CN114408452B - 一种晶圆运送方法、装置、电子设备及存储介质 - Google Patents

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Abstract

本申请提供了一种晶圆运送方法、装置、电子设备及存储介质，方法包括：对于每一晶圆物料盒，该晶圆物料盒被主干传送带运载到载物平台时，对该晶圆物料盒上的识别标识进行扫描，得到识别结果；根据识别结果，确定通往目标物料贮存区域的目标分支传送带，并通过机械臂将该晶圆物料盒放置于目标分支传送带上；在该晶圆物料盒被运载到目标物料贮存区域后，对该晶圆物料盒以及目标晶圆进行拍摄，得到目标图像；根据目标图像，判断目标晶圆是否存在损伤，若是则向预设终端发送电子邮件。本申请能够实现对晶圆物料盒的自动运送，并在晶圆物料盒中的晶圆由于运送过程产生损伤时对工作人员进行邮件通知，从而避免后续使用出现损伤的晶圆进行加工作业等。

Description

一种晶圆运送方法、装置、电子设备及存储介质
技术领域
本申请涉及半导体领域，具体而言，涉及一种晶圆运送方法、装置、电子设备及存储介质。
背景技术
晶圆，是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。随着时代的发展以及集成电路技术的不断进步，晶圆越来越多的被进行生产制作。
在晶圆制作完成后，需要将晶圆放置于专门用于贮存晶圆的物料贮存区中进行贮存(不同的物料贮存区用于贮存不同种类的晶圆)。然而，在现有技术中，需要人工对装载有晶圆的晶圆物料盒进行运送，这样，大大增加了人力成本。
发明内容
有鉴于此，本申请的目的在于提供一种晶圆运送方法、装置、电子设备及存储介质，能够实现对晶圆物料盒的自动运送，并在晶圆物料盒中的晶圆由于运送过程产生损伤时对工作人员进行邮件通知，从而避免后续使用出现损伤的晶圆进行加工作业等。
第一方面，本申请实施例提供了一种晶圆运送方法，所述方法包括：
对于每一放置于主干传送带上的晶圆物料盒，当确定该晶圆物料盒被所述主干传送带运载到与所述主干传送带相接的载物平台时，通过设置于所述载物平台上的扫描装置对该晶圆物料盒上附着的身份识别标识进行扫描，得到该晶圆物料盒的身份识别结果，其中，所述身份识别结果用于表征目标晶圆的种类，所述目标晶圆为该晶圆物料盒中装载的晶圆，所述载物平台还与多个分支传送带相接，不同的所述分支传送带通往不同的物料贮存区域，不同的所述物料贮存区域用于贮存不同种类的晶圆；
根据所述身份识别结果，确定通往目标物料贮存区域的目标分支传送带，并通过控制设置于所述载物平台处的机械臂将该晶圆物料盒放置于所述目标分支传送带上，其中，所述目标物料贮存区域为用于贮存目标种类的晶圆的物料贮存区域，所述目标种类为所述目标晶圆的种类；
在该晶圆物料盒被所述目标分支传送带运载到所述目标物料贮存区域后，通过设置于所述目标物料贮存区域中的拍摄装置分别对该晶圆物料盒以及该晶圆物料盒中的所述目标晶圆进行拍摄，得到所述目标晶圆的第一目标图像以及该晶圆物料盒的第二目标图像；
根据所述第一目标图像，判断所述目标晶圆是否存在损伤，若是，则向预设终端发送电子邮件，其中，所述电子邮件中包括：所述第一目标图像，所述第二目标图像，所述目标晶圆的损伤信息，用于指示所述目标物料贮存区域的名称以及方位的文字信息。
在一种可能的实施方式中，在所述目标物料贮存区域与所述目标分支传送带的连接处设置有闸门；所述方法还包括：
若接收到用于指示当前所述目标物料贮存区域的晶圆贮存率到达第一预设阈值的目标指示信息，则将所述闸门置于关闭状态，以及，通过扬声器发出用于指示所述目标物料贮存区域的晶圆贮存率到达所述第一预设阈值的语音信息。
在一种可能的实施方式中，所述身份识别标识为RFID电子标签，所述扫描装置为RFID读卡器。
在一种可能的实施方式中，所述载物平台上还设置有光栅；所述方法还包括：
实时获取所述光栅的透光量；
通过所述透光量判断该晶圆物料盒是否到达所述载物平台；
