CN101857126A

CN101857126A - 基板分类装置

Info

Publication number: CN101857126A
Application number: CN 201010155124
Authority: CN
Inventors: 志田伦教
Original assignee: IHI Corp
Current assignee: IHI Corp
Priority date: 2009-04-06
Filing date: 2010-03-31
Publication date: 2010-10-13
Anticipated expiration: 2030-03-31
Also published as: TW201104780A; TWI520252B; JP2010245250A; CN101857126B

Abstract

基板分类装置具备输送基板的输送线、设在上述输送线的下游并处理基板的处理装置、以及随机存取缓冲装置，该随机存取缓冲装置设在上述输送线和上述处理装置之间，并具有暂时保持基板的多个保持部，而且从上述输送线将基板接收到上述多个保持部中的任意的保持部，并且从任意的保持部将基板交给上述处理装置。上述随机存取缓冲装置在保持于上述保持部的基板之中，筛选由上述处理装置处理的种类的基板，并交给上述处理装置。

Description

基板分类装置

技术领域

本发明涉及从基板的输送线将基板输送到其下游的处理装置的基板分类装置。

背景技术

例如，作为将半导体的基板输送给加工装置等处理装置的单张输送线上的基板滞留问题的对策，可以列举利用暂时性地保管基板的缓冲装置。在以往的缓冲装置中有以下两种装置，在升降的盒式的机架和输送线之间由臂或叉移送基板的装置(例如，专利文献1)，和在输送线上安装了升降式的机架的直插式缓冲装置(例如，专利文献2)。

如果是在机架和输送线之间移送基板的缓冲装置，为了接近输送线上的基板，在输送线之外还需要臂或者叉，另外，为了相对于机架的各层取放基板，便需要使机架升降的装置。必须使这些结构连动的缓冲装置便成为复杂且大规模的装置。另外，由于需要相对于位于输送路径外的机架交接基板，因此还需要在基板的交接之际用来防止基板损伤的对策。

另一方面，如果是直插式缓冲装置，由于被安装在输送线上，因此不需要臂或者叉，可以避免装置的复杂化。另外，由于在输送线上进行基板的缓冲，因此不需要相对于位于输送路径外的机架进行的基板的交接和交接时的基板损伤对策。就以上几点而言，直插式缓冲装置与先前的缓冲装置相比是有优点的。但是，由于在使机架一层一层地升降的同时取放基板，因此相对于机架的基板的取放就变成先入后出的方式。因此，当输送目的地不同的基板混在一起时，就不得不另外设置按照输送目的地的不同将基板分类的工序。

在将基板按照输送目的地的不同分类时，例如可以采用横向传送带(例如，专利文献3)。但是，若分类后的基板在分类目的地的输送线上滞留，则滞留的基板的行列不久便超过横向传送带而到达其前面，从而在没有滞留基板的输送线上也不能将基板分类。

专利文献1：日本专利第3892494号公报

专利文献2：日本特开2007-15789号公报

专利文献3：日本特开2006-312507号公报

当抑制如上所述的单张输送线上的基板滞留问题时，希望做成不需要使基板移动到输送路径以外，并且即便在输送目的地不同的基板混在一起的情况下也能够很好地应付的结构。

发明内容

本发明的目的在于提供即便在输送目的地不同的基板混在一起的情况下，也无需使基板移动到输送路径以外便能够抑制输送线上的基板的滞留的基板分类装置。

为了达到上述目的，本发明的观点以如下的内容为要点，即，提供一种基板分类装置，具备输送基板的输送线、设在上述输送线的下游并对基板进行处理的处理装置、以及随机存取缓冲装置，该随机存取缓冲装置设在上述输送线和上述处理装置之间，并具有暂时保持基板的多个保持部，而且从上述输送线将基板接收到上述多个保持部中的任意的保持部，并且从任意的保持部将基板交给上述处理装置，上述随机存取缓冲装置在保持于上述保持部的基板之中筛选由上述处理装置处理的种类的基板，并交给上述处理装置。

根据上述观点，在从输送线将基板输送给处理装置之际，在被随机存取缓冲装置接收的基板之中、由处理装置处理的种类的基板在由随机存取缓冲装置筛选之后再交给处理装置。

没有被处理装置处理的种类的基板，例如就以被随机存取缓冲装置接收的状态被保持。然后，以被接收的状态保持在随机存取缓冲装置的其他种类的基板，例如，在将处理装置更换成处理该种类的基板的装置时，由随机存取缓冲装置筛选后交出。

