WO2022024186A1 - 吸着パッド - Google Patents

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WO2022024186A1
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glass plate
plate material
suction pad
foaming member
airtight space
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文男 玉村
宏佳 進藤
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日本電気硝子株式会社
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    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/06—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/07—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for semiconductor wafers Not used, see H01L21/677
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations

Definitions

  • the present invention relates to a suction pad that sucks a plate material such as a glass plate.
  • a step of moving the glass plate while adsorbing it with an adsorption pad may be included.
  • the conical skirt portion of the bad body is brought into contact with the surface of the glass plate, and the gas in the airtight space formed between the pad body and the glass plate is sucked by a vacuum pump or the like to suck the glass plate.
  • the structure that adsorbs is common.
  • the glass plate becomes thin, when it is sucked by the suction pad, the glass plate bends in the suction direction and bends unreasonably, which may cause scratches or breakage.
  • FIG. 9 of Patent Document 1 discloses that a planar pad made of a porous body through which a negative pressure fluid can pass is arranged in an airtight space, and the work is adsorbed through the pad. Has been done.
  • Patent Document 1 when the configuration of FIG. 9 of Patent Document 1 is applied to the adsorption of the glass plate, the skirt portion of the pad body comes into contact with the glass plate via the lip portion thinly formed on the peripheral portion of the pad. That is, since the skirt portion of the pad body is not in direct contact with the glass plate, the suction force of the glass plate may be insufficient.
  • Patent Document 1 if a thin-walled lip portion is formed by compressing with a press, the pores are crushed with the press, so that the lip portion functions as a sealing portion that blocks the passage of fluid. There is. In this case, the flexibility is impaired as the rigidity of the lip portion is increased by the press, so that the glass plate may be damaged during adsorption.
  • Patent Document 1 discloses that the supply of negative pressure to the airtight space is stopped when the suction of the glass plate is released, but it takes time to separate the suction pad and the glass plate. There is a problem. It is also conceivable to supply a gas that pressurizes the airtight space to separate the suction pad and the glass plate, but in this case, the equipment is complicated because a separate equipment for supplying the pressurized gas is required. New problems such as becoming a gas may occur.
  • the present invention which was devised to solve the above problems, is a suction pad that adsorbs a plate material, and is arranged in the airtight space and comes into contact with the pad body that forms an airtight space between the plate material and the plate material.
  • the pad body is provided with a first foaming member, and the pad body is provided with an exhaust port for discharging gas in the airtight space and a skirt portion that comes into contact with the plate material on the outside of the outer edge portion of the first foaming member.
  • the skirt portion comes into contact with the plate material on the outside of the outer edge portion of the first foaming member, it is easy to secure the airtightness in the airtight space, and the suction force can be improved. Further, if the supply of the negative pressure to the airtight space is stopped, the skirt portion can be separated from the plate material by the restoring force of the elastic deformation, so that the time required for separating the suction pad and the plate material can be shortened. Since the restoring force of the elastic deformation of the skirt is used, there is no need for a separate facility for supplying a gas that pressurizes the airtight space.
  • the outer edge portion of the first foaming member is thinner than the inner center portion of the outer edge portion of the first foaming member.
  • the skirt portion and the plate material come into contact with each other more reliably on the outside of the outer edge portion of the first foaming member, so that the suction error of the plate material by the suction pad can be prevented.
  • the outer edge portion of the first foaming member gradually becomes thinner from the inside to the outside.
  • the elastic deformation of the skirt portion occurs smoothly at the time of adsorption, so that the deformation of the plate material due to the contact with the skirt portion can be reduced.
  • the elastic deformation of the skirt portion is smoothly restored, so that the adsorbed plate material can be easily separated.
  • the first foaming member has an exhaust hole penetrating from the exhaust port toward the plate material in the thickness direction.
  • the inner wall of the exhaust port is made of a second foam member.
  • the periphery of the exhaust hole of the first foaming member is supported by the second foaming member instead of the pad body. Therefore, local deformation can be alleviated in the portion of the plate material located around the exhaust hole, and the plate material can be prevented from being damaged or damaged. Further, since the opening area of the exhaust port can be reduced by the thickness corresponding to the thickness of the second foam member, the occurrence of local deformation of the plate material itself can be suppressed.