若检测到所述透光量小于第二预设阈值，则确定该晶圆物料盒到达所述载物平台；
若检测到所述透光量大于或等于所述第二预设阈值，则确定该晶圆物料盒未到达所述载物平台。
在一种可能的实施方式中，所述扫描装置与供电电源电连接；在通过设置于所述载物平台上的扫描装置对该晶圆物料盒上附着的身份识别标识进行扫描，得到该晶圆物料盒的身份识别结果之前，所述方法还包括：
将所述供电电源置于开启状态，以使所述扫描装置处于工作状态。
在一种可能的实施方式中，所述扫描装置上还设置有显示屏，所述方法还包括：
将所述身份识别结果显示于所述显示屏上。
在一种可能的实施方式中，不同的所述晶圆物料盒上刻有不同的编号。
第二方面，本申请实施例还提供了一种晶圆运送装置，所述装置包括：
扫描单元，用于对于每一放置于主干传送带上的晶圆物料盒，当确定该晶圆物料盒被所述主干传送带运载到与所述主干传送带相接的载物平台时，通过设置于所述载物平台上的扫描装置对该晶圆物料盒上附着的身份识别标识进行扫描，得到该晶圆物料盒的身份识别结果，其中，所述身份识别结果用于表征目标晶圆的种类，所述目标晶圆为该晶圆物料盒中装载的晶圆，所述载物平台还与多个分支传送带相接，不同的所述分支传送带通往不同的物料贮存区域，不同的所述物料贮存区域用于贮存不同种类的晶圆；
控制单元，用于根据所述身份识别结果，确定通往目标物料贮存区域的目标分支传送带，并通过控制设置于所述载物平台处的机械臂将该晶圆物料盒放置于所述目标分支传送带上，其中，所述目标物料贮存区域为用于贮存目标种类的晶圆的物料贮存区域，所述目标种类为所述目标晶圆的种类；
拍摄单元，用于在该晶圆物料盒被所述目标分支传送带运载到所述目标物料贮存区域后，通过设置于所述目标物料贮存区域中的拍摄装置分别对该晶圆物料盒以及该晶圆物料盒中的所述目标晶圆进行拍摄，得到所述目标晶圆的第一目标图像以及该晶圆物料盒的第二目标图像；
第一判断单元，用于根据所述第一目标图像，判断所述目标晶圆是否存在损伤，若是，则向预设终端发送电子邮件，其中，所述电子邮件中包括：所述第一目标图像，所述第二目标图像，所述目标晶圆的损伤信息，用于指示所述目标物料贮存区域的名称以及方位的文字信息。
在一种可能的实施方式中，在所述目标物料贮存区域与所述目标分支传送带的连接处设置有闸门；所述装置还包括：
应急处理单元，用于若接收到用于指示当前所述目标物料贮存区域的晶圆贮存率到达第一预设阈值的目标指示信息，则将所述闸门置于关闭状态，以及，通过扬声器发出用于指示所述目标物料贮存区域的晶圆贮存率到达所述第一预设阈值的语音信息。
在一种可能的实施方式中，所述身份识别标识为RFID电子标签，所述扫描装置为RFID读卡器。
在一种可能的实施方式中，所述载物平台上还设置有光栅；所述装置还包括：
获取单元，用于实时获取所述光栅的透光量；
第二判断单元，用于通过所述透光量判断该晶圆物料盒是否到达所述载物平台；
第一确定单元，用于若检测到所述透光量小于第二预设阈值，则确定该晶圆物料盒到达所述载物平台；
第二确定单元，用于若检测到所述透光量大于或等于所述第二预设阈值，则确定该晶圆物料盒未到达所述载物平台。
在一种可能的实施方式中，所述扫描装置与供电电源电连接；所述装置还包括：
供电单元，用于在所述扫描单元通过设置于所述载物平台上的扫描装置对该晶圆物料盒上附着的身份识别标识进行扫描，得到该晶圆物料盒的身份识别结果之前，将所述供电电源置于开启状态，以使所述扫描装置处于工作状态。
在一种可能的实施方式中，所述扫描装置上还设置有显示屏，所述装置还包括：
显示单元，用于将所述身份识别结果显示于所述显示屏上。
在一种可能的实施方式中，不同的所述晶圆物料盒上刻有不同的编号。
第三方面，本申请实施例还提供了一种电子设备，包括：处理器、存储介质和总线，所述存储介质存储有所述处理器可执行的机器可读指令，当电子设备运行时，所述处理器与所述存储介质之间通过总线通信，所述处理器执行所述机器可读指令，以执行第一方面任一项所述的晶圆运送方法的步骤。