因而，在随机存取缓冲装置中可以实现暂时保持由输送线输送的基板的缓冲处理，和筛选由处理装置处理的种类的基板的分类处理这两方面。因此，即便输送目的地不同的基板在输送线上混在一起，也无需使基板从输送线移动到输送线以外便能够可靠地抑制基板的滞留。

另外，上述基板分类装置还具备使上述随机存取缓冲装置在包括上述输送线的下游的位置在内的多个位置之间移动的移动单元，上述处理装置配置在上述多个位置之中第一位置的下游，上述随机存取缓冲装置在保持于上述保持部的基板之中，筛选由上述处理装置处理的种类的基板，并在上述第一位置交给上述处理装置也可以。

根据上述结构，被移动单元移动到输送线的下游的位置的随机存取缓冲装置，将多个种类混在一起的基板从输送线接收到各保持部。另外，被移动单元移动到第一位置的随机存取缓冲装置在被接收到各保持部的基板之中筛选由处理装置处理的种类的基板然后交出。

没有通过处理装置处理的种类的基板，利用被移动单元移动到第一位置以外的位置的随机存取缓冲装置按照种类筛选后交出。例如，当在随机存取缓冲装置移动后的第一位置以外的位置的下游配置有其他输送线的情况下，可以筛选作为在该输送线上输送的对象的种类的基板然后交出。

因而，通过由移动单元适当地移动随机存取缓冲装置，可以将接收到随机存取缓冲装置内的基板按照种类不同分配到各自的输送目的地。

另外，上述基板分类装置还具备另一处理装置，该另一处理装置配置在上述多个位置之中与上述第一位置不同的第二位置的下游，并且与上述处理装置相比所处理的基板的种类不同，上述随机存取缓冲装置在保持于上述保持部的基板之中，筛选由上述另一处理装置处理的种类的基板，并在上述第二位置交给上述另一处理装置也可以。

根据上述结构，被移动单元移动到与第一位置不同的第二位置的随机存取缓冲装置，在被接收到各保持部的基板之中，筛选由另一处理装置处理的种类的基板然后交出。

因而，通过由移动单元适当地移动随机存取缓冲装置，可以将接收到随机存取缓冲装置内的基板按照种类不同分配到对各个基板进行处理的处理装置。

另外，上述基板分类装置还具备配置在上述多个位置之中与上述第一位置不同的第二位置的下游并输送基板的另一输送线，上述随机存取缓冲装置在保持于上述保持部的基板之中，筛选由上述另一输送线输送的种类的基板，并在上述第二位置交给上述另一输送线也可以。

根据上述结构，随机存取缓冲装置可以在移动目的地的第二位置，筛选在配置于第二位置的下游的另一输送线上输送的对象的种类的基板然后交出。

另外，上述第一位置也可以是上述输送线的下游的位置。

另外，上述移动单元也可以在由上述随机存取缓冲装置从上述输送线接收基板结束之后，且由上述处理装置处理的种类的基板已全部从上述保持部交出时，使上述随机存取缓冲装置从上述第一位置移动到上述第二位置。

本发明的效果如下。

根据本发明的基板分类装置，即便在输送目的地不同的基板混在一起的情况下，也无需使基板从输送线移动到输送线以外便能够抑制输送线上的基板的滞留。

附图说明

图1是表示本发明的第一实施方式的基板分类装置的概略结构的俯视图。

图2是表示图1的随机存取缓冲装置的结构的立体图。

图3是表示图1的基板分类装置的动作的俯视图。

图4是表示本发明的第二实施方式的基板分类装置的概略结构的俯视图。

图5是表示本发明的第三实施方式的基板分类装置的概略结构的俯视图。

具体实施方式

以下，参照附图说明本发明的实施方式。

[第一实施方式]

图1是表示本发明的第一实施方式的基板分类装置1的结构的俯视图。本实施方式的基板分类装置1具有多种基板101被混在一起而输送的输送线3，和将输送线3上的基板101分类的随机存取缓冲装置5。

输送线3包括多个传送带CV、CV、...。从输送线3的图1中最靠左(左侧)的搬入侧的传送带CV搬入基板101。另外，在输送线3的图1中最靠右(右侧)的搬出侧的传送带CV上连接有随机存取缓冲装置5的搬入侧。在随机存取缓冲装置5的下游侧配置有加工装置9(处理装置)。在加工装置9的上游侧以及下游侧连接有基板101的搬入用和搬出用的各传送带CV。随机存取缓冲装置5将输送线3上的基板101分类成由加工装置9处理的种类的基板101和不由加工装置9处理的种类的基板101。

