JP2013214654A - 搬送システム - Google Patents

Abstract

【課題】 搬送途中におけるウェハの振動や浮きの発生を抑制しながら、より素早くＦＯＵＰを搬送することができる搬送システムを提供する。
【解決手段】 ウェハを複数枚収納可能であり、ウェハの収納状況に関する収納情報を記憶するＩＤタグ２３が取り付けられたＦＯＵＰ２０を搬送する搬送システム１であって、搬送システム１は、ＦＯＵＰ２０を搬送するスタッカクレーン４０と、スタッカクレーン４０によるＦＯＵＰ２０の搬送前に、搬送対象となるＦＯＵＰ２０のＩＤタグ２３から収納情報を読み取るタグリーダ５０Ａ〜５０Ｄと、タグリーダ５０Ａ〜５０Ｄで読み取られた収納情報に基づいて、スタッカクレーン４０の駆動を制御する制御部１３２と、を備える。
【選択図】 図２

Description

本発明は、ウェハキャリアを搬送する搬送装置を備えた搬送システムに関する。

複数枚のウェハ（半導体ウェハ）を収納したウェハキャリアを保管する保管装置では、入出庫を行うためのポートと収納棚との間のウェハキャリアの移載がスタッカクレーンにより行われている。このスタッカクレーンを備える保管装置においては、スタッカクレーンを高速で動作させることで、ウェハキャリアの移載をよりすばやく行うことが望まれている。しかしながら、ウェハキャリア内に収納されるウェハの枚数がウェハキャリア毎に異なる場合がある。このため、一律にスタッカクレーンの動作を早くしただけでは、ウェハキャリアによってはウェハに振動が生じたり、ウェハの浮き等が発生したりする。

そこで、例えば、特許文献１には、ウェハキャリアの重量を測定し、測定された重量に基づいてスタッカクレーンの駆動の制御を行うことが記載されている。

特開平７−１４９４０８号公報

近年、ウェハは大型化する傾向があり、その重量も重くなる。このため、ウェハの収納状況によっては、例えばウェハキャリアを急停止させた場合等、収納されたウェハに振動や浮きが発生し易くなる。従って、ウェハの収納状況が異なる様々なウェハキャリアであっても、搬送途中におけるウェハの振動や浮きの発生を抑制しながら、より素早く搬送することが望まれている。

そこで、本発明は、搬送途中におけるウェハの振動や浮きの発生を抑制しながら、より素早く搬送することができる搬送システムを提供することを目的とする。

本発明の搬送システムは、ウェハを複数枚収納可能であり、ウェハの収納状況に関する収納情報を記憶する収納情報記憶手段を備えるウェハキャリアを搬送する搬送システムであって、ウェハキャリアを搬送する搬送装置と、駆動装置によるウェハキャリアの搬送前に、搬送対象となるウェハキャリアの収納情報記憶手段から収納情報を読み取る収納情報読取手段と、収納情報読取手段で読み取られた収納情報に基づいて、搬送装置の駆動を制御する制御手段と、を備える。

この搬送システムでは、搬送装置によるウェハキャリアの搬送前に、収納情報読取手段によって、搬送対象となるウェハキャリアの収納情報記憶手段から収納情報が読み取られる。この収納情報に基づいて搬送装置の駆動が制御される。このように、ウェハの収納状況に基づいてウェハキャリアが搬送されるので、搬送途中におけるウェハの振動や浮きの発生を抑制しながら、ウェハキャリアの収納状況に応じてウェハキャリアをより素早く搬送することができる。

ここで、収納情報記憶手段に記憶される収納情報は、ウェハに対して処理を行う処理装置によって書き込まれ、処理装置が収納情報記憶手段に書き込む収納情報を取得する収納情報取得手段と、収納情報読取手段によって読み取られた収納情報、及び、収納情報取得手段によって読み取られた収納情報の比較を行い、収納情報同士が一致しているか否かを判定する判定手段と、を更に備え、制御手段は、判定手段により収納情報同士が一致していると判定された場合に、収納情報読取手段で読み取られた収納情報に基づいて、搬送装置の駆動を制御する、ことが好ましい。ここで、収納情報読取手段によって読み取られた収納情報と、収納情報取得手段によって読み取られた収納情報とが一致している場合とは、収納情報読取手段で読み取られた収納情報の信頼性が高いと言える。このため、このようなより信頼性の高い収納情報に基づいて搬送装置の駆動を制御することで、ウェハキャリアのより適切な搬送が可能となる。