  • the inner diameter of the exhaust port is preferably 30 mm or less.
  • the opening area of the exhaust port is sufficiently small, it is possible to suppress the local deformation of the plate material at the position corresponding to the exhaust port, and it is possible to further reduce the damage or damage of the plate material.
  • the plate material is preferably a glass plate.
  • the present invention it is possible to suppress the bending of the plate material while ensuring a high suction force when suction is executed by the suction pad.
  • the plate material can be quickly separated when the suction is released by the suction pad.
  • the suction device 1 includes a suction pad 2 and a vacuum pump 3.
  • the case where the plate material to be adsorbed is the glass plate G will be described.
  • the suction pad 2 includes a pad main body 4 that forms an airtight space S with the glass plate G, and a first foam member 5 that is arranged in the airtight space S and comes into contact with the glass plate G.
  • the pad body 4 includes an exhaust port 6 for discharging gas (for example, air) in the airtight space S, and a skirt portion 7 that comes into contact with the glass plate G on the radial outside of the first foaming member 5.
  • the pad body 4 is made of an elastic body such as rubber that does not allow gas to pass through the airtight space S.
  • a vacuum pump 3 is connected to the exhaust port 6 via a pipe 8. By the suction operation of the vacuum pump 3, the gas in the airtight space S is exhausted from the exhaust port 6, and a negative pressure is applied to the airtight space S.
  • the inner diameter D of the exhaust port 6 is preferably 30 mm or less, more preferably 25 mm or less, and most preferably 20 mm or less. By doing so, since the exhaust port 6 becomes sufficiently small, it is possible to suppress the local deformation of the glass plate G in the suction direction at the portion corresponding to the exhaust port 6. On the other hand, if the inner diameter D of the exhaust port 6 is too small, the time required for discharging the gas in the airtight space S in the adsorption step described later and the time required for raising the air pressure in the airtight space S to a certain extent in the separation step become long. , The responsiveness may decrease. Therefore, the inner diameter D of the exhaust port 6 is preferably 10 mm or more.
  • the skirt portion 7 can be elastically deformed by contact with the glass plate G (see FIGS. 2 and 3), and can be separated from the glass plate G by the restoring force of the elastic deformation (see FIG. 4).
  • the skirt portion 7 has a conical shape and gradually decreases in thickness from the inside to the outside.
  • the thin tip portion 7a is a contact portion with the glass plate G.
  • the first foaming member 5 includes a relatively thin outer edge portion 9 and a relatively thick central portion 10.
  • the outer edge portion 9 gradually becomes thinner from the inside to the outside.
  • the central portion 10 is a plate-shaped body having a substantially constant thickness.
  • the surface of the outer edge portion 9 on the glass plate G side and the surface of the central portion 10 on the glass plate G side are designated as contact surfaces 5a that abut on the glass plate G.
  • the central portion 10 is provided with an exhaust hole 11 penetrating from the exhaust port 6 toward the glass plate G in the thickness direction. If the first foaming member 5 has air permeability, the exhaust hole 11 may be omitted, but it is preferable to provide the exhaust hole 11 from the viewpoint of improving the suction force.
  • the inner diameter of the exhaust hole 11 is the same as the inner diameter of the exhaust port 6 in the present embodiment, but may be larger or smaller than the inner diameter of the exhaust port 6.
  • the first foam member 5 is fixed to the inner wall of the pad body 4.
  • the method of fixing the first foaming member 5 is not particularly limited, but the first foaming member 5 is fixed to the inner wall of the pad body 4 with an adhesive, for example.
  • the first foam member 5 is not fixed to the inner wall of the tip portion 7a of the skirt portion 7. That is, when viewed from the glass plate G side, the tip portion 7a of the skirt portion 7 protrudes outward in the radial direction of the first foaming member 5.
  • the radial protrusion width W of the tip portion 7a of the skirt portion 7 is preferably 2 mm to 10 mm.