图2是表示随机存取缓冲装置5的具体结构的立体图。如图2所示，随机存取缓冲装置5具备可以在保持基板101的多个保持部11的两侧升降的基板支撑机构12。通过基板支撑机构12，随机存取缓冲装置5可以将基板101插入多个保持部11中的任意的保持部11，并且，还可以取出所保持的多个基板101中的任意的基板。基板支撑机构12由控制装置控制。

关于随机存取缓冲装置5的结构，在本申请人之前提出的特开2005-170675号公报以及特开2005-175429号公报中有所记载。

在采用了图2的随机存取缓冲装置5的图1的基板分类装置1中，从输送线3的搬出侧的传送带CV接收搬入到输送线3的搬入侧的传送带CV上的基板101，然后由搬入侧的基板支撑机构12依次插入到随机存取缓冲装置5的空着的保持部11。这时，读取粘贴在基板101上的IC标签等，辨别基板101的种类。在以后的说明中，假设在输送线3上搬入两种基板A101A、基板B101B。另外，假设在图1的加工装置9上进行对基板A101A的处理。

在两种基板A101A以及基板B101B被依次插入到保持部11的随机存取缓冲装置5上，由搬出侧的基板支撑机构12只将基板A101A从保持部11取出，然后经由搬入用的传送带CV交给加工装置9。这时，基板A101A向加工装置9的交出，以与由加工装置9进行的基板A101A的处理速度相一致的速度进行。

因而，只要随机存取缓冲装置5的保持部11上有空位，不利用进行对基板A101A的处理的加工装置9处理的基板B101B，和以超出加工装置9上的处理速度的速度被搬入输送线3上的基板A101A就被暂时保持(缓冲)。

当从随机存取缓冲装置5的保持部11将基板A101A全部交出，从而保持部11只剩下基板B101B之后，就将加工装置9从进行对基板A101A的处理的装置替换成进行对基板B101B的处理的装置。

然后，如图3的说明图所示，由随机存取缓冲装置5的搬出侧的基板支撑机构12从保持部11取出基板B101B，然后经由搬入用的传送带CV交给加工装置9。与此同时，由搬入侧的基板支撑机构12将搬入到输送线3上的基板A101A和基板B101B插入随机存取缓冲装置5的空着的保持部11。

因而，只要随机存取缓冲装置5的保持部11有空位，不利用进行对基板B101B的处理的加工装置9处理的基板A101A，和以超出加工装置9上的处理速度的速度被搬入输送线3上的基板B101B就被暂时保持(缓冲)。

当从随机存取缓冲装置5的保持部11将基板B101B全部交出，从而保持部11只剩下基板A101A之后，就将加工装置9从进行对基板B101B的处理的装置再次替换成进行对基板A101A的处理的装置。

然后，如图1的说明图所示，由随机存取缓冲装置5的搬出侧的基板支撑机构12从保持部11取出基板A101A，然后经由搬入用的传送带CV交给加工装置9。与此同时，由搬入侧的基板支撑机构12将搬入到输送线3上的基板A101A和基板B101B插入随机存取缓冲装置5的空着的保持部11。

重复以上的动作，直到对于输送线3的基板A101A和基板B101B的搬入结束为止。对于输送线3的基板A101A和基板B101B的搬入一结束，就在这个时刻，相对于连接在随机存取缓冲装置5上的加工装置9，结束由该加工装置9处理的基板A101A(或者是基板B101B)的交出。在此，在保持部11还残留没用该加工装置9处理的基板B101B(或者是基板A101A)的情况下，在进行了加工装置9的替换之后，将残留在保持部11的基板B101B(或者是基板A101A)全部交给加工装置9。

根据由以上方式构成的本实施方式的基板分类装置1，例如，在将进行对基板A101A的处理的加工装置9连接在随机存取缓冲装置5上的情况下，可以将插入到随机存取缓冲装置5的保持部11的两种基板A101A以及基板B101B之中，不用加工装置9处理的基板B101B照旧保持在随机存取缓冲装置5，从而与基板A101A分类。

另外，还可以将以超出加工装置9上的处理速度的速度被搬入到输送线3上的基板A101A暂时保持(缓冲)在随机存取缓冲装置5中，从而防止基板A101A和基板B101B滞留在加工装置9的跟前的情况。

根据本实施方式的基板分类装置1，例如，在将进行对基板B101B的处理的加工装置9连接在随机存取缓冲装置5上的情况下，可以将插入到随机存取缓冲装置5的保持部11的两种基板A101A以及基板B101B之中，不用加工装置9处理的基板A101A照旧保持在随机存取缓冲装置5，从而与基板B101B分类。

