CN103737604A - 一种机械手臂叶板 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种机械手臂叶板，包括叶板和承载座，所述叶板为至少设有一个以上之定位孔薄板片，其各定位孔内径中设有内凸环；所述承载座为可供嵌入定位孔的弹性橡胶材质本体，该本体上端设有向上开口的吸附盘，该吸附盘中央设有透气孔，所述本体下端外环中设有内凹环，可供嵌入各定位孔的内凸环，形成内嵌式公母扣固设计；由此，能确保提升晶圆片可快速稳定精准传递运输性。

Description

一种机械手臂叶板
技术领域
本发明涉及机械手臂叶板，尤其涉及一种具有内嵌式晶片承载座的机械手臂叶板。
背景技术
晶圆片的生产与制作属极为精密的加工技术，故其通常需借助各种特殊功能的机械手臂来进行运输传递等作业，然一般晶圆片制造过程也须由真空腔体中进行制程堆叠制造，其真空腔体中需由非真空吸附机械手臂运送转移制程，其传输过程中仅由晶圆片本身重力及金属表面的摩擦力使之固定，为保持原有统晶圆片定位精度及预防统晶圆片掉落的可能，非真空吸附机械手臂运送转移速度必须十分缓慢来维持精准度，而导致机台生产效率不高。
发明内容
本发明的目的是在于提供一种机械手臂叶板，能确保提升晶圆片可快速稳定精准传递运输性。
根据本发明的一个方面，提供一种机械手臂叶板，包括叶板和承载座，所述叶板为至少设有一个以上之定位孔薄板片，其各定位孔内径中设有内凸环；所述承载座为可供嵌入定位孔的弹性橡胶材质本体，该本体上端设有向上开口的吸附盘，该吸附盘中央设有透气孔，所述本体下端外环中设有内凹环，可供嵌入各定位孔的内凸环，形成内嵌式公母扣固设计。
本发明结构简单、使用方便，能确保提升晶圆片可快速稳定精准传递运输性。
附图说明
图1是本发明一种机械手臂叶板的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图说明，对本发明作进一步详细说明。
如图1所示，一种机械手臂叶板，包括叶板1及承载座2所组成；叶板1为薄板片，且至少设有四个定位孔12A、12B、12C、12D，各定位孔内径中设有内凸环13。承载座2为可供嵌入定位孔的弹性橡胶材质本体，该本体上端设有向上开口的吸附盘21，其吸附盘中央凿设有透气孔211，此外本体下端外环中设有内凹环23，可供嵌入各定位孔的内凸环13。
综上所述，本发明结构简单、使用方便，能确保提升晶圆片可快速稳定精准传递运输性。
以上所述仅是本发明的一种实施方式，应当指出，对于本领域普通技术人员来说，在不脱离本发明创造构思的前提下，还可以做出若干相似的变形和改进，这些也应视为本发明的保护范围之内。

Claims (1)

1.一种机械手臂叶板，其特征在于：包括叶板和承载座，所述叶板为至少设有一个以上之定位孔薄板片，其各定位孔内径中设有内凸环；所述承载座为可供嵌入定位孔的弹性橡胶材质本体，该本体上端设有向上开口的吸附盘，该吸附盘中央设有透气孔，所述本体下端外环中设有内凹环，可供嵌入各定位孔的内凸环，形成内嵌式公母扣固设计。
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Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

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