CN202352643U - 一种硅片取放装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种取放硅片装置。吸盘固定在连接座上，吸盘上开设有多个气孔，连接座内设有凹腔；下端盖固定在连接座上，下端盖中心设有下通气孔，下通气孔与凹腔连通；阀体固定在下端盖上，阀体内设有环形进气腔，阀体中心开设有中间通气孔，环形进气腔与中间通气孔之间通过环形壁相隔，环形壁底部与下端盖顶部之间留有进气缝隙；上端盖固定在阀体上，上端盖下部的中心开设有上通气孔，上端盖上部开设有至少两个斜排气孔；第一接头连接在阀体一侧，第一接头与阀体内的环形进气腔连通；第二接头连接在阀体另一侧，第二接头通过第二进气通道与连接座内的凹腔连通。本实用新型结构巧妙、合理，在吸取或放开硅片时不会影响被吸硅片旁侧的硅片位置。

Description

一种硅片取放装置

技术领域

本实用新型属于太阳能硅片生产技术领域，具体是涉及一种在太阳能硅片生产过程中的取放硅片的装置。

背景技术

在太阳能硅片生产过程中，硅片需要在不同的输送机构运送。现在常用的硅片取放装置大多是吸气式的。以往硅片取放装置的结构如图4所示，它主要是由凹块11、密封圈12、凸块13、接头14和传感器15构成，通过接头14进入压缩空气，压缩空气高速通过凹块11与凸块13之间的缝隙向四周排出，使凸块13正下方产生局部真空负压，从而将凸块13下方的硅片16吸住，此装置的缺点在于：由于此装置在凸块13与凹块11之间产生高速气流，高速气流排出时会吹到被吸硅片旁侧的硅片，从而改变旁侧的硅片位置，影响硅片生产过程。

发明内容

本实用新型的目的在于克服现有技术中存在的不足，提供一种新型的硅片取放装置，其结构巧妙、合理，在吸取或放开硅片时不会影响被吸硅片旁侧的硅片位置，确保硅片生产过程顺利。

按照本实用新型提供的技术方案：一种硅片取放装置，其特征在于：包括吸盘、连接座、下端盖、阀体、上端盖、第一接头和第二接头；所述吸盘固定在连接座上，吸盘上开设有多个气孔，连接座内设有凹腔；所述下端盖固定在连接座上，下端盖中心设有下通气孔，下通气孔与连接座内的凹腔连通；所述阀体固定在下端盖上，阀体内设有环形进气腔，阀体中心开设有与下通气孔连通的中间通气孔，环形进气腔与中间通气孔之间通过环形壁相隔，环形壁底部与下端盖顶部之间留有进气缝隙；所述上端盖固定在阀体上，上端盖下部的中心开设有与中间通气孔连通的上通气孔，上端盖上部开设有至少两个斜排气孔，斜排气孔内端与上通气孔连通，斜排气孔外端位于上端盖侧壁上，斜排气孔的走向是由内向外、由下向上；所述第一接头连接在阀体一侧，第一接头与阀体内的环形进气腔连通；所述第二接头连接在阀体另一侧，第二接头通过第二进气通道与连接座内的凹腔连通。

作为本实用新型的进一步改进，所述下端盖与阀体之间装有密封圈。

作为本实用新型的进一步改进，所述阀体上设有与第二接头连通的阀体进气孔，所述下端盖上设有与阀体进气孔连通的下进气孔，所述下端盖底部设有与下进气孔连通的环形气槽，所述连接座顶部设有多个沿圆周方向均匀分布并与环形气槽连通的连接气孔，所述的阀体进气孔、下进气孔、环形气槽和连接气孔构成所述的第二进气通道。

作为本实用新型的进一步改进，所述中间通气孔的孔径小于下通气孔的孔径。

作为本实用新型的进一步改进，所述下通气孔的下端边沿、中间通气孔的下端边沿均设为圆弧形。

作为本实用新型的进一步改进，所述连接座与下端盖之间、下端盖与阀体之间、阀体与上端盖之间均设有可对应嵌合的凹凸结构。

作为本实用新型的进一步改进，所述至少两个斜排气孔在上端盖内沿周向均匀分布。

作为本实用新型的进一步改进，所述第一接头与第二接头在阀体上180度对称布置。

作为本实用新型的进一步改进，所述连接座上安装有负压传感器，负压传感器外接显示器。

本实用新型与现有技术相比，优点在于：本实用新型结构巧妙、合理，通过将高速气体从上端盖排出，在吸取或放开硅片时不会影响被吸硅片旁侧的硅片位置，确保硅片生产过程顺利，提高硅片生产效率。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型的结构俯视图。