另外，还可以将以超出加工装置9上的处理速度的速度被搬入到输送线3上的基板B101B暂时保持(缓冲)在随机存取缓冲装置5中，从而防止基板A101A和基板B101B滞留在加工装置9的跟前的情况。

因此，即便输送目的地不同的两种基板A101A以及基板B101B在输送线3上混在一起，也不需要使基板A101A以及基板B101B从输送线3移动到输送线以外，就能够可靠地抑制基板A101A以及基板B101B的滞留。

当从随机存取缓冲装置5的保持部11将基板A101A全部交出，从而保持部11只剩下基板B101B时，在基板B101B不需要用加工装置处理的情况下，只要将进行对基板A101A的处理的加工装置9更换成传送带CV即可。在将加工装置9更换成传送带CV之后，就变成由随机存取缓冲装置5的搬出侧的基板支撑机构12从保持部11取出基板B101B，然后交给搬入用的传送带CV和与其连接在一起的传送带CV的情况。当然与此同时，由搬入侧的基板支撑机构12将搬入到输送线3上的基板A101A和基板B101B插入随机存取缓冲装置5的空着的保持部11。

[第二实施方式]

在所述第一实施方式中，对随机存取缓冲装置5是固定式的情况进行了说明，但也可以将随机存取缓冲装置5设为移动式。以这种方式构成的装置就是图4的俯视图所示的本发明的第二实施方式的基板分类装置1A。

在本实施方式的基板分类装置1A中，同时运用进行对基板A101A的处理的加工装置A9A和进行对基板B101B的处理的加工装置B9B。因此，本实施方式的基板分类装置1A具有使随机存取缓冲装置5在第一位置和第二位置的相互之间移动的移动单元13。移动单元13例如是利用电动机等使装载了随机存取缓冲装置5的滑块在轨道上移动的装置。

本实施方式的随机存取缓冲装置5利用移动单元13在第一位置和第二位置之间移动。在第一位置上，搬入侧的基板支撑机构12可以从输送线3的搬出侧的传送带CV接收基板A101A和基板B101B。另外，在第一位置上，搬出侧的基板支撑机构12可以将基板A101A交给加工装置A9A的搬入用的传送带CV。在第二位置上，搬出侧的基板支撑机构12可以将基板B101B交给加工装置B9B的搬入用的传送带CV。

在图4的基板分类装置1A中，利用移动单元13使随机存取缓冲装置5向第一位置移动。然后，从输送线3的搬出侧的传送带CV接收搬入到输送线3的搬入侧的传送带CV上的基板A101A和基板B101B，再由搬入侧的基板支撑机构12依次插入随机存取缓冲装置5的空着的保持部11。这时，读取粘贴在基板A101A和基板B101B上的IC标签等，辨别基板A101A和基板B101B的种类。

在基板A101A和基板B101B被依次插入到保持部11的随机存取缓冲装置5中，在位于第一位置的期间内，由搬出侧的基板支撑机构12只将基板A101A从保持部11取出，然后经由搬入用的传送带CV交给加工装置A9A。这时，基板A101A的向加工装置A9A的交出，以与由加工装置A9A进行的基板A101A的处理速度相一致的速度进行。

因而，只要随机存取缓冲装置5的保持部11上有空位，不用加工装置A9A处理的基板B101B，和以超出加工装置A9A上的处理速度的速度被搬入输送线3上的基板A101A就被暂时保持(缓冲)。

在对于输送线3的基板A101A和基板B101B的搬入结束之后，在从随机存取缓冲装置5的保持部11将基板A101A全部交出，从而保持部11只剩下基板B101B的时刻，利用移动单元13使随机存取缓冲装置5从第一位置移动到第二位置。然后，由搬出侧的基板支撑机构12取出残留在随机存取缓冲装置5的保持部11的基板B101B，再经由搬入用的传送带CV交给加工装置B9B。

根据如上所述构成的本实施方式的基板分类装置1A，通过在插入到随机存取缓冲装置5的保持部11的两种基板A101A以及基板B101B之中，在第一位置将基板A101A交给加工装置A9A，在第二位置将基板B101B交给加工装置B9B，从而可以将两种基板A101A以及基板B101B分类。

另外，可以将以超出加工装置A9A上的处理速度的速度被搬入输送线3上的基板A101A暂时保持(缓冲)在随机存取缓冲装置5内，从而防止基板A101A和基板B101B滞留在加工装置A9A的跟前的情况。

[第三实施方式]

