CN203746812U - 固晶机及其真空吸取支架 - Google Patents
固晶机及其真空吸取支架 Download PDFInfo
- Publication number
- CN203746812U CN203746812U CN201420098847.3U CN201420098847U CN203746812U CN 203746812 U CN203746812 U CN 203746812U CN 201420098847 U CN201420098847 U CN 201420098847U CN 203746812 U CN203746812 U CN 203746812U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- suction
- sheet plate
- die bond
- vacsorb
- support
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 23
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 9
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 claims description 4
- 239000003292 glue Substances 0.000 abstract description 5
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 abstract description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 9
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- -1 by vacuumizing Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000002360 explosive Substances 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Manipulator (AREA)
Abstract
本实用新型提供了一种固晶机及其真空吸取支架，其中支架包括吸气嘴、固定板及吸片板；所述固定板与吸片板层叠设置，于吸片板中贯穿厚度方向开设有的吸气腔，所述固定板对应吸片板吸气腔处开设与吸气腔相联通的通孔，固定板的外侧对应通孔设置有吸气嘴。相比于常见固晶机中采用软胶单孔的真空吸盘，本实用新型的有益效果在于采用吸片板的平板式吸附结构，且配合吸气腔可大面积的对物料进行一次性平整稳定的吸附。从而确保了固晶机工作过程中的可靠性。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种半导体生产设备，尤其是指一种固晶机及其真空吸取支架。
背景技术
现有固晶机取片装置大多配备有真空吸盘，真空吸盘固定在底板上，取片时移动至物料上通过抽真空而将物料吸附从而实现搬运上料。而传统固晶机的真空吸盘结构简单，其整体由软胶材料制成，在材料中间设置一个抽气孔，从而当软性真空吸盘接触到物料后，通过抽气孔抽气借由软性材料变形将物料吸住。但这同时也带来一个问题，就是应为真空吸盘自身柔软形状可变，其吸附物料的表面高低有差别，因此对取片的稳定性及可靠性都有影响。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服了上述缺陷，提供一种可稳定可靠吸附物料的固晶机及其真空吸取支架
本实用新型的目的是这样实现的：一种固晶机真空吸取支架，它包括吸气嘴、固定板及吸片板；所述固定板与吸片板层叠设置，于吸片板中贯穿厚度方向开设有的吸气腔，所述固定板对应吸片板吸气腔处开设与吸气腔相联通的通孔，固定板的外侧对应通孔设置有吸气嘴；
上述结构中，所述固定板及吸片板间还设有密封圈；所述密封圈与吸片板上的吸气腔外尺寸相适配；
上述结构中，所述固定板与吸片板对应设置有螺孔；
上述结构中，所述吸片板外表面设有与所需吸取物料外尺寸相适配的吸片槽；
上述结构中，所述吸片板由硬质材料制成；
上述结构中，所述吸片板的吸气腔表面积小于吸片槽；吸片板于吸片槽一侧外表面设有多个吸气孔，所述吸气孔通过吸气通道与吸气腔相联通；
上述结构中，所述吸片板外表面设有多个吸气孔，所述吸气孔通过吸气通道与吸气腔相联通；
上述结构中，所述吸片板中设有多个吸气通道，吸气通道与吸片板外表面相通。
本实用新型还涉及一种固晶机，它包括如上所述的固晶机真空吸取支架。
相比于常见固晶机中采用软胶单孔的真空吸盘，本实用新型的有益效果在于采用吸片板的平板式吸附结构，且配合吸气腔可大面积的对物料进行一次性平整稳定的吸附。从而确保了固晶机工作过程中的可靠性。
附图说明