第四方面，本申请实施例还提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器运行时执行如第一方面任一项所述的晶圆运送方法的步骤。
本申请实施例提供的一种晶圆运送方法、装置、电子设备及存储介质，能够实现对晶圆物料盒的自动运送，并在晶圆物料盒中的晶圆由于运送过程产生损伤时对工作人员进行邮件通知，从而避免后续使用出现损伤的晶圆进行加工作业等。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1示出了本申请实施例提供的一种晶圆运送方法的流程图；
图2示出了本申请实施例提供的另一种晶圆运送方法的流程图；
图3示出了本申请实施例提供的一种晶圆运送装置的结构示意图；
图4示出了本申请实施例提供的一种电子设备的结构示意图。
具体实施方式
为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，应当理解，本申请中附图仅起到说明和描述的目的，并不用于限定本申请的保护范围。另外，应当理解，示意性的附图并未按实物比例绘制。本申请中使用的流程图示出了根据本申请的一些实施例实现的操作。应该理解，流程图的操作可以不按顺序实现，没有逻辑的上下文关系的步骤可以反转顺序或者同时实施。此外，本领域技术人员在本申请内容的指引下，可以向流程图添加一个或多个其他操作，也可以从流程图中移除一个或多个操作。
另外，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
需要说明的是，本申请实施例中将会用到术语“包括”，用于指出其后所声明的特征的存在，但并不排除增加其它的特征。
为便于对本实施例进行理解，对本申请实施例提供的一种晶圆运送方法、装置、电子设备及存储介质进行详细介绍。
参照图1所示，为本申请实施例提供的一种晶圆运送方法的流程图，所述方法包括：
S101、对于每一放置于主干传送带上的晶圆物料盒，当确定该晶圆物料盒被所述主干传送带运载到与所述主干传送带相接的载物平台时，通过设置于所述载物平台上的扫描装置对该晶圆物料盒上附着的身份识别标识进行扫描，得到该晶圆物料盒的身份识别结果，其中，所述身份识别结果用于表征目标晶圆的种类，所述目标晶圆为该晶圆物料盒中装载的晶圆，所述载物平台还与多个分支传送带相接，不同的所述分支传送带通往不同的物料贮存区域，不同的所述物料贮存区域用于贮存不同种类的晶圆。
例如，存在3个晶圆物料盒：晶圆物料盒A，晶圆物料盒B和晶圆物料盒C，其中，晶圆物料盒A中装载有a种类的晶圆，晶圆物料盒A上附着有身份识别标识1；晶圆物料盒B中装载有b种类的晶圆，晶圆物料盒B上附着有身份识别标识2；晶圆物料盒C中装载有c种类的晶圆，晶圆物料盒C上附着有身份识别标识3。那么，在通过扫描装置对身份识别标识1进行扫描后，便能够得到晶圆物料盒A中装载的晶圆的种类(即，a种类)；在通过扫描装置对身份识别标识2进行扫描后，便能够得到晶圆物料盒B中装载的晶圆的种类(即，b种类)；在通过扫描装置对身份识别标识3进行扫描后，便能够得到晶圆物料盒C中装载的晶圆的种类(即，c种类)。
不同的分支传送带通往不同的物料贮存区域，例如，分支传送带o通往物料贮存区域O，分支传送带p通往物料贮存区域P，分支传送带q通往物料贮存区域Q。
不同的物料贮存区域用于贮存不同种类的晶圆，例如，物料贮存区域O用来贮存a种类的晶圆，物料贮存区域P用来贮存b种类的晶圆，物料贮存区域Q用来贮存c种类的晶圆。
身份识别标识可以为一维码，二维码，RFID电子标签等。
S102、根据所述身份识别结果，确定通往目标物料贮存区域的目标分支传送带，并通过控制设置于所述载物平台处的机械臂将该晶圆物料盒放置于所述目标分支传送带上，其中，所述目标物料贮存区域为用于贮存目标种类的晶圆的物料贮存区域，所述目标种类为所述目标晶圆的种类。
如步骤S101所述的，例如，对晶圆物料盒A进行扫描后，得到晶圆物料盒A中装载的晶圆的种类(即，a种类)，那么，目标物料贮存区域即为物料贮存区域O，目标分支传送带即为分支传送带o。