  • a through hole 12 penetrating in the thickness direction is provided in the center of the pad body 4, and a cylindrical second foam member 13 is arranged on the inner wall of the through hole 12. That is, the inner hole of the cylindrical second foaming member 13 functions as the exhaust port 6.
  • the second foam member 13 By arranging the second foam member 13 in this way, it becomes easy to adjust the inner diameter of the exhaust port 6 according to the thickness of the glass plate G.
  • the periphery of the exhaust hole 11 of the first foaming member 5 is supported not by the pad body 4 but by the second foaming member 13 which is easily deformed. Therefore, local deformation can be alleviated in the portion of the glass plate G located around the exhaust hole 11, and the glass plate G can be prevented from being damaged or damaged.
  • the second foam member 13 is inserted into the through hole 12 in a compressed state, and is fixed to the inner wall of the through hole 12 by utilizing the restoring force thereof. That is, the second foam member 13 is not adhesively fixed to the inner wall of the through hole 12.
  • the insertion depth of the second foam member 13 is regulated by the first foam member 5.
  • the method of fixing the second foam member 13 is not particularly limited, and may be fixed to the peripheral wall of the exhaust port 6 with an adhesive, for example.
  • the second foaming member 13 may be omitted.
  • the first foaming member 5 and the second foaming member 13 are porous elastic bodies having a closed cell structure or an open cell structure, and for example, a polyurethane sponge can be used.
  • the first foaming member 5 and the second foaming member 13 may be made of different materials having different foaming ratios and the like.
  • the first foaming member 5 has a high density (high hardness) and the second foaming member 13 has a different material. It may be low density (low hardness).
  • the first foaming member 5 and the second foaming member 13 may be made of the same material.
  • the tip portion 7a of the skirt portion 7 of the suction pad 2 is brought into contact with the surface of the glass plate G.
  • the gas in the airtight space S of the suction pad 2 is vacuum-sucked by the suction operation of the vacuum pump 3.
  • the skirt portion 7 of the pad body 4 is strongly pressed against the surface Ga of the glass plate G while the volume of the airtight space S decreases, and the skirt portion 7 is elastic. transform.
  • the contact surface 5a of the first foaming member 5 in the airtight space S is also strongly pressed against the surface Ga of the glass plate G, and the first foaming member 5 is compressed and deformed.
  • the tip portion 7a of the skirt portion 7 comes into contact with the surface Ga of the glass plate G and is deformed so as to follow the surface Ga of the glass plate G.
  • the glass plate G is reliably attracted to the suction pad 2 by the negative pressure.
  • the first foaming member 5 having an appropriate cushioning property is pressure-welded to the surface Ga of the glass plate G, the bending of the glass plate G in the suction direction is suppressed. Therefore, the glass plate G is less likely to be bent due to unreasonable bending, and scratches and breakage of the glass plate G can be suppressed. Further, since the skirt portion 7 comes into direct contact with the glass plate G on the radial outside of the outer edge portion 9 of the first foaming member 5, it is easy to secure the airtightness in the airtight space S and improve the adsorption force. can.
  • the suction operation of the vacuum pump 3 is stopped and the airtight space S is opened to the atmosphere.
  • the tip portion 7a of the skirt portion 7 tends to return to its original shape due to the restoring force of the elastic deformation, as shown in an enlarged manner in FIG.
  • the glass plate G is pressed in the direction away from the suction pad 2.
  • the glass plate G is quickly separated from the suction pad 2.
  • the time required to separate the suction pad and the glass plate can be shortened.
  • the restoring force of the elastic deformation of the skirt portion 7 is used, there is an advantage that a facility for supplying a gas for pressurizing the inside of the airtight space S is not required separately.
  • the thickness of the thin tip portion 7a which is deformed to warp following the surface Ga of the glass plate G in the adsorption step, is preferably 2 to 10 mm, for example.
  • the tip portion 7a of the thin wall preferably has a radial width of, for example, 2 mm or more, more preferably a protrusion width W or more, and further preferably (W + 5) mm or more.
  • the upper limit is preferably, for example, (W + 15) mm or less.
  • the glass plate G has flexibility.
