KR102672414B1 - 반송 장치, 반송 방법 및 반송 시스템 - Google Patents

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가부시키가이샤 야스카와덴키
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Abstract

반송 장치는 복수의 로봇과, 이동식 버퍼를 구비한다. 복수의 로봇은, 수평 방향으로 늘어선 복수의 처리 챔버가 설치되는 측벽을 포함한 감압 분위기의 반송 챔버의 챔버 내에 고정되어 기판을 반송한다. 이동식 버퍼는, 기판의 보지가 가능하고, 처리 챔버의 늘어선 방향에 따르는 궤도를 따라 이동한다. 로봇은 제 1 로봇과 제 2 로봇을 포함한다. 제 1 로봇은, 로드록 챔버 및 로드록 챔버에 가장 가까운 처리 챔버인 제 1 처리 챔버와 기판의 주고받음이 가능한 위치에 고정된다. 제 2 로봇은, 제 1 처리 챔버와는 상이한 제 2 처리 챔버의 적어도 1개와 기판의 주고받음이 가능한 위치에 고정된다. 이동식 버퍼는, 상면에서 볼 때, 측벽 및 로봇의 사이를 이동하고, 제 1 로봇과 기판의 주고받음이 가능한 위치와, 제 2 로봇과 기판의 주고받음이 가능한 위치를 통과한다.

Description

반송 장치, 반송 방법 및 반송 시스템
개시의 실시형태는, 반송 장치, 반송 방법 및 반송 시스템에 관한 것이다.
종래, 기판을 반송하는 핸드를 가지는 로봇을 감압 분위기화된 반송 챔버 내에 배치하고, 반송 챔버의 측벽에 설치된 처리 챔버에 대해서 기판을 반송하는 반송 장치가 알려져 있다.
예를 들어, 반송 챔버의 측벽에 설치된 복수의 처리 챔버에 대해, 리니어 모터에 의한 구동에 의해 반송 챔버 내를 이동하는 이동식 로봇으로 기판을 반송하는 기판 처리 장치가 제안되어 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조).
일본 특허 공개 제 2008-028179 호 공보
그렇지만, 상기한 종래 기술에서는, 로봇을 이동식으로 하는 것에 의한 코스트의 증가나, 이동 기구의 복잡화에 의한 가용성의 저하가 염려된다. 가용성이 저하하면 결과적으로 기판의 반송 효율이 저하해 버리기 때문에, 처리 전의 기판 및 처리 후의 기판의 반송 효율을 향상시키는 관점으로부터는 개선의 여지가 있다.
실시형태의 일 태양은 기판의 반송 효율을 향상시킬 수가 있는 반송 장치, 반송 방법 및 반송 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
실시형태의 일 태양과 관련되는 반송 장치는 복수의 로봇과, 이동식 버퍼를 구비한다. 복수의 로봇은 감압 분위기의 반송 챔버의 챔버 내에 고정되고, 기판을 반송한다. 반송 챔버는 수평 방향으로 늘어선 복수의 처리 챔버가 설치되는 측벽을 포함한다. 이동식 버퍼는, 상기 기판의 보지가 가능하고, 상기 복수의 처리 챔버의 늘어선 방향에 따르는 궤도를 따라 이동한다. 상기 로봇은 제 1 로봇과 제 2 로봇을 포함한다. 제 1 로봇은, 로드록 챔버(load lock chamber) 및 제 1 처리 챔버와 상기 기판의 주고받음이 가능한 위치에 고정된다. 상기 제 1 처리 챔버는 복수의 처리 챔버 중 상기 로드록 챔버에 가장 가까운 처리 챔버이다. 제 2 로봇은, 복수의 처리 챔버 중 상기 제 1 처리 챔버와는 상이한 제 2 처리 챔버의 적어도 1개와 상기 기판의 주고받음이 가능한 위치에 고정된다. 상기 이동식 버퍼는, 상면에서 볼 때, 상기 측벽 및 상기 로봇의 사이를 이동하고, 상기 제 1 로봇과 상기 기판의 주고받음이 가능한 위치와, 상기 제 2 로봇과 상기 기판의 주고받음이 가능한 위치를 통과한다.
실시형태의 일 태양에 관련되는 반송 방법은, 복수의 로봇과, 이동식 버퍼를 이용한다. 복수의 로봇은 감압 분위기의 반송 챔버의 챔버 내에 고정되고, 기판을 반송한다. 반송 챔버는 수평 방향으로 늘어선 복수의 처리 챔버가 설치되는 측벽을 포함한다. 이동식 버퍼는, 상기 기판의 보지가 가능하고, 상기 처리 챔버의 늘어선 방향에 따르는 궤도를 따라 이동한다. 상기 로봇은 제 1 로봇과, 제 2 로봇을 포함한다. 제 1 로봇은, 로드록 챔버 및 제 1 처리 챔버와 상기 기판의 주고받음이 가능한 위치에 고정된다. 상기 제 1 처리 챔버는 복수의 처리 챔버 중 상기 로드록 챔버에 가장 가까운 처리 챔버이다. 제 2 로봇은, 복수의 처리 챔버 중 상기 제 1 처리 챔버와는 상이한 제 2 처리 챔버의 적어도 1개와 상기 기판의 주고받음이 가능한 위치에 고정된다. 상기 이동식 버퍼는, 상면에서 볼 때, 상기 측벽 및 상기 로봇의 사이를 이동하고, 상기 제 1 로봇과 상기 기판의 주고받음이 가능한 위치와, 상기 제 2 로봇과 상기 기판의 주고받음이 가능한 위치를 통과한다. 반송 방법은 상기 이동식 버퍼와의 상기 기판의 주고받음을 상기 제 1 로봇 및 상기 제 2 로봇에 실시하게 한다.
실시형태의 일 태양에 관련되는 반송 시스템은, 반송 챔버와, 복수의 로봇과, 이동식 버퍼를 구비한다. 반송 챔버는 수평 방향으로 늘어선 복수의 처리 챔버가 설치되는 측벽을 포함한 감압 분위기이다. 복수의 로봇은 상기 반송 챔버의 챔버 내에 고정되고, 기판을 반송한다. 이동식 버퍼는, 상기 기판의 보지가 가능하고, 상기 처리 챔버의 늘어선 방향에 따르는 궤도를 따라 이동한다. 상기 로봇은 제 1 로봇과, 제 2 로봇을 포함한다. 제 1 로봇은, 로드록 챔버 및 제 1 처리 챔버와 상기 기판의 주고받음이 가능한 위치에 고정된다. 제 1 처리 챔버는 복수의 처리 챔버 중 상기 로드록 챔버에 가장 가까운 처리 챔버이다. 제 2 로봇은, 복수의 처리 챔버 중 상기 제 1 처리 챔버와는 상이한 제 2 처리 챔버의 적어도 1개와 상기 기판의 주고받음이 가능한 위치에 고정된다. 상기 이동식 버퍼는, 상면에서 볼 때, 상기 측벽 및 상기 로봇의 사이를 이동하고, 상기 제 1 로봇과 상기 기판의 주고받음이 가능한 위치와, 상기 제 2 로봇과 상기 기판의 주고받음이 가능한 위치를 통과한다.
실시형태의 일 태양에 의하면, 기판의 반송 효율을 향상시킬 수 있는 반송 장치, 반송 방법 및 반송 시스템을 제공할 수 있다.
도 1은 실시형태에 따른 반송 시스템의 개요를 도시하는 상면 모식도이다.
도 2a는 로드록 챔버의 제 1 배치예를 도시하는 상면 모식도이다.
도 2b는 로드록 챔버의 제 2 배치예를 도시하는 상면 모식도이다.
도 3a는 반송 시스템의 상면 모식도이다.
도 3b는 반송 시스템의 제 1 측면 모식도이다.
도 3c는 반송 시스템의 사시 모식도이다.
도 4는 반송 시스템의 제 2 측면 모식도이다.
도 5a는 이동식 버퍼의 사시도이다.
도 5b는 이동식 버퍼의 측면도이다.
도 6a는 로봇의 제 1 구성예를 도시하는 상면 모식도이다.
도 6b는 로봇의 제 2 구성예를 도시하는 상면 모식도이다.
도 6c는 로봇의 제 3 구성예를 도시하는 상면 모식도이다.
도 6d는 로봇의 제 4 구성예를 도시하는 상면 모식도이다.
도 7은 로봇 및 이동식 버퍼의 변형예에 따른 측면 모식도이다.
도 8a는 다단식의 이동식 버퍼를 도시하는 사시도이다.
도 8b는 다단식의 이동식 버퍼를 도시하는 측면도이다.
도 9a는 변형예에 따른 반송 시스템의 상면 모식도이다.
도 9b는 변형예에 따른 반송 시스템의 측면 모식도이다.
도 9c는 변형예에 따른 반송 시스템의 사시 모식도이다.
도 10은 변형예에 따른 반송 시스템의 제 2 측면 모식도이다.
도 11은 플로어 배치식의 이동식 버퍼의 사시도이다.
도 12는 반송 장치의 구성을 나타내는 블럭도이다.
도 13a는 반송 장치가 실행하는 처리 순서를 나타내는 제 1 플로우 챠트이다.
도 13b는 반송 장치가 실행하는 처리 순서를 나타내는 제 2 플로우 챠트이다.
도 14는 로봇 배치의 제 1 변형예를 도시하는 상면 모식이다.
도 15는 로봇 배치의 제 2 변형예를 도시하는 상면 모식이다.
도 16은 로봇 배치의 제 3 변형예를 도시하는 상면 모식이다.
이하, 첨부 도면을 참조해, 본원의 개시하는 반송 장치, 반송 방법 및 반송 시스템의 실시형태를 상세하게 설명한다. 또한, 이하에 나타내는 실시형태에 의해 이 발명이 한정되는 것은 아니다.
또한, 이하에 나타내는 실시형태에서는, "직교", "수평", "연직", "평행", "중심" 혹은 "대칭"이라고 한 표현을 이용하지만, 엄밀하게 이러한 상태를 만족하는 것을 필요로 하지 않는다. 즉, 상기한 각 표현은, 제조 정밀도, 설치 정밀도, 처리 정밀도, 검출 정밀도 등의 차이를 허용하는 것으로 한다.
우선, 실시형태에 따른 반송 시스템(1)의 개요에 대해 도 1을 이용해 설명한다. 도 1은 실시형태에 따른 반송 시스템(1)의 개요를 도시하는 상면 모식도이다. 또한, 도 1은 반송 시스템(1)을 상방으로부터 본 모식도에 상당한다.
또한, 도 1에는, 설명을 알기 쉽게 하기 위해서, 연직 상향을 정방향으로 하는 Z축, 반송 챔버(100)의 측벽(100sw)에 따른 방향을 X축, 측벽(100sw)의 법선 방향을 Y축으로 하는 3차원의 직교 좌표계를 나타내고 있다. 측벽(100sw)은 복수의 처리 챔버(PC)가 설치된다. 이러한 직교 좌표계는 이하의 설명에서 이용하는 다른 도면에 있어서도 가리키는 경우가 있다. 또한, 도 1에서는, 처리 챔버(PC)의 정면에 상당하는 중심선(CL)을 나타내고 있다. 중심선(CL)은, 측벽(100sw)의 법선 중, 처리 챔버(PC)에 있어서의 기판(W)(파선의 원 참조)의 중심을 통과하는 선(도 1에서는, Y축으로 따르는 선)에 상당한다.
도 1에 도시하는 바와 같이, 반송 챔버(100)의 외측에는, 감압 분위기에서 기판(W)에 대한 처리를 실시하는 복수의 처리 챔버(PC)가 측벽(100sw)에 설치되어 있다. 여기서, 처리 챔버(PC)가 기판(W)에 대해서 실시하는 처리로서는, CVD(Chemical Vapor Deposition) 등의 성막 처리나, 에칭 처리 등이 있다. 또한, 일반적으로 감압 분위기의 환경을 "진공"이라고 부르는 경우도 있다. 또한, 도 1에 도시한 처리 챔버(PC)에 있어서의 2중선의 변은 개폐 가능한 개구에 대응한다.
반송 챔버(100)는, 처리 챔버(PC)와 마찬가지로 챔버 내가 감압 분위기이며, 챔버 내에는, 복수의 로봇(10)과, 이동식 버퍼(110)가 배치되고, 양자가 협동하는 것으로 기판(W)을 반송한다. 로봇(10)은, 처리 챔버(PC)에 기판(W)을 넣거나, 처리 챔버(PC)로부터 기판(W)을 취출하거나 하는 기판(W)의 반송을 실시하는 기판 반송 기구이며, 예를 들어, 수평 다관절 로봇(스칼라 로봇)이다.
여기서, 로봇(10)은, 반송 챔버(100)의 플로어 벽(100f)(도 4 참조) 등에 고정된 "고정식 로봇"이며, 반송 챔버(100)의 챔버 내를 주행하거나 이동하거나 하는 "이동식 로봇"과는 상이하다. 이와 같이, 로봇(10)은, 반송 챔버(100)의 챔버 내를 이동하지 않기 때문에, 로봇(10)에 대한 급전이 용이하고, 반송 챔버(100)의 크린화에 기여한다.
또한, 이하에서는, 반송 챔버(100)의 측벽(100sw)에 설치되는 로드록 챔버(LL)(도 2a 등 참조)에 가장 가까운 처리 챔버(PC)를 제 1 처리 챔버(PC1)로, 제 1 처리 챔버(PC1) 이외의 처리 챔버(PC)를 제 2 처리 챔버(PC2)로 각각 기재한다. 또한, 이하에서는, 로드록 챔버(LL)에 가장 가까운 로봇(10)을 "제 1 로봇(10-1)"으로, 제 2 처리 챔버(PC2)의 적어도 1개로 기판(W)의 주고받음이 가능한 위치에 고정되는 로봇(10)을 "제 2 로봇(10-2)"으로 각각 기재한다. 또한, 도 1에는, 로봇(10)의 최소 선회 반경에 대응하는 선회 영역(10rt)을 각각 가리키고 있다.
