CN208336177U - 一种用于晶片的定位筛盘结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型系提供一种用于晶片的定位筛盘结构，包括筛盘本体和密封盖板，筛盘本体上设有n个真空槽和n个真空管道，2≤n≤6，各个真空管道分别连通各个真空槽，筛盘本体中与真空槽相对的一面设有容料槽，容料槽与n个真空槽的位置对应匹配；每个真空槽内均设有k个真空吸孔，容料槽内设有nk个定位凹槽，各个真空吸孔对应连接各个定位凹槽。本实用新型设置多个独立的真空分区，每个真空分区都单独连接有抽真空管道，能够有效提高各个独立分区的真空吸附力，筛盘整体的定位能力强，可有效防止定位好的晶片发生偏移，同时能够有效简化故障排查的操作，可进行高效且针对性强的故障排查。

Description

一种用于晶片的定位筛盘结构

技术领域

本实用新型涉及微型电子元件的制造工具，具体公开了一种用于晶片的定位筛盘结构。

背景技术

晶片是微型电子元件的核心结构，在二极管、三极管等电子元件的制作过程中，需要将晶片固定于框架上，然后再进行注塑封装的操作。

在固晶的过程中，晶片需摆放整齐，以便加工设备转移晶片到框架上，为提高加工效率，晶片需要以一定的朝向进行摆放才能够满足加工要求，对于散装的晶片需要配合筛盘进行位置调整的操作，筛盘中的真空吸孔配合外部的真空发生器完成定位的加工。为提高晶片的定位效率，现有的筛盘一般设置有大量的真空吸孔，这种筛盘很容易出现漏气的情况，漏气会影响定位筛盘整体的定位操作，且现有筛盘的定位能力不够强，晶片容易发生偏移。

实用新型内容

基于此，有必要针对现有技术问题，提供一种用于晶片的定位筛盘结构，设置多个独立的真空分区，能够有效提高各个分区的真空吸附力，故障排查方便，且定位能力强。

为解决现有技术问题，本实用新型公开一种用于晶片的定位筛盘结构，包括筛盘本体和密封盖板，筛盘本体上设有n个真空槽和n个真空管道，2≤n≤6，各个真空管道分别连通各个真空槽，筛盘本体中远离真空槽的一面设有容料槽，容料槽与n个真空槽的位置对应匹配，密封盖板固定连接于筛盘本体靠近真空槽的一侧；

每个真空槽内均设有k个真空吸孔，容料槽内设有nk个定位凹槽，各个真空吸孔对应连接各个定位凹槽。

进一步的，真空槽和真空管道分别设有n＝4个。

进一步的，各个真空管道远离真空槽的一端均通向筛盘本体的同一侧。

进一步的，k个真空吸孔以pq的阵列排布于真空槽中，10≤p≤20，60≤q≤100。

进一步的，真空吸孔和定位凹槽之间还连接有收窄通道，真空吸孔的直径为R，收窄通道的直径为r，r<R。

进一步的，定位凹槽为矩形，定位凹槽的最小边长为D，D>r。

进一步的，r≤0.5D。

本实用新型的有益效果为：本实用新型公开一种用于晶片的定位筛盘结构，设置多个独立的真空分区，每个真空分区都单独连接有对应的抽真空管道，能够有效缩小真空泵所需抽真空的体积，从而有效提高各个独立分区的真空吸附力，筛盘整体的定位能力强，可有效防止定位好的晶片发生偏移，同时能够有效简化故障排查的操作，可进行高效且针对性强的故障排查。

附图说明

图1为本实用新型的拆分立体结构示意图。

图2为本实用新型的侧视结构示意图。

图3为本实用新型沿图2中A-A’的剖面结构示意图。

图4为本实用新型在图3中B的放大结构示意图。

附图标记为：筛盘本体10、真空槽11、真空吸孔111、收窄通道112、真空管道12、容料槽13、定位凹槽131、密封盖板20。

具体实施方式

为能进一步了解本实用新型的特征、技术手段以及所达到的具体目的、功能，下面结合附图与具体实施方式对本实用新型作进一步详细描述。

参考图1至图4。

本实用新型实施例公开一种用于晶片的定位筛盘结构，包括筛盘本体10和密封盖板20，筛盘本体10上设有n个真空槽11和n个真空管道12，2≤n≤6，n为整数，各个真空管道12分别连通各个真空槽11，筛盘本体10中远离真空槽11的一面设有容料槽13，即筛盘本体10中与真空槽11相对的一面设有容料槽13，容料槽13与n个真空槽11的位置对应匹配，即n个真空槽11共同占据的面积投影都在容料槽13所覆盖的面积投影内，一个容料槽13对应n个真空槽11，使用时，密封盖板20设置于筛盘本体10靠近真空槽11的一面，筛盘本体10和密封盖板20通过扣合锁紧或螺丝锁紧连接，盖上密封盖板20后各个真空槽11能够形成独立的密封空间；