  • the effect of suppressing the bending of the glass plate G becomes more remarkable as the thickness of the glass plate G becomes thinner. Therefore, the thickness of the glass plate G is preferably 0.5 mm or less, preferably 0.4 mm or less. Is more preferable, and 0.3 mm or less is further preferable.
  • the lower limit is preferably 0.05 mm or more.
  • the suction pad 2 is used, for example, when moving the glass plate G in the manufacturing process (mainly the processing process) of the glass plate G. Specifically, when the glass plate G is cut to a predetermined size and then moved, when the glass plate for inspection is pulled out from the transport path of the glass plate G, when the glass plate G is loaded on the packing pallet, the glass plate G is used. Is used when unloading from the packing pallet. Further, the suction pad 2 may suck and separate the glass plate G in a vertical posture (for example, a vertical posture), or may suck and separate the glass plate G in a horizontal posture (for example, a horizontal posture).
  • a vertical posture for example, a vertical posture
  • a horizontal posture for example, a horizontal posture
  • the plate material is a glass plate G
  • the plate material is not limited to this.
  • the present invention can be applied to a plate material such as a metal plate, a silicon plate (silicon wafer), a resin plate, and a laminate of a glass plate and a resin plate. From the viewpoint of obtaining the effect of suppressing the bending of the glass plate G, it is preferable that the plate material has flexibility.
  • Suction device 2 Suction pad 3 Vacuum pump 4 Pad body 5
  • First foaming member 5a Contact surface 6
  • Skirt part 7a Tip part 8
  • Piping 9 Outer edge part 10
  • Center part 11 Exhaust hole 12 Through hole 13
  • Second foaming member G Glass plate Ga Surface S Airtight space