また、搬送装置によってウェハキャリアを搬送する際の動作パターンを複数記憶する動作パターン記憶手段を更に備え、制御手段は、収納情報読取手段で読み取られた収納情報に基づいて動作パターン記憶手段に記憶された動作パターンを選択し、選択した動作パターンに基づいて搬送装置の駆動を制御する、ことが好ましい。このように、過去の搬送実績や実験データ等に基づいて様々な動作パターンを作成して動作パターン記憶手段に記憶させておき、その中から選択された最適な動作パターンに基づいてウェハキャリアの搬送を行うことで、搬送効率をより向上させることができる。

更に、収納情報には、ウェハキャリアの種類に関する種類情報が含まれ、制御手段は、収納情報読取手段で読み取られた収納情報に含まれる収納状況及び種類情報に基づいて動作パターン記憶手段に記憶された動作パターンを選択し、選択した動作パターンに基づいて搬送装置の駆動を制御することが好ましい。ここで、ウェハキャリアには複数の種類があり、種類毎に重量や寸法が異なることがある。このような場合であって、ウェハキャリアの種類を考慮した動作パターンが選択されるので、搬送途中におけるウェハの振動や浮きの発生を抑制しながら、ウェハキャリアの種類に応じてウェハキャリアをより適切に搬送することができる。

また、ウェハキャリアを収納する収納棚と、ウェハキャリアを収納棚に入庫させるための入庫ポートと、を更に備え、搬送装置は、入庫ポートにあるウェハキャリアを収納棚へ搬送するスタッカクレーンであり、収納情報読取手段は、入庫ポートに設けられる、ことが好ましい。この場合には、入庫ポートから収納棚までウェハキャリアを搬送する際の搬送装置の動作を最適化することができ、収納時のサイクルタイムの向上を図ることができる。

本発明によれば、搬送途中におけるウェハの振動や浮きの発生を抑制しながら、より素早く搬送することができる。

保管装置の外観を示す斜視図である。 図１に示す保管装置の内部構造を模式的に示す断面図である。 載置部及び収納棚の構造を示す断面図である。 搬送制御部の詳細を示すブロック図である。 搬送制御部が行う処理の流れを示すフローチャートである。

以下、本発明の搬送システムを保管装置に適用した好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。

［搬送システム］
図１は、一実施形態に係る保管装置の外観を示す斜視図である。図２は、図１に示す保管装置の内部構造を模式的に示す断面図である。図３は、載置部及び収納棚の構造を示す断面図であり、図３（ａ）はＦＯＵＰが収納棚の載置部に載置されている状態、図３（ｂ）はＦＯＵＰがスタッカクレーンによって持ち上げられた状態を示している。図１，図２，図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、搬送システム１は、ビークル２、ストッカ３、及びビークル２が走行するためのレールＲ１の他、制御系として、搬送指示部１１、ビークルコントローラ１２及びストッカコントローラ１３を備えている。搬送システム１は、半導体素子製造における搬送スケジュールに従って、各種のウェハ処理装置（処理装置）４及びストッカ３などに対してＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod：ウェハキャリア）２０の搬送を行うと共に、ストッカ３においてＦＯＵＰ２０の収納或いは保管を行う。なお、ここでは、ウェハキャリアとしてＦＯＵＰを使用した場合を例にとって説明するが、他の種類のウェハキャリア、例えばＦＯＳＢ（Front Opening Shipping Box）やＭＡＣ（MultipleApplication Carrier）等を用いてもよい。

ＦＯＵＰ２０は、ストッカ３において収納・保管される荷であり、複数枚のウェハを上下方向に収納したカセットである。ＦＯＵＰ２０は、ビークル２によりレールＲ１に沿って搬送されると共に、ストッカ３内において入出庫、又は保管位置の調整のために搬送される。ＦＯＵＰ２０の上面には、ビークル２、及び後述するマニュアル搬送装置３８に把持（保持）されるフランジ２２が設けられている。ＦＯＵＰ２０は、例えば口径が３００ｍｍや４５０ｍｍのウェハを収納している。

図３（ａ）において、ＦＯＵＰ２０は、下面の中央部に設けられた凹部２４と、下面の側部に設けられた凹部２５とを有する。下面の側部に位置する凹部２５は、後述する各収納棚３４に設けられた凸部３４ｂに対応する大きさに形成されている。また、下面の中央部に設けられた凹部２４は、後述するスタッカクレーン４０の載置部４１に設けられた凸部４１ａに対応する大きさに形成されている。