每个真空槽11内均设有k个真空吸孔111，容料槽13内设有nk个定位凹槽131，定位凹槽131的形状与晶片的形状匹配，各个真空吸孔111对应连接各个定位凹槽131，即真空吸孔11和定位凹槽131一一对应连接，真空吸孔111连通定位凹槽131与真空槽11。

本实用新型的工作过程为：每个真空管道12都连接有一个外部的真空发生器，即定位筛盘整体连接有n个真空发生器，将密封盖板20固定于筛盘本体10靠近真空槽11的一面，各个真空槽11形成独立的空间，以容料槽13向上的方向将筛盘本体10和密封盖板20固定于外部的振动发生器中，并将散装晶片倒入容料槽13中，外部的振动发生器驱动筛盘本体10运动，各个晶片的陷入各个定位凹槽131中，即每个定位凹槽131中均填放有晶片，各个外部的真空发生器工作将对应的真空槽11抽真空，由于晶片堵住真空槽11的唯一通风口，所以真空槽11内形成真空状态，通过气压差将晶片固定于定位凹槽131中，清除容料槽13中多余的晶片后，即完成分料定位操作。

本实用新型在出现故障时，在使用时进行检测，无法吸附晶片的定位凹槽131对应真空槽11便是故障点，能够有效缩小排查范围、降低故障排查难度，可有效提高排查故障的效率。

本实用新型设置多个独立的真空分区，每个真空分区都单独连接有对应的抽真空管道，能够有效缩小真空泵所需抽真空的体积，从而有效提高各个独立分区的真空吸附力，筛盘整体的定位能力强，可有效防止定位好的晶片发生偏移，同时能够有效简化故障排查的操作，可进行高效且针对性强的故障排查。

在本实施例中，各个真空管道12远离真空槽11的一端均通向筛盘本体10的同一侧，能够方便外部真空发生器的设置，可方便维修等操作，还能够有效节省加工占用的空间，从而降低加工成本。

在本实施例中，k个真空吸孔111以pq的阵列排布于真空槽11中，即每个真空槽11中均分布有p列真空吸孔111和q排真空吸孔111，k＝pq，10≤p≤20，60≤q≤100，p和q均为整数，能够有效确保真空吸孔111的真空吸附固定效果，优选地，真空槽11和真空管道12分别设有n＝4个，设置筛盘本体10为接近正方形的结构，符合大部分外部应用装置的规格需求。

在本实施例中，真空吸孔111和定位凹槽131之间还连接有收窄通道112，收窄通道112连通真空吸孔111和定位凹槽131，真空吸孔111的直径为R，收窄通道112的直径为r，r<R，能够有效集中真空吸附的输出强度，可有效提高吸附固定晶片的稳定性。

在本实施例中，定位凹槽131为矩形，定位凹槽131的最小边长为D，D>r，优选地，r≤0.5D，可确保晶片能够完全堵塞收窄通道112，间接完全堵塞真空吸孔111，能够有效避免真空槽11发生漏气，从而确保对晶片的真空吸附定位效果。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (7)

1.一种用于晶片的定位筛盘结构，其特征在于，包括筛盘本体(10)和密封盖板(20)，所述筛盘本体(10)上设有n个真空槽(11)和n个真空管道(12)，2≤n≤6，各个所述真空管道(12)分别连通各个所述真空槽(11)，所述筛盘本体(10)中远离所述真空槽(11)的一面设有容料槽(13)，所述容料槽(13)与n个所述真空槽(11)的位置对应匹配，所述密封盖板(20)固定连接于所述筛盘本体(10)靠近所述真空槽(11)的一侧；

每个所述真空槽(11)内均设有k个真空吸孔(111)，所述容料槽(13)内设有nk个定位凹槽(131)，各个所述真空吸孔(111)对应连接各个所述定位凹槽(131)。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶片的定位筛盘结构，其特征在于，所述真空槽(11)和所述真空管道(12)分别设有n＝4个。

3.根据权利要求1所述的一种用于晶片的定位筛盘结构，其特征在于，各个所述真空管道(12)远离所述真空槽(11)的一端均通向所述筛盘本体(10)的同一侧。

4.根据权利要求1所述的一种用于晶片的定位筛盘结构，其特征在于，k个所述真空吸孔(111)以pq的阵列排布于所述真空槽(11)中，10≤p≤20，60≤q≤100。

5.根据权利要求1所述的一种用于晶片的定位筛盘结构，其特征在于，所述真空吸孔(111)和所述定位凹槽(131)之间还连接有收窄通道(112)，所述真空吸孔(111)的直径为R，所述收窄通道(112)的直径为r，r<R。

6.根据权利要求5所述的一种用于晶片的定位筛盘结构，其特征在于，所述定位凹槽(131)为矩形，所述定位凹槽(131)的最小边长为D，D>r。

7.根据权利要求6所述的一种用于晶片的定位筛盘结构，其特征在于，r≤0.5D。