
本实用新型目的之一是提供一种基板吸附装置，其通过软质或可变角度吸盘件搭配硬质吸盘件彼此形成的上下相对运动，可以调整并且提供翘曲基板适当的吸附力，保持传送中基板的平稳。此外，本实用新型还有利于在基板传输中，同时进行其它工艺。
为了达到上述目的，本实用新型一个实施例的基板吸附装置由一个以上的吸盘组合所构成，其中该吸盘组合包括：软质吸盘件，其具有至少一个软质吸嘴；以及硬质吸盘件，其中硬质吸盘件的主体具有镂空部，以容纳软质吸盘件在镂空部内进行上下相对运动。
本实用新型另一实施例的基板吸附装置由一个以上的吸盘组合所构成，其中该吸盘组合包括：可变角度吸盘件，其具有至少一个可变角度吸嘴；以及硬质吸盘件，其中硬质吸盘件的主体具有镂空部，以容纳可变角度吸盘件在镂空部内进行上下相对运动。
附图说明
图1a与图1b所示为现有的一种基板吸附装置的俯视示意图与剖面示意图。
图2a和图2b所示为现有的另一种基板吸附装置的俯视示意图与剖面示意图。
图3a和图3b所示为本实用新型一个实施例的基板吸附装置的俯视示意图与剖面示意图。
主要组件符号说明
| 10 | 基板吸附装置 |
| 200 | 硬质吸盘件 |
| 250 | 主体 |
| 255 | 镂空部 |
| 270 | 硬质吸孔 |
| 300 | 固定装置 |
| 400 | 软质吸盘件 |
| 450 | 软质吸嘴 |
| 455 | 管状主体 |
| 600 | 升降装置 |
具体实施方式
图3a和图3b所示为本实用新型的一种基板吸附装置的俯视示意图与剖面示意图。如图所示，基板吸附装置10由一个以上的吸盘组合所组成，其中该吸盘组合包括：软质吸盘件400；以及硬质吸盘件200。软质吸盘件400具有至少一个软质吸嘴450。硬质吸盘件200的主体250具有镂空部255，以容纳软质吸盘件400在该镂空部255内进行上下相对运动，使得硬质吸盘200与软质吸盘件400形成上下相对运动。此相对运动可以提供可调整的吸附力，对翘曲基板提供适当的吸附力。
此相对运动，可以是软质吸盘件400上升将基板吸附后，下拉至硬质吸盘件200的表面，还可以是软质吸盘件400将基板吸附后，再由硬质吸盘件200上升使基板与硬质吸盘件200接触。上述相对运动皆为在软质吸盘件400的软质吸嘴450微幅调控较优状态以吸附基板之后才运动。因此，本实用新型可有效减少传统软质吸嘴450的软性材料的磨损。
承上所述，硬质吸盘件200可设置在固定装置300上。在本实施例中，软质吸嘴450设置在管状主体455上，并且软质吸盘件400设置在升降装置600上，如图3b所示。在实施例中，如图未示，软质吸盘件可设置在固定装置上，而硬质吸盘件则设置在升降装置上。
承上所述，此基板吸附装置还包括动力装置(图中未示)，以提供升降装置600上下升降的动力。在实施例中，还包括设置抽力装置(图中未示)，其提供抽力以供硬质吸盘件200与软质吸盘件400吸附物件。可以理解的是，可使用同一抽力装置或是分别设置不同的抽力装置。
根据上述说明，在实施例中，图上未示，软质吸盘件也可以为可调整角度吸盘件。可调整角度吸盘件与硬质吸盘件形成上下相对运动，此相对运动可以提供可调整的吸附力，对翘曲基板提供适当的吸附力。在本实施例中，基板吸附装置的配置与前述实施例相似，在此不再赘述。
本实用新型的基板吸附装置对于所吸附的基板可进行精准的调控能力，能使基板平稳的传送，并且本实用新型的基板吸附装置所吸附的基板可以是玻璃基板、晶圆或其它具有平整表面的物体。
综合上述，本实用新型通过固定吸盘件与可上下相对运动的吸盘件的设置，提供可调整的吸附力，并且减少软质吸盘的损耗。软质或可变角度吸盘件搭配硬质吸盘件彼此形成上下相对运动，可以调整并提供翘曲基板适当的吸附力，保持传送中的基板的平稳。此外，本实用新型还有利于在基板传输中，同时进行其它工艺。
以上所述的实施例仅为说明本实用新型的技术思想及特点，其目的在于使本领域技术人员能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限定本实用新型的保护范围。凡是根据本实用新型所公开的精神所作的等效变化或修饰，仍应涵盖在本实用新型的权利要求中。
Claims (20)
1.一种基板吸附装置，其由一个以上的吸盘组合所组成，其特征在于，该吸盘组合包括：
一软质吸盘件，其具有至少一个软质吸嘴；以及
一硬质吸盘件，其中该硬质吸盘件的一主体具有一镂空部，以容纳所述软质吸盘件在该镂空部内进行上下相对运动。
2.如权利要求1所述的基板吸附装置，其特征在于，所述软质吸嘴设置在一管状主体上。
3.如权利要求1所述的基板吸附装置，其特征在于，所述硬质吸盘件设置在一固定装置上。
4.如权利要求3所述的基板吸附装置，其特征在于，所述软质吸盘件设置在一升降装置上。
5.如权利要求4所述的基板吸附装置，其特征在于，还包括一动力装置，其提供所述升降装置上下升降的动力。
6.如权利要求1所述的基板吸附装置，其特征在于，所述软质吸盘件设置在一固定装置上。
7.如权利要求6所述的基板吸附装置，其特征在于，所述硬质吸盘件设置在一升降装置上。
8.如权利要求7所述的基板吸附装置，其特征在于，还包括一动力装置，其提供所述升降装置上下升降的动力。