S103、在该晶圆物料盒被所述目标分支传送带运载到所述目标物料贮存区域后，通过设置于所述目标物料贮存区域中的拍摄装置分别对该晶圆物料盒以及该晶圆物料盒中的所述目标晶圆进行拍摄，得到所述目标晶圆的第一目标图像以及该晶圆物料盒的第二目标图像。
S104、根据所述第一目标图像，判断所述目标晶圆是否存在损伤，若是，则向预设终端发送电子邮件，其中，所述电子邮件中包括：所述第一目标图像，所述第二目标图像，所述目标晶圆的损伤信息，用于指示所述目标物料贮存区域的名称以及方位的文字信息。
结合步骤S103～步骤S104，现有技术中，在对晶圆进行运送之前会对晶圆进行损伤检查，但在晶圆的运送过程中，仍然可能会产生肉眼不可见的轻微损伤(例如细微划痕等)，因此，需要在将目标晶圆运送到目标物料贮存区域后，对目标晶圆进行拍摄得到第一目标图像，以对第一目标图像进行分析(例如，根据第一目标图像中每一像素点的像素值进行分析)，判断目标晶圆是否出现肉眼不可见的轻微损伤，第二目标图像则用于区分出装载有目标晶圆的晶圆物料盒。
在一种可能的实施方式中，在所述目标物料贮存区域与所述目标分支传送带的连接处设置有闸门；所述方法还包括：
若接收到用于指示当前所述目标物料贮存区域的晶圆贮存率到达第一预设阈值的目标指示信息，则将所述闸门置于关闭状态，以及，通过扬声器发出用于指示所述目标物料贮存区域的晶圆贮存率到达所述第一预设阈值的语音信息。
在晶圆贮存率较高(即晶圆贮存率达到第一预设阈值)时，通过扬声器通知现场工作人员以使工作人员及时进行处理，并且关闭闸门以使后续运往目标物料贮存区域的晶圆物料盒无法进入目标物料贮存区域(此外，还可以停止目标分支传送带的运转)。
在一种可能的实施方式中，所述身份识别标识为RFID电子标签，所述扫描装置为RFID读卡器。
优选的，由于RFID电子标签相较于一维码，二维码等，具有较高的识别灵敏度，无需较近距离进行扫描，因此身份识别标识采用RFID电子标签，相应的，扫描装置则采用RFID读卡器。
在一种可能的实施方式中，参照图2所示，为本申请实施例提供的另一种晶圆运送方法的流程图，所述载物平台上还设置有光栅；所述方法还包括：
S201、实时获取所述光栅的透光量。
S202、通过所述透光量判断该晶圆物料盒是否到达所述载物平台。
若检测到所述透光量小于第二预设阈值，则执行步骤S203；若检测到所述透光量大于或等于所述第二预设阈值，则执行步骤S204。
S203、确定该晶圆物料盒到达所述载物平台。
S204、确定该晶圆物料盒未到达所述载物平台。
结合步骤S201～步骤S204，对于每一晶圆物料盒，在该晶圆物料盒到达载物平台后，会挡住部分照向光栅的光，从而改变光栅的透光量(使光栅的透光量降低)，因此，可以通过光栅的透光量判断该晶圆物料盒是否到达载物平台。
在一种可能的实施方式中，所述扫描装置与供电电源电连接；在通过设置于所述载物平台上的扫描装置对该晶圆物料盒上附着的身份识别标识进行扫描，得到该晶圆物料盒的身份识别结果之前，所述方法还包括：
将所述供电电源置于开启状态，以使所述扫描装置处于工作状态。
为了节省电能，对于每一晶圆物料盒，可以仅在该晶圆物料盒到达载物平台时再开启供电电源以使扫描装置处于工作状态(对于每一晶圆物料盒，在对该晶圆物料盒上的身份识别标识的扫描完成后，可以将供电电源置于关闭状态)。
在一种可能的实施方式中，所述扫描装置上还设置有显示屏，所述方法还包括：
将所述身份识别结果显示于所述显示屏上。
示例性的，显示屏可以为LCD显示屏或LED显示屏，显示屏上可以展示多个身份识别结果。
在一种可能的实施方式中，不同的所述晶圆物料盒上刻有不同的编号。
进一步的，为了更加便于区分不同的晶圆物料盒，不同的晶圆物料盒上刻有不同的编号，例如晶圆物料盒1刻有编号1，晶圆物料盒2刻有编号2，晶圆物料盒3刻有编号3。
本申请实施例提供的一种晶圆运送方法，能够实现对晶圆物料盒的自动运送，并在晶圆物料盒中的晶圆由于运送过程产生损伤时对工作人员进行邮件通知，从而避免后续使用出现损伤的晶圆进行加工作业等。
