JP5181859B2 - 巻ずれ防止冶具及びこれを用いたロール・ツー・ロール真空成膜装置 - Google Patents
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Description
長尺樹脂フィルムFとして、幅50cm、長さ2500m、厚み38μmのポリイミドフィルム(東レ株式会社製、商品名カプトン(登録商標))を使用し、これを外径18cmのコアに巻回して外径40cmのロール状フィルムRを用意した。このロール状フィルムRに、図2に示すように1対の巻ずれ防止板21からなる巻ずれ防止冶具20を装着した。巻ずれ防止板21のコア13aへの固着手段には図7に示すOリング27を用いた。
各巻ずれ防止板21のロール状フィルムRに対向する面に、幅38mm、高さ3mmの突出部材22を12本形成し、各突出部材22における巻き出し前のロール状フィルムRの側面に対向している領域の面積を各巻ずれ防止板において合計した総面積が、巻き出し前のロール状フィルムRの片側側面の面積に対して50%となるようにした以外は実施例1と同様にして真空中で長尺樹脂フィルムFのロール・ツー・ロール搬送を行った。その結果、長尺樹脂フィルムFの巻ずれ、しわ、傷などはなく、十分な効果が得られた。
各巻ずれ防止板21のロール状フィルムRに対向する面に、幅1mm、高さ3mmの突出部材22を3本形成し、各突出部材22における巻き出し前のロール状フィルムRの側面に対向している領域の面積を各巻ずれ防止板において合計した総面積が、巻き出し前のロール状フィルムRの片側側面の面積に対して0.3%となるようにした以外は実施例1と同様にして真空中で長尺樹脂フィルムFのロール・ツー・ロール搬送を行った。その結果、長尺樹脂フィルムFの巻ずれ、しわ、傷などはなく、十分な効果が得られた。
各巻ずれ防止板21のロール状フィルムRに対向する面に、幅30mm、高さ3mmの突出部材22を6本形成し、各突出部材22における巻き出し前のロール状フィルムRの側面に対向している領域の面積を各巻ずれ防止板において合計した総面積が、巻き出し前のロール状フィルムRの片側側面の面積に対して20%となるようにした以外は実施例1と同様にして真空中で長尺樹脂フィルムFのロール・ツー・ロール搬送を行った。その結果、長尺樹脂フィルムFの巻ずれ、しわ、傷などはなく、十分な効果が得られた。
各巻ずれ防止板21のロール状フィルムRに対向する面に、幅0.5mm、高さ3mmの突出部材22を3本形成し、各突出部材22における巻き出し前のロール状フィルムRの側面に対向している領域の面積を各巻ずれ防止板において合計した総面積が、巻き出し前のロール状フィルムRの片側側面の面積に対して0.2%となるようにした以外は実施例1と同様にして真空中で長尺樹脂フィルムFのロール・ツー・ロール搬送を行った。その結果、長尺樹脂フィルムFの幅方向中央部には傷、しわなどが特に見当たらなかったが、巻ずれが左右に2mm発生したため、長尺樹脂フィルムFの幅方向端部に傷、しわなどが発生した。
各巻ずれ防止板21のロール状フィルムRに対向する面に、幅42mm、高さ3mmの突出部材22を12本形成し、各突出部材22における巻き出し前のロール状フィルムRの側面に対向している領域の面積を各巻ずれ防止板において合計した総面積が、巻き出し前のロール状フィルムRの片側側面の面積に対して55%となるようにした以外は実施例1と同様にして真空中で長尺樹脂フィルムFのロール・ツー・ロール搬送を行った。その結果、長尺樹脂フィルムFの巻ずれは特に発生しなかったが、長尺樹脂フィルムFの幅方向中央部に傷、しわ、などが発生することがあった。
各巻ずれ防止板21のロール状フィルムRに対向する面に、幅270mm、高さ3mmの突出部材22を1本形成し、各突出部材22における巻き出し前のロール状フィルムRの側面に対向している領域の面積を各巻ずれ防止板において合計した総面積が、巻き出し前のロール状フィルムRの片側側面の面積に対して30%となるようにした以外は実施例1と同様にして真空中で長尺樹脂フィルムFのロール・ツー・ロール搬送を行った。その結果、長尺樹脂フィルムFは左右に2mm巻ずれた。また、長尺樹脂フィルムFの幅方向端部に傷、しわなども発生した。
巻ずれ防止冶具20を用いなかった以外は実施例1と同様にして真空中で長尺樹脂フィルムFのロール・ツー・ロール搬送を行った。その結果、長尺樹脂フィルムFは左右に大きく巻ずれて竹の子状になった。また、傷、しわなども発生した。
12 筐体
13 巻出ロール
13a コア
14 キャンロール
15a、15b スパッタリングカソード
16a、16b テンションロール
17 巻取ロール
18a、18b ガイドロール
20 巻ずれ防止冶具
21 巻ずれ防止板
21a 中央開口部
21b 周縁開口部
22 突出部材
26 Oリング用溝
27 Oリング
28 ドリルチャック
32 剛体部
33 支持体
34 アーム
F 長尺樹脂フィルム
R ロール状フィルム
Claims (5)
- 円筒状のコアに長尺樹脂フィルムを巻回してなるロール状フィルムを減圧された雰囲気下で巻き出す際に使用する巻ずれ防止冶具であって、該ロール状フィルムを両側面から挟むように、前記コアに着脱可能に装着される1対の巻ずれ防止板と、各巻ずれ防止板の少なくともロール状フィルムに対向する面に、前記コアを中心にして放射状でかつ対称に配された、該ロール状フィルムの側面に当接することが可能な複数の突出部材とを有し、各突出部材における巻き出し前のロール状フィルムの側面に対向する領域の面積を各巻ずれ防止板において合計した総面積が、巻き出し前のロール状フィルムの片側側面の面積に対して0.3〜50%であることを特徴とする巻ずれ防止冶具。
- 前記コアの接線方向における前記突出部材の幅が1mm以上であることを特徴とする、請求項1に記載の巻ずれ防止冶具。
- 前記突出部材が弾性体からなる凸状部材で形成され、前記巻ずれ防止板に接合されていることを特徴とする、請求項1又は2に記載の巻ずれ防止冶具。
- 前記突出部材が剛体部で形成され、前記巻ずれ防止板に弾性体を介して接合されていることを特徴とする、請求項1又は2に記載の巻ずれ防止冶具。
- 長尺樹脂フィルムを減圧した雰囲気下でロール・ツー・ロールにより搬送するロール・ツー・ロール真空成膜装置であって、その巻出ロール及び/又は巻取ロールに請求項1から4のいずれかに記載の巻ずれ防止冶具が用いられていることを特徴とするロール・ツー・ロール真空成膜装置。
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JP2008157421A JP5181859B2 (ja) | 2008-06-17 | 2008-06-17 | 巻ずれ防止冶具及びこれを用いたロール・ツー・ロール真空成膜装置 |
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