KR101736855B1 - 기판 처리 설비 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 기판 처리 설비는 기판이 수용되는 기판 이송 용기가 놓이는 로드포트; 기판을 처리하는 공정 처리부; 및 상기 기판 이송 용기와 상기 처리부 간에 기판을 반송하는 인덱스 로봇을 구비한 인덱스부를 포함하되; 상기 공정 처리부는 기판을 반송하는 제1메인반송로봇을 가지는 그리고 상기 인덱스부와 인접하게 배치되는 제1트랜스퍼챔버; 상기 제1트랜스퍼챔버와 인접하게 배치되고, 기판을 반송하는 제2메인반송로봇을 가지는 제2트랜스퍼챔버; 및 상기 제2메인반송로봇과 상기 인덱스 로봇간의 기판 인계를 위해 상기 제1트랜스퍼 챔버와 상기 제2트랜스퍼 챔버 사이를 주행하는 셔틀 버퍼부를 포함한다.

Description

기판 처리 설비{Apparatus for Processing Substrate}
본 발명은 기판 처리 설비에 관한 것으로, 더 상세하게는 기판 세정 공정을 수행하는 기판 처리 설비에 관한 것이다.
일반적으로 기판 제조공정에서는 절연막 및 금속물질의 증착(Deposition), 식각(Etching), 감광제(PhotoResist)의 도포(Coating), 현상(Develop), 애셔(Asher) 제거 등이 수회 반복되어 미세한 패터닝(Patterning)의 배열을 만들어 나가게 되는데, 이러한 공정의 진행에 따라 기판 내에는 식각이나 애셔의 제거공정으로 완전제거가 되지 않은 이물질이 남게 된다. 이러한 이물질의 제거를 위한 공정으로는 순수(Deionized Water) 또는 약액(Chemical)을 이용한 세정공정(Wet Cleaning)이 있다.
기판 세정 장치는 한 장의 기판을 처리할 수 있는 작은 크기의 챔버(Chamber)에서 기판을 기판 척(Chuck)으로 고정시킨 후 모터(Motor)에 의해 기판을 회전시키면서, 기판 상부에서 노즐(Nozzle)을 통해 약액 또는 순수를 기판에 제공한다. 기판의 회전력에 의해 약액 또는 순수 등이 기판 상부로 퍼지며, 이에 따라, 기판에 부착된 이물이 제거된다.
도 1은 종래 기판 세정 장치(1000)의 배치 구조가 보여주는 도면으로, 일측으로부터 로딩/언로딩부(1100), 인덱스 로봇(1200), 버퍼부(1300), 공정챔버(1400), 및 메인 이송 로봇(1500)을 포함하는 구조로 이루어진다. 인덱스 로봇(1200)은 버퍼부(1300)와 로딩/언로딩부(1100) 간의 기판을 이송하며, 메인 이송 로봇(1500)은 버퍼부(1300)와 공정챔버(1400) 간의 기판을 이송한다.
이러한 기판 세정 장치(1000)는 하나의 메인 이송 로봇(1500)이 다수의 공정 챔버(1400)에 기판을 인입 및 인출하므로, 메인 이송 로봇(1500)의 이동 거리가 길이질수록 기판 이송을 위한 택트 타임(tact time)이 증가하게 된다.
이러한 기판 세정 장치(1000)에서 설비 생산량을 증가시키기 위해서는 인덱스 로봇(1200) 및 메인 이송 로봇(1500)의 핸드 및 버퍼 슬롯 수량을 늘리는 방법이 제안되었으나, 이러한 방법도 설비 생산량이 500매 이상으로 요구될 경우 한계가 있다.
한편, 도 2에서와 같이, 설비 생산량 증가를 위해 메인 이송 로봇(1500)을 2개 배치할 경우 설비 폭(L)이 2230mm에서 280mm로 증가되는 문제점이 있다.
본 발명의 실시예들은 택트 타임을 줄일 수 있는 기판 처리 설비를 제공하고자 한다.