이동식 버퍼(110)는, 기판(W)을 일시적으로 보지하는 버퍼이며, 측벽(100sw)과, 로봇(10)과의 사이를 측벽(100sw)에 따르는 수평 방향(D1)으로 이동한다. 예를 들어, 이동식 버퍼(110)는 리니어 모터 등에 의해 비접촉 구동된다. 또한, 도 1에는, 이동식 버퍼(110)의 궤도(120)를 참고를 위해 가리키고 있다. 여기서, 도 1에 도시한 측벽(100sw)은 상면에서 보아서 직선형상이므로, 수평 방향(D1)이나 궤도(120)는 직선이지만, 측벽(100sw)이 상면에서 보아서 곡선형상인 경우에는, 수평 방향(D1)이나 궤도(120)도 측벽(100sw)에 따른 곡선이라고 해도 좋다.
또한, 이동식 버퍼(110)는, 상면에서 볼 때, 측벽(100sw) 및 로봇(10)의 사이를 이동하고, 제 1 로봇(10-1)과 기판(W)의 주고받음이 가능한 위치(도 1의 위치(P1) 참조)와, 제 2 로봇(10-2)과 기판(W)의 주고받음이 가능한 위치(도 1의 위치(P2) 참조)를 통과한다. 이와 같이, 이동식 버퍼(110)는, 측벽(100sw)과 로봇(10) 사이를 이동하고, 각 로봇(10)과 기판(W)의 주고받음이 가능한 범위를 이동한다. 따라서, 처리 챔버(PC)와의 사이에서 기판(W)을 반송하는 로봇(10)은, 이동식 버퍼(110)와의 제휴를 실시하기 쉽고, 기판 반송의 효율화를 도모할 수 있다. 또한, 도 1에서는, 위치(P1) 및 위치(P2)가 로봇(10)의 정면에 있는 경우를 예시했지만, 반드시 정면일 필요는 없고, 로봇(10)으로부터 액세스 가능한 정도에 로봇(10)에 가까운 위치(근방)이면 충분하다.
또한, 도 1에서는, 궤도(120)를 측벽(100sw)과 로봇(10) 사이에 기재했지만, 궤도(120)의 위치를 한정하는 것은 아니다. 즉, 궤도(120)는, 상면에서 볼 때, 로봇(10)의 선회 영역(10rt)과 중첩되는 위치에 있어도 좋고, 측벽(100sw)으로부터 보아서 로봇(10)보다 먼 위치에 있어도 좋다. 한편, 도 1에 도시한 바와 같이, 이동식 버퍼(110)의 이동 궤적과, 로봇(10)의 선회 영역(10rt)은 중첩된다. 이와 같이 하는 것으로, 반송 챔버(100)의 폭을 작게 할 수 있다.
여기서, "이동식 버퍼(110)의 이동 궤적"이란, 상면에서 볼 때, 이동식 버퍼(110)의 상면 형상이 통과하는 영역(이동식 버퍼(110)의 이동 방향에 따라 연신하는 영역)을 가리킨다. 또한, "이동식 버퍼(110)의 이동 궤적"을 이동식 버퍼(110)에 의해 보지되는 기판(W)이 통과하는 영역(이동식 버퍼(110)의 이동 방향에 따라 연신하는 영역)이라고 해도 좋다.
로봇(10)은, 이동식 버퍼(110)의 이동과 제휴하는 것에 의해 이동식 버퍼(110)와 처리 챔버(PC) 사이에서 기판(W)의 주고받음을 실시한다. 구체적으로는, 로봇(10)이 기판(W)을 처리 챔버(PC)에 넣는 경우에는, 처리 전의 기판(W)을 보지한 이동식 버퍼(110)가 로봇(10)의 근방으로 이동한다. 로봇(10)은, 이동식 버퍼(110)로부터 처리 전의 기판(W)을 취득하고, 취득한 처리 전의 기판(W)을 처리 챔버(PC)에 넣는다.
또한, 로봇(10)이 기판(W)을 처리 챔버(PC)로부터 취출하는 경우에는, 빈(기판(W)을 보지하고 있지 않음) 이동식 버퍼(110)가 로봇(10)의 근방으로 이동한다. 로봇(10)은, 처리 챔버(PC)로부터 처리 후의 기판(W)을 취출하고, 취출한 처리 후의 기판(W)을 이동식 버퍼(110)에 건네준다.
또한, 도 1에 도시한 바와 같이, 복수의 로봇(10)을 각각 처리 챔버(PC)의 정면으로 배치하는 경우에는, 이동식 버퍼(110)도 처리 챔버(PC)의 정면으로 정지 가능한 것이 바람직하다(도 1에 도시한 파선의 이동식 버퍼(110) 참조). 이와 같이 하는 것으로, 처리 챔버(PC)에 대한 로봇(10)에 의한 기판(W)의 출입에 있어서의 기판(W)의 이동 거리를 최소화할 수 있고, 반송 효율을 높일 수가 있다. 또한, 로봇(10)의 동작을 간략화할 수 있으므로, 로봇(10)의 구성도 단순화되어 저비용화를 도모하는 것이 가능해진다.
이와 같이, 버퍼를 이동식의 이동식 버퍼(110)로 하는 것으로, 로봇(10)을 이동식으로 하는 경우에 비해 이동 대상을 경량화할 수 있고, 이동 기구를 간소화하는 것이 가능해진다. 이것에 의해, 이동 기구의 가동률이 향상되므로, 기판(W)의 반송의 가용성을 높일 수 있고, 기판(W)의 반송 효율을 향상시키는 것이 가능해진다.
근년, 각 처리 챔버(PC)에 있어서의 기판(W)에 대한 처리 시간은, 기판(W)에 형성되는 반도체의 다층화 등에 의해 길어지는 경향이 있고, 1개의 반송 챔버(100)당의 처리 챔버(PC)의 수를 늘려서 단위 시간당의 기판(W)의 처리 매수를 향상시키는 것에의 요구가 있다.
따라서, 반송 시스템(1)과 같이, 반송 챔버(100)에 있어서의 기판(W)의 반송 효율을 향상시키는 것으로, 이러한 요구에 응할 수 있다. 또한, 로봇(10)을 고정식으로 하는 것으로, 반송 챔버(100)의 저배화를 도모할 수 있고, 반송 챔버(100)의 용적을 삭감할 수 있다. 이것에 의해, 반송 챔버(100)의 운용 코스트를 삭감하는 것이 가능해진다.
또한, 도 1에서는, 반송 챔버(100)의 일부만을 나타냈지만, 반송 챔버(100) 전체에 있어서의 처리 챔버(PC), 로봇(10), 이동식 버퍼(110) 등의 배치예에 대해서는, 도 3a 등을 이용해 후술한다. 또한, 로봇(10), 이동식 버퍼(110)의 구성예에 대해서는, 도 4 등을 이용해 후술한다.
그런데, 도 1에 도시한 로봇(10)은, 반송 챔버(100)에 있어서의 기판(W)의 출입구에 상당하는 로드록 챔버에도 액세스 가능하지만, 반송 챔버(100)의 상면 형상, 로드록 챔버나 처리 챔버(PC)의 배치에는 여러가지 배리에이션이 존재한다.
따라서, 이하에서는, 로드록 챔버의 배치예에 대해 도 2a 및 도 2b를 이용해 설명해 둔다. 또한, 로봇 내장형의 로드록 챔버의 경우, 내장 로봇이 이동식 버퍼(110)와의 사이에서 기판(W)의 주고받음이 가능하면, 도 1에 도시한 로봇(10)은, 로드록 챔버에 액세스 가능한 것을 필요로 하지 않는다. 또한, 도 1에 도시한 바와 같이, 로봇(10)과 이동식 버퍼(110)를 포함한 장치를 반송 장치(5)로 부르는 경우가 있다. 또한, 로봇(10)은, 도 6a 및 도 6b를 이용해 후술하는 단완 로봇(single-arm robot)이나, 도 6c 및 도 6d를 이용해 후술하는 쌍완 로봇(double-arm robot)으로 할 수 있다.
도 2a 및 도 2b는, 로드록 챔버(LL)의 제 1 배치예 및 제 2 배치예를 도시하는 상면 모식도이다. 또한, 도 2a 및 도 2b에서는, 도 1에 도시한 로봇(10)이나 이동식 버퍼(110)의 기재를 생략하고 있다. 또한, 도 2a 및 도 2b에서는, 반송 챔버(100)가 상면에서 볼 때 직사각형 형상이며, 직사각형의 장변에 처리 챔버(PC)가 설치되는 경우를 도시하고 있다. 이와 같이, 처리 챔버(PC)를 직사각형 형상의 반송 챔버(100)의 장변에 배치하는 것으로, 처리 챔버(PC)의 수가 증가했을 경우에도 유연하게 반송 챔버(100)를 확장해 나가는 것이 가능해진다.
또한, 도 2a 및 도 2b에서는, 직사각형의 장변에 상당하는 측벽(100sw)(도 1 참조)을 제 1 측벽(100sw1) 및 제 2 측벽(100sw2)과 같이, 단변에 상당하는 측벽(100sw)을 제 3 측벽(100sw3) 및 제 4 측벽(100sw4)과 같이, 각각 기재하고 있다. 또한, 도 2a 및 도 2b에서는, 1개의 로드록 챔버(LL)와, 1개 또는 2개의 제 2 처리 챔버(PC2)를 도시하고 있지만, 로드록 챔버(LL)의 수를 2개 이상으로 하거나 제 2 처리 챔버(PC2)의 수를 3개 이상으로 하거나 해도 좋다. 또한, 도 1을 이용해 이미 설명한 바와 같이, 로드록 챔버(LL)에 가장 가까운 처리 챔버(PC)를 제 1 처리 챔버(PC1)라고 칭하고, 제 1 처리 챔버(PC1) 이외의 처리 챔버(PC)를 제 2 처리 챔버(PC2)라고 칭한다.
도 2a는 복수의 처리 챔버(PC)가 설치되는 측벽(100sw)에 로드록 챔버(LL)가 설치되는 경우이다. 또한, 도 2a에서는, 제 1 측벽(100sw1)에 복수의 처리 챔버(PC)가 설치되는 경우를 도시했지만, 복수의 처리 챔버(PC)를 제 2 측벽(100sw2)에 마련하는 것으로 해도 좋다. 여기서, 로드록 챔버(LL)는 감압 분위기와 대기압 분위기와의 사이에 내압을 변동시킨다. 예를 들어, 기판(W)(도 1 참조)이 외부로부터 반송 챔버(100)에 반입되는 경우, 로드록 챔버(LL)의 내압은 대기압 분위기로 조정되고, 로드록 챔버(LL)의 외부로 향한 개구인 제 1 포트가 개방된다. 제 1 포트를 닫은 후, 로드록 챔버(LL)의 내압은 감압 분위기로 조정되고, 반송 챔버(100)측의 개구인 제 2 포트가 개방된다.
도 2b는, 복수의 처리 챔버(PC)가 설치되는 제 1 측벽(100sw1)(장변)과 인접하는 제 3 측벽(100sw3)(단변)에 로드록 챔버(LL)가 설치되는 경우이다. 또한, 로드록 챔버(LL)를 제 4 측벽(100sw4)에 마련하는 것으로 해도 좋다. 이와 같이, 로드록 챔버(LL)는 처리 챔버(PC)가 설치되는 측벽(100sw)과는 상이한 측벽(100sw)에 배치되어도 좋다. 또한, 도 2b에서는, 로드록 챔버(LL)가 제 3 측벽(100sw3)에 설치되는 경우를 도시했지만, 제 4 측벽(100sw4)에 설치되어도 좋다.
또한, 도 2a 및 도 2b에서는, 반송 챔버(100)가 상면에서 볼 때 직사각형 형상인 경우를 도시했지만, 다각형상이나 원형상 등 다른 형상인 경우여도, 도 1에 도시한 반송 시스템(1)을 적용할 수 있다. 이하에서는, 반송 시스템(1)의 구성에 대해 추가로 상세하게 설명한다.
도 3a는 실시형태에 따른 반송 시스템(1)의 상면 모식도이다. 도 3a에 도시하는 바와 같이, 서로 평행한 제 1 측벽(100sw1) 및 제 2 측벽(100sw2)의 대향하는 위치에는, 각각 5개씩의 처리 챔버(PC)가 설치된다. 또한, 제 1 측벽(100sw1) 및 제 2 측벽(100sw2)을 연결하는 제 3 측벽(100sw3)에는 2개의 로드록 챔버(LL)(로드록 챔버(LL1) 및 로드록 챔버(LL2))가 설치된다. 또한, 도 3a에서는, 제 3 측벽(100sw3)이 챔버 외로 향해 굴곡하고 있는 경우를 도시했지만, 굴곡하지 않고 제 4 측벽(100sw4)과 평행이어도 좋다.
여기서, 제 1 측벽(100sw1)에 있어서, 로드록 챔버(LL1)에 가장 가까운 처리 챔버(PC)는 제 1 처리 챔버(PC1)이며, 제 2 측벽(100sw2)에 있어서, 로드록 챔버(LL2)에 가장 가까운 처리 챔버(PC)는 제 1 처리 챔버(PC1)이다. 또한, 그 외의 처리 챔버(PC)는 제 2 처리 챔버(PC2)이다.
복수의 로봇(10)은, 제 1 측벽(100sw1)과, 제 2 측벽(100sw2)과의 중간 위치에 각각 배치된다. 도 3a에 도시한 경우에서는, 제 1 로봇(10-1)이 1대, 제 2 로봇(10-2)이 2대 배치된다.
구체적으로는, 제 1 로봇(10-1)은 대향하는 제 1 처리 챔버(PC1)의 중간 위치에 배치된다. 그리고, 제 1 로봇(10-1)은 로드록 챔버(LL1), 로드록 챔버(LL2) 및 2개의 제 1 처리 챔버(PC1)에 액세스한다. 여기서, 제 1 로봇(10-1)은 도 6c 및 도 6d를 이용해 후술하는 쌍완 로봇(10c)에 상당한다.