图3为本实用新型的结构仰视图。

图4为现有的吸取硅片装置的结构示意图。

附图标记说明： 1—吸盘、1a—气孔、2—连接座、2a—凹腔、2b—连接气孔、3—下端盖、3a—下通气孔、3b—下进气孔、3c—环形气槽、4—阀体、4a—中间通气孔、4b—环形进气腔、4c—进气缝隙、4d—阀体进气孔、4e—环形壁、5—上端盖、5a—上通气孔、5b—斜排气孔、6—密封圈、7—负压传感器、8—显示器、9—第一接头、10—第二接头、11—凹块、12—密封圈、13—凸块、14—接头、15—传感器。

具体实施方式

下面结合具体附图和实施例对本实用新型作进一步说明。

如图所示：本实用新型所述的硅片取放装置主要由吸盘1、连接座2、下端盖3、阀体4、上端盖5、密封圈6、负压传感器7、显示器8、第一接头9和第二接头10等零部件组成。

如图1~图3所示，所述吸盘1通过螺钉固定在连接座2上，吸盘1上开设有多个气孔1a，连接座2内设有凹腔2a。所述下端盖3通过螺钉固定在连接座2上，下端盖3中心设有下通气孔3a，下通气孔3a与连接座2内的凹腔2a连通。所述阀体4通过螺钉固定在下端盖3上，下端盖3与阀体4之间装有密封圈6；阀体4内设有环形进气腔4b，阀体4中心开设有与下通气孔3a连通的中间通气孔4a，环形进气腔4b与中间通气孔4a之间通过环形壁4e相隔，环形壁4e底部与下端盖3顶部之间留有进气缝隙4c。所述上端盖5通过螺钉固定在阀体4上，上端盖5下部的中心开设有与中间通气孔4a连通的上通气孔5a，上端盖5上部开设有至少两个斜排气孔5b，所述的至少两个斜排气孔5b在上端盖5内沿周向均匀分布；斜排气孔5b内端与上通气孔5a连通，斜排气孔5b外端位于上端盖5侧壁上，斜排气孔5b的走向是由内向外、由下向上。所述第一接头9螺纹连接在阀体4一侧，第一接头9与阀体4内的环形进气腔4b连通。所述第二接头10螺纹连接在阀体4另一侧，第二接头10通过第二进气通道与连接座2内的凹腔2a连通。优选地，所述第一接头9与第二接头10在阀体4上180度对称布置。

如图1所示，所述阀体4上设有与第二接头10连通的阀体进气孔4d，所述下端盖3上设有与阀体进气孔4d连通的下进气孔3b，所述下端盖3底部设有与下进气孔3b连通的环形气槽3c，所述连接座2顶部设有多个沿圆周方向均匀分布并与环形气槽3c连通的连接气孔2b，所述的阀体进气孔4d、下进气孔3b、环形气槽3c和连接气孔2b构成所述的第二进气通道。

如图1所示，所述中间通气孔4a的孔径小于下通气孔3a的孔径，以加强高速气流向上流动的趋势。所述下通气孔3a的下端边沿、中间通气孔4a的下端边沿均设为圆弧形，以使高速气流可以更顺畅地流动。所述连接座2与下端盖3之间、下端盖3与阀体4之间、阀体4与上端盖5之间均设有可对应嵌合的凹凸结构，以使连接座2、下端盖3、阀体4和上端盖5之间精确装配，紧密结合。

如图1所示，所述连接座2上安装有负压传感器7，负压传感器7外接显示器8，负压传感器7可以感知连接座2凹腔2a内的压力情况，并通过显示显示出来，使得本实用新型更易于操控，自动化程度更高。

