CN112334299A - 基板保护片 - Google Patents
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Abstract
本发明的一实施例提供一种基板保护片，配置在真空吸盘和基板之间。一实施例的基板保护片的特征在于包括：通气性软片；以及通气性硬片，附着于通气性软片的一面，通气性软片具备多个通孔。根据本发明的基板保护片，能够提高真空吸盘对基板的吸附力。
Description
技术领域
本申请主张基于2018年8月28日提出的韩国专利申请第2018-0101225号的优选权权益，该韩国专利申请文件中公开的所有内容作为本说明书的一部分来包含。
本发明涉及一种基板保护片，更详细地涉及一种用于配置在柔性基板和真空吸盘之间来保护柔性基板的基板保护片。
背景技术
柔性基板作为具有弯曲特性的基板，可以用于显示装置、柔性电路板(FPCB)等。
在制造利用LCD、OLED的柔性显示装置或柔性电路板的过程中，柔性基板经过加工、输送以及检查等制造工艺。
这样的柔性基板制造过程在保持平坦度的同时进行工艺非常重要。为此的柔性基板的优选制造工艺是将基板载于真空吸盘等并用真空压力固定。
此时，使真空吸盘和柔性基板直接接触的话，可能导致柔性基板物理损坏。即，由于金属性的真空吸盘表面和柔性基板直接接触时碰撞或摩擦，可能在柔性基板产生物理损坏。
例如，在利用真空将柔性基板吸附于真空吸盘的表面时，可能既因接触碰撞而柔性基板破损，也在吸附的途中柔性基板在真空吸盘的表面滑移并产生刮痕。
另外，也可能由于真空压力，位于真空孔的上端区域的柔性基板底面被吸入真空孔而在基板产生变形。
因这样的理由，在柔性基板制造工艺等中，在基板的制造、检查、传送等中使用基板保护片。
例如，作为基板保护片，可以将聚乙烯或无纺布等硬片配置在真空吸盘和基板之间来使用。但是，使用硬片的话，若在真空吸盘和硬片之间、硬片和柔性基板之间存在异物，则可能在柔性基板导致刮痕、破损、变形等严重的损坏。
为了最小化这样的异物引起的基板损坏，可以使用在硬片的一面接合有软片的基板保护片。
如果在柔性基板和真空吸盘之间存在异物，软片执行缓冲作用，软片可以使用透气性好的聚氨酯材质。
但是，用聚氨酯制造的软片虽然自身的通气性好但软片的一部分下垂会堵塞真空吸盘的真空孔，由此可能反而使基板的吸附性降低。
发明内容
本发明的实施例提供一种当在真空吸盘真空吸附基板时能够提高吸附性的基板保护片。
本发明的目的不限于上述的，未提及的本发明的其它目的以及优点可通过下面的说明得到理解。
可以是，本发明的实施例的基板保护片包括：通气性软片；以及通气性硬片，附着于通气性软片的一面，通气性软片具备多个通孔。
在本发明的实施例中，可以是，通气性软片包含聚氨酯，通气性硬片包含聚乙烯。
在本发明的实施例中，可以是，通气性软片的开口率是20％～30％。此时，通孔的直径可以是0.8mm～1.2mm。可以是，通孔的孔距是1.5mm～2.5mm，通气性软片以及通气性硬片的厚度是0.1mm～0.3mm。
在本发明的实施例中，可以是，通气性软片配置于真空吸盘的上面，通气性硬片配置于基板的底面。
根据本发明的实施例，在软片形成多个通孔，从而能够提高软片的开口率，由此能够从真空吸盘提供对基板的稳定的吸附力。
本发明的效果不限于上述的效果，应理解为包括可从本发明的详细说明或者权利要求书中记载的发明的构成推理的所有效果。
附图说明
图1是示出本发明的一实施例的基板保护片的截面图。
图2是示出本发明的一实施例的基板保护片安放于真空吸盘的状态的截面图。
图3以及图4是分别示出本发明的一实施例的基板保护片当安放于真空吸盘时存在异物情况的截面图。
具体实施方式
下面，参考所附附图详细说明本发明的实施例。本发明可以以各种不同形式实现，不限于在此所说明的实施例。