下面结合附图详述本实用新型的具体结构
图1为本实用新型的真空吸取支架结构爆炸图；
图2为本实用新型的真空吸取支架结构示意图。
1-吸气嘴；2-固定板；3-密封圈；4-吸片板；5-物料；21-通孔；22、42-螺孔；41-吸气腔；43-吸气通道；44-吸片槽。
具体实施方式
为详细说明本实用新型的技术内容、构造特征、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图详予说明。
请参阅图1以及图2，本实用新型涉及一种固晶机真空吸取支架，它包括吸气嘴1、固定板2及吸片板4。所述固定板2与吸片板4层叠设置，于吸片板4中贯穿厚度方向开设有的吸气腔41，所述固定板2对应吸片板4吸气腔41处开设与吸气腔41相联通的通孔21，固定板2的外侧对应通孔21设置有吸气嘴1，由此工作时，将吸气泵连接在吸气嘴1上，即可透过固定板2直接对吸片板4内的吸气腔41进行抽真空吸附作业。而固定板2在吸片板4一侧起到密封作用，吸片板4的另一侧则可直接吸附物料5。相比于常见固晶机中采用软胶单孔的真空吸盘，本实用新型的有益效果在于采用吸片板的平板式吸附结构，且配合吸气腔可大面积的对物料进行一次性平整稳定的吸附。从而确保了固晶机工作过程中的可靠性。
在一实施例中，所述固定板2及吸片板4间还设有密封圈3。密封圈3与吸片板4上的吸气腔41外尺寸相适配。通过添加密封圈3可改善固定板2盖在吸片板4一侧两者的结合紧密型，进一步保证工作过程中吸片板4中的吸气腔41的密闭程度。
在一实施例中，所述固定板2上设置有螺孔22，而对应的在吸片板4上也设置有螺孔42，从而两者可通过螺栓贯穿各自的螺孔22、42后形成快捷方便安装的紧密连接。
在一实施例中，所述吸片板4外表面设有与所需吸取物料5外尺寸相适配的吸片槽44。吸片槽44的设置一来可以在吸附物料5时提供一个初步的定位，二来也方便吸片板4上的吸气腔、吸气孔的设置。
在一实施例中，至少的，上述吸片板4由硬质材料制成，从而可以确保其下吸附物料5的表面的平整度，在叫好吸附结构下进一步提高吸取物料5过程的稳定性。
在一具备吸片槽44实施例中，进一步的，吸片板4的吸气腔41表面积小于吸片槽44，即如图1、2所示。此时，吸片板4在吸片槽44一侧的外表面设有多个吸气孔，所述吸气孔通过吸气通道43与吸气腔41相联通，此处的吸气通道最佳为开通在吸片板4中的密闭通道。由此可在使用较小吸力情况下，使得流体通过小路径下加速的原理从而经由吸气孔对物料5进行良好的吸附。
在另一实施例中，不考虑吸片板4是否设置吸片槽，为了使得吸片板整体可以工作，再起外表面设有多个吸气孔，所述吸气孔通过吸气通道与吸气腔相联通。同样此处吸气通道最佳为开通在吸片板4中的密闭通道。
类似的，上述方案还可采用在吸片板中设有多个吸气通道，而吸气通道与吸片板外表面相通的结构来实现。
本实用新型还涉及一种固晶机，它包括如上所述的固晶机真空吸取支架。通过采用上述真空吸取支架，直接形成吸片板的平板式吸附结构，且配合吸气腔可大面积的对物料进行一次性平整稳定的吸附，相比于常见固晶机中采用软胶单孔的真空吸盘，可更好的确保固晶机工作过程中吸附物料的可靠性。
以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
Claims (9)
1.一种固晶机真空吸取支架，其特征在于：它包括吸气嘴、固定板及吸片板；所述固定板与吸片板层叠设置，于吸片板中贯穿厚度方向开设有的吸气腔，所述固定板对应吸片板吸气腔处开设与吸气腔相联通的通孔，固定板的外侧对应通孔设置有吸气嘴。
2.如权利要求1所述的固晶机真空吸取支架，其特征在于：所述固定板及吸片板间还设有密封圈；所述密封圈与吸片板上的吸气腔外尺寸相适配。
3.如权利要求1所述的固晶机真空吸取支架，其特征在于：所述固定板与吸片板对应设置有螺孔。
4.如权利要求1所述的固晶机真空吸取支架，其特征在于：所述吸片板由硬质材料制成。
5.如权利要求1所述的固晶机真空吸取支架，其特征在于：所述吸片板外表面设有与所需吸取物料外尺寸相适配的吸片槽。
6.如权利要求5所述的固晶机真空吸取支架，其特征在于：所述吸片板的吸气腔表面积小于吸片槽；吸片板于吸片槽一侧外表面设有多个吸气孔，所述吸气孔通过吸气通道与吸气腔相联通。
7.如权利要求1-5任意一项所述的固晶机真空吸取支架，其特征在于：所述吸片板外表面设有多个吸气孔，所述吸气孔通过吸气通道与吸气腔相联通。
8.如权利要求1-5任意一项所述的固晶机真空吸取支架，其特征在于：所述吸片板中设有多个吸气通道，吸气通道与吸片板外表面相通。