또한, 2대의 제 2 로봇(10-2)은, 대향하는 제 2 처리 챔버(PC2)의 중간 위치로서, 인접하는 제 2 처리 챔버(PC2)의 중간 위치에 각각 배치된다. 그리고, 2대의 제 2 로봇(10-2)은 4개의 제 2 처리 챔버(PC2)에 각각 액세스한다. 여기서, 제 2 로봇(10-2)은 도 6b를 이용해 후술하는 다자유도 로봇(10b)에 상당한다.
또한, 제 2 로봇(10-2)은, 인접하는 2개의 제 2 처리 챔버(PC2)에 각각 액세스하는 경우에는, 핸드를 제 2 처리 챔버(PC2)로 향하는 자세로 한 채로 이동식 버퍼(110)의 이동 방향에 따라 이동시킬 수 있다. 즉, 각 제 2 로봇(10-2)은 인접하는 2개의 제 2 처리 챔버(PC2)에 대해서 정면에서 기판(W)의 주고받음을 실시한다. 이와 같이, 핸드의 방향을 변경하지 않고 복수의 처리 챔버(PC)에 액세스하므로, 로봇(10)의 동작을 간략화할 수 있고, 기판(W)의 반송을 신속히 실시할 수 있다.
도 3a에 도시한 바와 같이, 제 1 로봇(10-1)은 이동식 버퍼(110)와, 처리 챔버(PC), 및 로드록 챔버(LL)와의 사이에서 기판(W)(도 1 참조)의 주고받음을 실시한다. 이와 같이, 반송 챔버(100)의 챔버 내의 로봇(10)이 로드록 챔버(LL)에도 액세스하는 것으로, 로드록 챔버(LL) 내에 내장 로봇을 마련하는 것이 불필요해져, 로드록 챔버(LL)의 소형화를 도모할 수 있다.
또한, 도 3a에 도시한 바와 같이, 반송 챔버(100)는 제 1 측벽(100sw1) 및 제 2 측벽(100sw2)과 평행한 "대칭선"에 대해서 대칭인 형상이다. 또한, 도 3a에 도시한 이동식 버퍼(110)는 이동 방향(X축에 따르는 방향)으로 2개의 기판(W)을 나란하게 탑재할 수 있는 "병렬식 버퍼"이다. 또한, 이 점의 상세한 것에 대하여는 도 5a 등을 이용해 후술하는 것으로 한다. 또한, 이동식 버퍼(110)를 "다단식 버퍼"로 해도 좋지만 이 점에 대해서는 도 8a 등을 이용해 후술하는 것으로 한다.
제 1 측벽(100sw1) 및 제 2 측벽(100sw2)은 상면에서 보아서 직선형상이며, 수평 방향으로 늘어선 5개의 처리 챔버(PC)가 각각 설치되어 있다. 복수의 로봇(10)은 복수의 처리 챔버(PC)의 늘어선 방향에 따라 설치되어 있다. 이동식 버퍼(110)는 반송 챔버(100)의 상면 등에 고정되는 궤도(120)에 따라 이동한다. 또한, 이동식 버퍼(110) 및 궤도(120)의 구성에 대해서는 도 4를 이용해 후술한다. 이하에서는, 제 1 측벽(100sw1)측의 이동식 버퍼(110) 및 궤도(120)에는 "-1"을 부기하고, 제 2 측벽(100sw2) 측에는 "-2"를 부기하는 경우가 있다.
제 1 이동식 버퍼(110-1)는 제 1 측벽(100sw1)과 로봇(10)과의 사이를 이동한다. 또한, 상기한 바와 같이, 제 1 궤도(120-1)는 제 1 측벽(100sw1)과 로봇(10)과의 사이에 없어도 좋다. 즉, 제 1 이동식 버퍼(110-1)가 제 1 측벽(100sw1)과 로봇(10)과의 사이를 이동한다면, 제 1 궤도(120-1)의 위치는 상관없다.
제 2 이동식 버퍼(110-2)는 제 2 측벽(100sw2)과 로봇(10)과의 사이를 이동한다. 또한, 상기한 바와 같이, 제 2 궤도(120-2)는 제 2 측벽(100sw2)과 로봇(10)과의 사이에 없어도 좋다. 즉, 제 2 이동식 버퍼(110-2)가 제 2 측벽(100sw2)과 로봇(10)과의 사이를 이동한다면, 제 2 궤도(120-2)의 위치는 상관없다.
이와 같이, 로봇(10)을 사이에 두고 각각 이동하는 2개의 이동식 버퍼(110)(제 1 이동식 버퍼(110-1) 및 제 2 이동식 버퍼(110-2))를 마련하는 것으로, 로봇(10)은 처리 챔버(PC)에 가까운 쪽의 이동식 버퍼(110)를 이용하는 것이 가능해져, 기판(W)의 이송에 수반하는 기판(W)의 이동 거리를 단축할 수 있다. 따라서, 기판(W)의 반송 효율을 높이는 것이 가능해진다.
또한, 도 3a에 도시한 바와 같이, 각 로봇(10)은, 기판(W)이 탑재되는 핸드와, 적어도 선회 동작에 의해 핸드를 이동시키는 아암을 구비한다. 여기서, 로봇(10)의 아암은 제 1 측벽(100sw1) 및 제 2 측벽(100sw2)과 간섭하지 않고 선회 가능하다. 환언하면, 로봇(10)의 아암은 제 1 측벽(100sw1) 및 제 2 측벽(100sw2)과 간섭하지 않는 정도로 길다. 즉, 반송 챔버(100)의 폭을 억제하면서, 로봇(10)은 4개의 처리 챔버(PC), 혹은, 2개의 처리 챔버(PC) 및 2개의 로드록 챔버(LL)에 액세스할 수 있다.
구체적으로는, 제 2 로봇(10-2)은, 측벽(100sw)에 대해 인접하는 2개의 처리 챔버(PC)와 기판(W)의 주고받음이 가능한 위치(도 3a에서는, 인접하는 2개의 처리 챔버(PC2)의 중간 위치)에 고정된다. 도 3a에 도시한 바와 같이, 제 2 로봇(10-2)은, 제 1 측벽(100sw1)에 대해 인접하는 2개의 처리 챔버(PC2)와, 제 2 측벽(100sw2)에 대해 인접하는 2개의 처리 챔버(PC2)와의 합계 4개의 처리 챔버(PC2)에 액세스한다.
또한, 이동식 버퍼(110)의 이동 궤적은, 처리 챔버(PC)로 향하는 자세를 취한 로봇(10)의 핸드와 중첩된다. 도 3a에 도시한 바와 같이, 제 2 로봇(10-2)은, 처리 챔버(PC)로 향하는 자세를 취한 핸드가, 제 1 이동식 버퍼(110-1)의 이동 궤적에도, 제 2 이동식 버퍼(110-2)의 이동 궤적에도 중첩되고 있다. 또한, 처리 챔버(PC)로 향하는 자세를 취한 핸드가, 제 1 이동식 버퍼(110-1) 및 제 2 이동식 버퍼(110-2)의 이동 궤적의 한쪽과 중첩되도록 로봇(10)을 배치하는 것으로 해도 좋다. 이와 같이 해도, 모두 중첩되지 않는 경우보다는 반송 챔버(100)의 폭을 작게 억제할 수 있다.
여기서, 이동식 버퍼(110)는, 처리 챔버(PC)로부터 반송 챔버(100)의 챔버 내에 처리 후의 기판(W)을 반입한 로봇(10)의 핸드의 하방으로 이동해서 기판(W)을 수취한다. 또한, 로봇(10)은, 기판(W)보다 높은 위치로 상승시키고 있던 핸드를 하강시키는 것으로 기판(W)을 이동식 버퍼(110)에 건네준다. 이와 같이 하는 것으로, 이동식 버퍼(110)와 로봇(10)과의 간섭을 방지하면서, 기판(W)의 주고받음을 효율적으로 실시할 수 있다.
또한, 도 3a에 도시한 바와 같이, 제 1 측벽(100sw1) 및 제 2 측벽(100sw2)은 각각 대향하도록 처리 챔버(PC)가 설치되어 있고, 각 로봇(10)은 각각 대향하는 처리 챔버(PC)와 기판(W)의 주고받음을 실시한다. 또한, 상기한 바와 같이, 반송 챔버(100)는 이동식 버퍼(110)의 이동 방향과 평행한 선에 대해 대칭인 형상이다. 또한, 각 로봇(10)은, 선회 중심이 제 1 이동식 버퍼(110-1)의 이동 궤적과, 제 2 이동식 버퍼(110-2)의 이동 궤적과의 중간 위치가 되도록 고정된다. 이와 같이 하는 것으로, 로봇(10)의 교시 정보를 공유화하거나, 전용하거나 하는 것이 용이해져, 로봇(10)의 교시 작업에 필요로 하는 코스트를 저감하는 것이 가능해진다.
다음에, 도 3a에 도시한 반송 시스템(1)의 측면 형상에 대해 도 3b를 이용해 설명한다. 도 3b는 반송 시스템(1)의 제 1 측면 모식도이다. 또한, 도 3b는, 도 3a에 도시한 반송 시스템(1)을 제 2 측벽(100sw2) 측에서 본 측면 모식도에 상당한다. 또한, 제 1 궤도(120-1)는 제 2 궤도(120-2)의 배후에 숨기 때문에 기재를 생략하고 있다. 또한, 도 3b에서는, 반송 챔버(100) 외벽을 파선으로 도시하고 있다. 또한, 도 3b에서는, 도 3a에 도시한 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 교부하고 있으므로, 이하에서는, 중복하는 설명을 생략하거나 간단한 설명에 그치는 것으로 한다.
도 3b에 도시하는 바와 같이, 궤도(120)는 반송 챔버(100)의 천정면에 설치되어 있고, 이동식 버퍼(110)(제 1 이동식 버퍼(110-1) 및 제 2 이동식 버퍼(110-2))는 궤도(120)에 현수되도록 설치된다. 또한, 반송 챔버(100)의 측벽에는 버퍼 검출 센서(Sb1)가 수평 방향으로 간격을 두고서 설치된다. 또한, 도 3b에는 5개의 센서를 도시하고 있지만 개수를 한정하는 것은 아니다.
또한, 이동식 버퍼(110)에는 버퍼 검출 센서(Sb1)와 대응하는 높이에 버퍼 검출 센서(Sb2)가 설치된다. 버퍼 검출 센서(Sb)(버퍼 검출 센서(Sb1) 및 버퍼 검출 센서(Sb2)의 세트)는 비접촉식의 위치 센서이며, 이동식 버퍼(110)의 반송 챔버(100)에 있어서의 위치를 검출한다. 또한, 도 3b에는, 반송 챔버(100)의 측벽에 설치되는 개구(101)를 파선으로 도시하고 있다. 개구(101)는, 예를 들어, 이동식 버퍼(110)보다 낮은 위치에 설치된다. 로봇(10)은, 개구(101)로 향하는 자세의 핸드를 전방으로 이동시키는 것으로 개구(101)를 통과시켜, 처리 챔버(PC)나 로드록 챔버(LL)에 액세스한다.
도 3b에 도시한 바와 같이, 이동식 버퍼(110)는 핸드를 하강시킨 자세에 있어서의 로봇(10)보다 높은 위치를 이동한다. 이와 같이, 이동식 버퍼(110)를 마련하는 것으로, 로봇(10)과의 간섭을 회피할 수 있다. 또한, 로봇(10)이 이동식 버퍼(110)와 기판(W)의 주고받음을 실시하는 경우에는, 핸드를 상승시키는 것으로 이동식 버퍼(110)에 액세스한다.
다음에, 도 3a에 도시한 반송 시스템(1)을 기울기 상방으로부터 본 형상에 대해 도 3c를 이용해 설명한다. 도 3c는 반송 시스템(1)의 사시 모식도이다. 또한, 도 3c에서는, 반송 챔버(100) 상벽 및 측벽을 파선으로 도시하고 있다. 또한, 도 3c에서는, 도 3a나 도 3b에 도시한 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 교부하고 있으므로, 이하에서는, 중복하는 설명을 생략하거나 간단한 설명에 그치는 것으로 한다.
도 3c에 도시하는 바와 같이, 반송 챔버(100)의 상벽에는 2개의 궤도(120)(제 1 궤도(120-1) 및 제 2 궤도(120-2))가 고정된다. 제 1 궤도(120-1)에는 제 1 이동식 버퍼(110-1)가 현수되어 있고, 제 2 궤도(120-2)에는 제 2 이동식 버퍼(110-2)가 현수되어 있다. 각 이동식 버퍼(110)는 각 궤도(120)에 따라 이동한다. 또한, 반송 챔버(100)의 플로어 벽에는 각 로봇(10)이 고정된다.
다음에, 로봇(10) 및 이동식 버퍼(110)의 구성예에 대해 도 4를 이용해 설명한다. 도 4는 반송 시스템(1)의 제 2 측면 모식도이다. 또한, 도 4는 도 3a에 도시한 반송 시스템(1)을 제 4 측벽(100sw4)측에서 본 측면 모식도에 상당한다. 또한, 도 4에서는, 제 4 측벽(100sw4)에 가장 가까운 제 2 로봇(10-2)을 로봇(10)으로서 나타내고 있다.
우선, 제 2 로봇(10-2)의 구성예에 대해 설명한다. 도 4에 도시한 바와 같이, 제 2 로봇(10-2)은 아암(11)과, 핸드(12)와, 승강 기구(15)와, 플랜지(F)와, 베이스부(B)를 구비한다. 또한, 아암(11)은 제 1 아암(11a)과, 제 2 아암(11b)을 구비한다.
또한, 제 2 로봇(10-2)의 베이스부(B)는, 반송 챔버(100)에 있어서의 플로어 벽(100f)을 관통해 반송 챔버(100)의 챔버 외로 돌출되어 있다. 또한, 플랜지(F)는, 플로어 벽(100f)의 플로어 면(100fi)에서 제 2 로봇(10-2)을 지지하는 동시에 반송 챔버(100)의 기밀성을 보지한다. 이와 같이, 제 2 로봇(10-2)의 베이스부(B)를 반송 챔버(100)로부터 돌출시키는 것으로, 반송 챔버(100)의 용적을 삭감할 수 있다. 또한, 반송 챔버(100) 외로부터의 제 2 로봇(10-2)에의 급전이나, 액세스를 용이하게 실시할 수 있다.