本实用新型的工作过程及工作原理如下：

当需要吸取硅片时，通过第一接头9进压缩气体，压缩气体通过阀体4的进气缝隙4c排出并向上高速流动，高速气体经中间通气孔4a、上通气孔5a从上端盖5上的斜排气孔5b排出，从而使下端盖3上的下通气孔3a和连接座2上的凹腔2a内产生负压，进而使吸盘1产生吸力，吸盘1将其正下方的硅片吸住；

当需要将吸住的硅片放开时，第一接头9停止通入压缩气体，第二接头10通入压缩气体，压缩气体经由第二进气通道输送至连接座2上的凹腔2a内，然后在经由下通气孔3a、中间通气孔4a、上通气孔5a从上端盖5上的斜排气孔5b排出，从而将吸住的硅片放开。

在上述的吸取硅片和放开硅片过程中，压缩气体都是上端盖5排出，不会影响被吸硅片旁侧的硅片位置，确保硅片生产过程顺利，提高硅片生产效率。

Claims (9)

1. 一种硅片取放装置，其特征在于：包括吸盘（1）、连接座（2）、下端盖（3）、阀体（4）、上端盖（5）、第一接头（9）和第二接头（10）；所述吸盘（1）固定在连接座（2）上，吸盘（1）上开设有多个气孔（1a），连接座（2）内设有凹腔（2a）；所述下端盖（3）固定在连接座（2）上，下端盖（3）中心设有下通气孔（3a），下通气孔（3a）与连接座（2）内的凹腔（2a）连通；所述阀体（4）固定在下端盖（3）上，阀体（4）内设有环形进气腔（4b），阀体（4）中心开设有与下通气孔（3a）连通的中间通气孔（4a），环形进气腔（4b）与中间通气孔（4a）之间通过环形壁（4e）相隔，环形壁（4e）底部与下端盖（3）顶部之间留有进气缝隙（4c）；所述上端盖（5）固定在阀体（4）上，上端盖（5）下部的中心开设有与中间通气孔（4a）连通的上通气孔（5a），上端盖（5）上部开设有至少两个斜排气孔（5b），斜排气孔（5b）内端与上通气孔（5a）连通，斜排气孔（5b）外端位于上端盖（5）侧壁上，斜排气孔（5b）的走向是由内向外、由下向上；所述第一接头（9）连接在阀体（4）一侧，第一接头（9）与阀体（4）内的环形进气腔（4b）连通；所述第二接头（10）连接在阀体（4）另一侧，第二接头（10）通过第二进气通道与连接座（2）内的凹腔（2a）连通。

2.如权利要求1所述的硅片取放装置，其特征在于：所述下端盖（3）与阀体（4）之间装有密封圈（6）。

3.如权利要求1所述的硅片取放装置，其特征在于：所述阀体（4）上设有与第二接头（10）连通的阀体进气孔（4d），所述下端盖（3）上设有与阀体进气孔（4d）连通的下进气孔（3b），所述下端盖（3）底部设有与下进气孔（3b）连通的环形气槽（3c），所述连接座（2）顶部设有多个沿圆周方向均匀分布并与环形气槽（3c）连通的连接气孔（2b），所述的阀体进气孔（4d）、下进气孔（3b）、环形气槽（3c）和连接气孔（2b）构成所述的第二进气通道。

4.如权利要求1所述的硅片取放装置，其特征在于：所述中间通气孔（4a）的孔径小于下通气孔（3a）的孔径。

5.如权利要求1所述的硅片取放装置，其特征在于：所述下通气孔（3a）的下端边沿、中间通气孔（4a）的下端边沿均设为圆弧形。

6.如权利要求1所述的硅片取放装置，其特征在于：所述连接座（2）与下端盖（3）之间、下端盖（3）与阀体（4）之间、阀体（4）与上端盖（5）之间均设有可对应嵌合的凹凸结构。

7.如权利要求1所述的硅片取放装置，其特征在于：所述至少两个斜排气孔（5b）在上端盖（5）内沿周向均匀分布。

8.如权利要求1所述的硅片取放装置，其特征在于：所述第一接头（9）与第二接头（10）在阀体（4）上180度对称布置。

9.如权利要求1所述的硅片取放装置，其特征在于：所述连接座（2）上安装有负压传感器（7），负压传感器（7）外接显示器（8）。

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