본 발명의 실시예들은 설비의 처리량을 극대화시킬 수 있는 기판 처리 설비를 제공하고자 한다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 기판이 수용되는 기판 이송 용기가 놓이는 로드포트; 기판을 처리하는 공정 처리부; 및 상기 기판 이송 용기와 상기 처리부 간에 기판을 반송하는 인덱스 로봇을 구비한 인덱스부를 포함하되; 상기 공정 처리부는 기판을 반송하는 제1메인반송로봇을 가지는 그리고 상기 인덱스부와 인접하게 배치되는 제1트랜스퍼챔버; 상기 제1트랜스퍼챔버와 인접하게 배치되고, 기판을 반송하는 제2메인반송로봇을 가지는 제2트랜스퍼챔버; 및 상기 제2메인반송로봇과 상기 인덱스 로봇간의 기판 인계를 위해 상기 제1트랜스퍼 챔버와 상기 제2트랜스퍼 챔버 사이를 주행하는 셔틀 버퍼부를 포함하는 기판 처리 설비가 제공될 수 있다.
또한, 상기 셔틀 버퍼부는 개별적으로 이동하는 2개의 셔틀 버퍼를 포함하되; 상기 2개의 셔틀 버퍼중 어느 하나는 공정 처리전 기판들을 상기 제2메인반송로봇으로 운반하고, 다른 하나는 공정 처리후 기판들을 상기 인덱스 로봇으로 운반할 수 있다.
또한, 상기 셔틀 버퍼부는 상기 셔틀 버퍼가 주행하는 그리고 상기 제1트랜스퍼 챔버에서부터 상기 제2트랜스퍼 챔버까지 이어지는 주행축을 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 기판 처리 설비는 상기 셔틀 버퍼부의 이동시 상기 제1메인반송로봇 과의 충돌 방지를 위해 상기 제1메인반송로봇의 위치를 상기 셔틀 버퍼부의 이송경로상으로부터 벗어난 위치로 이동시키는 회피 제어부를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 공정 처리부는 상기 제1트랜스퍼챔버의 양측부에 배치되고, 적어도 2개 이상의 공정 챔버들이 적층된 제1챔버부; 및 상기 제2트랜스퍼챔버의 둘레에 배치되고, 적어도 2개 이상의 공정 챔버들이 적층된 제2챔버부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 인덱스 챔버, 상기 제1트랜스퍼챔버 그리고 상기 제2트랜스퍼챔버는 제1방향으로 배치되며, 상기 제1챔버부는 상기 제1방향과 상이한 제2방향으로 상기 제1트랜스퍼챔버의 측부에 서로 대칭되게 배치되고, 상기 제2챔버부는 상기 제1방향과 상이한 제2방향으로 상기 제2트랜스퍼챔버의 측부에 서로 대칭되게 배치될 수 있다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 제1공정 처리부; 상기 제1공정 처리부의 후방에 배치되는 제2공정 처리부; 상기 제1공정 처리부의 전방에 배치되고, 인덱스 로봇을 갖는 인덱스부; 및 상기 제2공정 처리부에서 처리될 기판을 상기 인덱스부로부터 직접 운반하는 그리고 상기 제2공정 처리부에서 처리된 기판을 상기 인덱스부로 직접 운반하는 셔틀 버퍼를 포함하는 기판 처리 설비가 제공될 수 있다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 인덱스로봇을 갖는 인덱스부; 상기 인덱스부와 접하는 고정 버퍼; 상기 고정 버퍼와 연결되고 제1메인반송로봇의 양측부에 공정챔버가 배치된 제1공정 처리부; 상기 제1공정 처리부와 이웃하고 제2메인반송로봇의 양측부에 공정챔버가 배치된 제2공정 처리부; 상기 제2메인반송로봇과 상기 인덱스로봇 간의 기판 인계를 위한 셔틀 버퍼를 포함하는 기판 처리 설비가 제공될 수 있다.
또한, 상기 셔틀 버퍼는 인덱스 로봇이 접근 가능한 제1위치부터 상기 제2메인반송로봇이 접근 가능한 제2위치까지 왕복 주행이 가능할 수 있다.
또한, 상기 기판 처리 설비는 상기 셔틀 버퍼의 이동시 상기 제1메인반송로봇 과의 충돌 방지를 위해 상기 제1메인반송로봇의 위치를 상기 셔틀 버퍼의 이송경로상으로부터 벗어난 위치로 이동시키는 회피 제어부를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 의하면, 설비의 폭을 증가시키기 않으면서도 기존보다 4개 많은 총 12개의 공정 챔버를 배치할 수 있는 각별한 효과를 갖는다.
본 발명에 의하면, 메인 반송 로봇의 승강 및 회전(방향 전환)만으로 버퍼부와 공정 챔버들 간의 기판 이송이 신속하게 이루어짐으로써 기판 이송을 위한 택트 타임(tact time)을 현저하게 감소시켜 전체적인 기판 처리 효율이 증가되는 각별한 효과를 갖는다.
