CN203617263U - 一种半导体应变计硅片焊接定位吸盘 - Google Patents
一种半导体应变计硅片焊接定位吸盘 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型公开了一种半导体应变计硅片焊接定位吸盘,包括有底座和安装在底座上的真空吸盘,底座与真空吸盘之间设有密闭的真空腔,真空腔周边设有夹紧在底座与真空吸盘之间的密封环,底座内设有与真空腔连通的气道,气道延伸至底座一侧,并安装有气嘴,真空吸盘上表面设为放置半导体应变计硅片的工作台,工作台上呈圆形阵列分布有若干连通至真空腔的气孔。本实用新型结构简单合理,安装使用方便,使用时外接真空泵将真空腔抽真空,进而能够将半导体应变计硅片稳定的吸紧在真空吸盘的工作台上,有效地提高了工件焊接时的稳定性,不易移动,保证了焊接点位置的精确度,成品合格率达到98%以上,并大幅提高了工作效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及传感器领域,具体为一种半导体应变计硅片焊接定位吸盘。
背景技术
半导体应变计硅片是将晶向的单晶硅切成所需厚度的大片,进行研磨到所需厚度进行抛光,按所需尺寸刻槽成长5mm、宽0.5mm、厚0.5mm的体积,再进行焊接∅0.025mm黄金电级丝。现有技术中焊接操作时需将硅片放在玻璃板上焊接,而由于工件小、轻、薄、脆,因此无法将其稳定压紧,导致焊接时工件易产生移动,造成焊接点位置不准,严重时会造成产品报废。
实用新型内容
本实用新型的目的是体一种半导体应变计硅片焊接定位吸盘,以解决现有技术中焊接操作时需将硅片放在玻璃板上焊接,而由于工件小、轻、薄、脆,因此无法将其稳定压紧,导致焊接时工件易产生移动,造成焊接点位置不准,严重时会造成产品报废的问题。
为达到上述目的,本实用新型采用的技术方案为:
一种半导体应变计硅片焊接定位吸盘,其特征在于:包括有底座和安装在底座上的真空吸盘,所述底座与真空吸盘之间设有密闭的真空腔,所述真空腔周边设有夹紧在底座与真空吸盘之间的密封环,所述底座内设有与真空腔连通的气道,所述气道延伸至底座一侧,并安装有气嘴,所述真空吸盘上表面设为放置半导体应变计硅片的工作台,所述工作台上呈圆形阵列分布有若干连通至真空腔的气孔。
所述的一种半导体应变计硅片焊接定位吸盘,其特征在于:所述底座与真空吸盘周边对应分布有多个螺栓安装孔。
本实用新型的有益效果为:
本实用新型结构简单合理,安装使用方便,使用时外接真空泵将真空腔抽真空,进而能够将半导体应变计硅片稳定的吸紧在真空吸盘的工作台上,有效地提高了工件焊接时的稳定性,不易移动,保证了焊接点位置的精确度,成品合格率达到98%以上,并大幅提高了工作效率。
附图说明
图1为本实用新型的剖视图。
图2为本实用新型的俯视图。
图3为半导体应变计硅片的正视图。
图4为半导体应变计硅片的俯视图,图中10为黄金电级丝。
具体实施方式
如图1、图2、图3及图4所示,一种半导体应变计硅片焊接定位吸盘,包括有底座1和安装在底座1上的真空吸盘2,底座1与真空吸盘2之间设有密闭的真空腔3,真空腔3周边设有夹紧在底座1与真空吸盘2之间的密封环4,底座1内设有与真空腔3连通的气道5,气道5延伸至底座1一侧,并安装有气嘴6,真空吸盘2上表面设为放置半导体应变计硅片7的工作台,工作台上呈圆形阵列分布有若干连通至真空腔3的气孔8。
底座1与真空吸盘2周边对应分布有多个螺栓安装孔9。
Claims (2)
1.一种半导体应变计硅片焊接定位吸盘,其特征在于:包括有底座和安装在底座上的真空吸盘,所述底座与真空吸盘之间设有密闭的真空腔,所述真空腔周边设有夹紧在底座与真空吸盘之间的密封环,所述底座内设有与真空腔连通的气道,所述气道延伸至底座一侧,并安装有气嘴,所述真空吸盘上表面设为放置半导体应变计硅片的工作台,所述工作台上呈圆形阵列分布有若干连通至真空腔的气孔。
2.根据权利要求1所述的一种半导体应变计硅片焊接定位吸盘,其特征在于:所述底座与真空吸盘周边对应分布有多个螺栓安装孔。
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