ビークル２は、リニアモータを動力源とするＯＨＴ（Overhead Hoist Transport：天井走行車）であり、レールＲ１に沿って走行する。ビークル２は、ＦＯＵＰ２０を搬送すると共に、レールＲ１の所定の位置において停止し、各種のウェハ処理装置４及びストッカ３に備えられた入庫ポート３２Ａ，３２Ｂ，３２Ｃ，３２Ｄとの間においてＦＯＵＰ２０を移載可能に構成されている。ビークル２は、ホイスト、ベルト及びグリッパを備えており、これら各部は、ビークルコントローラ１２によって制御される。

ストッカ３は、ビークル２によって搬送されたＦＯＵＰ２０を複数収納可能な保管装置である。ストッカ３は、本体部３０と、複数（ここでは４つ）の入庫ポート３２Ａ〜３２Ｄと、複数の収納棚３４と、スタッカクレーン（搬送装置）４０と、マニュアル搬送装置３８とを備える。

本体部３０には、複数（ここでは５つ）の開口部Ｋ１，Ｋ２，Ｋ３，Ｋ４，Ｋ５が設けられている。開口部Ｋ１〜Ｋ４は、本体部３０の一側面に設けられており、それぞれ入庫ポート３２Ａ〜３２Ｄが配置されている。なお、開口部Ｋ１，Ｋ２が上段、開口部Ｋ３，Ｋ４が下段となるように配置されている。開口部Ｋ５は、本体部３０の一側面に連続する他の一側面に設けられている。開口部Ｋ５には、後述するレールＲ２が配置されている。

入庫ポート３２Ａ〜３２Ｄは、開口部Ｋ１〜Ｋ５を介して本体部３０の内部及び外部に設けられている。入庫ポート３２Ａ，３２Ｂは、ビークル２とストッカ３との間においてＦＯＵＰ２０を移載可能に構成されており、ＦＯＵＰ２０をストッカ３の内外に移動可能なスライド機構を備えている。また、入庫ポート３２Ｃ，３２Ｄは、例えば、人がＦＯＵＰ２０を入庫ポート３２Ｃ，３２Ｄ上に搭載可能に構成されている。入庫ポート３２Ｃ，３２Ｄは、ストッカ３の外部とストッカ３の内部との間においてＦＯＵＰ２０を移載可能に構成されており、ＦＯＵＰ２０をストッカ３内外に移動可能なスライド機構を備えている。

入庫ポート３２Ａ〜３２Ｄには、それぞれ、ＦＯＵＰ２０に取り付けられたＩＤタグ（収納情報記憶手段）２３を読み取るタグリーダ（収納情報読取手段）５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃ，５０Ｄが設けられている。なお、入庫ポート３２Ａ〜３２Ｄのうち、少なくとも、ストッカ３内へＦＯＵＰ２０が入庫されるポートにのみタグリーダが設けられていれば良い。このタグリーダ５０Ａ〜５０ＤによるＩＤタグ２３の読み取りは、ストッカ３内にＦＯＵＰ２０が入庫されるときに行われる。また、ＩＤタグ２３の読み取りは、例えば、無線通信によって行うことができる。なお、ＦＯＵＰ２０に取り付けられたＩＤタグ２３には、収納情報が書き込まれている。この収納情報には、例えば、ＦＯＵＰ２０内に収納されたウェハの収納状況（ＦＯＵＰ２０内のどの位置にウェハが収納されているか）等が含まれている。また、この収納情報は、ウェハに対して各種の処理を行うウェハ処理装置４によって書き込まれる。

図２に示すように、収納棚３４は、本体部３０の内部において、上下方向に複数（ここでは８段）段設けられている。収納棚３４は、レールＲ２を挟んで対向して配置されており、対向する収納棚３４の間には、空間Ｓが形成されている。図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、収納棚３４は、ＦＯＵＰ２０が載置される載置部３４ａを有している。載置部３４ａはストッカ３の上面側から見たときにＵ字状を成し、上面に凸部３４ｂが設けられている。なお、図３（ａ）及び図３（ｂ）では、Ｕ字状を成す載置部３４ａの一対の先端部分の断面が示されている。凸部３４ｂは、ＦＯＵＰ２０の収納時或いは保管時にＦＯＵＰ２０の下面の側部に設けられた凹部２５に係合する。

