KR101077566B1 - 기판 처리장치 및 이의 기판 이송 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (23)
- 기판의 처리가 이루어지는 공정 모듈;상기 공정 모듈의 전단에 설치되고, 기판들을 수납하는 적어도 하나의 수납용기를 적재하며, 적재된 수납용기와 상기 공정 모듈 간에 기판의 이송이 이루어지는 메인 적재부;상기 메인 적재부의 상부에 위치하고, 상기 기판들을 수납하는 적어도 하나의 수납용기를 적재하며, 수평 이동하여 상기 공정 모듈 내부로 인입 및 인출되는 버퍼 적재부; 및상기 버퍼 적재부의 상부에 위치하고, 상기 메인 적재부와 상기 버퍼 적재부 간에 상기 수납용기를 이송하는 적어도 하나의 이송 유닛을 포함하되,상기 버퍼 적재부는 상기 수납용기가 적재되는 적어도 하나의 버퍼 포트를 포함하고,상기 메인 적재부는 상기 수납용기를 적재할 수 있는 적어도 하나의 로드 포트를 포함하고,상기 버퍼 포트는 수평 이동하여 상기 공정 모듈 내부로 인입 및 인출되고 상기 로드 포트의 상부에서 상기 로드 포트와 마주하게 배치되고,상기 이송 유닛은 상기 공정 모듈 내부로 인입 및 인출되되,상기 이송 유닛은,상기 공정 모듈의 내부에 구비된 이송 레일; 및상기 이송 레일에 결합되고, 상기 이송 레일을 따라 수평 이동하여 상기 공정 모듈 내부로 인입 및 인출되며, 상기 버퍼 포트 또는 상기 로드 포트에 적재된 상기 수납용기를 픽업하여 이송하는 용기 이송부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
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- 제1항에 있어서, 상기 버퍼 포트는,상기 공정 모듈 내부에 구비된 가이드 레일; 및상기 수납용기가 안착되며, 상기 가이드 레일에 결합되고, 상기 가이드 레일을 따라 수평 이동하여 상기 공정 모듈 내부로 인입 및 인출되는 스테이지를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 삭제
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- 제1항에 있어서, 상기 용기 이송부는,상기 이송 레일에 결합되어 상기 이송 레일을 따라 수평 이동하는 몸체; 및상기 몸체의 하부에 결합되고, 승강 및 하강하며, 상기 수납용기를 픽업하는 픽업부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 제1항, 제4항 및 제7항 중 어느 한 항에 있어서,상기 메인 적재부는 상기 로드 포트를 다수 구비하고,상기 버퍼 적재부는 상기 버퍼 포트를 다수 구비하며,다수의 버퍼 포트는 다수의 로드 포트와 동일한 방향으로 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 제8항에 있어서,상기 이송 유닛은 다수 구비되고,다수의 이송 유닛과 상기 다수의 버퍼 포트 및 상기 다수의 로드 포트는 각각 서로 일대일 대응하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 제1항에 있어서, 외부로부터 상기 수납 용기를 반송하여 상기 버퍼 적재부 또는 상기 메인 적재부에 적재하고, 상기 버퍼 적재부 또는 메인 적재부에 적재된 상기 수납 용기를 외부로 반송하는 물류 이송 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 기판의 처리가 이루어지는 공정 모듈;상기 공정 모듈의 전단에 설치되고, 기판들을 수납하는 수납용기를 각각 적재하며, 적재된 수납용기와 상기 공정 모듈 간에 기판의 이송이 이루어지는 다수의 로드포트;상기 로드 포트들의 상부에 위치하고, 각각 상기 수납용기를 적재하며, 수평 이동하여 상기 공정 모듈 내부로 인입 및 인출되는 다수의 버퍼 포트; 및상기 버퍼 포트들의 상부에 위치하고, 상기 로드 포트들과 상기 버퍼 포트들 간에 상기 수납용기를 이송하는 다수의 이송 유닛을 포함하고,상기 로드 포트들과 상기 버퍼 포트들 및 상기 이송 유닛들은 서로 일대일 대응하게 위치하며,각 이송 유닛은 대응하는 로드 포트와 대응하는 버퍼 포트 간에 상기 수납용기를 이송하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 제11항에 있어서, 상기 각 이송 유닛은 상기 공정 모듈 내부로 인입 및 인출되는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 제11항 및 제12항 중 어느 한 항에 있어서, 외부로부터 상기 수납 용기를 반송하여 상기 버퍼 포트들 및 상기 로드 포트들 중 어느 하나에 적재하고, 상기 버 퍼 포트들 및 상기 로드 포트들 중 어느 하나에 적재된 상기 수납 용기를 외부로 반송하는 물류 이송 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 처리 대기중 기판들이 수납된 수납용기를 반입하여 공정 모듈 내부로 인입 및 인출 가능한 버퍼 적재부에 적재하는 단계;상기 공정 모듈에 상기 기판을 투입하여 처리하기 위해 상기 버퍼 적재부로부터 처리 대기 중인 수납용기를 픽업한 후 수직 이동시켜 메인 적재부에 적재하는 단계; 및처리 완료된 기판들이 수납된 수납용기를 상기 메인 적재부로부터 픽업하여 외부로 반출하는 단계를 포함하고,상기 처리 대기중인 수납용기를 상기 메인 적재부로 이송시 또는 상기 처리 완료된 수납용기를 상기 메인 적재부로부터 반출시, 상기 버퍼 적재부는 상기 공정 모듈 내부로 인입되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 방법.