基于同一发明构思，本申请实施例中还提供了与实施例中晶圆运送方法对应的晶圆运送装置，由于本申请实施例中的装置解决问题的原理与本申请实施例上述晶圆运送方法相似，因此装置的实施可以参见方法的实施，重复之处不再赘述。
参照图3所示，为本申请实施例提供的一种晶圆运送装置的结构示意图，所述装置包括：
扫描单元301，用于对于每一放置于主干传送带上的晶圆物料盒，当确定该晶圆物料盒被所述主干传送带运载到与所述主干传送带相接的载物平台时，通过设置于所述载物平台上的扫描装置对该晶圆物料盒上附着的身份识别标识进行扫描，得到该晶圆物料盒的身份识别结果，其中，所述身份识别结果用于表征目标晶圆的种类，所述目标晶圆为该晶圆物料盒中装载的晶圆，所述载物平台还与多个分支传送带相接，不同的所述分支传送带通往不同的物料贮存区域，不同的所述物料贮存区域用于贮存不同种类的晶圆；
控制单元302，用于根据所述身份识别结果，确定通往目标物料贮存区域的目标分支传送带，并通过控制设置于所述载物平台处的机械臂将该晶圆物料盒放置于所述目标分支传送带上，其中，所述目标物料贮存区域为用于贮存目标种类的晶圆的物料贮存区域，所述目标种类为所述目标晶圆的种类；
拍摄单元303，用于在该晶圆物料盒被所述目标分支传送带运载到所述目标物料贮存区域后，通过设置于所述目标物料贮存区域中的拍摄装置分别对该晶圆物料盒以及该晶圆物料盒中的所述目标晶圆进行拍摄，得到所述目标晶圆的第一目标图像以及该晶圆物料盒的第二目标图像；
第一判断单元304，用于根据所述第一目标图像，判断所述目标晶圆是否存在损伤，若是，则向预设终端发送电子邮件，其中，所述电子邮件中包括：所述第一目标图像，所述第二目标图像，所述目标晶圆的损伤信息，用于指示所述目标物料贮存区域的名称以及方位的文字信息。
在一种可能的实施方式中，在所述目标物料贮存区域与所述目标分支传送带的连接处设置有闸门；所述装置还包括：
应急处理单元，用于若接收到用于指示当前所述目标物料贮存区域的晶圆贮存率到达第一预设阈值的目标指示信息，则将所述闸门置于关闭状态，以及，通过扬声器发出用于指示所述目标物料贮存区域的晶圆贮存率到达所述第一预设阈值的语音信息。
在一种可能的实施方式中，所述身份识别标识为RFID电子标签，所述扫描装置为RFID读卡器。
在一种可能的实施方式中，所述载物平台上还设置有光栅；所述装置还包括：
获取单元，用于实时获取所述光栅的透光量；
第二判断单元，用于通过所述透光量判断该晶圆物料盒是否到达所述载物平台；
第一确定单元，用于若检测到所述透光量小于第二预设阈值，则确定该晶圆物料盒到达所述载物平台；
第二确定单元，用于若检测到所述透光量大于或等于所述第二预设阈值，则确定该晶圆物料盒未到达所述载物平台。
在一种可能的实施方式中，所述扫描装置与供电电源电连接；所述装置还包括：
供电单元，用于在所述扫描单元301通过设置于所述载物平台上的扫描装置对该晶圆物料盒上附着的身份识别标识进行扫描，得到该晶圆物料盒的身份识别结果之前，将所述供电电源置于开启状态，以使所述扫描装置处于工作状态。
在一种可能的实施方式中，所述扫描装置上还设置有显示屏，所述装置还包括：
显示单元，用于将所述身份识别结果显示于所述显示屏上。
在一种可能的实施方式中，不同的所述晶圆物料盒上刻有不同的编号。
本申请实施例提供的一种晶圆运送装置，能够实现对晶圆物料盒的自动运送，并在晶圆物料盒中的晶圆由于运送过程产生损伤时对工作人员进行邮件通知，从而避免后续使用出现损伤的晶圆进行加工作业等。
参照图4所示，本申请实施例提供的一种电子设备400，包括：处理器401、存储器402和总线，所述存储器402存储有所述处理器401可执行的机器可读指令，当电子设备运行时，所述处理器401与所述存储器402之间通过总线通信，所述处理器401执行所述机器可读指令，以执行如上述晶圆运送的方法的步骤。
具体地，上述存储器402和处理器401能够为通用的存储器和处理器，这里不做具体限定，当处理器401运行存储器402存储的计算机程序时，能够执行上述晶圆运送的方法。
