CN203553113U - 晶粒筛盘 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了微电子领域的一种可以区分GPP芯片的晶粒筛盘。由筛盘框和筛盘组成，筛盘位于筛盘框上面，其特征在于：筛盘有纵横整齐排列的筛选孔，筛选孔直径与所筛晶片的N面相同，筛选孔底部有排气孔，筛盘框为密闭空腔，排气孔与筛盘框密闭空腔相通；所述的筛盘框侧面有吸气孔，吸气孔与真空泵相连。本实用新型具有区分极性成功率高、操作方便和效率高等优点。
Description
技术领域
本实用新型涉及微电子领域的一种半导体元器件的制造工具，具体地说是一种可以区分GPP芯片的晶粒筛盘。
背景技术
在半导体元器件生产制造中，其生产中的半导体晶片分N端面和P端面，常规筛盘无法区分出GPP芯片的N端面和P端面，而通过从蓝膜上剥离，操作手续复杂，且无法保证一致性、效率低容易出错。
实用新型内容
本实用新型的目的是克服现有技术的不足，提供一种能有效区分GPP芯片的N面和P面的晶粒筛盘。
本实用新型是通过以下技术方案实现的：
一种晶粒筛盘，由筛盘框和筛盘组成，筛盘位于筛盘框上面，其特征在于：筛盘有纵横整齐排列的筛选孔，筛选孔直径与所筛晶片的N面相同，因晶片的N面和P面直径不同，直径大的N面与筛选孔直径形同，被筛选孔吸住，筛选孔底部有排气孔，筛盘框为密闭空腔，排气孔与筛盘框密闭空腔相通；筛盘框侧面有吸气孔，吸气孔与真空泵相连，对筛选孔上的晶片具有吸附作用。
本实用新型与现有技术相比具有以下有益效果：
1.区分极性成功率高；
2.操作方便，效率高。
附图说明
图1为晶粒筛盘结构示意图；
图2为GPP晶片所示图。
图中：筛盘框1、筛选孔2、吸气孔3、筛盘4、N面5和P面6。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的内容做进一步的描述：
如图所示为晶粒筛盘结构示意图，包括筛盘框1、筛选孔2、吸气孔3和筛盘4。GPP芯片P面要比N面要小得多，而且P面沟道刮玻璃粉后，平整度不及N面，人工摇芯片时，比重重的容易在下方，轻的在上方。为高效区分出芯片的极性P面 、N面。通过工程人员对GPP芯片的外观形状进行研究，芯片两边比重不一，在摇动筛板时，芯片撞击后，重的一侧容易被吸住，GPP芯片两面的面积有大小之分，P面在吸孔位置容易漏气，吸不住，吸住的一定是N面。区分极性成功率可达到99%。
Claims (2)
1.一种晶粒筛盘，由筛盘框和筛盘组成，筛盘位于筛盘框上面，其特征在于：筛盘有纵横整齐排列的筛选孔，筛选孔直径与所筛晶片的N面相同，筛选孔底部有排气孔，筛盘框为密闭空腔，排气孔与筛盘框密闭空腔相通。
2.根据权利要求1所述晶粒筛盘，其特征在于：所述的筛盘框侧面有吸气孔，吸气孔与真空泵相连。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201320597033.XU CN203553113U (zh) | 2013-09-26 | 2013-09-26 | 晶粒筛盘 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201320597033.XU CN203553113U (zh) | 2013-09-26 | 2013-09-26 | 晶粒筛盘 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN203553113U true CN203553113U (zh) | 2014-04-16 |
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ID=50471193
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| CN (1) | CN203553113U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103489815A (zh) * | 2013-09-26 | 2014-01-01 | 如皋市易达电子有限责任公司 | 晶粒筛盘 |
| CN104525475A (zh) * | 2014-12-25 | 2015-04-22 | 常州银河电器有限公司 | 半导体晶粒芯片的自动筛分装置 |
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2013
- 2013-09-26 CN CN201320597033.XU patent/CN203553113U/zh not_active Expired - Fee Related
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
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Granted publication date: 20140416 Termination date: 20150926 |
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