スタッカクレーン４０は、ストッカコントローラ１３の制御により、複数の収納棚３４間、及び入庫ポート３２Ａ〜３２Ｄと収納棚３４との間でＦＯＵＰ２０を自動的に搬送する。スタッカクレーン４０は、載置部４１、本体部４２、複数のローラ４３、鉛直ガイド部４４及び水平伸縮旋回アーム（以下、単に「アーム」と称する）１４５を備えており、複数のローラ４３、鉛直ガイド部４４及びアーム４５の各部が、ストッカコントローラ１３により制御される。

載置部４１は、複数のローラ４３による水平一方向への駆動、鉛直ガイド部４４による鉛直方向への駆動、及びアーム４５による水平方向への駆動により、複数の収納棚３４間、及び入庫ポート３２Ａ〜３２Ｄと収納棚３４との間を往復移動可能に構成されている。載置部４１は、ＦＯＵＰ２０３の下面中央部を支持可能な載置面を有する。図３（ａ）及び図３（ｂ）において、載置部４１は、その載置面に、凸部４１ａを有する。凸部４１ａは、ＦＯＵＰ２０の下面中央部に形成された凹部２４に対応するサイズに形成されており、ＦＯＵＰ２０の移載時にこの凹部２４に係合する。

本体部４２の底面には、アクチュエータ或いはモータにより駆動する複数のローラ４３が、ストッカ３内部の床面に敷設されたレールＲ３上を回転可能に取り付けられている。なお、レールＲ３は、レールＲ２と同じ方向に延在している。本体部４２には、上下方向に延在する鉛直ガイド部４４が固定されている。本体部４２は、複数のローラ４３の回転により、鉛直ガイド部４４（言い換えれば、載置部４１）を水平一方向（レールＲ３の延在方向）に移動可能に構成されている。

鉛直ガイド部４４には、アーム４５が取り付けられている。鉛直ガイド部４４は、アクチュエータ或いはモータにより鉛直方向に回動する機構４４ａと、該機構４４ａにおける回動部位に固定された回動部４４ｂとを含んで構成される。鉛直ガイド部４４は、機構４４ａの動作により、回動部４４ｂの上面に旋回自在に取り付けられたアーム４５（言い換えれば、載置部４１）を鉛直方向に往復移動可能に構成されている。

アーム４５には、載置部４１が取り付けられている。アーム４５は、上下方向に連結された２つのアーム部より構成されている。これら２つのアーム部は、アクチュエータ（例えば、油圧シリンダ等）或いはモータにより相互に旋回することにより、水平方向に伸縮自在に構成されている。アーム４５は、２つのアーム部の動作により、２つのアーム部のうち上方のアーム部に固定された載置部４１を水平方向に往復移動可能に構成されている。

上述したように複数のローラ４３、鉛直ガイド部４４及びアーム４５の駆動により移動する載置部４１と、該載置部４１の移動先たる各収納棚３４との相対関係について説明する。各収納棚３４の載置部３４ａは、ストッカ３の上面側から視て、馬蹄のようにＵ字状に形成されている。一方、載置部４１の載置面は、そのＵ字状の中央を埋める島のように矩形に形成されている。即ち、各収納棚３４の載置部３４ａの載置面及びスタッカクレーン４０の載置部４１の載置面は、相互に相補の平面形状を有する。このような各収納棚３４及び載置部４１間で、ＦＯＵＰ２０の移載が行われる。

このように、ストッカコントローラ１３の制御により複数のローラ４３が回転することで、鉛直ガイド部４４（言い換えれば、載置部４１）が水平一方向（レールＲ３の延在方向）に移動する。また、ストッカコントローラ１３の制御により鉛直ガイド部４４の機構４４ａが回動することで、回動部４４ｂに取り付けられたアーム４５（言い換えれば、載置部４１）が、鉛直方向に往復移動する。また、ストッカコントローラ１３の制御によりアーム４５が水平方向に伸縮することで、載置部４１が水平方向に往復移動する。

マニュアル搬送装置３８は、作業員によるチェーンブロック（図示しない）の操作により、ＦＯＵＰ２０を搬送（移動）可能な装置である。マニュアル搬送装置３８は、ＦＯＵＰ２０のフランジ２２を把持可能なグリッパ３８ａと、本体部３０の天井に敷設されたレールＲ２に沿って往復移動可能に構成されたスライド部３８ｂと、スライド部３８ｂ内に設けられ、グリッパ３８ａに連結されたベルト３８ｃの繰り出し及び巻き取りを行うホイスト部３８ｄとを備えている。