승강 기구(15)는, 제 1 아암(11a)의 기단측을 제 1 회전축(AH1) 주위에 회전 가능하게 지지함과 함께, 승강축(AV)에 따라 승강한다. 또한, 승강 기구(15) 자체를 제 1 회전축(AH1) 주위에 회전시키는 것으로 해도 좋다. 제 1 아암(11a)은, 제 2 아암(11b)의 기단부를 제 2 회전축(AH2) 주위에 회전 가능하게 선단부에서 지지한다. 제 2 아암(11b)은, 핸드(12)의 기단부를 제 3 회전축(AH3) 주위에 회전 가능하게 선단부에서 지지한다. 핸드(12)는, 예를 들어, 도 1이나 도 3a에 도시한 바와 같이, 선단측이 두갈래로 나눠진 포크부를 가지고 있고, 상면측에서 기판(W)을 지지한다. 또한, 핸드(12)가 복수의 기판(W)을 다단으로 보지하는 것으로 해도 좋다.
여기서, 수평 아암에 상당하는 제 1 아암(11a), 제 2 아암(11b) 및 핸드(12)는, 제 1 회전축(AH1), 제 2 회전축(AH2) 및 제 3 회전축(AH3) 주위에 각각 독립해 선회한다. 이것에 의해, 제 2 로봇(10-2)은, 제 1 측벽(100sw1)이나 제 2 측벽(100sw2)에 있어서 각각 인접하는 처리 챔버(PC)에 액세스할 수 있다. 또한, 제 2 로봇(10-2)을 각 처리 챔버(PC)의 정면으로 배치하는 경우에는, 제 1 회전축(AH1) 주위의 제 1 아암(11a)의 선회에 종동해서 제 2 아암(11b) 및 핸드(12)가 선회하는 것으로 해도 좋다.
제 1 아암(11a), 제 2 아암(11b) 및 핸드(12)가 각각 독립해 선회하는 경우의 구동원(액추에이터)은 3개이며, 제 2 아암(11b) 및 핸드(12)가 제 1 아암(11a)의 선회에 종동해서 선회하는 경우의 구동원은 1개 또는 2개로 된다. 또한, 제 2 로봇(10-2)은 승강 기구(15)의 승강용으로 하나 이상의 구동원을 필요로 한다.
또한, 도 4에 도시한 바와 같이, 수평 아암에 상당하는 제 1 아암(11a), 제 2 아암(11b) 및 핸드(12)는, 제 1 측벽(100sw1) 및 제 2 측벽(100sw2)과 간섭하지 않고 선회 가능하다. 구체적으로는, 제 2 로봇(10-2)은, 핸드(12)의 길이가, 제 1 측벽(100sw1)과 제 2 측벽(100sw2)과의 간격을 나타내는 "반송 챔버 폭"보다 작다. 또한, 도 4에 도시한 바와 같이, 핸드(12)의 길이는 반송 챔버 폭의 절반보다 크다. 이와 같이, 제 2 로봇(10-2)을 이용하는 것으로 하면, 반송 챔버(100)의 폭을 핸드(12)의 길이에 접근하도록 좁게 할 수 있다. 따라서, 반송 챔버(100)의 용적(16)을 삭감할 수 있다.
그런데, 도 3a 등에 도시한 제 1 로봇(10-1)은, 도 4에 도시한 제 2 로봇(10-2)의 아암(11) 및 핸드(12)를 2세트 구비하는, 이른바 쌍완 로봇이다. 또한, 각 로봇(10)(제 1 로봇(10-1) 및 제 2 로봇(10-2))의 축 구성에는 배리에이션이 있지만, 상세한 것에 대하여는, 도 6a, 도 6b, 도 6c 및 도 6d를 이용해 후술한다.
다음에, 이동식 버퍼(110)의 구성예에 대해 설명한다. 또한, 이동식 버퍼(110)는, 로봇(10)의 선회 중심(제 1 회전축(AH1))에 대해 대칭으로 2개 설치되므로, 이하에서는, 제 2 측벽(100sw2) 측에 설치되는 제 2 궤도(120-2) 및 제 2 이동식 버퍼(110-2)를 예로 해서 설명한다.
도 4에 도시하는 바와 같이, 제 2 이동식 버퍼(110-2)는 이동부(111)와, 지주부(112)와, 버퍼에 상당하는 보지부(113)를 구비한다. 이동부(111)는, 반송 챔버(100)에 고정되는 궤도(120)의 구동부(120a)에 의해 구동되는 것으로 이동한다. 지주부(112)는 이동부(111)에 연결된다. 보지부(113)는 지주부(112)에 의해 지지되고, 기판(W)을 수평 배향으로 지지한다.
여기서, 이동부(111)는, 무빙 마그넷 방식의 리니어 모터에 있어서의 이동자(mover)에 대응한다. 이 때문에, 이하에서는, "이동부(111)"를 "이동자(111)"로 칭하는 경우도 있다. 또한, 리니어 모터는 무빙 마그넷 방식으로 한정하지 않고, 인덕션식으로 하는 것으로 해도 좋다. 본 실시형태에서는, 무빙 마그넷 방식, 즉, 이동자(111)가 영구자석인 자석(MG)을 갖는 경우에 대해 설명하지만, 이동자(111)를, 유전 전류가 흐르는 것에 의해 이동하는 소재로 형성하는 것으로 해도 좋다.
제 2 궤도(120-2)는 구동부(120a)와, 가이드(120b)와, 캔(can)(120c)을 구비한다. 구동부(120a)는, 리니어 모터에 있어서의 고정자에 대응한다. 이 때문에, 이하에서는, "구동부(120a)"를 "고정자(120a)"라고 칭하는 경우도 있다. 또한, 본 실시형태에서는, 리니어 모터에 의한 구동력에 의해 이동식 버퍼(110)가 궤도(120)에 대해서 이동하는 경우에 대해 설명하였다. 리니어 모터는 접촉식이어도 좋고, 자기 부상식이나 에어 부상식 등의 비접촉식이어도 좋다. 가이드(120b)는, 수평면 등의 면내에 있어서의 직선 운동이나 곡선 운동을 안내하는 지지 부재이다. 도 4에 도시한 경우, 가이드(120b)는 구동부(120a)를 사이에 두도록 2개 설치되어 있고, 2개의 가이드(120b)는 제 2 이동식 버퍼(110-2)에 대해서 X축으로 따르는 방향의 직선 이동을 안내한다. 또한, 가이드(120b)를 1개로 해도 좋다.
이와 같이, 제 2 이동식 버퍼(110-2)의 이동부(111)는 제 2 궤도(120-2)에 포함되는 고정자(120a)에 의해 비접촉 구동된다. 예를 들어, 고정자(120a)는, 권선을 수지 등으로 몰드하고, 몰드의 표면을 막형상의 금속으로 덮는 것에 의해 형성된다. 이러한 금속막이 상기한 캔(120c)이며, 수지 등으로부터 발생하는 가스를 내부에 가둔다. 이와 같이, 제 2 이동식 버퍼(110-2)를 무빙 마그넷 방식의 비접촉 구동으로 하는 것으로 반송 챔버(100)의 크린화에 기여한다. 또한, 고정자(120a)에의 급전을 반송 챔버(100) 상벽(100c)을 거쳐서 실시할 수가 있으므로, 이 점에서도 반송 챔버(100)의 크린화에 기여할 수 있다.
도 4에 도시한 바와 같이, 기판(W)이 제 1 이동식 버퍼(110-1)에 의해 보지되어 있는 경우에는, 로봇(10)은, 핸드(12)를 상승시키는 것으로 기판(W)을 수취한다. 반대로, 기판(W)이 핸드(12)에 의해 보지되고 있는 경우에는, 로봇(10)은, 핸드(12)를 하강시키는 것으로 기판(W)을 이동식 버퍼(110)에 건네준다.
또한, 상면에서 볼 때 이동부(111)의 위치는, 궤도(120)에 있어서의 고정자(120a)의 전류나 전압의 변화나, 반송 챔버(100)의 상벽(100c)에 설치되는 스케일(SC)과, 이동부(111)에 설치되는 스케일 헤드(SH)와의 세트로 검출할 수 있다. 도 4에 도시한 바와 같이, 스케일(SC)과 스케일 헤드(SH)는 간격을 두고서 대향하도록 설치된다. 즉, 스케일(SC) 및 스케일 헤드(SH)는 비접촉식의 위치 센서이다. 또한, 스케일(SC)은 제 2 궤도(120-2)의 연신 방향(X축으로 따르는 방향)으로 연신한다.
여기서, 도 4에는, 이동식 버퍼(110)가 천정 현수식인 경우에 대해 도시했지만, 플로어 배치식으로 해도 좋다. 이동식 버퍼(110)를 플로어 배치식으로 하는 경우에는, 궤도(120)의 구동부(120a)는 반송 챔버(100)의 플로어 벽(100f)에 고정된다. 또한, 플로어 배치식의 이동식 버퍼(110)에 대해서는, 도 9a 등을 이용해 후술한다.
다음에, 도 4에 도시한 이동식 버퍼(110)에 대해 도 5a 및 도 5b를 이용해 또한 상세하게 설명한다. 도 5a는 이동식 버퍼(110)의 사시도이며, 도 5b는 이동식 버퍼(110)의 측면도이다. 또한, 도 5a는 제 1 이동식 버퍼(110-1)를 기울기 하방으로부터 올려 본 사시도에 상당하고, 도 5b는 제 1 이동식 버퍼(110-1)를 X축 부방향측에서 본 측면도에 상당한다.
도 5a에 도시하는 바와 같이, 이동부(111)는 상면 측에 자석(MG)을 가지고 있다. 여기서, 자석(MG)은 이동식 버퍼(110)의 이동 방향(X축으로 따르는 방향)으로 연신하고 있다. 또한, 지주부(112)는, 이동부(111)에 있어서의 제 1 측벽(100sw1)(도 4 참조) 가까이의 위치에 연결되는 것과 동시에, 로봇(10)의 선회 영역(10rt)의 외측에 있다(도 1 참조). 또한, 보지부(113)는, 선단측이 제 1 측벽(100sw1)으로부터 멀어지는 방향으로 되는 자세로 기단측이 지주부(112)에 의해 지지된다.
또한, 도 5a에 도시한 바와 같이, 제 1 이동식 버퍼(110-1)는, 이동 방향에 따라 2개의 기판(W)을 수평 방향으로 나란하게 보지 가능한 병렬식 버퍼이다. 이와 같이, 이동식 버퍼(110)를 병렬식 버퍼로 하는 것으로, 반송 챔버(100)의 챔버 내 높이를 낮게 억제할 수 있다. 또한, 이동식 버퍼(110)를 병렬식 버퍼로 하는 것으로, 2개의 기판 탑재 위치 중 어느 하나를 로봇(10)의 정면 등에 이동시킬 수 있다. 따라서, 로봇(10)과의 기판(W)의 주고받음을 신속하게 실시할 수 있다. 즉, 이동식 버퍼(110)의 수평 동작과 로봇(10)의 동작을 서로 협동시키는 것으로 기판 반송의 효율화를 도모할 수 있다.
구체적으로는, 보지부(113)는, 수평 방향으로 돌출해서 기판(W)의 연부를 각각 지지하는 3개의 지지부(113a)를 갖고 있고, 3개의 지지부(113a) 중 중간 지지부(113a)는 양단의 지지부(113a)보다 짧다. 이와 같이, 중간 지지부(113a)를 짧게 하는 것으로, 상면에서 볼 때, 정면에서 뿐만 아니라, 기울기 방향으로부터도 로봇(10)(도 4 참조)이 기판(W)의 주고받음을 실시할 수 있다.
예를 들어, 도 5a에 도시한 좌측(X축 부방향측)의 기판(W)에 대해서는, X축 정방향측으로부터 핸드(12)(도 4 참조)를 똑바로 접근시켜도, 중간 지지부(113a)에는 간섭하지 않는다. 또한, 도 5a에 도시한 우측(X축 정방향측)의 기판(W)에 대해서는, X축 부방향측으로부터 핸드(12)를 액세스하는 것으로 하면 좋다.
도 5b에 도시하는 바와 같이, 이동부(111)는, 도 4에 도시한 궤도(120)를 하방로부터 덮도록 상면이 움푹패인 오목부를 갖고 있고, 이러한 오목부에 자석(MG)을 구비하고 있다. 또한, 스케일 헤드(SH)는 오목부의 외측의 측면에 설치된다. 또한, 지주부(112)는 상단측이 이동부(111)에 의해 지지되는 동시에 연직 하향으로 연신하고 있고, 하단측에서 보지부(113)를 지지한다.
여기서, 도 5b에 도시한 제 1 이동식 버퍼(110-1)의 경우, 배면측(Y축 정방향측)이 제 1 측벽(100sw1)(도 4 참조)이다. 즉, 지주부(112)는 제 1 측벽(100sw1)에 따라 상하 방향(Z축으로 따르는 방향)으로 연신하고 있다. 그리고, 지주부(112)에 의해 지지되는 보지부(113)는 제 1 측벽(100sw1)으로부터 멀어지는 방향으로 돌출되어 있고, 상면측에서 기판(W)을 지지한다.
다음에, 로봇(10)의 구성예에 대해, 도 6a 내지 도 6d를 이용해 설명한다. 도 6a, 도 6b, 도 6c 및 도 6d는 로봇(10)의 제 1 구성예, 제 2 구성예, 제 3 구성예 및 제 4 구성예를 도시하는 상면 모식도이다.
도 6a에 도시한 로봇(10)은, 연직 방향으로 1자유도로 수평 방향으로 2자유도의 3자유도의 로봇인 RθZ 로봇(10a)이다. 또한, 도 6a에서는, 승강축(AV)과, 제 1 회전축(AH1)을 동축으로서 도시하고 있지만, 동축이 아니어도 좋다. 수평 아암인 제 1 아암(11a), 제 2 아암(11b) 및 핸드(12)는, 핸드(12)의 자세를 보지한 채로 기판 중심(CW)이 제 1 회전축(AH1)의 방사 방향으로 이동하도록 협조 동작한다. 또한, 제 1 회전축(AH1)이 RθZ 로봇(10a)의 선회 중심에 상당한다.