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Abstract

ガラス板Ｇを吸着する吸着パッド２は、ガラス板Ｇとの間に気密空間Ｓを形成するパッド本体４と、気密空間Ｓ内に配置されてガラス板Ｇと接触する第一発泡部材５と、を備える。パッド本体４は、気密空間Ｓ内の気体を排出するための排気口６と、第一発泡部材５の外縁部９の外側でガラス板Ｇと接触するスカート部４と、を備える。スカート部４は、ガラス板Ｇとの接触により弾性変形可能であり、かつ、弾性変形の復元力によりガラス板Ｇから分離可能である。

Description

吸着パッド
　本発明は、ガラス板などの板材を吸着する吸着パッドに関する。
　液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等のフラットパネルディスプレイや太陽電池などの基板として用いられるガラス板の製造工程において、ガラス板を吸着パッドで吸着しながら移動させる工程が含まれる場合がある。
　吸着パッドとしては、バッド本体の円錐状のスカート部をガラス板の表面に接触させ、パッド本体とガラス板との間に形成される気密空間内の気体を真空ポンプ等で吸引してガラス板を吸着する構造が一般的である。
　しかしながら、ガラス板が薄くなると、吸着パッドで吸着した際に、ガラス板が吸引方向に湾曲して不当に撓み、傷や破損が生じる原因となり得る。
　そこで、例えば、特許文献１の図９には、気密空間内に、負圧流体が通過可能な多孔質体からなる平面状のパッドを配置し、このパッドを介してワークを吸着することが開示されている。
特開２０１２－１１０９８２号公報
　しかしながら、特許文献１の図９の構成をガラス板の吸着に適用した場合には、パッド本体のスカート部は、パッドの周縁部に薄く形成されたリップ部を介してガラス板と接触する。つまり、パッド本体のスカート部が、ガラス板と直接接触していないため、ガラス板の吸着力が不十分になるおそれがある。なお、特許文献１では、プレスによって圧縮することで薄肉のリップ部を形成すれば、プレスに伴って空孔が潰されることから、流体の通過を遮断する封止部としてリップ部が機能するとしている。この場合、プレスによってリップ部の剛性が高くなるのに伴って柔軟性が損なわれるので、吸着時にガラス板を傷付けるおそれがある。
　また、特許文献１には、ガラス板の吸着を解除する際に、気密空間に対する負圧の供給を停止することが開示されているが、吸着パッドとガラス板とを分離させるのに時間を要するという問題がある。なお、気密空間内を加圧する気体を供給し、吸着パッドとガラス板とを分離させることも考えられるが、この場合には、加圧する気体の供給設備が別途必要となることから、設備が複雑化するなどの新たな問題が生じ得る。
　なお、以上のような問題は、ガラス板以外の板材に対して吸着パッドを使用する場合にも同様に生じ得る。
　本発明は、吸着パッドによる吸着実行時に、高い吸着力を確保しつつ板材の撓みを抑制すると共に、吸着パッドによる吸着解除時に、板材を素早く分離することを課題とする。
　上記の課題を解決するために創案された本発明は、板材を吸着する吸着パッドであって、板材との間に気密空間を形成するパッド本体と、気密空間内に配置されて板材と接触する第一発泡部材と、を備え、パッド本体は、気密空間内の気体を排出するための排気口と、第一発泡部材の外縁部の外側で板材と接触するスカート部と、を備え、スカート部は、板材との接触により弾性変形可能であり、かつ、弾性変形の復元力により板材から分離可能であることを特徴とする。
　このようにすれば、第一発泡部材により適度なクッション性を維持しつつ、板材の撓みを確実に抑制できる。また、スカート部が、第一発泡部材の外縁部の外側で板材と接触するため、気密空間内の気密性を確保しやすく、吸着力を向上させることができる。さらに、気密空間に対する負圧の供給を停止すれば、スカート部が弾性変形の復元力により板材から分離可能であるため、吸着パッドと板材とを分離するまでに要する時間を短くできる。なお、スカート部の弾性変形の復元力を利用するため、気密空間内を加圧する気体を供給する設備等も別途必要ない。
　上記の構成において、第一発泡部材の外縁部が、第一発泡部材の外縁部の内側の中心部よりも厚みが薄いことが好ましい。