본 발명에 의하면, 기존과 동일한 설비 면적 내에서 메인 반송 로봇을 갖는 2개의 공정 처리부를 일렬로 배치하되, 인덱스부에서 먼 공정 처리부에서 처리 완료된 기판은 셔틀 버퍼를 통해 이송함으로써 메인 반송 로봇의 핸드 수량 최소화가 가능하고 택트 타임(tact time) 감소로 인한 설비 생산량을 향상시킬 수 있다.
도 1 및 도 2는 종래 기판 세정 장치의 배치 구조를 보여주는 도면들이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 설비를 보여주는 평면 구성도이다.
도 4는 도 3에 도시된 기판 처리 설비의 측면 구성도이다.
도 5는 제2공정 처리부를 설명하기 위한 도면이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에서 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어 도면 부호에 상관없이 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 참조번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
본 실시예에서는 기판으로 반도체 웨이퍼를 예로 들어 설명한다. 그러나 기판은 반도체 웨이퍼 이외에 포토마스크, 평편 표시 패널 등 다양한 종류의 기판일 수 있다. 또한, 본 실시예에서는 기판 처리 설비가 기판 세정 공정을 수행하는 설비인 것을 예로 들어 설명한다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 기판 처리 설비(1)는 인덱스부(10)와 공정 처리부(20)를 포함할 수 있다.
인덱스부(10)와 공정 처리부(20)는 일렬로 배치된다. 이하, 인덱스부(10)와 공정 처리부(20)가 배열된 방향을 제 1 방향(X)이라 하고, 상부에서 바라볼 때, 제 1 방향(X)의 수직인 방향을 제 2 방향(Y)이라 하며, 제 1 방향(X)과 제 2 방향(Y)을 포함한 평면에 수직인 방향을 제 3 방향(Z)이라 정의한다.
인덱스부(10)는 기판 처리 설비의 제1방향(X) 전방에 배치된다. 인덱스부(10)는 최근 300mm 웨이퍼 반송 장치로 많이 사용되는 설비 전방 단부 모듈(equipment front end module, 이하 EFEM)이라 불리는 인터페이스일 수 있다. 인덱스부(10)는 인덱스 챔버(100)와, 기판들이 적재된 캐리어(11)가 안착되는 그리고 캐리어(11)의 덮개를 개폐하는 로드 포트(130) 그리고 대기압에서 동작되는 인덱스 로봇(120)을 포함한다.
로드 포트(130)는 복수 개가 제공되며 이들은 제 2 방향(Y)을 따라 일렬로 배치된다. 로드 포트(130)의 개수는 기판 처리 설비(1)의 공정 효율 및 풋 프린트 조건 등에 따라 증가하거나 감소할 수도 있다. 로드 포트(130)에는 기판(W)이 수납된 캐리어(11)가 안착된다. 인덱스부(10)는 로드 포트(130)들에 캐리어(11)가 로드된 상태에서 기 수납된 미처리 기판들을 반출하거나, 공정 처리된 기판들의 수납을 진행한다.
캐리어(11)로는 전면 개방 일체형 포드(Front Opening Unifed Pod;FOUP)가 사용될 수 있다. 캐리어(11)에는 기판들을 지면에 대해 수평하게 배치한 상태로 수납하기 위한 다수의 슬롯이 형성된다.
인덱스 챔버(100)는 로드 포트(130)와 이웃하여 제 1 방향으로 배치된다. 인덱스 챔버(100)는 로드 포트(130)와 제1공정 처리부(20a) 사이에 배치된다. 인덱스 챔버(100)에는 인덱스 레일(102) 및 인덱스 로봇(120)이 설치된다. 인덱스 레일(102) 상에 인덱스 로봇(120)이 안착된다.
인덱스 로봇(120)은 로드포트(130)와 공정 처리부(20) 사이에서 기판을 반송하기 위해 동작할 수 있는 것이다. 인덱스 로봇(120)은 로드 포트(130)에 놓여진 캐리어(11)로부터 일회 동작에 적어도 하나 이상의 기판을 반출하여 고정 버퍼 및 셔틀 버퍼에 반입할 수 있는 암 구조를 갖는 로봇으로 구성될 수 있다. 인덱스 챔버(100)에 설치되는 인덱스 로봇(120)은 본 실시예에서 보여주는 복수개의 암 구조의 방식 이외에도 통상적인 반도체 제조 공정에서 사용되는 다양한 로봇들이 사용될 수 있다. 예를 들어, 두 장의 기판을 하나의 암으로 핸들링 할 수 있는 더블 블레이드 구조의 암을 구비한 로봇이나, 1개의 암을 구비한 로봇 또는 이들을 혼합적으로 채용한 로봇이 사용될 수 있다.