搬送指示部１１は、ＭＣＳ（Material Control System）である。搬送指示部１１は、メインコントローラである製造指示部１０の半導体素子製造スケジュールに基づいて搬送スケジュールを作成し、この搬送スケジュールに基づいて、ビークルコントローラ１２及びストッカコントローラ１３を制御可能に構成されている。なお、ウェハ処理装置４も、製造指示部１０の半導体素子製造スケジュールに基づいてウェハに対して各種の処理を行う。また、製造指示部１０は、ウェハ処理装置４がＦＯＵＰ２０のＩＤタグ２３に書き込む収納情報を把握している。

搬送指示部１１は、ビークルコントローラ１２に対してビークル２によるＦＯＵＰ２０の搬送を指示すると共に、ストッカコントローラ１３に対してストッカ３内部におけるＦＯＵＰ２０の搬送を指示する。また、搬送指示部１１は、ＦＯＵＰ２０のＩＤタグ２３に書き込まれている収納情報を製造指示部１０から取得する収納情報取得部（収納情報取得手段）１１ａを備えている。

ビークルコントローラ１２は、搬送指示部１１の指示により、ビークル２を制御し、レールＲ１に沿ったＦＯＵＰ２０の搬送を実行すると共に、各種のウェハ処理装置４及びストッカ３などとの間においてＦＯＵＰ２０の移載を実行可能に構成されている。

ストッカコントローラ１３は、ポート制御部１３ａと、搬送制御部１３ｂと、動作パターン記憶部（動作パターン記憶手段）１３ｃとを含んで構成される。ポート制御部１３ａは、搬送指示部１１からの指示により、主に入庫ポート３２Ａ〜３２Ｄの各部を制御する。搬送制御部１３ｂは、搬送指示部１１からの指示により、主にスタッカクレーン４０の各部を制御する。ポート制御部１３ａ及び搬送制御部１３ｂの制御により、ビークル２と入庫ポート３２Ａ〜３２Ｄとの間でＦＯＵＰ２０の移載（ストッカ３への入庫若しくは出庫）が実行され、ストッカ３内部におけるＦＯＵＰ２０の搬送（スタッカクレーン４０による搬送）が実行される。なお、搬送制御部１３ｂは、動作パターン記憶部１３ｃに記憶された動作パターンに基づいて、スタッカクレーン４０によるＦＯＵＰ２０の搬送の制御を行う。搬送制御部１３ｂによるスタッカクレーン４０の制御について、詳しくは後述する。

動作パターン記憶部１３ｃには、スタッカクレーン４０によってＦＯＵＰ２０を搬送する際の動作パターンが複数記憶されている。この動作パターンは、スタッカクレーン４０によってＦＯＵＰ２０を搬送する際に、ＦＯＵＰ２０に振動等が発生することを抑制しながらＦＯＵＰ２０を素早く搬送することを目的として、ＦＯＵＰ２０内におけるウェハの収納状況毎に予め定められている。この動作パターンとして、例えば、ＦＯＵＰ２０を搬送する際の速度や加速度等が、ウェハの収納状況毎に予め定められている。また、動作パターンの他の例として、ＦＯＵＰ２０をスタッカクレーン４０の載置部４１によって持ち上げる際の持ち上げ位置に関する情報等が、ウェハの収納状況毎に予め定められている。この持ち上げ位置については、ＦＯＵＰ２０内のウェハの収納枚数が多くなるとＦＯＵＰ２０の底面に撓みが発生することが考えられるため、載置部４１によってＦＯＵＰ２０を持ち上げる際にこの撓みを考慮するためのものである。

また動作パターン記憶部１３ｃには、セーフティーモード用の動作パターンが記憶されている。このセーフティーモード用の動作パターンは、ＦＯＵＰ２０内におけるウェハの収納状況がどのような場合であって、本セーフティーモード用の動作パターンで搬送を行った場合にＦＯＵＰ２０に生じる振動等を最小限に抑えることができる動作パターンである。セーフティーモード用の動作パターンの一例として、例えば、速度を非常に遅くするといった動作パターン等が挙げられる。なお、動作パターンとして挙げた速度や加速度、ＦＯＵＰ２０の持ち上げ位置に関する情報は一例であり、ウェハの収納状況に基づいて様々なパラメータを設定することができる。これらの動作パターンは、実験に基づいて求めてもよく、演算等によって求めてもよい。