　このようにすれば、第一発泡部材の外縁部の外側で、スカート部と板材とがより確実に接触するため、吸着パッドによる板材の吸着エラーを防止できる。
　上記の構成において、第一発泡部材の外縁部は、内側から外側に向かって漸次薄くなることが好ましい。
　このようにすれば、吸着時にスカート部の弾性変形が円滑に生じるため、スカート部との接触に伴う板材の変形を低減できる。また、スカート部の弾性変形の復元も円滑に生じるため、吸着した板材を分離しやすくなる。
　上記の構成において、第一発泡部材は、排気口から板材に向かって厚み方向に貫通した排気孔を有することが好ましい。
　このようにすれば、排気孔を通じて板材に直接負圧が作用するため、第一発泡部材を介して負圧を作用させる場合に比べて、板材の吸着力が向上する。
　上記の構成において、排気口の内壁が、第二発泡部材で構成されていることが好ましい。
　このようにすれば、第一発泡部材の排気孔の周辺が、パッド本体でなく、第二発泡部材で支持される。このため、板材のうちの排気孔の周辺に位置する部分において、局所変形を緩和でき、板材が傷ついたり破損したりするのを抑制できる。また、排気口の開口面積を第二発泡部材の厚み相当分だけ小さくできるため、板材の局所変形の発生自体も抑制できる。
　上記の構成において、排気口の内径が、３０ｍｍ以下であることが好ましい。
　このようにすれば、排気口の開口面積が十分に小さくなるため、排気口に対応する位置で板材が局所変形するのを抑制でき、板材が傷ついたり破損したりするのを更に低減できる。
　上記の構成において、板材が、ガラス板であることが好ましい。
　本発明によれば、吸着パッドによる吸着実行時に、高い吸着力を確保しつつ板材の撓みを抑制できる。また、吸着パッドによる吸着解除時に、板材を素早く分離できる。
本発明の一実施形態に係る吸着パッドを示す断面図である。 本発明の一実施形態に係る吸着パッドでガラス板を吸着した状態を示す断面図である。 図２のＸ領域の拡大図であって、ガラス板の吸着時の状態を示す。 図２のＸ領域の拡大図であって、ガラス板の分離時の状態を示す。
　以下、本発明の実施形態について図面に基づいて説明する。なお、以下では、本発明の一実施形態に係る吸着パッドを備えた吸着装置を例示する。
　図１～図４に示すように、本実施形態に係る吸着装置１は、吸着パッド２と、真空ポンプ３と、を備える。なお、本実施形態では、吸着対象の板材が、ガラス板Ｇである場合を説明する。
　吸着パッド２は、ガラス板Ｇとの間に気密空間Ｓを形成するパッド本体４と、気密空間Ｓ内に配置されてガラス板Ｇと接触する第一発泡部材５と、を備える。
　パッド本体４は、気密空間Ｓ内の気体（例えば空気）を排出するための排気口６と、第一発泡部材５の径方向の外側でガラス板Ｇと接触するスカート部７と、を備える。パッド本体４は、気密空間Ｓ内の気体を通過させないゴムなどの弾性体で構成される。
　排気口６には、配管８を介して真空ポンプ３が接続されている。この真空ポンプ３の吸引動作により、気密空間Ｓ内の気体を排気口６から排気し、気密空間Ｓに負圧を作用させるようになっている。
　排気口６の内径Ｄは、３０ｍｍ以下であることが好ましく、２５ｍｍ以下であることがより好ましく、２０ｍｍ以下であることが最も好ましい。このようにすれば、排気口６が十分に小さくなるため、排気口６に対応する部分でガラス板Ｇが吸引方向に局所変形するのを抑制できる。一方、排気口６の内径Ｄが小さすぎると、後述の吸着工程で気密空間Ｓ内の気体の排出に要する時間及び分離工程で気密空間Ｓの気圧をある程度まで上昇させるのに要する時間が長くなり、応答性が低下するおそれがある。このため、排気口６の内径Ｄは１０ｍｍ以上が好ましい。
　スカート部７は、ガラス板Ｇとの接触により弾性変形可能であり（図２及び図３を参照）、かつ、弾性変形の復元力によりガラス板Ｇから分離可能である（図４を参照）。本実施形態では、スカート部７は、円錐状をなし、内側から外側に向かって漸次厚みが薄くなっている。スカート部７は、薄肉の先端部７ａがガラス板Ｇとの接触部とされる。
　第一発泡部材５は、相対的に薄肉の外縁部９と、相対的に厚肉の中心部１０と、を備える。
　外縁部９は、内側から外側に向かって漸次厚みが薄くなっている。中心部１０は、略一定の厚みをなす板状体である。外縁部９のガラス板Ｇ側の面及び中心部１０のガラス板Ｇ側の面は、ガラス板Ｇに当接する当接面５ａとされる。