공정 처리부(20)는 인덱스부(10)에 이웃하여 제 1 방향(X)을 따라 기판 처리 설비(1)의 후방에 배치된다. 공정 처리부(20)는 제1공정 처리부(20a)와 제2공정 처리부(20b), 고정 버퍼(30) 그리고 셔틀 버퍼부(40)를 포함한다.
도 4는 도 3에 도시된 기판 처리 설비의 측면 구성도이고, 도 5는 제2공정 처리부를 설명하기 위한 도면이다.
도 3 내지 도 5를 참조하면, 제1공정 처리부(20a)는 인덱스 챔버(130)와 이웃하여 제 1 방향으로 배치되고, 제1공정 처리부(20a)의 후방에는 제2공정 처리부(20b)가 배치된다.
제1공정 처리부(20a)는 제1메인 반송 로봇(230)이 위치한 제1트랜스퍼챔버(210)와, 제1트랜스퍼챔버(210)의 양측부즉, 제1메인 반송 로봇(230)의 양측부에 배치되는 제1챔버부(200-1)들을 포함한다. 제1챔버부(200-1)는 제3방향(Z)으로 적층된 공정 챔버(200)들을 포함한다. 본 실시예에서는 3개의 공정 챔버(200)들이 적층된 구조를 가짐으로써 제1공정 처리부(20a)는 제1메인 반송 로봇(230)이 접근 가능한 주변으로 총 6개의 공정 챔버(200)들이 배치된다.
제1메인 반송 로봇(230)은 주행축이 없는 구조로 제 3 방향(Z)을 축으로 하여 승강 및 회전이 가능한 구조를 갖는다. 이와 같이, 제1공정 처리부(20a)는 제1메인 반송 로봇(230)이 접근가능한 양측에 각각 3개의 공정 챔버(200)들이 배치되고 제1메인 반송 로봇(230)은 주행 동작이 생략되어 있기 때문에 기판 이송을 위한 택트 타임(tact time)이 현저하게 줄어들어 설비 생산량을 향상시킬 수 있다.
제1공정 처리부(20a)에서 처리될 기판들은 고정 버퍼(30)에서 대기하며, 제1공정 처리부(20a)에서 처리된 기판들도 고정 버퍼(30)에 일시적으로 대기하게 된다. 고정 버퍼(30)는 제 1 방향(X)을 따라 공정 처리부(20)의 전방에 배치된다. 좀 더 구체적으로 살펴조면, 고정 버퍼(30)는 제1메인 반송 로봇(230)과 인덱스 로봇(120) 사이에 배치된다. 고정 버퍼(30)는 제1공정 처리부(20a)와 캐리어(11) 간에 기판(W)이 반송되기 전에 기판(W)이 일시적으로 수납되어 대기하는 장소이다. 고정 버퍼(30)는 그 내부에 기판(W)이 놓이는 슬롯이 제공되며, 슬롯들은 서로 간에 제 3 방향(Z)을 따라 이격되도록 복수 개 제공된다.
제2공정 처리부(20b)는 제1공정 처리부(20a)와 이웃하여 제 1 방향으로 배치된다.
제2공정 처리부(20b)는 제2메인반송로봇(250)이 위치한 제2트랜스퍼챔버(240)와, 제2트랜스퍼 챔버(240)의 양측부, 즉 제2메인반송로봇(250)의 양측부에 배치되는 제2챔버부(200-2)를 포함한다. 제2챔버부(200-2)는 제3방향(Z)으로 적층된 공정 챔버(200)들을 포함한다. 본 실시예에서는 3개의 공정 챔버(200)들이 적층된 구조를 가짐으로써 제2공정 처리부는 제2메인 반송 로봇(250)이 접근 가능한 주변으로 총 6개의 공정 챔버(200)들이 배치된다.
제2메인 반송 로봇(250)은 제1메인 반송 로봇(230)과 동일하게 주행축이 없는 구조로 제 3 방향(Z)을 축으로 하여 승강 및 회전이 가능한 구조를 갖는다.