［スタッカクレーンの動作の詳細］
次に、ストッカコントローラ１３の搬送制御部１３ｂにおけるスタッカクレーン４０の制御の詳細について説明する。図４は、搬送制御部１３ｂの詳細を示すブロック図である。図４に示すように、搬送制御部１３ｂは、判定部（判定手段）１３１と、制御部（制御手段）１３２とを含んで構成される。判定部１３１は、収納情報取得部１１ａから収納情報を取得する。また、判定部１３１は、タグリーダ５０Ａ〜５０Ｄによって読み取られた収納情報を取得する。そして判定部１３１は、搬送の対象とするＦＯＵＰ２０について、収納情報取得部１１ａから取得した収納情報と、タグリーダ５０Ａ〜５０Ｄで読み取られた収納情報との比較を行い、収納情報同士が一致するか否かの判定を行う。なお、判定部１３１による判定処理は、ストッカ３内にＦＯＵＰ２０が入庫される時に行われる。

制御部１３２は、動作パターン記憶部１３ｃに記憶された動作パターンに基づいて、スタッカクレーン４０の各部の駆動を制御し、スタッカクレーン４０によってＦＯＵＰ２０を搬送させる。具体的には、判定部１３１において収納情報同士が一致していると判定された場合、制御部１３２は、タグリーダ５０Ａ〜５０Ｄによって読み取られた収納情報（収納情報取得部１１ａによって取得された収納情報でもよい）に含まれるウェハの収納状況に対応する動作パターンを、動作パターン記憶部１３ｃから取得する。そして、制御部１３２は、取得した動作パターンに基づいてスタッカクレーン４０の各部の駆動を制御する。これにより、ＦＯＵＰ２０内のウェハの収納状況に基づいて、ウェハの振動等の発生を抑制しながらＦＯＵＰ２０を素早く搬送することができる。

一方、判定部１３１において収納情報同士が一致していないと判定された場合、制御部１３２は、動作パターン記憶部１３ｃからセーフティーモード用の動作パターンを取得する。そして、制御部１３２は、取得したセーフティーモード用の動作パターンに基づいて、スタッカクレーン４０の各部の駆動を制御する。判定部１３１において収納情報同士が一致していないと判定される場合とは、ＦＯＵＰ２０内のウェハの収納状況が不明確であると考えられる。このため、制御部１３２は、ＦＯＵＰ２０内におけるウェハの収納状況がどのような場合であってもウェハに生じる振動等を最小限に抑えることができるセーフティーモード用の動作パターンに基づいてスタッカクレーン４０の各部の駆動の制御を行う。これにより、スタッカクレーン４０によってＦＯＵＰ２０を搬送する際に、ウェハに生じる振動等をより確実に抑制することができる。

次に、搬送制御部１３ｂで行われる処理の流れについて説明する。図５は、搬送制御部１３ｂが行う処理の流れを示すフローチャートである。ここでは、入庫ポート３２Ａ〜３２Ｄに載置されたＦＯＵＰ２０をストッカ３内に入庫し、収納棚３４に移載する場合について図５を用いて説明する。ビークル２又は人等によって、入庫ポート３２Ａ〜３２ＤにＦＯＵＰ２０が搬入されると、タグリーダ５０Ａ〜５０ＤがＩＤタグ２３を読み取る。判定部１３１は、タグリーダ５０Ａ〜５０Ｄによって読み取られた収納情報を取得すると共に、入庫ポート３２Ａ〜３２Ｄに搬入されたＦＯＵＰ２０に対応する収納情報を収納情報取得部１１ａから取得する（ステップＳ１０１）。

次に、判定部１３１が、収納情報取得部１１ａから取得した収納情報と、タグリーダ５０Ａ〜５０Ｄで読み取られた収納情報との比較を行い、収納情報同士が一致するか否かの判定を行う（ステップＳ１０２）。判定部１３１において収納情報同士が一致していると判定された場合（ステップＳ１０２：ＹＥＳ）、制御部１３２は、収納情報に含まれる収納状況に対応する動作パターンを動作パターン記憶部１３ｃから取得する（ステップＳ１０３）。そして、制御部１３２は、動作パターン記憶部１３ｃから取得した動作パターンに基づいて、スタッカクレーン４０の各部の駆動を制御する（ステップＳ１０４）。