즉, 제 1 아암(11a)을 제 1 회전축(AH1) 주위에 선회시키는 구동력과 전달 기구에 의해, 제 2 아암(11b)은 제 2 회전축(AH2) 주위에, 핸드(12)는 제 3 회전축(AH3) 주위에, 각각 종동해서 선회한다. 또한, 전달 기구로서는, 벨트, 기어, 링크 기구 등이 있다. 또한, "기판 중심(CW)"은, 핸드(12)가 정규 위치에서 기판(W)을 보지했을 경우의 기판(W)의 중심 위치를 가리킨다.
이와 같이, RθZ 로봇(10a)은, 제 1 회전축(AH1), 제 3 회전축(AH3) 및 기판 중심(CW)을 통과하는 직선의 각도(θ)를 일정으로 유지한 채로, 제 1 회전축(AH1)으로부터 기판 중심(CW)까지의 거리(r)를 변화시킨다. 여기서, 각도(θ)는 임의의 각도로 할 수 있다. 이와 같이, RθZ 로봇(10a)은, 연직 방향으로 1자유도로 수평 방향으로 2자유도의 3자유도의 로봇(10)이다. 또한, 이하에서는, RθZ 로봇(10a)을 "RθZ 로봇"이라고 칭하는 경우가 있다.
RθZ 로봇인 RθZ 로봇(10a)을 로봇(10)으로서 이용하는 것으로, 로봇(10)을 4자유도 이상으로 하는 경우보다, 로봇(10)의 저비용화를 도모할 수 있다. 또한, 로봇(10)으로서 RθZ 로봇(10a)을 이용하는 경우에는, RθZ 로봇(10a)은 처리 챔버(PC)나 로드록 챔버(LL)의 정면으로 배치된다. 환언하면, 로봇(10)을 처리 챔버(PC)나 로드록 챔버(LL)의 정면으로 배치하는 것으로, 로봇(10)을 3자유도의 RθZ 로봇으로 할 수 있다.
도 6b에 도시한 로봇(10)은, 연직 방향으로 1자유도로 수평 방향으로 3자유도 이상의 4자유도 이상의 로봇인 다자유도 로봇(10b)이다. 또한, 도 6b에서는, 승강축(AV)과, 제 1 회전축(AH1)을 동축으로서 도시하고 있지만, 동축이 아니어도 좋다. 수평 아암인 제 1 아암(11a), 제 2 아암(11b) 및 핸드(12)는, 도 6a에 도시한 RθZ 로봇(10a)과는 상이하게, 제 1 회전축(AH1), 제 2 회전축(AH2) 및 제 3 회전축(AH3) 주위에 각각 독립해 선회한다. 또한, 제 1 회전축(AH1)이 다자유도 로봇(10b)의 선회 중심으로 상당한다.
이와 같이, 다자유도 로봇(10b)은, 수평 방향에 대해 적어도 1개의 중복 축을 갖고 있으므로, 기판 중심(CW)을 임의의 경로에서 이동시킬 수 있다. 따라서, 로봇(10)으로서 다자유도 로봇(10b)을 이용하는 경우에는, 다자유도 로봇(10b)은 처리 챔버(PC)나 로드록 챔버(LL)의 정면으로 배치되는 것을 필요로 하지 않는다. 환언하면, 로봇(10)을 처리 챔버(PC)나 로드록 챔버(LL)의 정면으로 배치하지 않아도, 처리 챔버(PC)나 로드록 챔버(LL)에 대해서 기판(W)의 주고받음을 실시할 수 있다.
도 6c에 도시한 로봇(10)은, 도 6a에 도시한 RθZ 로봇(10a)의 수평 아암을 쌍완으로 하는 쌍완 로봇(10c)이다. 즉, 쌍완 로봇(10c)은, 수평 방향으로 2자유도의 아암을 쌍완으로 하고, 또한 연직 방향으로 1자유도를 갖는다.
구체적으로는, 2개의 제 1 아암(11a)의 기단측은 대좌(P)에 의해 지지되며, 대좌(P)는, 승강축(AV)에 따라 승강하는 동시에, 회전축(AH0) 주위에 회전한다. 또한, 도 6c에는, 도 6a에 도시한 RθZ 로봇(10a)의 수평 아암을 쌍완으로 하는 경우를 도시했지만, 도 6b에 도시한 다자유도 로봇(10b)의 수평 아암을 쌍완으로 하는 것으로 해도 좋다.
여기서, 도 6a에서는, 쌍완에 있어서의 각 아암의 핸드(12)가 Z축으로 따른 방향에서 보아서 중첩되어 있는 경우를 도시했지만, 중첩되지 않아도 좋다. 각 아암은, 회전축(AH0), 제 3 회전축(AH3) 및 기판 중심(CW)을 통과하는 직선의 각도(θ)를 일정하게 유지한 채로, 회전축(AH0)으로부터 기판 중심(CW)까지의 거리(r)를 변화시킨다. 또한, 도 6c에 도시한 쌍완에 있어서의 각 아암의 상하 관계를 반대로 하는 것으로 해도 좋다. 또한, 회전축(AH0)이 쌍완 로봇(10c)의 선회 중심에 상당한다.
도 6d에 도시한 쌍완 로봇(10d)은 도 6c에 도시한 쌍완 로봇(10c)의 변형예이다. 도 6d에 도시한 쌍완 로봇(10d)은, 승강축(AV)과, 쌍완에 있어서의 2개의 제 1 회전축(AH1)을 동축으로 한 점, 대좌(P)를 생략한 점에서, 도 6c에 도시한 쌍완 로봇(10c)과는 상이하다. 또한, 회전축(AH1)이 쌍완 로봇(10d)의 선회 중심에 상당한다.
여기서, 쌍완에 있어서의 각 아암은, 제 1 회전축(AH1), 제 3 회전축(AH3) 및 기판 중심(CW)을 통과하는 직선의 각도(θ)를 일정하게 유지한 채로, 회전축(AH0)으로부터 기판 중심(CW)까지의 거리(r)를 변화시킨다. 이와 같이, 2개의 제 1 회전축(AH1)을 동축으로 하고, 대좌(P)를 생략하는 것으로, 쌍완 로봇(10d)의 컴팩트화를 도모할 수 있고, 반송 챔버(100)의 용적을 저감하는 것이 가능해진다. 또한, 도 6d에 도시한 쌍완에 있어서의 각 아암의 상하 관계를 반대로 하는 것으로 해도 좋다.
다음에, 도 4에 도시한 이동식 버퍼(110)에 승강 기구를 마련하고, 대신에 로봇(10)으로부터 승강 기구를 생략한 변형예에 대해 도 7을 이용해 설명한다. 도 7은 로봇(10) 및 이동식 버퍼(110)의 변형예에 따른 측면 모식도이다. 여기서, 도 7에 도시한 로봇(10) 및 이동식 버퍼(110)는 로봇(10)이 승강 기구를 구비하지 않는 로봇(10)이며, 대신에 이동식 버퍼(110)가 승강 기구를 갖는 이동식 버퍼(110a)이다. 따라서, 이하에서는, 도 4와는 다른 점에 대해 주로 설명하는 것으로 한다.
도 7에 도시한 바와 같이, 로봇(10)은 도 4에 도시한 로봇(10)으로부터 승강축(AV) 및 승강 기구(15)를 생략하고 있다. 승강축(AV) 및 승강 기구(15)를 생략하는 것으로, 베이스부(B)의 높이가, 도 4에 도시한 로봇(10)보다 낮게 억제되어 있다. 한편, 이동식 버퍼(110)는 연직 방향의 리프트축(AL)에 따라 승강하는 승강식 지주부(112s)를 구비한다.
이와 같이, 로봇(10)으로부터 승강 기구를 생략하는 것으로, 반송 챔버(100)의 저배화를 도모할 수 있다. 또한, 로봇(10)의 구성을 간략화하는 것으로, 로봇(10)의 가용성을 높일 수가 있다.
그런데, 승강식 지주부(112s)를 구동시키는 구동원(액추에이터)에는, 궤도(120)를 통한 비접촉 급전에 의해 직류의 급전을 한다. 이와 같이, 이동식 버퍼(110)에 대해서 비접촉 급전을 실시하는 것으로 하면, 구동원 뿐만 아니라, 중량 센서나 광학 센서 등의 센서, 라디오 커뮤니케이션식의 카메라 등의 기기를 이동식 버퍼(110)에 탑재할 수 있다.
따라서, 기판(W)의 유무나 형상, 중량, 위치 등을, 이동식 버퍼(110)에 기판(W)이 탑재될 때에 검출하는 것이 가능해진다. 또한, 직류의 급전으로 하면, 교류의 급전보다 저비용이므로, 저비용화에 기여한다.
도 7에 도시한 바와 같이, 기판(W)이 제 1 이동식 버퍼(110-1)에 의해 보지되어 있는 경우에는, 제 1 이동식 버퍼(110-1)는, 지주부(112)를 신장시켜 보지부(113)를 하강시키는 것으로 기판(W)을 로봇(10)의 핸드(12)에 건네준다. 반대로, 기판(W)이 로봇(10)의 핸드(12)에 의해 보지되어 있는 경우에는, 기판(W)의 하부로부터 보지부(113)를 상승시키는 것으로 기판(W)을 수취한다.
또한, 도 7 및 도 4에 도시한 바와 같이, 로봇(10) 및 이동식 버퍼(110)는, 한쪽이 승강 기구를 갖고 있고, 기판(W)을 주고받음하는 위치에 있어서, 로봇(10)의 핸드(12)와 이동식 버퍼(110)가 승강 동작으로 서로 간섭하지 않는다. 따라서, 로봇(10)이나 이동식 버퍼(110)가 수평 방향에의 간섭 회피 동작을 실시할 필요가 없기 때문에, 기판(W)의 반송 효율을 높이는 것이 가능해진다.
그런데, 지금까지는, 이동식 버퍼(110)를 병렬식 버퍼로 했을 경우에 대해 설명했지만, 이동식 버퍼(110)를 다단식 버퍼로 하는 것으로 해도 좋다. 따라서, 이하에서는, 이동식 버퍼(110)를 다단식 버퍼로 했을 경우에 대해 도 8a 및 도 8b를 이용해 설명한다. 도 8a는 다단식의 이동식 버퍼(110)를 도시하는 사시도이며, 도 8b는 다단식의 이동식 버퍼(110)를 도시하는 측면도이다.
또한, 도 8a 및 도 8b의 시점 방향은 도 5a 및 도 5b와 동일하다. 또한, 도 8a 및 도 8b에서는, 도 5a나 도 5b에 도시한 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 교부하고 있으므로, 이하에서는, 중복하는 설명을 생략하거나 간단한 설명에 그치는 것으로 한다.
도 8a에 도시하는 바와 같이, 제 1 이동식 버퍼(110-1)는 2개의 기판(W)을 2단으로 보지 가능한 다단식 버퍼이다. 또한, 도 8a 및 도 8b에서는, 2단의 다단식 버퍼를 도시하고 있지만, 단수를 3단 이상으로 하는 것으로 해도 좋다. 이와 같이, 이동식 버퍼(110)를 다단식 버퍼로 하는 것으로, 상면에서 볼 때 이동식 버퍼(110)의 컴팩트화를 도모할 수 있고, 반송 챔버(100)의 소형화에 기여하는 것이 가능해진다.
구체적으로는, 보지부(113)는, 수평 방향으로 돌출해서 기판(W)의 연부를 각각 지지하는 2개의 지지부(113a)를 가지고 있다. 또한, 2개의 지지부(113a)의 간격은 로봇(10)(도 4 참조)의 핸드(12)가 승강해도 간섭하지 않는 정도로 크다. 이와 같이, 2개의 지지부(113a)의 간격을 두는 것으로, 로봇(10)은, 핸드(12)를 이동식 버퍼(110)에 정대시킨 자세로 승강시키는 것으로, 기판(W)의 주고받음을 실시할 수 있다.
여기서, 도 8a 및 도 8b에 도시한 제 1 이동식 버퍼(110-1)의 경우, 배면측(Y축 정방향측)이 제 1 측벽(100sw1)(도 4 참조)이다. 즉, 지주부(112)는 제 1 측벽(100sw1)에 따라 상하 방향(Z축으로 따르는 방향)으로 연신하고 있다. 그리고, 지주부(112)에 의해 지지되는 보지부(113)는 상하 방향(Z축으로 따르는 방향)으로 늘어서 있다. 그리고, 각 보지부(113)는 제 1 측벽(100sw1)으로부터 멀어지는 방향으로 돌출되어 있고, 상면측에서 기판(W)을 각각 지지한다.
그런데, 지금까지는, 이동식 버퍼(110)를 천정 현수식으로 하는 경우에 대해 설명했지만, 이동식 버퍼(110)를 플로어 배치식으로 하는 것으로 해도 좋다. 따라서, 이하에서는, 이동식 버퍼(110)를 플로어 배치식으로 했을 경우에 대해 도 9a 내지 도 11을 이용해 설명하는 것으로 한다. 또한, 도 9a 내지 도 9c는 도 3a 내지 도 3c에, 도 10은 도 4에, 도 11은 도 5a에, 각각 대응한다. 또한, 이하에서는, 도 3a 내지 도 5a에 도시한 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 교부해, 이미 설명한 사항에 대해서는 중복하는 설명을 생략하거나 간단한 설명에 그치는 것으로 한다.
도 9a는 변형예에 따른 반송 시스템(1)의 상면 모식도이다. 또한, 도 9a는 도 3a에 대응하지만, 처리 챔버(PC)나 각 로드록 챔버(LL)의 기재를 생략하고 있다. 도 9a에 도시하는 바와 같이, 궤도(120)는 반송 챔버(100)의 플로어 면에 고정되고, 이동식 버퍼(110)는 플로어 면의 궤도(120) 상을 이동하는 점이, 도 3a에 도시한 반송 시스템(1)과는 상이하다.