이와 같이, 제2공정 처리부(20b)는 제2메인 반송 로봇(250)이 접근가능한 양측에 각각 3개의 공정 챔버(200)들이 배치되고 제2메인 반송 로봇(250)은 주행 동작이 생략되어 있기 때문에 기판 이송을 위한 택트 타임(tact time)이 현저하게 줄어들어 설비 생산량을 향상시킬 수 있다.
셔틀 버퍼부(40)는 공정 처리부의 하부공간에 배치되며, 개별적으로 이동하는 2개의 셔틀 버퍼(40a,40b)를 포함한다. 제1셔틀 버퍼(40a)에는 제2공정 처리부(20b)에서 처리될 기판들이 적재되며, 제2셔틀 버퍼(40b)에는 제2공정 처리부에서 공정 처리된 기판들이 적재될 수 있다.
일 예로, 공정 처리전 기판들이 적재될 제1 셔틀 버퍼(40a)와 공정 처리후 기판들이 적재될 제2셔틀 버퍼(40b)는 인덱스 로봇(120)이 접근 가능한 제1위치(도 4에 표시된 A1)에서부터 제2메인 반송 로봇이 접근 가능한 제2위치(도 4에 표시된 A2)까지 왕복 주행이 가능하도록 제공될 수 있다. 이를 위해 공정 처리부(20)에는 제1공정 처리부(20a)에서부터 제2공정처리부(20b)까지 이어지는 셔틀 주행로(42,44)가 제공될 수 있다.
본 실시예에서는 셔틀 버퍼부(40)가 공정 처리부(20)의 하부공간에 배치되어 있는 것으로 도시하였으나, 셔틀 버퍼부(40)는 공정 처리부(20)의 하부 공간이 아닌 상부 공간에도 배치될 수 있으며, 도시하지 않았지만 셔틀 버퍼(40a,40b)의 주행을 위한 구동부는 공정 처리부 내의 파티클 관리 차원에서 공정 처리부와는 구획된 별도 공간에 제공될 수 있다.
한편, 제2공정 처리부(20b)에서 처리될 기판들은 고정 버퍼(30)에서 대기하며, 제1공정 처리부(20a)에서 처리된 기판들도 고정 버퍼(30)에 일시적으로 대기하게 된다. 고정 버퍼(30)는 제 1 방향(X)을 따라 공정 처리부(20)의 전방에 배치된다. 좀 더 구체적으로 살펴조면, 고정 버퍼(30)는 제1메인 반송 로봇(230)과 인덱스 로봇(120) 사이에 배치된다. 고정 버퍼(30)는 제1공정 처리부(20a)와 캐리어(11) 간에 기판(W)이 반송되기 전에 기판(W)이 일시적으로 수납되어 대기하는 장소이다. 고정 버퍼(30)는 그 내부에 기판(W)이 놓이는 슬롯이 제공되며, 슬롯들은 서로 간에 제 3 방향(Z)을 따라 이격되도록 복수 개 제공된다.
한편, 기판 처리 설비(1)는 제1 셔틀 버퍼(40a) 및 제2 셔틀 버퍼(40b)의 이동시 제1메인반송로봇(230)과의 충돌 및 간섭 방지를 위해 제1메인반송로봇(230)의 위치를 제1 셔틀 버퍼(40a) 및 제2 셔틀 버퍼(40b)의 이송경로상으로부터 벗어난 위치로 이동시키는 회피 제어부(290)를 갖는다. 일 예로, 회피 제어부(290)는 제1 셔틀 버퍼(40a) 및 제2 셔틀 버퍼(40b)의 주행 신호를 사전에 제공받아 제1메인반송로봇(230)이 회피 기동할 수 있도록 제1메인반송로봇(230)을 제어한다.
이와 같이, 제2공정 처리부(20b)에서 처리된 기판은 제2메인 반송 로봇(250)에 의해 제2셔틀 버퍼(40b)에 보관되고, 제2셔틀 버퍼(40b)는 제2메인 반송 로봇(250)의 동작과 무관하게 공정 처리된 기판을 인덱스 로봇(120)으로 전달함으로써 제2메인 반송 로봇의 택트 타임(tact time)을 감소시킬 수 있다.