一方、収納情報同士が一致しない場合（ステップＳ１０２：ＮＯ）、制御部１３２は、セーフティーモード用の動作パターンを動作パターン記憶部１３ｃから取得する（ステップＳ１０５）。そして、動作パターン記憶部１３ｃから取得したセーフティーモード用の動作パターンに基づいてスタッカクレーン４０の各部の駆動を制御する（ステップＳ１０４）。

また、収納棚３４に載置されたＦＯＵＰ２０を入庫ポート３２Ａ〜３２Ｄへ搬送する場合（ＦＯＵＰ２０をストッカ３から出庫する場合）、制御部１３２は、当該ＦＯＵＰ２０の入庫の際に用いた動作パターンに基づいて、スタッカクレーン４０の駆動を制御する。

以上説明したように、搬送システム１によれば、スタッカクレーン４０によるＦＯＵＰ２０の搬送前に、タグリーダ５０Ａ〜５０Ｄによって、搬送対象となるＦＯＵＰ２０に取り付けられたＩＤタグ２３から収納情報が読み取られる。この収納情報に含まれるウェハの収納状況に基づいてスタッカクレーン４０の各部の駆動が制御される。このように、ウェハの収納状況に基づいてＦＯＵＰ２０が搬送されるので、搬送途中におけるウェハの振動や浮きの発生を抑制しながら、ＦＯＵＰ２０の収納状況に応じてＦＯＵＰ２０をより素早く搬送することができる。

例えば、同種のＦＯＵＰ２０で同じ枚数のウェハが収納されていたとしても、ウェハが集中している個所がＦＯＵＰ２０の上段、中段、或いは下段等となる場合がある。このような場合、ウェハが収納されたＦＯＵＰ２０の総重量は同じでも、重心位置が大きく異なる。そのため、これら考慮せずに単にＦＯＵＰ２０の総重量を測定し、測定結果をスタッカクレーン４０の駆動の制御に反映させるだけでは、最適な運転がされているとは言えない。そこで本実施形態のように、ウェハの収納状況に基づいてスタッカクレーン４０の各部の駆動を制御し、ＦＯＵＰ２０を搬送することで、ＦＯＵＰ２０のより適切な搬送が可能となる。

ここで、タグリーダ５０Ａ〜５０Ｄによって読み取られた搬送対象のＦＯＵＰ２０の収納情報と、収納情報取得部１１ａから取得した搬送対象のＦＯＵＰ２０の収納情報とが一致する場合、タグリーダ５０Ａ〜５０Ｄで読み取られた収納情報の信頼性が高いと言える。そこで、制御部１３２がこれらの収納情報同士が一致しているか否かを判断し、収納情報同士が一致している場合にこの収納情報に基づいて制御部１３２がスタッカクレーン４０の各部の駆動を制御することで、信頼性の高い収納情報に基づいてＦＯＵＰ２０のより適切な搬送が可能となる。一方、収納情報同士が一致しない場合、制御部１３２は、セーフティーモード用の動作パターンに基づいてスタッカクレーン４０の駆動を制御することで、ＦＯＵＰ２０内のウェハの収納状況がどのような場合であっても、ウェハの振動等の発生を抑制しつつＦＯＵＰ２０の搬送が可能となる。

また、動作パターン記憶部１３ｃ内に、ウェハの収納状況毎に定められた複数の動作パターンを予め記憶させておき、動作パターン記憶部１３ｃに記憶された動作パターンに基づいて制御部１３２がスタッカクレーン４０の各部の駆動の制御を行うことで、その都度、動作パターンを演算する処理を行う必要が不要となり、ＦＯＵＰ２０の搬送効率をより向上させることができる。

また、収納情報に基づいて取得された動作パターンに基づいて、入庫ポート３２Ａ〜３２Ｄから収納棚３４へＦＯＵＰ２０を搬送するスタッカクレーン４０の駆動を制御することで、入庫ポート３２Ａ〜３２Ｄから収納棚３４までＦＯＵＰ２０を搬送する際のスタッカクレーン４０の動作を最適化することができ、収納時のサイクルタイムの向上を図ることができる。