　本実施形態では、中心部１０には、排気口６からガラス板Ｇに向かって厚み方向に貫通する排気孔１１が設けられている。なお、第一発泡部材５が通気性を有する場合には、排気孔１１は省略してもよいが、吸着力を向上させる観点からは、排気孔１１を設けることが好ましい。なお、排気孔１１の内径は、本実施形態では排気口６の内径と同じであるが、排気口６の内径よりも大きくてもよいし小さくてもよい。
　第一発泡部材５は、パッド本体４の内壁に固定されている。なお、第一発泡部材５の固定方法は特に限定されるものではないが、例えばパッド本体４の内壁に接着剤で固定される。
　パッド本体４のうち、スカート部７の先端部７ａの内壁には、第一発泡部材５が固定されていない。つまり、ガラス板Ｇ側から見た場合に、スカート部７の先端部７ａが、第一発泡部材５の径方向の外側に食み出している。スカート部７の先端部７ａの径方向の食み出し幅Ｗは、２ｍｍ～１０ｍｍであることが好ましい。
　パッド本体４の中心に厚み方向に貫通する貫通孔１２が設けられており、この貫通孔１２の内壁に、円筒状の第二発泡部材１３が配置されている。つまり、円筒状の第二発泡部材１３の内孔が、排気口６として機能するようになっている。このように第二発泡部材１３を配置すれば、ガラス板Ｇの厚みに応じて排気口６の内径を調整しやすくなる。また、第一発泡部材５の排気孔１１の周辺が、パッド本体４でなく、変形しやすい第二発泡部材１３で支持される。このため、ガラス板Ｇのうち排気孔１１の周辺に位置する部分において、局所変形を緩和でき、ガラス板Ｇが傷ついたり破損したりするのを抑制できる。
　第二発泡部材１３は、圧縮された状態で貫通孔１２の内部に挿入され、その復元力を利用して貫通孔１２の内壁に固定されている。つまり、第二発泡部材１３は、貫通孔１２の内壁に接着固定されていない。第二発泡部材１３の挿入深さは、第一発泡部材５によって規制されている。第二発泡部材１３の固定方法は特に限定されるものではなく、例えば排気口６の周壁に接着剤で固定してもよい。なお、第二発泡部材１３は省略してもよい。
　第一発泡部材５及び第二発泡部材１３としては、独立気泡構造又は連続気泡構造を有する多孔質弾性体であり、例えばポリウレタンスポンジを使用できる。なお、第一発泡部材５及び第二発泡部材１３は、発泡倍率等が異なる異材質としてもよく、この場合には、第一発泡部材５を高密度（高硬度）、第二発泡部材１３を低密度（低硬度）としてもよい。もちろん、第一発泡部材５及び第二発泡部材１３は、同材質であってもよい。
　次に、上記の構成を備えた吸着装置１によってガラス板Ｇを吸着する吸着工程と、分離する分離工程をそれぞれ説明する。
　図１に示すように、吸着工程では、吸着パッド２のスカート部７の先端部７ａをガラス板Ｇの表面に接触させる。この状態で、真空ポンプ３の吸引動作により、吸着パッド２の気密空間Ｓ内の気体を真空吸引する。気密空間Ｓの気圧が低下すると、図２に示すように、気密空間Ｓの容積の減少を伴いながらパッド本体４のスカート部７がガラス板Ｇの表面Ｇａに強く圧接され、スカート部７が弾性変形する。これに伴い、気密空間Ｓ内の第一発泡部材５の当接面５ａもガラス板Ｇの表面Ｇａに強く圧接され、第一発泡部材５が圧縮変形する。この際、図３に拡大して示すように、スカート部７の先端部７ａは、ガラス板Ｇの表面Ｇａと接触し、ガラス板Ｇの表面Ｇａに倣って反るように変形する。これにより、ガラス板Ｇが吸着パッド２に負圧によって確実に吸着される。
　この状態で、ガラス板Ｇの表面Ｇａには、適度なクッション性を有する第一発泡部材５が圧接されているため、ガラス板Ｇの吸引方向への湾曲が抑制される。したがって、ガラス板Ｇに不当な湾曲による撓みが生じにくく、ガラス板Ｇの傷や破損を抑制できる。また、スカート部７が、第一発泡部材５の外縁部９の径方向の外側でガラス板Ｇと直接接触するため、気密空間Ｓ内の気密性を確保しやすく、吸着力を向上させることができる。
　分離工程では、真空ポンプ３の吸引動作を停止し、気密空間Ｓを大気開放する。これに伴って、気密空間Ｓの気圧がある程度まで上昇すると、図４に拡大して示すように、スカート部７の先端部７ａは、弾性変形の復元力によって元の形状に戻ろうとする。このスカート部７の先端部７ａの復元変形によりガラス板Ｇが吸着パッド２から離れる方向に押圧される。その結果、ガラス板Ｇが、吸着パッド２から素早く分離する。これにより、吸着パッドとガラス板とを分離するまでに要する時間を短くできる。また、スカート部７の弾性変形の復元力を利用するため、気密空間Ｓ内を加圧する気体を供給する設備等も別途必要ないという利点もある。