为了清楚地说明本发明，针对与本发明的本质无关的部分可能省略对其的详细说明，贯穿说明书整体对相同或类似的构成要件标注相同的附图标记。
另外，当称为某部分“包括”某构成要件时，其意指可以还包括其它构成要件而不是排除其它构成要件，除非存在特别相反的记载。在此所使用的专用术语只是用于提及特定实施例，并不是要限定本发明，可以解释为本发明所属技术领域中具有通常知识的人所理解的概念，除非在本说明书进行不同定义。
图1示出本发明的一实施例的基板保护片。
参考图1，一实施例的基板保护片通过在通气性软片的一面附着通气性硬片而构成。
通气性软片11可以包含聚氨酯泡沫。聚氨酯泡沫由于开孔(Open cell)结构而通气性优异，因此能够使柔性基板被稳定且准确地真空吸附。
另外，聚氨酯泡沫是更容易产生外部因素引起的变形且当去除外部因素时容易恢复为原状态的材质。因此，通气性软片11自身适合吸收因外部变形因素可能传给柔性基板30的变形。
即，通气性软片11能够通过自身的变形有效地防止或抑制当真空吸附柔性基板30时产生的由外部变形因素引起的柔性基板30的变形。
但是，通气性软片可能堵塞真空吸盘的真空孔，由此对柔性基板的真空吸附可能得不到正常进行。另外，柔性基板根据其柔性材质的特性可能发生基板自身弯曲的情况。在这种情况下，当吸附于真空吸盘时吸附力变弱，如果吸附力弱，则可能产生基板无法稳定地吸附于真空吸盘的问题。
因此，一实施例的通气性软片具有多个通孔。即，提高通气性软片的开口率，从而能够最小化通气性软片堵塞真空吸盘的真空孔的现象，最终能够提高对柔性基板的吸附性能。
通气性软片11可以利用聚氨酯泡沫的磁附着力与通气性硬片12接合。或者，也可以利用通气性粘接剂接合通气性硬片12和通气性软片11来确保通气性。
当柔性基板吸附于真空吸盘时，通气性硬片12提供充分的平坦度。通气性硬片12可以包含通过乙烯聚合生成的热塑性塑料的聚乙烯中通过低压法或中压法制造的高密度(硬质)聚乙烯。
作为通气性硬片，也可以替代聚乙烯使用无纺布。但是，无纺布虽然相比于聚乙烯来说经济型，但表面粗度(Surface Roughness)以及平坦度(Flatness)低，因此可能也降低吸附力。
图2是示出本发明的一实施例的基板保护片配置于真空吸盘的状态的截面图。
参考图2，在真空吸盘20上配置基板保护片10，在基板保护片10上配置柔性基板30。
若在如此配置的状态下，通过真空吸盘20的真空孔21真空吸附柔性基板30，则位于真空孔21的上端部的通气性软片11的底面部分被向真空孔21侧吸入预定量。
此时，配置在通气性软片11上面的通气性硬片12在通气性软片11的弹力作用下其变形被最小化，并能够保持平坦度，结果能够最小化柔性基板30的变形。
另一方面，在通气性软片11形成有多个通孔11a，因此能够充分确保真空吸盘20和柔性基板30间的通气性，由此会实现柔性基板30的稳定的真空吸附。
下表1是实施例数据，示出基于硬片厚度、通孔直径、通孔孔距的开口率和真空压力。软片的厚度是以0.3mm均相同。真空压力是与用于向真空吸盘提供真空吸力的真空泵连接的仪表所测量的压力值，将在真空吸盘上仅配置基板保护片的情况(无基板)和在基板保护片之上还配置基板的情况(有基板)的结果均示出。两情况下的压力差相当于通过真空吸盘提供于基板的吸附力。
[表1]
参考实施例1至11，基于有无基板的压力差，即通过真空吸盘提供的吸附力均表现出基准以上，由此可知当在通气性软片形成通孔时具有效果。但是，当软片的开口率过小时，发生真空孔堵塞现象。因此，优选的是通气性软片的开口率为15％以上，更优选的是20％以上。当开口率小于20％时，根据基板保护片的部位，无法充分确保通气性，因此可能发生真空孔堵塞现象。另外，通气性软片的开口率可以是30％以下。当开口率大于30％时，通气性软片和通气性硬片间的接触面会减少，因相互间的接合力减少，可能发生在真空压力下真空孔方向上的通气性软片的拽拉现象。即，根据部位，由于拽拉现象的增减而压力波动可能严重。