- 제14항에 있어서, 상기 처리 대기중인 수납용기를 상기 버퍼 적재부에 적재하는 단계는,물류 이송 유닛이 상기 처리 대기중인 수납용기를 외부로부터 반입하는 단계; 및상기 물류 이송 유닛이 상기 버퍼 적재부의 다수의 버퍼 포트 중 유휴 상태의 버퍼 포트에 상기 처리 대기중인 수납용기를 적재하는 단계를 포함하는 것을 특 징으로하는 기판 이송 방법.
- 제15항에 있어서, 상기 처리 대기중인 수납용기를 상기 메인 적재부에 적재하는 단계는,상기 메인 적재부의 다수의 로드 포트 중 유휴 상태의 로드 포트와 마주하는 버퍼 포트로부터 상기 처리 대기중인 수납용기를 픽업하는 단계;상기 유휴 상태의 로드 포트와 마주하는 버퍼 포트를 상기 공정 모듈 내부로 인입시키는 단계; 및상기 처리 대기중인 수납용기를 상기 유휴 상태의 로드 포트에 적재하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 방법.
- 제16항에 있어서,상기 처리 대기중인 수납용기를 상기 버퍼 적재부로부터 상기 메인 적재부로 이송하는 단계는, 상기 버퍼 적재부의 상부에 상기 공정 모듈 안으로 인입 및 인출 가능하도록 설치되는 다수의 이송 유닛에 의해 이루어지며,각 이송 유닛은 서로 마주하는 버퍼 포트와 로드 포트 간에 상기 처리 대기중인 수납용기를 이송하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 방법.
- 제17항에 있어서, 상기 처리 완료된 수납용기를 외부로 반출하는 단계는,상기 처리 완료된 수납용기가 적재된 로드 포트와 마주하는 버퍼 포트를 상 기 공정 모듈 안으로 인입시키는 단계; 및상기 물류 이송 유닛이 상기 처리 완료된 수납용기를 해당 로드 포트로부터 픽업하여 이송하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 방법.
- 공정 모듈에 기판을 투입하여 처리하기 위해 처리 대기중 기판들이 수납된 수납용기를 반입하여 메인 적재부에 적재하는 단계;처리 완료된 기판들이 수납된 수납용기를 상기 메인 적재부로부터 픽업한 후 상기 메인 적재부의 상부에 설치되어 상기 공정 모듈 내부로 인입 및 인출 가능한 버퍼 적재부에 적재하는 단계; 및상기 버퍼 적재부로부터 처리 완료된 수납용기를 픽업하여 외부로 반출하는 단계를 포함하고,처리 대기중인 수납용기를 상기 메인 적재부로 이송시 또는 상기 처리 완료된 수납용기를 상기 버퍼 적재부로 이송시, 상기 버퍼 적재부는 상기 공정 모듈 내부로 인입되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 방법.
- 제19항에 있어서, 상기 처리 대기중인 수납용기를 상기 메인 적재부에 적재하는 단계는,물류 이송 유닛이 상기 처리 대기중인 수납용기를 외부로부터 반입하는 단계; 및상기 물류 이송 유닛이 상기 메인 적재부의 다수의 로드 포트 중 유휴 상태 의 로드 포트에 상기 처리 대기중인 수납용기를 적재하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 방법.
- 제20항에 있어서, 상기 처리 완료된 수납용기를 상기 버퍼 적재부에 적재하는 단계는,상기 버퍼 적재부의 다수의 버퍼 포트 중 상기 처리 완료된 수납용기가 적재된 로드 포트와 마주하는 버퍼 포트를 상기 공정 모듈 안으로 인입시키는 단계;상기 처리 완료된 수납용기가 적재된 로드 포트에 대응하는 이송 유닛이 상기 처리 완료된 수납용기를 해당 로드 포트로부터 픽업한 후 상부로 수직 이동시키는 단계;해당 로드 포트의 바로 위에 위치하는 버퍼 포트를 상기 공정 모듈로부터 인출시키는 단계; 및상기 이송 유닛이 해당 버퍼 포트에 픽업한 수납용기를 적재하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 방법.
- 제21항에 있어서,상기 이송 유닛은 상기 버퍼 포트들의 상부에 다수 설치되며, 각 이송 유닛은 서로 마주하는 버퍼 포트와 로드 포트 간에 상기 처리 완료된 수납용기를 이송하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 방법.
- 제22항에 있어서,상기 처리 완료된 수납용기를 외부로 반출하는 단계는, 상기 물류 이송 유닛에 의해 이루어지며, 상기 이송 유닛은 대응하는 버퍼 포트 또는 대응하는 로드 포트에 상기 물류 이송 유닛이 접근시 상기 공정 모듈 안으로 인입되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 방법.
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