이상 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 인덱스부 20a : 제1공정 처리부
20b : 제2공정 처리부 100 : 인덱스 챔버
120 : 인덱스 로봇 30 : 고정 버퍼
40 : 셔틀 버퍼부

Claims (10)

  1. 기판 처리 설비에 있어서:
    기판이 수용되는 기판 이송 용기가 놓이는 로드포트;
    기판을 처리하는 공정 처리부; 및
    상기 기판 이송 용기와 상기 공정 처리부 간에 기판을 반송하는 인덱스 로봇을 구비한 인덱스부를 포함하되;
    상기 공정 처리부는
    기판을 반송하는 제1메인반송로봇을 가지는 그리고 상기 인덱스부와 인접하게 배치되는 제1트랜스퍼챔버;
    상기 제1트랜스퍼챔버와 인접하게 배치되고, 기판을 반송하는 제2메인반송로봇을 가지는 제2트랜스퍼챔버; 및
    상기 제2메인반송로봇과 상기 인덱스 로봇간의 기판 인계를 위해 상기 제1트랜스퍼 챔버와 상기 제2트랜스퍼 챔버 사이를 주행하는 셔틀 버퍼부를 포함하는 기판 처리 설비.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 셔틀 버퍼부는
    개별적으로 이동하는 2개의 셔틀 버퍼를 포함하되;
    상기 2개의 셔틀 버퍼중 어느 하나는 공정 처리전 기판들을 상기 제2메인반송로봇으로 운반하고, 다른 하나는 공정 처리후 기판들을 상기 인덱스 로봇으로 운반하는 기판 처리 설비.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 셔틀 버퍼부는
    상기 셔틀 버퍼가 주행하는 그리고 상기 제1트랜스퍼 챔버에서부터 상기 제2트랜스퍼 챔버까지 이어지는 주행축을 더 포함하는 기판 처리 설비.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 기판 처리 설비는
    상기 셔틀 버퍼부의 이동시 상기 제1메인반송로봇 과의 충돌 방지를 위해 상기 제1메인반송로봇의 위치를 상기 셔틀 버퍼부의 이송경로상으로부터 벗어난 위치로 이동시키는 회피 제어부를 더 포함하는 기판 처리 설비.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 공정 처리부는
    상기 제1트랜스퍼챔버의 양측부에 배치되고, 적어도 2개 이상의 공정 챔버들이 적층된 제1챔버부; 및
    상기 제2트랜스퍼챔버의 양측부에 배치되고, 적어도 2개 이상의 공정 챔버들이 적층된 제2챔버부를 포함하는 기판 처리 설비.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 인덱스부, 상기 제1트랜스퍼챔버 그리고 상기 제2트랜스퍼챔버는 제1방향으로 배치되며,
    상기 제1챔버부는 상기 제1방향과 상이한 제2방향으로 상기 제1트랜스퍼챔버의 측부에 서로 대칭되게 배치되고,
    상기 제2챔버부는 상기 제1방향과 상이한 제2방향으로 상기 제2트랜스퍼챔버의 측부에 서로 대칭되게 배치되는 기판 처리 설비.
  7. 기판 처리 설비에 있어서:
    제1공정 처리부;
    상기 제1공정 처리부의 후방에 배치되는 제2공정 처리부;
    상기 제1공정 처리부의 전방에 배치되고, 인덱스 로봇을 갖는 인덱스부; 및
    상기 제2공정 처리부에서 처리될 기판을 상기 인덱스부로부터 직접 운반하는 그리고 상기 제2공정 처리부에서 처리된 기판을 상기 인덱스부로 직접 운반하는 셔틀 버퍼를 포함하는 기판 처리 설비.
  8. 기판 처리 설비에 있어서:
    인덱스로봇을 갖는 인덱스부;
    상기 인덱스부와 접하는 고정 버퍼;
    상기 고정 버퍼와 연결되고 제1메인반송로봇의 양측부에 공정챔버가 배치된 제1공정 처리부;
    상기 제1공정 처리부와 이웃하고 제2메인반송로봇의 양측부에 공정챔버가 배치된 제2공정 처리부; 및
    상기 제2메인반송로봇과 상기 인덱스로봇 간의 기판 인계를 위한 셔틀 버퍼를 포함하는 기판 처리 설비.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 셔틀 버퍼는
    상기 인덱스 로봇이 접근 가능한 제1 위치부터 상기 제2메인반송로봇이 접근 가능한 제2위치까지 왕복 주행이 가능한 기판 처리 설비.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 기판 처리 설비는
    상기 셔틀 버퍼의 이동시 상기 제1메인반송로봇 과의 충돌 방지를 위해 상기 제1메인반송로봇의 위치를 상기 셔틀 버퍼의 이송경로상으로부터 벗어난 위치로 이동시키는 회피 제어부를 더 포함하는 기판 처리 설비.
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