9.如权利要求1所述的基板吸附装置，其特征在于，还包括一抽力装置，其提供一吸力给所述软质吸盘件。
10.如权利要求1所述的基板吸附装置，其特征在于，还包括一抽力装置，其提供一吸力给所述硬质吸盘件。
11.一种基板吸附装置，其由一个以上的吸盘组合所组成，其特征在于，该吸盘组合包括：
一可变角度吸盘件，其具有至少一个可变角度吸嘴；以及
一硬质吸盘件，其中该硬质吸盘件的一主体具有一镂空部，以容纳所述可变角度吸盘件在该镂空部内进行上下相对运动。
12.如权利要求11所述的基板吸附装置，其特征在于，所述可变角度吸嘴设置在一管状主体上。
13.如权利要求11所述的基板吸附装置，其特征在于，所述硬质吸盘件设置在一固定装置上。
14.如权利要求13所述的基板吸附装置，其特征在于，所述可变角度吸盘件设置在一升降装置上。
15.如权利要求14所述的基板吸附装置，其特征在于，还包括一动力装置，其提供所述升降装置上下升降的动力。
16.如权利要求11所述的基板吸附装置，其特征在于，所述可变角度吸盘件设置在一固定装置上。
17.如权利要求16所述的基板吸附装置，其特征在于，所述硬质吸盘件设置在一升降装置上。
18.如权利要求17所述的基板吸附装置，其特征在于，还包括一动力装置，其提供所述升降装置上下升降的动力。
19.如权利要求11所述的基板吸附装置，其特征在于，还包括一抽力装置，其提供一吸力给所述可变角度吸盘件。
20.如权利要求11所述的基板吸附装置，其特征在于，还包括一抽力装置，其提供一吸力予所述硬质吸盘件。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CNU2008201842149U CN201350632Y (zh) | 2008-12-23 | 2008-12-23 | 基板吸附装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CNU2008201842149U CN201350632Y (zh) | 2008-12-23 | 2008-12-23 | 基板吸附装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN201350632Y true CN201350632Y (zh) | 2009-11-25 |
Family
ID=41374020
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CNU2008201842149U Expired - Fee Related CN201350632Y (zh) | 2008-12-23 | 2008-12-23 | 基板吸附装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN201350632Y (zh) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102166737A (zh) * | 2011-01-14 | 2011-08-31 | 江苏华兰药用新材料股份有限公司 | 真空吸取装置 |
| CN103496845A (zh) * | 2013-09-25 | 2014-01-08 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 用于基板加工的给料系统以及基板切割机 |
| CN103622634A (zh) * | 2012-08-24 | 2014-03-12 | 科沃斯机器人科技(苏州)有限公司 | 具有吸盘的吸附装置及其擦玻璃装置 |
| CN103904011A (zh) * | 2012-12-28 | 2014-07-02 | 上海微电子装备有限公司 | 翘曲硅片吸附装置及其吸附方法 |
| CN104181723A (zh) * | 2014-08-26 | 2014-12-03 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 平板玻璃用对组系统及对组方法 |
| CN112334299A (zh) * | 2018-08-28 | 2021-02-05 | 智慧科技有限公司 | 基板保护片 |
-
2008
- 2008-12-23 CN CNU2008201842149U patent/CN201350632Y/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102166737B (zh) * | 2011-01-14 | 2012-10-10 | 江苏华兰药用新材料股份有限公司 | 真空吸取装置 |
| CN102166737A (zh) * | 2011-01-14 | 2011-08-31 | 江苏华兰药用新材料股份有限公司 | 真空吸取装置 |
| CN103622634A (zh) * | 2012-08-24 | 2014-03-12 | 科沃斯机器人科技(苏州)有限公司 | 具有吸盘的吸附装置及其擦玻璃装置 |