为了将开口率调整为20％～30％，实施例1至11分别在通孔的直径为1.0mm、2.0mm、3.0mm的状态下调节通孔和通孔间的孔距。参考其，当具有下面的设定值时能够确保基板保护片的优异的平坦度以及吸附性能。
通孔的直径可以是0.8mm～1.2mm。通孔利用激光或模具进行打孔，当通孔的直径小于0.8mm时，存在难以打孔的问题。当通孔的直径大于1.2mm时，虽然在吸附力方面是稳定的，但可能随着通孔的直径增加，在真空吸附时对柔性基板的平坦度带来影响，因此可能产生不良。
通孔和通孔间的孔距可以是1.5mm～2.5mm。当孔距小于1.5mm时，通气性软片和通气性硬片间的接触面会减少，因相互间的接合力减少，可能发生在真空压力下真空孔方向上通气性软片的拽拉现象。即，根据部位，由于拽拉现象的增减而压力波动可能严重。当孔距大于2.5mm时，根据基板保护片的部位，无法充分确保通气性，可能发生真空孔堵塞现象。
软片以及硬片的厚度可以考虑工艺特性或制造工艺内部的异物管理值来适当选择。例如，软片以及硬片的厚度可以是0.05mm～1mm。
但是，更优选的是软片的厚度为0.1mm～0.3mm。当软片的厚度小于0.1mm时，难以提供充分的缓冲效果，虽然软片的厚度越厚，在防止乃至抑制异物引起的损坏方面越有效，但当大于0.3mm时，软片自身的变形可能导致基板的变形。
另外，鉴于经济性、吸附性等，硬片的厚度更优选的是0.1mm～0.3mm。当硬片的厚度小于0.1mm时，难以制造且在柔性基板的平坦度保持方面薄弱，当硬片的厚度大于0.3mm时，成本负担增加，通气性变差而在柔性基板的吸附力方面成问题。
下表2示出使用了未形成有通孔的软片的比较例数据。软片的厚度均以0.3mm相同，是改变硬片厚度的同时测量压力的结果。
[表2]
参考比较例1至3，聚氨酯虽然自身的通气性好，但当未形成通孔时，软片的一部分下垂并堵塞真空吸盘的真空孔，从而可能反而使通气性变差。
即，与在通气性软片形成有通孔的实施例相比较，基于有无基板的压力差(即，吸附力)减少很多。当基板正常时，基板整体稳定地吸附于真空吸盘，因此没有问题，但是当在柔性基板的特性上处于弯曲时，可能产生吸附不良。
图3例示在柔性基板30真空吸附于真空吸盘20的期间，通过基板保护片防止异物引起的柔性基板30的变形以及损坏的情况。
参照图3，在通气性软片11紧贴配置于真空吸盘20上面的状态下，当真空吸盘20的上面和通气性软片11之间存在异物40时，异物40引起的变形首先被通气性软片11减少，由此能够防止可能对通气性硬片12以及柔性基板30带来的影响。因此，能够与通气性硬片12一起保护柔性基板30。
图4例示当在基板保护片的通气性软片11抵接于真空吸盘20的上面的状态下真空吸附柔性基板30时，在柔性基板30和通气性硬片12之间存在异物40时保护柔性基板30的状况。
参考图4，即使因异物40在通气性硬片12产生变形到在柔性基板30和通气性硬片12之间形成空间的程度，其变形被通气性软片11吸收，从而柔性基板30的变形被最小化。另外，当柔性基板30的底面与异物直接接触时，减弱摩擦和碰撞，从而还能够最小化刮痕和破损。
本发明所属的技术领域的技术人员能够将本发明在不变更其技术构思或必要特征的情况下以其它具体形式实施，因此应理解为以上叙述的实施例在所有方面是例示性的，而不是限定性的。
本发明的范围通过所附权利要求书来呈现，而不是通过详细说明来呈现，应解释为从权利要求书的含义、范围及其等同概念导出的所有变更或变形的形式包括在本发明的范围中。
Claims (7)
1.一种基板保护片，配置在真空吸盘和基板之间，所述基板保护片包括：
通气性软片；以及
通气性硬片，附着于所述通气性软片的一面，
所述通气性软片具备多个通孔。
2.根据权利要求1所述的基板保护片，其中，
所述通气性软片包含聚氨酯，
所述通气性硬片包含聚乙烯。
3.根据权利要求1所述的基板保护片，其中，