在图4的第二实施方式中，说明了如下情况，即，将随机存取缓冲装置5在第一位置和第二位置之间移动的结构，用于相对于两种加工装置A9A以及加工装置B9B将作为各自的处理对象的基板A101A以及基板B101B进行分类。但是，即便是只存在加工装置A9A的情况下，也可以利用随机存取缓冲装置5在第一位置和第二位置之间移动的结构。

图5是以所述的方式构成的本发明的第三实施方式的基板分类装置1B的俯视图。在本实施方式的基板分类装置1B中，在随机存取缓冲装置5的第二位置的下游，配置有具备多个传送带CV、CV、...的旁通线VP。

在图5的基板分类装置1B中，利用移动单元13使随机存取缓冲装置5向第一位置移动。然后，从输送线3的搬出侧的传送带CV接收搬入到输送线3的搬入侧的传送带CV上的基板A101A和基板B101B，再由搬入侧的基板支撑机构12依次插入随机存取缓冲装置5的空着的保持部11。这时，读取粘贴在基板A101A和基板B101B上的IC标签等，辨别基板A101A和基板B101B的种类。

因而，只要随机存取缓冲装置5的保持部11上有空位，不用加工装置A9A处理的基板B101B，和以超出加工装置A9A上的处理速度的速度被搬入到输送线3上的基板A101A就被暂时保持(缓冲)。

一旦对于输送线3的基板A101A和基板B101B的搬入结束之后，在从随机存取缓冲装置5的保持部11将基板A101A全部交出，从而保持部11只剩下基板B101B的时刻，利用移动单元13使随机存取缓冲装置5从第一位置移动到第二位置。然后，由搬出侧的基板支撑机构12取出残留在随机存取缓冲装置5的保持部11的基板B101B，再交给旁通线VP的传送带CV。

根据以所述方式构成的本实施方式的基板分类装置1B，通过在插入到随机存取缓冲装置5的保持部11的两种基板A101A以及基板B101B之中，在第一位置将基板A101A交给加工装置A9A，在第二位置将基板B101B交给旁通线VP，从而可以将两种基板A101A以及基板B101B分类。

另外，可以将以超出加工装置A9A上的处理速度的速度被搬入到输送线3上的基板A101A暂时保持(缓冲)在随机存取缓冲装置5，从而防止基板A101A和基板B101B滞留在加工装置A9A的跟前的情况。

本发明可以提供即便在输送目的地不同的基板混在一起的情况下，也无需使基板移动到输送路径以外便能够抑制输送线上的基板的滞留的基板分类装置。

Claims

1.一种基板分类装置，具备：

输送基板的输送线；

设在上述输送线的下游，并对基板进行处理的处理装置；以及

随机存取缓冲装置，该随机存取缓冲装置设在上述输送线和上述处理装置之间，并具有暂时保持基板的多个保持部，而且从上述输送线将基板接收到上述多个保持部中的任意的保持部，并且从任意的保持部将基板交给上述处理装置，

上述随机存取缓冲装置在保持于上述保持部的基板之中，筛选由上述处理装置处理的种类的基板，并交给上述处理装置。

2.如权利要求1所述的基板分类装置，其特征在于，

还具备使上述随机存取缓冲装置在包括上述输送线的下游的位置在内的多个位置之间移动的移动单元，

上述处理装置配置在上述多个位置之中第一位置的下游，

上述随机存取缓冲装置在保持于上述保持部的基板之中，筛选由上述处理装置处理的种类的基板，并在上述第一位置交给上述处理装置。

3.如权利要求2所述的基板分类装置，其特征在于，

还具备另一处理装置，该另一处理装置配置在上述多个位置之中与上述第一位置不同的第二位置的下游，并且与上述处理装置相比所处理的基板的种类不同，

上述随机存取缓冲装置在保持于上述保持部的基板之中，筛选由上述另一处理装置处理的种类的基板，并在上述第二位置交给上述另一处理装置。

4.如权利要求2所述的基板分类装置，其特征在于，

还具备配置在上述多个位置之中与上述第一位置不同的第二位置的下游并输送基板的另一输送线，

上述随机存取缓冲装置在保持于上述保持部的基板之中，筛选由上述另一输送线输送的种类的基板，并在上述第二位置交给上述另一输送线。

5.如权利要求2所述的基板分类装置，其特征在于，

上述第一位置是上述输送线的下游的位置。

6.如权利要求3或4所述的基板分类装置，其特征在于，

上述移动单元在由上述随机存取缓冲装置从上述输送线接收基板结束之后，且由上述处理装置处理的种类的基板已全部从上述保持部交出时，使上述随机存取缓冲装置从上述第一位置移动到上述第二位置。