여기서, 이동식 버퍼(110)가, 로봇(10)에 있어서의 핸드(12)(도 4 참조)의 하방으로 이동해서 기판(W)을 주고받음하는 점에 대해서는, 도 3a에 도시한 반송 시스템(1)과 동일하다. 또한, 제 1 로봇(10-1)이, 도 6c 또는 도 6d에 도시한 쌍완 로봇(10c) 또는 쌍완 로봇(10d)이며, 제 2 로봇(10-2)이, 도 6b에 도시한 다자유도 로봇(10b)인 점도 도 3a에 도시한 반송 시스템(1)과 동일하다.
또한, 도 9a에는, 병렬식의 이동식 버퍼(110)를 도시했지만, 도 8a에 도시한 다단식의 이동식 버퍼(110)로 해도 좋다.
다음에, 도 9a에 도시한 반송 시스템(1)의 측면 형상에 대해 도 9b를 이용해 설명한다. 도 9b는 변형예에 따른 반송 시스템(1)의 측면 모식도이다. 도 9b에 도시하는 바와 같이, 궤도(120)는, 반송 챔버(100)의 플로어 면에 설치되는 점이, 도 3b에 도시한 반송 시스템(1)과는 상이하다.
또한, 이동식 버퍼(110)에 탑재되는 기판(W)이, 핸드(12)를 하강시킨 자세에 있어서의 로봇(10)보다 높은 위치를 이동하는 점은, 도 3b에 도시한 반송 시스템(1)과 동일하다. 이와 같이, 이동식 버퍼(110)를 플로어 배치식으로 했을 경우여도, 기판(W)의 탑재 위치를, 핸드(12)를 하강시킨 자세에 있어서의 로봇(10)보다 높은 위치로 하는 것으로, 로봇(10)과의 간섭을 회피할 수 있다.
다음에, 도 9a에 도시한 반송 시스템(1)을 기울기 상방으로부터 본 형상에 대해 도 9c를 이용해 설명한다. 도 9c는 반송 시스템(1)의 사시 모식도이다. 또한, 도 9c는 도 3c에 대응하지만, 도 3c에서는 기재를 생략한 측벽 및 플로어 벽을 기재하고 있다.
도 9c에 도시하는 바와 같이 반송 챔버(100)의 플로어 벽에는 2개의 궤도(120)(제 1 궤도(120-1) 및 제 2 궤도(120-2))가 고정되는 점으로써, 도 3c에 도시한 반송 시스템(1)과는 상이하다. 제 1 궤도(120-1)상에는 제 1 이동식 버퍼(110-1)가 설치되어 있고, 제 2 궤도(120-2)상에는 제 2 이동식 버퍼(110-2)가 설치되어 있다. 또한, 제 2 궤도(120-2)는 측벽에 은폐되기 때문에 기재를 생략하고 있다.
다음에, 로봇(10) 및 이동식 버퍼(110)의 구성예에 대해 도 10을 이용해 설명한다. 도 10은 변형예에 따른 반송 시스템(1)의 제 2 측면 모식도이다. 또한, 로봇(10)의 구성에 대해서는 도 4와 동일하다. 한편, 이동식 버퍼(110)는, 상하 방향이 역전하고 있는 점, 보지부(113)의 지지 위치가 로봇(10)보다 높아지도록 지주부(112)를 길게 한 점으로써 도 4에 도시한 이동식 버퍼(110)와는 상이하다.
도 10에 도시하는 바와 같이 지주부(112)의 길이는 도 4에 도시한 지주부(112)보다 길고, 보지부(113)를 로봇(10)보다 높은 위치에서 지지한다.
도 4에 도시한 바와 같이, 기판(W)이 제 1 이동식 버퍼(110-1)에 의해 보지되어 있는 경우에는, 로봇(10)은 핸드(12)를 상승시키는 것으로 기판(W)을 수취한다. 반대로, 기판(W)이 핸드(12)에 의해 보지되어 있는 경우에는, 로봇(10)은, 기판(W)보다 높은 위치에 상승시키고 있던 핸드(12)를 하강시키는 것으로 기판(W)을 이동식 버퍼(110)에 건네준다.
다음에, 도 10에 도시한 이동식 버퍼(110)에 대해 도 11을 이용해 설명한다. 도 11은 플로어 배치식의 이동식 버퍼(110)의 사시도이다. 또한, 도 11은 도 5a에 대응하는 사시도이지만, 제 1 이동식 버퍼(110-1)를 기울기 상방으로부터 내려다 본 방향인 점으로써 도 5a의 방향과는 상이하다.
도 11에 도시하는 바와 같이, 이동부(111)는 상면측에서 지주부(112)를 지지한다. 지주부(112)는, 이동부(111)에 있어서의 제 1 측벽(100sw1)(도 10 참조) 가까이의 위치에 연결되는 것과 동시에, 로봇(10)의 선회 영역(10rt)의 외측에 있다(도 1 참조). 또한, 보지부(113)는, 선단측이 제 1 측벽(100sw1)으로부터 멀어지는 방향이 되는 자세로 기단측이 지주부(112)에 의해 지지된다.
또한, 도 11에 도시한 바와 같이, 이동식 버퍼(110)는, 이동 방향에 따라 2개의 기판(W)을 수평 방향으로 나란하게 보지 가능한 점은 도 5a에 도시한 이동식 버퍼(110)와 동일하지만, 보지부(113)의 상면에는 기판(W)을 지지하는 패드가 있는 것을 알 수 있다.
다음에, 도 1에 도시한 반송 장치(5)의 구성에 대해 도 12를 이용해 설명한다. 도 12는 반송 장치(5)의 구성을 나타내는 블럭도이다. 도 12에 도시하는 바와 같이 반송 장치(5)는 로봇(10)과, 이동식 버퍼(110)와, 컨트롤러(20)를 구비한다. 또한, 로봇(10) 및 이동식 버퍼(110)는 컨트롤러(20)에 접속되어 있다. 또한, 로드록 챔버(LL) 및 처리 챔버(PC)도 컨트롤러(20)에 접속되어 있어 정보의 교환이 가능하다.
컨트롤러(20)는 제어부(21)와, 기억부(22)를 구비한다. 제어부(21)는 취득부(21a)와, 동작 제어부(21b)를 구비한다. 기억부(22)는 교시 정보(22a)를 기억한다. 또한, 도 12에는, 설명을 간략화하기 위해서, 1대의 컨트롤러(20)를 도시했지만, 복수대의 컨트롤러(20)를 이용하는 것으로 해도 좋다. 이 경우, 각 컨트롤러를 묶는 상위의 컨트롤러를 마련하는 것으로 해도 좋다. 예를 들어, 로봇(10)이 접속되는 컨트롤러와, 이동식 버퍼(110)가 접속되는 컨트롤러를 별체로 하고, 각 컨트롤러를 묶는 상위의 컨트롤러를 마련하는 것으로 해도 좋다.
여기서, 컨트롤러(20)는, 예를 들어, CPU(Central Processing Unit), ROM(Read Only Memory), RAM(Rakndom Access Memory), HDD(Hard Disk Drive), 입 출력 포트 등을 가지는 컴퓨터나 각종의 회로를 포함한다. 컴퓨터의 CPU는, 예를 들어, ROM에 기억된 프로그램을 판독해서 실행하는 것에 의해, 제어부(21)의 취득부(21a) 및 동작 제어부(21b)로서 기능한다.
또한, 취득부(21a) 및 동작 제어부(21b)의 적어도 어느 하나 또는 전부를 ASIC(Application Specific Integrated Circuit)나 FPGA(Field Programmable Gate Array) 등의 하드웨어로 구성할 수도 있다.
또한, 기억부(22)는, 예를 들어, RAM이나 HDD에 대응한다. RAM이나 HDD는 교시 정보(22a)를 기억할 수 있다. 또한, 컨트롤러(20)는, 유선이나 무선의 네트워크로 접속된 다른 컴퓨터나 가반형 기록 매체를 거쳐서 상기한 프로그램이나 각종 정보를 취득하는 것으로 해도 좋다. 추가로, 상기한 바와 같이, 컨트롤러(20)를 복수대의 서로 통신 가능한 장치로서 구성해도 좋고, 상위 또는 하위의 장치와 통신 가능한 계층식의 장치로서 구성해도 좋다.
제어부(21)는, 로드록 챔버(LL)나 처리 챔버(PC)로부터 액세스 요구 등의 트리거 정보를 취득함과 함께, 로봇(10)과 이동식 버퍼(110)와의 동작 제어를 실시한다. 또한, 컨트롤러(20)가 복수대로 구성되는 경우에는, 제어부(21)는, 복수의 컨트롤러(20) 사이의 동기를 취하는 처리를 또한 실시하는 것으로 해도 좋다.
취득부(21a)는 로드록 챔버(LL)나 처리 챔버(PC)로부터 액세스 요구 등의 트리거 정보를 취득한다. 그리고, 취득부(21a)는, 취득한 정보에 근거해, 로봇(10) 및 이동식 버퍼(110)의 동작 타이밍이나 동작 내용을 결정하고, 결정한 동작 타이밍이나 동작 내용을 동작 제어부(21b)에 통지한다.
예를 들어, 취득부(21a)는 로드록 챔버(LL)에 외부로부터 기판(W)이 반입된 타이밍을 취득하고, 취득한 타이밍에 근거해 로봇(10) 및 이동식 버퍼(110)를 협조 동작시키도록 동작 제어부(21b)에 지시한다. 또한, 취득부(21a)는 기판(W)에 대한 처리가 완료하는 타이밍을 처리 챔버(PC)로부터 취득하고, 취득한 타이밍에 근거해 로봇(10) 및 이동식 버퍼(110)를 협조 동작시키도록 동작 제어부(21b)에 지시한다.
동작 제어부(21b)는 취득부(21a)로부터의 지시 및 교시 정보(22a)에 근거해 로봇(10) 및 이동식 버퍼(110)를 동작시킨다. 또한, 동작 제어부(21b)는, 로봇(10) 및 이동식 버퍼(110)의 동력원인 회전식 모터나 리니어 모터 등의 액추에이터에 있어서의 엔코더 값을 이용하면서 피드백 제어를 실시하는 등을 해서 로봇(10) 및 이동식 버퍼(110)의 동작 정밀도를 향상시킨다.
교시 정보(22a)는, 로봇(10) 및 이동식 버퍼(110)에 동작을 교시하는 티칭 단계에서 작성되고, 로봇 등의 동작 경로를 규정하는 프로그램을 포함한 정보이다. 또한, 도 3a 등에 도시한 바와 같이, 선대칭 등이 규칙적인 위치에 각 로봇을 배치하는 경우에는, 교시 데이터를 공용하거나 반전 이용하거나 하는 것이 가능해진다. 따라서, 반송 장치(5)에 의하면, 이러한 교시 데이터를 포함한 교시 정보(22a)의 생성의 수고와 코스트를 억제할 수 있다.
다음에, 도 3a에 도시한 반송 장치(5)가 실행하는 처리 순서의 일 예에 대해 도 13a 및 도 13b를 이용해 설명한다. 도 13a 및 도 13b는 반송 장치(5)가 실행하는 처리 순서를 나타내는 제 1 플로우 챠트 및 제 2 플로우 챠트이다. 또한, 도 13a에서는, 도 3a에 도시한 제 1 로봇(10-1)과 이동식 버퍼(110)와의 협동 처리를 주로 도시하고 있고, 도 13b에서는, 제 2 로봇(10-2)과 이동식 버퍼(110)와의 협동 처리를 도시하고 있다.
우선, 도 13a에 대해 설명한다. 도 13a에 도시하는 바와 같이, 이동식 버퍼(110)는 제 1 로봇(10-1)의 근방으로 이동한다(스텝 S101). 제 1 로봇(10-1)은, 한쪽의 아암으로 이동식 버퍼(110)로부터 처리 후의 기판(W)을 수취하는 것과 동시에(스텝 S102), 다른쪽의 아암으로 로드록 챔버(LL)로부터 처리 전의 기판(W)을 반송 챔버(100)에 반입한다(스텝 S103).
또한, 제 1 로봇(10-1)은, 스텝 S102에서 이동식 버퍼(110)로부터 수취한 처리 후의 기판(W)을 한쪽의 아암으로 로드록 챔버에 반출한다(스텝 S104). 또한, 제 1 로봇(10-1)은, 스텝 S103에서 로드록 챔버(LL)로부터 수취한 처리 전의 기판(W)을 다른쪽의 아암으로 이동식 버퍼(110)에 건네준다(스텝 S105).
처리 전의 기판(W)을 수취한 이동식 버퍼(110)는 제 2 로봇(10-2)의 근방으로 이동하고(스텝 S106), 제 2 로봇(10-2)은 처리 전의 기판(W)을 이동식 버퍼(110)로부터 수취해(스텝 S107) 처리를 종료한다.
또한, 도 13a에서는, 설명을 알기 쉽게 하기 위해서, 각 처리를 직렬적으로 실행하는 경우를 나타냈지만, 병렬적으로 실행 가능한 처리에 대해서는 병행해서 실행하는 것으로 해도 좋다. 또한, 도 13a에서는, 제 1 로봇(10-1)이 처리 전의 기판(W)을 이동식 버퍼(110) 경유로 제 2 로봇(10-2)에 건네주는 경우를 도시했지만, 제 1 로봇(10-1)이 로드록 챔버(LL)로부터 반입한 처리 전의 기판(W)을 처리 챔버(PC)에 반출하는 것으로 해도 좋다.
