JP2012110982A - 真空吸着装置 - Google Patents
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- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 title abstract description 11
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 29
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 6
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 claims description 5
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims description 5
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract description 10
- 238000009434 installation Methods 0.000 abstract description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 17
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 10
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 10
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 7
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 5
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 5
- 230000009471 action Effects 0.000 description 4
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 4
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 229920002725 thermoplastic elastomer Polymers 0.000 description 1
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
- 230000037303 wrinkles Effects 0.000 description 1
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
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Abstract
【解決手段】真空吸着装置10は、負圧流体の供給される供給ポート22を有したボディ12と、該ボディ12の下部に設けられワークWを吸着可能なパッド14と、前記ボディ12とパッド14との間に設けられるシール部材16とを備え、前記パッド14が多孔質体から形成されると共に、前記シール部材16が、前記パッド14に対して剛性が低く形成される。また、パッド14には、該パッド14を平面状に維持する保持プレート26が装着される。そして、例えば、パッド14に対して傾斜したワークWを吸着する際、該パッド14がシール部材16を変形させながら傾斜して前記ワークWに密着する。
【選択図】図1
Description
前記負圧流体の供給されるポートを有したボディと、
多孔質体からなり、前記ボディの下部に設けられ前記ワークを吸着する吸着面を有したパッドと、
前記パッドと前記ボディとの間に設けられ、該ボディに対して前記パッドを変位自在に保持する保持体と、
を備え、
前記保持体は、前記パッドに対して剛性が低く形成されることを特徴とする。
12、122…ボディ 14、52、126…パッド
16、102…シール部材 22…供給ポート
24…空間部 26…保持プレート
28…凹部 32…連通孔
38…本体部 40、54、72…リップ部
62…リブ 74、84…アーム部
76…ボルト 82…カバーシート
86…弾発部材 92…爪部
104…挿入孔 106…フックピン
108…係止プレート 110…環状溝
112…係合孔 124…アダプタ
128…窪み部 130…シート部
132、134…スカート部
Claims (4)
- 負圧流体の吸引作用下にワークを吸着する真空吸着装置において、
前記負圧流体の供給されるポートを有したボディと、
多孔質体からなり、前記ボディの下部に設けられ前記ワークを吸着する吸着面を有したパッドと、
前記パッドと前記ボディとの間に設けられ、該ボディに対して前記パッドを変位自在に保持する保持体と、
を備え、
前記保持体は、前記パッドに対して剛性が低く形成されることを特徴とする真空吸着装置。 - 請求項1記載の真空吸着装置において、
前記保持体は、前記ボディの内部の気密を保持するシール部材であることを特徴とする真空吸着装置。 - 請求項2記載の真空吸着装置において、
前記シール部材は、複数の気泡を内部に有し、該気泡がそれぞれ独立した単独気泡式のゴムスポンジから形成されることを特徴とする真空吸着装置。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載の真空吸着装置において、
前記ボディに設けられ、前記負圧流体の流通する連通孔を有し、且つ、前記ワークの吸着時において前記パッドを略平面状に保持可能な保持プレートを備えることを特徴とする真空吸着装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010259906A JP5756956B2 (ja) | 2010-11-22 | 2010-11-22 | 真空吸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010259906A JP5756956B2 (ja) | 2010-11-22 | 2010-11-22 | 真空吸着装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012110982A true JP2012110982A (ja) | 2012-06-14 |
JP5756956B2 JP5756956B2 (ja) | 2015-07-29 |
Family
ID=46495752
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010259906A Active JP5756956B2 (ja) | 2010-11-22 | 2010-11-22 | 真空吸着装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5756956B2 (ja) |
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JP2023144341A (ja) | 2022-03-28 | 2023-10-11 | Smc株式会社 | 吸着盤 |
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JP7494913B2 (ja) | 2020-07-27 | 2024-06-04 | 日本電気硝子株式会社 | 吸着パッド |
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JP5756956B2 (ja) | 2015-07-29 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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