9.一种固晶机，其特征在于：它包括如权利要求1-7任意一项所述的固晶机真空吸取支架。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201420098847.3U CN203746812U (zh) | 2014-03-05 | 2014-03-05 | 固晶机及其真空吸取支架 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201420098847.3U CN203746812U (zh) | 2014-03-05 | 2014-03-05 | 固晶机及其真空吸取支架 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN203746812U true CN203746812U (zh) | 2014-07-30 |
Family
ID=51346576
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201420098847.3U Expired - Lifetime CN203746812U (zh) | 2014-03-05 | 2014-03-05 | 固晶机及其真空吸取支架 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN203746812U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112334299A (zh) * | 2018-08-28 | 2021-02-05 | 智慧科技有限公司 | 基板保护片 |
| CN113291814A (zh) * | 2021-05-28 | 2021-08-24 | 艾华(无锡)半导体科技有限公司 | 一种吸取多片晶圆的吸盘组 |
-
2014
- 2014-03-05 CN CN201420098847.3U patent/CN203746812U/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112334299A (zh) * | 2018-08-28 | 2021-02-05 | 智慧科技有限公司 | 基板保护片 |
| CN113291814A (zh) * | 2021-05-28 | 2021-08-24 | 艾华(无锡)半导体科技有限公司 | 一种吸取多片晶圆的吸盘组 |
| CN113291814B (zh) * | 2021-05-28 | 2022-09-16 | 艾华(无锡)半导体科技有限公司 | 一种吸取多片晶圆的吸盘组 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN205630043U (zh) | 一种真空吸附装置 | |
| CN103072822B (zh) | 一种多适应性海绵吸盘系统及其吸附工件的方法 | |
| CN203975396U (zh) | 一种真空吸盘 | |
| CN201405409Y (zh) | 真空吸附工作台 | |
| CN204748389U (zh) | 真空吸附治具 | |
| CN203746812U (zh) | 固晶机及其真空吸取支架 | |
| CN208231357U (zh) | 一种高效储气式真空定位吸附装置 | |
| CN107745963A (zh) | 取放料机构及取放料装置 | |
| CN204622070U (zh) | 海绵吸盘 | |
| CN112157672A (zh) | 一种环形槽真空吸盘 | |
| CN203617263U (zh) | 一种半导体应变计硅片焊接定位吸盘 | |
| CN103112242A (zh) | 一种全自动丝网印刷机的吸盘装置 | |
| CN205201654U (zh) | 一种发泡橡胶切片加工真空固定装置 | |
| CN201561039U (zh) | 真空吸盘 | |
| CN209051060U (zh) | 一种四合一负压吸气贴合治具 | |
| CN105965420A (zh) | 一种真空夹持装置及方法 | |
| CN203304859U (zh) | 一种手机振动马达盖上盖预定位机构 | |
| CN106182895B (zh) | 贴盒机 | |
| CN106984991A (zh) | 一种曲面薄壁管的加工工艺及其专用夹具 | |
| CN208133791U (zh) | 一种印刷用多孔真空吸附工作台 | |
| CN208336177U (zh) | 一种用于晶片的定位筛盘结构 | |
| CN202344986U (zh) | 多通道复合吸头 | |
| CN208196957U (zh) | 钻孔机台面及钻孔机 | |
| CN208896121U (zh) | 一种射频模块产品真空吸取抓手 | |
| CN202214009U (zh) | 烤盘纸杯自动吸放机 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CX01 | Expiry of patent term |
Granted publication date: 20140730 |
|
| CX01 | Expiry of patent term |