다음에, 도 13b에 대해 설명한다. 또한, 도 13b에서는, 이동식 버퍼(110)에 있어서의 2개의 탑재 위치의 한쪽에 처리 전의 기판(W)이 1매 탑재되어 있고, 다른쪽은 비어 있는 상태로부터 처리가 시작되는 것으로 한다. 도 13b에 도시하는 바와 같이, 컨트롤러(20)의 취득부(21a)가 처리 챔버(PC)에 있어서의 기판(W)의 처리 완료 통지를 취득하면(스텝 S201), 이동식 버퍼(110)는, 제 2 로봇(10-2)과의 간섭을 회피하는 제 1 퇴피 위치에 이동하고(스텝 S202), 또한, 제 2 로봇(10-2)은, 처리 챔버(PC)로부터 처리 후의 기판(W)을 반송 챔버(100)에 반입한다(스텝 S203).
계속해서, 이동식 버퍼(110)는, 처리 후의 기판(W)을 수취하는 제 1 트랜스퍼 위치로 이동한다(스텝 S204). 그리고, 제 2 로봇(10-2)은, 처리 후의 기판(W)을 이동식 버퍼(110)에 건네준다(스텝 S205).
또한, 제 2 로봇(10-2)은, 이동식 버퍼(110)가 제 1 트랜스퍼 위치로부터 제 2 트랜스퍼 위치에 이동할 때는, 핸드(12)의 승강 동작만으로 이동식 버퍼(110)와의 간섭을 회피한다(스텝 S206). 즉, 제 2 로봇(10-2)은, 이동식 버퍼(110)가 제 1 트랜스퍼 위치로부터 제 2 트랜스퍼 위치로의 이동중은, 상면에서 볼 때 핸드(12)의 위치나 방향을 변경하는 일이 없이 핸드(12)의 승강 동작에 의해 이동식 버퍼(110)와의 간섭을 회피한다.
이동식 버퍼(110)가 처리 전의 기판(W)을 건네주는 제 2 트랜스퍼 위치로 이동하면(스텝 S207), 제 2 로봇(10-2)은 처리 전의 기판(W)을 이동식 버퍼(110)로부터 취득한다(스텝 S208). 이동식 버퍼(110)는 제 2 로봇(10-2)과의 간섭을 피하는 제 2 퇴피 위치에 이동하고(스텝 S209), 제 2 로봇(10-2)은 반송 챔버(100)로부터 처리 챔버(PC)에 처리 전의 기판(W)을 반출해(스텝 S210) 처리를 종료한다.
또한, 상기한 제 1 트랜스퍼 위치와 제 2 트랜스퍼 위치는 동일 위치라도 좋고, 상이한 위치라도 좋다. 예를 들어, 이동식 버퍼(110)가 도 3a 등에 도시한 병렬식 버퍼인 경우에는, 2개의 기판 탑재 영역의 각 중심간의 거리만큼 제 1 트랜스퍼 위치와 제 2 트랜스퍼 위치가 어긋나 있으면 좋다. 또한, 이동식 버퍼(110)가 도 8a 등에 도시한 다단식 버퍼인 경우에는, 제 1 트랜스퍼 위치와 제 2 트랜스퍼 위치는 동일 위치라도 좋다. 또한, 상기한 제 1 퇴피 위치와 제 2 퇴피 위치는 동일 위치라도 좋고, 상이한 위치라도 좋다.
다음에, 반송 챔버(100)에 있어서의 로봇(10)의 배치의 변형예에 대해 도 14 내지 도 16을 이용해 설명한다. 도 14 내지 도 16은 로봇 배치의 제 1 내지 제 3 변형예를 도시하는 상면 모식도이다.
도 14에 도시하는 바와 같이 반송 시스템(1)은, 대향하는 제 1 측벽(100sw1) 및 제 2 측벽(100sw2)에 각각 대향하는 2개의 처리 챔버(PC)가 설치된다. 또한, 제 3 측벽(100sw3)에는 1개의 로드록 챔버(LL)가 설치된다. 또한, 제 4 측벽(100sw4)에는 2개의 처리 챔버(PC)가 설치된다.
또한, 반송 챔버(100)의 제 3 측벽(100sw3) 측에는 1대의 제 1 로봇(10-1)이 배치되고, 제 4 측벽(100sw4) 측에는 2대의 제 2 로봇(10-2)이 배치된다. 여기서, 제 1 로봇(10-1)은, 로드록 챔버(LL), 제 1 측벽(100sw1)의 제 1 처리 챔버(PC1) 및 제 2 측벽(100sw2)의 제 1 처리 챔버(PC1)의 정면에 있다. 또한, 2대의 제 2 로봇은 제 1 측벽(100sw1) 및 제 2 측벽(100sw2)의 제 2 처리 챔버(PC2)의 정면에 있다.
이와 같이, 반송 챔버(100)의 제 1 측벽(100sw1) 및 제 2 측벽(100sw2)에는, 각각 대향하도록 처리 챔버(PC)가 설치되어 있다. 그리고, 각 로봇(10)(제 1 로봇(10-1) 및 제 2 로봇(10-2))은, 각각 대향하는 처리 챔버(PC)와 기판(W)의 주고받음을 실시한다. 또한, 반송 시스템(1)은, 제 1 측벽(100sw1)과 제 2 측벽(100sw2)과의 대칭선에 대해 대칭이 되도록, 각 로봇(10), 각 이동식 버퍼(110), 각 처리 챔버(PC) 및 로드록 챔버(LL)가 각각 배치되어 있다.
여기서, 제 1 이동식 버퍼(110-1)는 각 로봇(10)과 제 1 측벽(100sw1)과의 사이에 설치되고, 제 2 이동식 버퍼(110-2)는 각 로봇(10)과 제 2 측벽(100sw2)과의 사이에 설치된다. 즉, 제 2 로봇(10-2)은, 이동식 버퍼(110)의 이동 방향에 따른 방향에서 볼 때, 제 1 측벽(100sw1) 및 제 2 측벽(100sw2)의 사이에, 제 1 이동식 버퍼(110-1), 제 2 로봇(10-2), 제 2 로봇(10-2) 및 제 2 이동식 버퍼(110-2)의 순서로 배치된다. 따라서, 만일 2개의 이동식 버퍼(110)중 한쪽이 정지했을 경우나, 2대의 제 2 로봇(10-2)중 한쪽이 정지했을 경우여도 기판(W)의 반송을 계속할 수 있으므로, 기판(W)의 반송의 가용성을 높이는 것이 가능해진다.
그런데, 도 14에서는, 상면에서 보아서 직선형상의 제 3 측벽(100sw3)에 1개의 로드록 챔버(LL)를 마련하는 경우를 도시했지만, 제 1 로봇(10-1)의 선회 중심에 대해서 방사선 상에 복수의 로드록 챔버(LL)를 마련하는 것으로 해도 좋다. 따라서, 이하에서는, 제 3 측벽(100sw3)에 복수의 로드록 챔버(LL)를 마련하는 경우에 대해 도 15를 이용해 설명한다.
도 15에 도시한 반송 시스템(1)은, 제 3 측벽(100sw3)이 반송 챔버(100)의 외측에 향하여 굴곡된 형상을 갖고 있고, 제 3 측벽(100sw3)에 2개의 로드록 챔버(LL)가 설치되어 있는 점으로써 도 14에 도시한 반송 시스템(1)과는 상이하다. 또한, 각 로드록 챔버(LL)는 제 1 로봇(10-1)의 정면으로 각각 배치되어 있다.
이 때문에, 제 1 로봇(10-1)은, 2개의 로드록 챔버(LL) 및 2개의 제 1 처리 챔버(PC1)에 각각 액세스할 수 있다. 따라서, 만일 2개의 로드록 챔버(LL) 중 한쪽이 정지했을 경우여도 기판(W)의 반송을 계속할 수 있으므로, 기판(W)의 반송의 가용성을 높이는 것이 가능해진다. 또한, 반송 시스템(1)이, 제 1 측벽(100sw1)과 제 2 측벽(100sw2)과의 대칭선에 대해 대칭이 되도록, 각 로봇(10), 각 이동식 버퍼(110), 각 처리 챔버(PC) 및 각 로드록 챔버(LL)가 각각 배치되어 있는 점은 도 14에 도시한 반송 시스템(1)과 동일하다.
그런데, 도 14 및 도 15에서는, 로드록 챔버(LL)에 액세스하는 제 1 로봇(10-1)이 1대인 경우를 도시했지만, 제 1 로봇(10-1)을 2대로 하는 것으로 해도 좋다. 따라서, 이하에서는, 제 1 로봇(10-1)을 2대로 하고, 2대의 제 2 로봇(10-2)과 합해 합계 4대의 로봇(10)이 반송 챔버(100)에 배치되는 경우에 대해 도 16을 이용해 설명한다.
도 16에 도시한 반송 시스템(1)은, 상면에서 보아서 정방형이며, 대향하는 제 1 측벽(100sw1) 및 제 2 측벽(100sw2)의 대칭선에 대해서도, 대향하는 제 3 측벽(100sw3) 및 제 4 측벽(100sw4)의 대칭선에 대해서도, 각각 대칭이다. 또한, 2대의 제 1 로봇(10-1)은, 로드록 챔버(LL) 및 제 1 처리 챔버(PC1)의 정면으로 각각 배치되고 있다. 또한, 2대의 제 2 로봇(10-2)은, 2개의 제 2 처리 챔버(PC2)의 정면으로 각각 배치되고 있다.
여기서, 제 1 이동식 버퍼(110-1)는, 각 로봇(10)과 제 1 측벽(100sw1)과의 사이에 설치되고, 제 2 이동식 버퍼(110-2)는, 각 로봇(10)과 제 2 측벽(100sw2)과의 사이에 설치된다. 이와 같이, 도 16에 도시한 반송 시스템(1)은, 제 1 측벽(100sw1) 측과, 제 2 측벽(100sw2) 측에서, 기판(W)의 반송 경로를 2계통으로 하고 있으므로, 기판(W)의 반송의 가용성을 높일 수 있다.
즉, 제 1 측벽(100sw1) 측 또는 제 2 측벽(100sw2) 측 중 어느 하나의 측의 로봇(10), 이동식 버퍼(110), 처리 챔버(PC)나 로드록 챔버(LL)가 정지했을 경우여도 기판(W)의 처리를 계속할 수 있다. 따라서, 반송 시스템(1)의 가용성을 높일 수가 있다.
상술한 바와 같이, 실시형태에 따른 반송 장치(5)는, 복수의 로봇(10)과, 이동식 버퍼(110)를 구비한다. 복수의 로봇(10)은 감압 분위기의 반송 챔버(100)의 챔버 내에 고정되고, 기판(W)을 반송한다. 반송 챔버(100)는 측벽(100sw)을 포함하고, 측벽(100sw)은 수평 방향으로 늘어선 복수의 처리 챔버(PC)를 포함한다. 이동식 버퍼(110)는, 기판(W)의 보지가 가능하고, 처리 챔버(PC)의 늘어선 방향에 따르는 궤도(120)에 따라 이동한다. 로봇(10)은 제 1 로봇(10-1)과, 제 2 로봇(10-2)을 포함한다. 제 1 로봇(10-1)은 로드록 챔버(LL) 및 제 1 처리 챔버(PC1)와 기판(W)의 주고받음이 가능한 위치에 고정된다. 제 1 처리 챔버(PC1)는 복수의 처리 챔버(PC) 중 로드록 챔버(LL)에 가장 가까운 처리 챔버(PC)이다. 제 2 로봇(10-2)은, 복수의 처리 챔버(PC) 중 제 1 처리 챔버(PC1)와는 상이한 제 2 처리 챔버(PC2)의 적어도 1개와 기판(W)의 주고받음이 가능한 위치에 고정된다. 이동식 버퍼(110)는, 상면에서 볼 때, 측벽(100sw) 및 로봇(10)의 사이를 이동하고, 제 1 로봇(10-1)과 기판(W)의 주고받음이 가능한 위치와, 제 2 로봇(10-2)과 기판(W)의 주고받음이 가능한 위치를 통과한다.
이와 같이, 반송 장치에서는, 로봇을 고정식, 기판의 탑재 장소인 버퍼를 이동식으로 하고, 로봇 및 이동식 버퍼의 제휴 동작에 의해 기판의 반송을 실시하는 것으로 했으므로, 이동 대상을 경량화할 수 있다. 이것에 의해, 이동 기구를 간소화하는 것이 가능해져 이동 기구의 가동률이 향상하므로, 기판의 반송의 가용성을 높일 수가 있다. 따라서, 기판의 반송 효율을 향상시키는 것이 가능해진다.
새로운 효과나 변형예는 당업자에 의해 용이하게 이끌어낼 수가 있다. 이 때문에, 본 발명의 보다 광범위한 형태는, 이상과 같이 나타내고 또한 기술한 특정의 상세 및 대표적인 실시형태로 한정되는 것은 아니다. 따라서, 첨부의 청구의 범위 및 그 균등물에 의해 정의되는 총괄적인 발명의 개념의 정신 또는 범위로부터 일탈하는 일이 없이, 여러가지 변경이 가능하다.