　吸着工程でガラス板Ｇの表面Ｇａに倣って反るように変形する薄肉の先端部７ａは、厚みを例えば２～１０ｍｍとすることが好ましい。また、薄肉の先端部７ａは、径方向の幅を例えば２ｍｍ以上とすることが好ましく、食み出し幅Ｗ以上とすることがより好ましく、（Ｗ＋５）ｍｍ以上とすることが更に好ましい。その上限は、例えば（Ｗ＋１５）ｍｍ以下とすることが好ましい。
　前述の通り、吸着工程では、適度なクッション性を有する第一発泡部材５により、ガラス板Ｇの吸引方向への湾曲が抑制される。このため、ガラス板Ｇは、可撓性を有することが好ましい。このガラス板Ｇの湾曲を抑制する効果は、ガラス板Ｇの厚みが薄い程により顕著となるので、ガラス板Ｇの厚みは、０．５ｍｍ以下であることが好ましく、０．４ｍｍ以下であることがより好ましく、０．３ｍｍ以下であることが更に好ましい。その下限は、０．０５ｍｍ以上が好ましい。
　以上、本発明の実施形態を説明したが、もちろん本発明はこの形態に限定されることなく、本発明の範囲内で種々の形態をとることが可能である。
　吸着パッド２は、例えば、ガラス板Ｇの製造工程（主に加工工程）でガラス板Ｇを移動させる際に用いられる。具体的には、ガラス板Ｇを所定サイズに切断した後に移動させる際、ガラス板Ｇの搬送経路上から検査用のガラス板を抜き取る際、ガラス板Ｇを梱包用パレットに積む際、ガラス板Ｇを梱包用パレットから降ろす際などに用いられる。また、吸着パッド２は、縦姿勢（例えば鉛直姿勢）のガラス板Ｇを吸着・分離してもよいし、横姿勢（例えば、水平姿勢）のガラス板Ｇを吸着・分離してもよい。
　上記の実施形態では、吸着パッド２からガラス板Ｇを分離する際に、スカート部７の弾性変形の復元力を利用する場合を説明したが、分離時に、スカート部７の弾性変形の復元力と、気密空間Ｓ内への気体の供給と、を併用してもよい。
　上記の実施形態では、板材がガラス板Ｇである場合を説明したが、板材はこれに限定されない。例えば、金属板、シリコン板（シリコンウエハ）、樹脂板、ガラス板と樹脂板の積層体などの板材に対しても本発明を適用できる。ガラス板Ｇの湾曲を抑制する効果を得る観点では、板材が可撓性を有することが好ましい。
１　　　吸着装置
２　　　吸着パッド
３　　　真空ポンプ
４　　　パッド本体
５　　　第一発泡部材
５ａ　　当接面
６　　　排気口
７　　　スカート部
７ａ　　先端部
８　　　配管
９　　　外縁部
１０　　中心部
１１　　排気孔
１２　　貫通孔
１３　　第二発泡部材
Ｇ　　　ガラス板
Ｇａ　　表面
Ｓ　　　気密空間

Claims (7)

  1. 　板材を吸着する吸着パッドであって、
    　前記板材との間に気密空間を形成するパッド本体と、前記気密空間内に配置されて前記板材と接触する第一発泡部材と、を備え、
    　前記パッド本体は、前記気密空間内の気体を排出するための排気口と、前記第一発泡部材の外縁部の外側で前記板材と接触するスカート部と、を備え、
    　前記スカート部は、前記板材との接触により弾性変形可能であり、かつ、前記弾性変形の復元力により前記板材から分離可能であることを特徴とする吸着パッド。
  2. 　前記第一発泡部材の外縁部は、前記第一発泡部材の外縁部の内側の中心部よりも厚みが薄いことを特徴とする請求項１に記載の吸着パッド。
  3. 　前記第一発泡部材の外縁部は、内側から外側に向かって漸次薄くなることを特徴とする請求項２に記載の吸着パッド。
  4. 　前記第一発泡部材は、前記排気口から前記板材に向かって厚み方向に貫通した排気孔を有することを特徴とする請求項１～３のいずれか１項に記載の吸着パッド。
  5. 　前記排気口の内壁が、第二発泡部材で構成されていることを特徴とする請求項４に記載の吸着パッド。
  6. 　前記排気口の内径が、３０ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１～５のいずれか１項に記載の吸着パッド。
  7. 　前記板材が、ガラス板であることを特徴とする請求項１～６のいずれか１項に記載の吸着パッド。
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