JP2010280453A - 浮上搬送装置及び浮上ユニット - Google Patents
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Abstract
大型の基板Wに反り等の変形がある場合であっても、基板Wの搬送幅方向の端面とサイド浮上ユニット39B等との干渉を回避して、基板Wの損傷を十分に防止すること。
【解決手段】
浮上ユニット本体41の上面に枠状のノズル51が形成され、浮上ユニット本体41の下側に中空パイプ状の浮上ユニット脚53が設けられ、浮上ユニット脚53の内部はチャンバー29の内部に連通し、浮上ユニット本体41の設置穴59に浮上ユニット脚53の一対の開口部57の開口面積を調節する円形の調節部材61が鉛直軸心周りに回転可能に嵌装されたこと。
【選択図】 図1
Description
本発明の実施形態について図1から図7を参照して説明する。なお、図面中、「FF」は、前方向、「FR」は、後方向、「L」は、左方向、「R」は、右方向をそれぞれ指してある。
即ち、各支持台5の左端部付近には、一対の支持アーム13が前後方向に間隔を置いて設けられており、各支持アーム13には、基板Wの一端面(左端面)を支持する第1搬送ローラ15が設けられている。換言すれば、複数の装置フレーム3の左端部付近には、複数の第1搬送ローラ15が複数の支持アーム13を介して前後方向に間隔を置いて設けられている。ここで、各第1搬送ローラ15は、鉛直(垂直)な軸心周りに回転自在なフリーローラになっている。
本発明の実施形態の変形例に係るサイド浮上ユニットについて図8(a)(b)及び図9(a)(b)を参照して説明する。なお、図面中、「FF」は、前方向、「FR」は、後方向、「L」は、左方向、「R」は、右方向をそれぞれ指してある。
1 浮上搬送装置
3 装置フレーム(支持フレーム)
11 搬送機構(搬送ユニット)
13 搬送ローラ
23 搬送モータ
29 チャンバー
35 ファン
39 浮上ユニット
39A 浮上ユニット
39B サイド浮上ユニット
41 浮上ユニット本体
45 外郭部材
47 支持ピン
49 島部材
51 ノズル
53 浮上ユニット脚
57 開口部
59 設置穴
61 調節部材
63 開閉部
65 係合凹部
67 フランジ
69 相手係合凸部
71 スプリング
73 サイド浮上ユニット
75 蓋部材
77 開口部
79 連結バー
81 調節部材
83 固定ねじ
85 開閉部
Claims (7)
- 基板を搬送方向へ浮上搬送する浮上搬送装置において、
装置フレームに設けられ、基板を前記搬送方向へ搬送する搬送機構と、
前記装置フレームに設けられ、内部が浮上ガスを供給する浮上ガス供給源に接続され、浮上ガスを収容するチャンバーと、
前記チャンバーに前記搬送方向及び前記搬送方向に直交する搬送幅方向に沿って設けられ、浮上ガスの圧力を利用して基板を浮上させる複数の浮上ユニットと、を具備し、
前記浮上ユニットは、
上面に浮上ガスを噴出するノズルが形成された中空状の浮上ユニット本体と、
前記浮上ユニット本体の下側に設けられ、内部が前記チャンバーの内部に連通してあって、上側に浮上ガスを前記浮上ユニット本体の内部へ導入する開口部を有した中空状の浮上ユニット脚と、を備え、
更に、全ての前記浮上ユニットのうち、前記搬送幅方向の両側に配列したサイド浮上ユニットは、
前記浮上ユニット本体及び前記浮上ユニット脚の他に、前記浮上ユニット脚の前記開口部の開口面積を調節する調節部材を備えていることを特徴とする浮上搬送装置。 - 前記サイド浮上ユニットにおける前記浮上ユニット本体の上面に設置穴が形成され、
前記浮上ユニット本体の前記設置穴に前記調節部材が鉛直軸心周りに回転可能に嵌装され、前記調節部材は、上方向から操作可能であって、鉛直軸心周りの回転によって前記浮上ユニット脚の前記開口部の開口面積を可変できるように構成されていることを特徴とする請求項1に記載の浮上搬送装置。 - 前記浮上ユニット本体の前記ノズルが前記浮上ユニット本体の外縁に沿って形成されてあって、前記浮上ユニットの前記ノズルが鉛直方向に対して前記浮上ユニット本体の中心側へ傾斜するように構成されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の浮上搬送装置。
- 浮上ガスの圧力を利用して基板を浮上させる浮上ユニットにおいて、
上面に浮上ガスを噴出するノズルが形成された浮上ユニット本体と、
前記浮上ユニット本体の下側に設けられ、上側に浮上ガスを前記浮上ユニット本体の内部へ導入する開口部を有した浮上ユニット脚と、
前記浮上ユニット脚の前記開口部の開口面積を調節する調節部材と、を備えたことを特徴とする浮上ユニット。 - 前記浮上ユニット本体の上面に設置穴が形成され、
前記浮上ユニット本体の前記設置穴に前記調節部材が鉛直軸心周りに回転可能に嵌装され、前記調節部材は、上方向から操作可能であって、鉛直軸心周りの回転によって前記浮上ユニット本体の前記開口部の開口面積を可変できるように構成されていることを特徴とする請求項4に記載の浮上ユニット。 - 前記浮上ユニット本体の前記設置穴の周縁裏面に複数の係合凹部又は複数の係合凸部が周方向に間隔を置いて形成され、
前記調節部材が前記浮上ユニット本体に対して上下方向へ移動可能であって、前記調節部材の外周面にフランジが前記浮上ユニット本体の前記設置穴の周縁裏面に対向するように形成され、前記調節部材の前記フランジに複数の前記係合凹部又は複数の前記係合凸部に係合可能な複数の相手係合凸部又は複数の相手係合凹部が周方向に間隔を置いて形成され、
更に、前記浮上ユニット本体、前記浮上ユニット脚、及び前記調節部材の他に、前記調節部材を前記浮上ユニット本体に対して上方向へ付勢する付勢部材を備えたことを特徴とする請求項5に記載の浮上ユニット。 - 前記浮上ユニット本体の前記ノズルが前記浮上ユニット本体の外縁に沿って形成されてあって、前記浮上ユニット本体の前記ノズルが鉛直方向に対して前記浮上ユニット本体の中心側へ傾斜するように構成されていることを特徴とする請求項4から請求項6のうちのいずれか請求項に記載の浮上ユニット。
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