以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、一つの半導体処理システム内において、複数の種類のＦＯＵＰ２０を用いる場合があり、ＦＯＵＰ２０の種類毎に、重量や寸法が異なる場合がある。このため、ＦＯＵＰ２０のＩＤタグ２３に書き込まれている収納情報に、当該ＦＯＵＰ２０の種類に関する種類情報を付加する。また動作パターン記憶部１３ｃには、ウェハの収納状況に加えてＦＯＵＰ２０の種類についても考慮した動作パターンを記憶させておく。そして、制御部１３２は、ウェハの収納状況及びＦＯＵＰ２０の種類情報に基づいて、動作パターン記憶部１３ｃから動作パターンを選択し、選択した動作パターンに基づいてスタッカクレーン４０の各部の駆動を制御することもできる。この場合には、ＦＯＵＰ２０の種類毎に重量や寸法が異なる場合であっても、ウェハの収納状況及びＦＯＵＰ２０の種類情報を考慮した最適な動作パターンによってＦＯＵＰ２０の搬送を行うことができる。

また、スタッカクレーン４０の構成については上述の構成に限定されるものではなく、ＦＯＵＰ２０を搬送するものであれば他の構成の搬送装置であってもよい。

また、ＦＯＵＰ２０に収納情報を格納する媒体として無線通信が可能なＩＤタグ２３を用いたが、これ以外にも、例えば、バーコードなど、他の媒体を用いてもよい。

１…搬送システム、４…ウェハ処理装置（処理装置）、１１ａ…収納情報取得部（収納情報取得手段）、１３ｃ…動作パターン記憶部（動作パターン記憶手段）、２０…ＦＯＵＰ（ウェハキャリア）、２３…ＩＤタグ（収納情報記憶手段）、３２Ａ〜３２Ｄ…入庫ポート、３４…収納棚、４０…スタッカクレーン（搬送装置）、５０Ａ〜５０Ｄ…タグリーダ（収納情報読取手段）、１３１…判定部（判定手段）、１３２…制御部（制御手段）。

Claims (5)

1. ウェハを複数枚収納可能であり、前記ウェハの収納状況に関する収納情報を記憶する収納情報記憶手段を備えるウェハキャリアを搬送する搬送システムであって、
   前記ウェハキャリアを搬送する搬送装置と、
   前記搬送装置による前記ウェハキャリアの搬送前に、搬送対象となる前記ウェハキャリアの前記収納情報記憶手段から前記収納情報を読み取る収納情報読取手段と、
   前記収納情報読取手段で読み取られた前記収納情報に基づいて、前記搬送装置の駆動を制御する制御手段と、
   を備える搬送システム。
2. 前記収納情報記憶手段に記憶される前記収納情報は、前記ウェハに対して処理を行う処理装置によって書き込まれ、
   前記処理装置が前記収納情報記憶手段に書き込む前記収納情報を取得する収納情報取得手段と、
   前記収納情報読取手段によって読み取られた前記収納情報、及び、前記収納情報取得手段によって読み取られた前記収納情報の比較を行い、前記収納情報同士が一致しているか否かを判定する判定手段と、を更に備え、
   前記制御手段は、前記判定手段により前記収納情報同士が一致していると判定された場合に、前記収納情報読取手段で読み取られた前記収納情報に基づいて、前記搬送装置の駆動を制御する、
   請求項１に記載の搬送システム。
3. 前記搬送装置によって前記ウェハキャリアを搬送する際の動作パターンを複数記憶する動作パターン記憶手段を更に備え、
   前記制御手段は、前記収納情報読取手段で読み取られた前記収納情報に基づいて前記動作パターン記憶手段に記憶された前記動作パターンを選択し、選択した前記動作パターンに基づいて前記搬送装置の駆動を制御する、
   請求項１又は２に記載の搬送システム。
4. 前記収納情報には、前記ウェハキャリアの種類に関する種類情報が含まれ、
   前記制御手段は、前記収納情報読取手段で読み取られた前記収納情報に含まれる前記収納状況及び前記種類情報に基づいて前記動作パターン記憶手段に記憶された前記動作パターンを選択し、選択した前記動作パターンに基づいて前記搬送装置の駆動を制御する、
   請求項３に記載の搬送システム。
5. 前記ウェハキャリアを収納する収納棚と、
   前記ウェハキャリアを前記収納棚に入庫させるための入庫ポートと、を更に備え、
   前記搬送装置は、前記入庫ポートにある前記ウェハキャリアを前記収納棚へ搬送するスタッカクレーンであり、
   前記収納情報読取手段は、前記入庫ポートに設けられる、
   請求項１〜４のいずれか一項に記載の搬送システム。

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