所述通气性软片的开口率是20％～30％。
4.根据权利要求1所述的基板保护片，其中，
所述通孔的直径是0.8mm～1.2mm。
5.根据权利要求1所述的基板保护片，其中，
所述通孔的孔距是1.5mm～2.5mm。
6.根据权利要求1所述的基板保护片，其中，
所述通气性软片的厚度是0.1mm～0.3mm，所述通气性硬片的厚度是0.1mm～0.3mm。
7.根据权利要求1所述的基板保护片，其中，
所述通气性软片配置于真空吸盘的上面，所述通气性硬片配置于基板的底面。
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Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TW200303071A (en) * | 2002-02-08 | 2003-08-16 | Hitachi Ltd | Manufacturing method of semiconductor device |
| CN201350632Y (zh) * | 2008-12-23 | 2009-11-25 | 晶彩科技股份有限公司 | 基板吸附装置 |
| CN102164719A (zh) * | 2008-09-29 | 2011-08-24 | 日东电工株式会社 | 吸附片 |
| CN203746812U (zh) * | 2014-03-05 | 2014-07-30 | 先进光电器材（深圳）有限公司 | 固晶机及其真空吸取支架 |
| TWI540029B (zh) * | 2015-05-15 | 2016-07-01 | Nohan Technology Co Ltd | Vacuum sucker |
| TWM525543U (zh) * | 2016-03-02 | 2016-07-11 | Castec Internat Corp | 用於片狀物之接觸式吸盤 |
| CN108136719A (zh) * | 2015-09-30 | 2018-06-08 | 世联株式会社 | 压花加工用复合材料和压花加工品 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08258198A (ja) * | 1995-03-22 | 1996-10-08 | Nitto Denko Corp | 吸着固定用多孔質シート |
| JP2003277702A (ja) | 2002-03-25 | 2003-10-02 | Nitto Denko Corp | 両面粘着テープ及びそれを用いた吸着固定用シート |
| JP4965917B2 (ja) * | 2006-07-18 | 2012-07-04 | パナソニック株式会社 | 火災報知システム |
| JP2009023777A (ja) | 2007-07-18 | 2009-02-05 | Nitto Denko Corp | 吸着固定用シート |
| KR101368089B1 (ko) | 2013-03-04 | 2014-02-28 | 최경숙 | 기판 보호 시트 |
-
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- 2018-08-28 KR KR1020180101225A patent/KR102099855B1/ko active IP Right Grant
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Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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