1: 반송 시스템 5: 반송 장치
10: 로봇 10-1: 제 1 로봇
10-2: 제 2 로봇 10A: RθZ 로봇(단완 로봇)
10B: 다자유도 로봇(단완 로봇) 10C: 쌍완 로봇
10D: 쌍완 로봇 10rt: 선회 영역
11: 아암 11a: 제 1 아암
11b: 제 2 아암 12: 핸드
15: 승강 기구 20: 컨트롤러
21: 제어부 21a: 취득부
21b: 동작 제어부 22: 기억부
22a: 교시 정보 100: 반송 챔버
100c: 상벽 100f: 플로어 벽
100fi: 플로어 면 100sw: 측벽
100sw1: 제 1 측벽 100sw2: 제 2 측벽
100sw3: 제 3 측벽 100sw4: 제 4 측벽
101: 개구 110: 이동식 버퍼
110-1: 제 1 이동식 버퍼 110-2: 제 2 이동식 버퍼
111: 이동부(이동자) 112: 지주부
112s: 승강식 지주부 113: 보지부(버퍼)
113a: 지지부 120: 궤도
120-1: 제 1 궤도 120-2: 제 2 궤도
120a: 구동부(고정자) 120b: 가이드
120c: 캔 AH1: 제 1 회전축
AH2: 제 2 회전축 AH3: 제 3 회전축
AL: 리프트축 AV: 승강축
B: 베이스부 CL: 중심선
CW: 기판 중심 F: 플랜지
LL: 로드록 챔버 MG: 자석
PC: 처리 챔버 PC1: 제 1 처리 챔버
PC2: 제 2 처리 챔버 Sb: 버퍼 검출 센서
SC: 스케일 SH: 스케일 헤드
W: 기판

Claims (31)

  1. 감압 분위기를 갖는 반송 챔버에 설치되며, 늘어선 방향을 따라 연장되는 측벽을 포함하는 반송 장치에 있어서,
    상기 반송 챔버 내의 제 1 로봇 위치에 고정되고, 상기 반송 챔버 외측에 마련된 제 1 챔버와 기판을 주고받도록 구성된 제 1 로봇;
    상기 반송 챔버 내의 제 2 로봇 위치에 고정되고, 상기 측벽 상의 상기 반송 챔버 외측에 마련된 제 2 챔버와 기판을 주고받도록 구성된 제 2 로봇; 및
    이동식 버퍼를 포함하며,
    상기 이동식 버퍼는,
    상기 기판을 보지하고; 및
    늘어선 방향을 따라 연장되고, 상기 제 1 로봇 위치 및 상기 제 2 로봇 위치의 각각과 상기 측벽 사이에 위치되는 이동 궤적을 가지면서 이동하도록
    구성되고,
    상기 이동 궤적은, 상면에서 볼 때, 상기 이동식 버퍼의 상면 형상이 통과하는 영역이고,
    상기 이동 궤적은 상기 제 1 로봇과 상기 기판을 주고받는 제 1 위치와 상기 제 2 로봇과 상기 기판을 주고받는 제 2 위치를 포함하는
    반송 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 반송 챔버는 상기 측벽을 향하는 제 2 측벽을 더 포함하며,
    상기 제 1 로봇 및 상기 제 2 로봇의 각각은,
    상기 기판이 탑재되도록 구성된 핸드; 및
    아암으로서, 적어도 상기 아암의 회전 동작에 의해 상기 핸드를 이동시키도록 구성된, 상기 아암을 구비하며,
    상기 아암은 상기 측벽 및 상기 제 2 측벽과 간섭하지 않고 회전하도록 구성되는
    반송 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 측벽에는 늘어선 방향을 따라 제 2 챔버에 인접한 제 3 챔버가 추가로 설치되며,
    상기 제 2 로봇은 상기 제 2 챔버 및 상기 제 3 챔버와 상기 기판을 주고받도록 구성되는
    반송 장치.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 로봇 및 상기 제 2 로봇의 각각은, 상면에서 볼 때, 회전 동작의 회전 중심을 중심으로 상기 핸드 및 상기 아암의 최소 선회 반경에 대응하는 원형 영역이 상기 이동식 버퍼의 이동 궤적과 중첩되도록 구성되는
    반송 장치.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 이동식 버퍼는, 상면에서 볼 때, 상기 이동식 버퍼의 이동 궤적이 상기 측벽으로 향하는 상기 핸드와 중첩되도록 구성되는
    반송 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 이동식 버퍼는, 처리 후의 상기 기판을 반입하는 상기 핸드의 하부에 이동하고, 상기 핸드로부터 처리 후의 상기 기판을 수취하도록 구성되는
    반송 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 반송 챔버는 상기 측벽을 향하는 제 2 측벽을 더 포함하며,
    상기 제 2 로봇은 상기 제 2 챔버, 및 상기 제 2 측벽 상에서 상기 반송 챔버 외측에 마련된 대향 측면 챔버와 상기 기판을 주고받도록 구성되는
    반송 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 반송 장치는,
    상기 기판을 보지하고; 및
    늘어선 방향을 따라 연장되고, 상기 제 1 로봇 위치 및 상기 제 2 로봇 위치의 각각과 상기 제 2 측벽 사이에 위치되는 제 2 이동 궤적을 가지면서 이동되도록
    구성되는 제 2 이동식 버퍼를 더 포함하고,
    상기 제 2 이동 궤적은, 상면에서 볼 때, 상기 제 2 이동식 버퍼의 상면 형상이 통과하는 영역인
    반송 장치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 반송 챔버는 상기 측벽을 향하는 제 2 측벽을 더 포함하며,
    상기 제 1 챔버는 상기 측벽 상에서 상기 반송 챔버 외측에 마련되며,
    상기 제 1 로봇은 상기 제 1 챔버, 및 상기 제 2 측벽 상에서 상기 반송 챔버 외측에 마련된 대향 측면 챔버와 상기 기판을 주고받도록 고정되는
    반송 장치.
  10. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 로봇 및 상기 제 2 로봇의 각각은, 상면에서 볼 때, 회전 동작의 회전 중심이 상기 측벽과 상기 제 2 측벽 사이의 중간 위치에 위치되도록 구성되는
    반송 장치.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 이동식 버퍼는,
    액추에이터에 의해 이동하도록 구성되는 이동부;
    상기 이동부에 연결되는 지주부; 및
    상기 지주부에 의해 지지되고, 상기 기판을 수평 방향으로 보지하도록 구성되는 보지부를 구비하는
    반송 장치.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 반송 챔버는 상벽 및 저벽을 추가로 포함하며,
    상기 액추에이터는 상기 상벽 또는 상기 저벽에 고정되는
    반송 장치.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 액추에이터는 상기 상벽에 고정되며,
    상기 제 1 로봇 및 제 2 로봇 각각은 상기 저벽에 고정되는
    반송 장치.
  14. 제 11 항에 있어서,
    상기 지주부는 상기 측벽과 상기 이동 궤적 사이에 위치되며,
    상기 보지부는 상기 지주부에 의해 지지되며, 상기 기판을 지지하기 위한 상면을 형성하도록 상기 측벽으로부터 멀리 연장되는
    반송 장치.
  15. 제 3 항에 있어서,
    상기 제 2 로봇은, 상면에서 볼 때, 핸드를 상기 측벽을 향하는 채로 늘어선 방향을 따라 상기 핸드를 이동시키도록 구성되는
    반송 장치.
  16. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 2 로봇의 상기 핸드의 길이는 상기 측벽과 상기 제 2 측벽 사이의 간격의 절반보다 크고, 상기 측벽과 상기 제 2 측벽 사이의 간격보다 작은
    반송 장치.
  17. 제 1 항에 있어서,
    상기 이동식 버퍼는 복수의 기판을 동시에 보지하도록 구성되는
    반송 장치.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 이동식 버퍼는 늘어선 방향을 따라 배치된 복수의 기판을 보지하도록 구성된 병렬식 버퍼인
    반송 장치.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 병렬식 버퍼는,
    늘어선 방향을 따라 배치된 2개의 단부 지지부; 및
    늘어선 방향을 따라 상기 2개의 단부 지지부 사이에 위치된 중앙 지지부를 구비하며,
    상기 2개의 단부 지지부의 각각 및 상기 중앙 지지부는 상기 측벽으로부터 멀리 돌출되며,
    상기 중앙 지지부는 상기 2개의 단부 지지부보다 짧은
    반송 장치.
  20. 제 17 항에 있어서,
    상기 이동식 버퍼는 연직 방향을 따라 배치된 복수의 기판을 보지하도록 구성된 다단식 버퍼인
    반송 장치.
  21. 제 2 항에 있어서,
    상기 이동식 버퍼와 상기 핸드 사이의 상대적인 높이를 변화시키도록 구성된 리프터를 더 포함하며,
    상기 이동식 버퍼, 및 상기 제 1 로봇 및 상기 제 2 로봇의 각각은, 상기 핸드가 상기 이동식 버퍼와 상기 기판을 주고받는 위치에 있다면 상대적인 높이에도 불구하고, 상기 핸드가 상기 이동식 버퍼와 간섭되지 않도록 구성되는
    반송 장치.
  22. 제 21 항에 있어서,
    상기 이동식 버퍼는,
    처리 후의 기판을 보지하는 상기 핸드인 작업 핸드와의 간섭을 회피하는 제 1 퇴피 위치로 이동하고;
    상기 작업 핸드가 상기 반송 챔버로 이동한 후, 상기 작업 핸드로부터 처리 후의 기판을 수취하도록 상기 제 1 퇴피 위치로부터 제 1 반송 위치로 이동하고;
    상기 작업 핸드로부터 처리 후의 기판을 수취한 후 처리 전의 기판을 상기 작업 핸드로 전달하도록 제 2 반송 위치로 이동하도록
    구성되며,
    상기 리프터는 또한, 상기 이동식 버퍼가 상기 제 1 반송 위치로부터 상기 제 2 반송 위치까지 이동하는 동안, 상기 작업 핸드와 상기 이동식 버퍼 사이의 간섭을 회피하도록 상대적인 높이를 변화시키도록 추가로 구성되는
    반송 장치.
  23. 제 22 항에 있어서,
    상기 이동식 버퍼는, 상기 작업 핸드가 상기 제 2 반송 위치에서 처리 전의 기판을 수취한 후, 상기 반송 챔버로부터 벗어나 이동하는 상기 작업 핸드와의 간섭을 회피하도록 제 2 퇴피 위치로 이동하도록 구성되는
    반송 장치.
  24. 제 23 항에 있어서,
    상기 리프터는 또한 상대적인 높이를 변경시키도록 상기 작업 핸드를 상승 및 하강시키도록 추가로 구성되는
    반송 장치.
  25. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 로봇은,
    상기 핸드 및 상기 아암을 갖는 제 1 아암부; 및
    제 2 핸드 및 제 2 아암을 갖는 제 2 아암부를
    포함하는 쌍완 로봇인
    반송 장치.
  26. 제 25 항에 있어서,
    상기 제 1 로봇은 상기 제 1 아암부 및 상기 제 2 아암부 양자에 의해 상기 제 1 챔버와 복수의 기판을 주고받도록 구성되는
    반송 장치.
  27. 제 26 항에 있어서,
    상기 제 1 로봇은,
    상기 제 1 아암부에 의해 상기 이동식 버퍼로부터 처리 후의 기판을 수취하고;
    상기 제 2 아암부에 의해 상기 제 1 챔버로부터 상기 반송 챔버까지 처리 전의 기판을 반입하고;
    상기 제 1 아암부에 의해 처리 후의 기판을 상기 제 1 챔버로 반출하고;
    상기 제 2 아암부에 의해 처리 전의 기판을 상기 이동식 버퍼에 반송하도록
    구성되는
    반송 장치.
  28. 제 8 항에 있어서,
    상기 반송 챔버 내의 다른 로봇 위치에 고정되고, 상기 제 2 이동식 버퍼와 상기 기판을 주고받도록 구성되는 다른 로봇을 더 포함하며,
    늘어선 방향을 따른 방향에서 볼 때, 상기 측벽으로부터 상기 제 2 측벽까지, 상기 이동식 버퍼, 상기 제 2 로봇 위치, 상기 다른 로봇 위치, 및 상기 제 2 이동식 버퍼의 순서로 배치되는
    반송 장치.
  29. 감압 분위기를 갖고, 늘어선 방향을 따라 연장되는 측벽을 포함하는 반송 챔버에서 기판을 반송하는 방법에 있어서,
    상기 반송 챔버 내의 제 1 로봇 위치에 고정된 제 1 로봇에 의해 상기 반송 챔버 외측에 마련된 제 1 챔버로부터 상기 반송 챔버 내로 기판을 반입하는 것;
    이동식 버퍼를 상기 측벽과 상기 제 1 로봇 위치 사이에 위치된 이동 궤적을 갖게 하면서 수취 위치로 이동시키는 것;
    상기 제 1 로봇에 의해 상기 수취 위치에 위치된 상기 이동식 버퍼로 상기 기판을 반송하는 것;
    이동 궤적을 따라 상기 기판을 보지하는 상기 이동식 버퍼를 상기 수취 위치로부터 전달 위치로 이동시키는 것;
    상기 반송 챔버 내의 제 2 로봇 위치에 고정된 제 2 로봇에 의해 상기 전달 위치에 위치된 상기 이동식 버퍼로부터 기판을 수취하는 것 ― 상기 이동 궤적은 상기 측벽과 상기 제 2 로봇 위치 사이에 위치됨 ―; 및
    상기 제 2 로봇에 의해 상기 반송 챔버로부터 상기 측벽 상의 상기 반송 챔버 외측에 마련된 제 2 챔버로 기판을 반송하는 것을 포함하고,
    상기 이동 궤적은, 상면에서 볼 때, 상기 이동식 버퍼의 상면 형상이 통과하는 영역인
    방법.
  30. 제 29 항에 있어서,
    상기 제 1 로봇에 의해 상기 반송 챔버로부터 상기 측벽 상의 상기 반송 챔버 외측에 마련된 다른 챔버로 기판을 반송하는 것을 추가로 포함하는
    방법.
  31. 반송 시스템에 있어서,
    늘어선 방향을 따라 연장되는 측벽을 포함하며, 감압 분위기를 갖는 반송 챔버;
    상기 반송 챔버 내의 제 1 로봇 위치에 고정되고, 상기 반송 챔버 외측에 마련된 제 1 챔버와 기판을 주고받도록 구성된 제 1 로봇;
    상기 반송 챔버 내의 제 2 로봇 위치에 고정되고, 상기 측벽 상의 상기 반송 챔버 외측에 마련된 제 2 챔버와 기판을 주고받도록 구성된 제 2 로봇; 및
    상기 제 1 로봇 위치 및 상기 제 2 로봇 위치의 각각과 상기 측벽 사이에서 늘어선 방향을 따라 연장되는 이동 궤적을 갖도록 위치된 이동식 버퍼를 포함하며,
    상기 이동식 버퍼는,
    상기 기판을 보지하고; 및
    이동 궤적을 가지면서 이동되도록
    구성되며,
    상기 이동 궤적은, 상면에서 볼 때, 상기 이동식 버퍼의 상면 형상이 통과하는 영역이고,
    상기 이동 궤적은 상기 제 1 로봇과 상기 기판을 주고받는 제 1 위치와 상기 제 2 로봇과 상기 기판을 주고받는 제 2 위치를 포함하는
    반송 시스템.
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