对应于上述晶圆运送的方法，本申请实施例还提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器运行时执行上述晶圆运送的方法的步骤。
所属领域的技术人员可以清楚地了解到，为描述的方便和简洁，上述描述的系统和装置的具体工作过程，可以参考方法实施例中的对应过程，本申请中不再赘述。在本申请所提供的几个实施例中，应该理解到，所揭露的系统、装置和方法，可以通过其它的方式实现。以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，例如，所述模块的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，又例如，多个模块或组件可以结合或者可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另一点，所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些通信接口，装置或模块的间接耦合或通信连接，可以是电性，机械或其它的形式。
所述作为分离部件说明的模块可以是或者也可以不是物理上分开的，作为模块显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施例方案的目的。
另外，在本申请各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理单元中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中。
所述功能如果以软件功能单元的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，可以存储在一个处理器可执行的非易失的计算机可读取存储介质中。基于这样的理解，本申请的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分或者该技术方案的部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品存储在一个存储介质中，包括若干指令用以使得一台计算机设备(可以是个人计算机，服务器，或者网络设备等)执行本申请各个实施例所述方法的全部或部分步骤。而前述的存储介质包括：U盘、移动硬盘、ROM、RAM、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。
以上仅为本申请的具体实施方式，但本申请的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本申请的保护范围之内。因此，本申请的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种晶圆运送方法，其特征在于，所述方法包括：
对于每一放置于主干传送带上的晶圆物料盒，当确定该晶圆物料盒被所述主干传送带运载到与所述主干传送带相接的载物平台时，通过设置于所述载物平台上的扫描装置对该晶圆物料盒上附着的身份识别标识进行扫描，得到该晶圆物料盒的身份识别结果，其中，所述身份识别结果用于表征目标晶圆的种类，所述目标晶圆为该晶圆物料盒中装载的晶圆，所述载物平台还与多个分支传送带相接，不同的所述分支传送带通往不同的物料贮存区域，不同的所述物料贮存区域用于贮存不同种类的晶圆；
根据所述身份识别结果，确定通往目标物料贮存区域的目标分支传送带，并通过控制设置于所述载物平台处的机械臂将该晶圆物料盒放置于所述目标分支传送带上，其中，所述目标物料贮存区域为用于贮存目标种类的晶圆的物料贮存区域，所述目标种类为所述目标晶圆的种类；
在该晶圆物料盒被所述目标分支传送带运载到所述目标物料贮存区域后，通过设置于所述目标物料贮存区域中的拍摄装置分别对该晶圆物料盒以及该晶圆物料盒中的所述目标晶圆进行拍摄，得到所述目标晶圆的第一目标图像以及该晶圆物料盒的第二目标图像；