| TWI495541B (zh) * | 2012-12-28 | 2015-08-11 | ||
| CN103904011B (zh) * | 2012-12-28 | 2016-12-28 | 上海微电子装备有限公司 | 翘曲硅片吸附装置及其吸附方法 |
| CN103904011A (zh) * | 2012-12-28 | 2014-07-02 | 上海微电子装备有限公司 | 翘曲硅片吸附装置及其吸附方法 |
| WO2014101795A1 (zh) * | 2012-12-28 | 2014-07-03 | 上海微电子装备有限公司 | 翘曲硅片吸附装置及其吸附方法 |
| CN103496845B (zh) * | 2013-09-25 | 2016-06-29 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 用于基板加工的给料系统以及基板切割机 |
| CN103496845A (zh) * | 2013-09-25 | 2014-01-08 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 用于基板加工的给料系统以及基板切割机 |
| WO2016029522A1 (zh) * | 2014-08-26 | 2016-03-03 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 平板玻璃用对组系统 |
| CN104181723A (zh) * | 2014-08-26 | 2014-12-03 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 平板玻璃用对组系统及对组方法 |
| CN104181723B (zh) * | 2014-08-26 | 2018-03-06 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 平板玻璃用对组系统及对组方法 |
| CN112334299A (zh) * | 2018-08-28 | 2021-02-05 | 智慧科技有限公司 | 基板保护片 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN201350632Y (zh) | 基板吸附装置 | |
| CN102870204B (zh) | 板状构件的移送装置及吸附垫 | |
| CN204929424U (zh) | 用于贴片机的吸嘴结构 | |
| TW200729382A (en) | Methods and apparatus for transferring substrates during electronic device manufacturing | |
| CN205166195U (zh) | 真空吸附装置 | |
| CN204997683U (zh) | 一种真空吸盘和带有真空吸盘的机械手 | |
| WO2009075261A1 (ja) | 基板搬送装置、基板搬送方法及び真空処理装置 | |
| CN107104071B (zh) | 一种气浮基台及喷墨打印装置 | |
| CN202481753U (zh) | 液晶面板移载设备 | |
| WO2008102751A1 (ja) | 磁気ディスク用基板および磁気ディスク | |
| CN104241169A (zh) | 中小尺寸液晶基板吸附翻转装置 | |
| CN103342205A (zh) | 一种卡匣及搬运玻璃基板的装置 | |
| CN108307587B (zh) | 一种bga基板的涂布吸附装置的工作方法 | |
| CN106586548B (zh) | 组合式混合吸盘 | |
| CN201868408U (zh) | 吸附晶片装置 | |
| CN204659131U (zh) | 一种贴合设备的贴合机构 | |
| CN205272056U (zh) | 吸取装置和机器人 | |
| CN206050940U (zh) | 组合式混合吸盘 | |
| CN102543815A (zh) | 用于转移石墨舟上半导体晶粒的吸盘装置 | |
| CN209425466U (zh) | 一种真空抓取片式产品浮动吸盘机构 | |
| CN206842514U (zh) | 一种吸取摄像模组的吸头治具 | |
| TWM506987U (zh) | 一種壓輪式負壓網膜箱剝離裝置結構 | |
| CN205305233U (zh) | 一种保护膜贴合设备 | |
| CN208977631U (zh) | 一种自动定位夹治具 | |
| CN206351501U (zh) | 一种长条薄片产品固定底座 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20091125 Termination date: 20151223 |
|
| EXPY | Termination of patent right or utility model |