根据所述第一目标图像，判断所述目标晶圆是否存在损伤，若是，则向预设终端发送电子邮件，其中，所述电子邮件中包括：所述第一目标图像，所述第二目标图像，所述目标晶圆的损伤信息，用于指示所述目标物料贮存区域的名称以及方位的文字信息。
2.根据权利要求1所述的晶圆运送方法，其特征在于，在所述目标物料贮存区域与所述目标分支传送带的连接处设置有闸门；所述方法还包括：
若接收到用于指示当前所述目标物料贮存区域的晶圆贮存率到达第一预设阈值的目标指示信息，则将所述闸门置于关闭状态，以及，通过扬声器发出用于指示所述目标物料贮存区域的晶圆贮存率到达所述第一预设阈值的语音信息。
3.根据权利要求1所述的晶圆运送方法，其特征在于，所述身份识别标识为RFID电子标签，所述扫描装置为RFID读卡器。
4.根据权利要求1所述的晶圆运送方法，其特征在于，所述载物平台上还设置有光栅；所述方法还包括：
实时获取所述光栅的透光量；
通过所述透光量判断该晶圆物料盒是否到达所述载物平台；
若检测到所述透光量小于第二预设阈值，则确定该晶圆物料盒到达所述载物平台；
若检测到所述透光量大于或等于所述第二预设阈值，则确定该晶圆物料盒未到达所述载物平台。
5.根据权利要求1所述的晶圆运送方法，其特征在于，所述扫描装置与供电电源电连接；在通过设置于所述载物平台上的扫描装置对该晶圆物料盒上附着的身份识别标识进行扫描，得到该晶圆物料盒的身份识别结果之前，所述方法还包括：
将所述供电电源置于开启状态，以使所述扫描装置处于工作状态。
6.根据权利要求1所述的晶圆运送方法，其特征在于，所述扫描装置上还设置有显示屏，所述方法还包括：
将所述身份识别结果显示于所述显示屏上。
7.根据权利要求1所述的晶圆运送方法，其特征在于，不同的所述晶圆物料盒上刻有不同的编号。
8.一种晶圆运送装置，其特征在于，所述装置包括：
扫描单元，用于对于每一放置于主干传送带上的晶圆物料盒，当确定该晶圆物料盒被所述主干传送带运载到与所述主干传送带相接的载物平台时，通过设置于所述载物平台上的扫描装置对该晶圆物料盒上附着的身份识别标识进行扫描，得到该晶圆物料盒的身份识别结果，其中，所述身份识别结果用于表征目标晶圆的种类，所述目标晶圆为该晶圆物料盒中装载的晶圆，所述载物平台还与多个分支传送带相接，不同的所述分支传送带通往不同的物料贮存区域，不同的所述物料贮存区域用于贮存不同种类的晶圆；
控制单元，用于根据所述身份识别结果，确定通往目标物料贮存区域的目标分支传送带，并通过控制设置于所述载物平台处的机械臂将该晶圆物料盒放置于所述目标分支传送带上，其中，所述目标物料贮存区域为用于贮存目标种类的晶圆的物料贮存区域，所述目标种类为所述目标晶圆的种类；
拍摄单元，用于在该晶圆物料盒被所述目标分支传送带运载到所述目标物料贮存区域后，通过设置于所述目标物料贮存区域中的拍摄装置分别对该晶圆物料盒以及该晶圆物料盒中的所述目标晶圆进行拍摄，得到所述目标晶圆的第一目标图像以及该晶圆物料盒的第二目标图像；
第一判断单元，用于根据所述第一目标图像，判断所述目标晶圆是否存在损伤，若是，则向预设终端发送电子邮件，其中，所述电子邮件中包括：所述第一目标图像，所述第二目标图像，所述目标晶圆的损伤信息，用于指示所述目标物料贮存区域的名称以及方位的文字信息。
9.一种电子设备，其特征在于，包括：处理器、存储介质和总线，所述存储介质存储有所述处理器可执行的机器可读指令，当电子设备运行时，所述处理器与所述存储介质之间通过总线通信，所述处理器执行所述机器可读指令，以执行如权利要求1至7任一项所述的晶圆运送方法的步骤。
10.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器运行时执行如权利要求1至7任一项所述的晶圆运送方法的步骤。
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