KR20130024001A - 버퍼링을 이용한 이송 장치 및 이송 방법 - Google Patents

버퍼링을 이용한 이송 장치 및 이송 방법 Download PDF

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김영준
마사히코 우치야마
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로체 시스템즈(주)
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Abstract

본 발명은 OHT의 풉 반송 효율을 증가시키기 위하여 환상 궤도의 내부 공간에 버퍼부를 설치하여 OHT가 처리 완료된 풉을 이송하는 동안 저장부 내에 적재되어 있는 풉을 저장부의 버퍼 이송 장치를 이용하여 로드 포트로 적재시켜 프로세싱함으로써 메인 OHT가 풉을 반송시키고 새로운 풉을 가지고 돌아오는 시간동안 새로운 풉을 프로세싱할 수 있도록 함으로써 OHT의 풉 이송 효율을 높일 수 있도록 하는 버퍼링을 이용한 이송 장치 및 이송 방법을 제공하는 것이다.

Description

버퍼링을 이용한 이송 장치 및 이송 방법{Transfer unit and the method which use a buffering}
본 발명은 풉 이송 시스템 및 이송 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 처리 공정 내에 추가 설치된 버퍼부의 버퍼링을 이용하여 OHT의 풉 이송 효율을 높일 수 있도록 하는 이송 장치 및 이송 방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 공정에서 프로세스 머신은 클린 룸 내의 공정내 원형으로 배치되는 이송 레일을 따라 비치되어, 웨이퍼의 각종 표면 처리(박막 형성, 포토 리소그래피, 세정, 에칭 검사 등)와 같은 일련의 처리 공정에 필요한 프로세스를 행하게 된다.
상기 프로세스를 행하기 위해 이송 레일을 따라 이동하는 OHT(Overhead Hoist Transport: OHT)를 이용해서 상기 웨이퍼를 수납한 풉(Front Opening Unified Pod: FOUP)을 OHT를 사용하여 각각의 프로세스 머신의 로드 포트로 적재하여 프로세스를 시작하고, 프로세스가 끝난 후 로드 포트로부터 풉을 반송하는 과정을 통하여 웨이퍼를 처리하게 된다.
상기 웨이퍼의 각종 표면 처리를 하는 프로세스 머신은 환상 궤도 방향으로 돌출 형성된 다수의 로드 포트, 인덱스 로봇, 저장부, 다수의 공정챔버, 및 메인이송 로봇을 포함하는 구조로 이루어진다.
다수의 로드 포트에는 기판들이 수납된 풉(FOUP)이 각각 적재되며, 인덱스 로봇은 풉에 수납된 기판을 저장부로 이송하고, 메인 이송 로봇은 저장부에 수납된 기판을 각 공정 챔버로 이송한다. 메인 이송 로봇은 공정 챔버에서 프로세싱이 완료된 기판을 저장부에 적재하고, 인덱스 로봇은 프로세싱이 완료된 기판을 저장부로부터 인출하여 다시 풉에 수납하고, 수납이 완료되면 해당 풉은 외부로 반송된다.
이때, 풉은 OHT에 의해 이송된다. OHT는 프로세스 장치에서 처리되지기 전의 기판들이 수납된 풉을 이송하여 비어 있는 로드 포트에 적재하고, 프로세싱이 완료된 기판들이 수납된 풉을 로드 포트로부터 픽업하여 외부로 반송한다.
이하, 종래 반도체 공정 장비의 풉 이송 동작을 살펴보면 다음과 같다.
일반적으로 반도체 공정 장비의 프로세스 머신은 일측으로부터 다수의 로드 포트, 인덱스 로봇, 저장부, 다수의 공정챔버, 및 메인이송 로봇을 포함하는 구조로 이루어진다.
기판의 프로세싱을 위하여 기판이 수납되어 있는 풉을 프로세스 머신의 로드 포트에 적재해야 한다.
일반적으로, 풉은 OHT에 의해 이송된다. OHT는 공정 처리 전의 기판들이 수납된 풉을 이송하여 비어 있는 로드 포트에 적재하고, 공정 처리된 기판들이 수납된 풉을 로드 포트로부터 픽업하여 외부로 반송하게 되는 것이다.
즉, OHT에 의해 로드 포트에 풉이 적재되면 인덱스 로봇은 풉에 수납된 기판을 저장부로 이송하고, 메인 이송 로봇은 저장부에 수납된 기판을 각 공정 챔버로 이송한다. 메인 이송 로봇은 공정 챔버에서 공정 처리가 완료된 기판을 저장부에 적재하고, 인덱스 로봇은 공정 처리가 완료된 기판을 저장부로부터 인출하여 다시 풉에 수납하여 프로세싱을 완료하게 된다. 프로세싱이 완료된 해당 풉은 OHT에 의해 외부로 반송된다.
하지만, 상기와 같은 풉 이송방식을 보면 이러한 OHT는 불합리한 사이클로 운행되기 때문에, 풉으로부터 기판들을 인출하여 공정 진행 완료 후 다음의 공정을 진행 시작하기까지의 대기 시간이 길어진다.
특히, 기술 개발을 통해 세정장치의 효율이 향상됨에 따라 기판의 공정 시간은 단축되고 있으나, OHT는 여전히 불합리한 사이클로 운행되고 있다. 이로 인해, OHT의 풉 반송 효율이 더욱 감소하고, 공정 장비의 유휴시간이 증가하며, 생산성이 저하된다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 OHT의 풉 반송 효율을 증가시키기 위하여 환상 궤도의 내부 공간에 버퍼부를 설치하여 OHT가 처리 완료된 풉을 이송하는 동안 버퍼부 내에 적재되어 있는 풉을 저장부의 버퍼 이송장치를 이용하여 로드 포트로 로드시켜 프로세싱함으로써 메인 OHT가 새로운 풉을 가지고 돌아오는 시간동안 대기하지 않고 버퍼부에서 새로운 풉을 로드 포트에 로드시켜 프로세싱할 수 있도록 함으로써 OHT의 풉 이송 효율을 높일 수 있도록 하는 버퍼링을 이용한 이송 장치 및 이송 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 버퍼링을 이용한 이송 장치는 하나의 사이클을 이루도록 하는 원형으로 형성되며, 반도체 공장(FAB)의 천정에 설치되어 있는 이송레일; 상기 이송 레일과 결합하여 풉을 이송할 수 있도록 하는 OHT; 상기 이송레일의 한 측을 따라 일렬로 배치되며 풉이 적재되는 로드 포트를 구비하며 웨이퍼를 처리하는 프로세스 머신; 상기 이송레일을 중심으로 프로세스 머신의 반대측에 일렬로 배치되어 풉을 저장할 수 있도록 하는 버퍼부; 및 프로세스 머신의 프로세싱의 시작과 끝을 체크하여 풉을 이송시킬 수 있도록 하는 중앙제어서버를 포함한다.
상기 버퍼부는 내부에 공간이 형성되어 풉을 적재할 수 있도록 하는 보관부; 상기 보관부의 하단에 설치되며 보관부의 내부 및 외부로 슬라이딩 이동이 가능한 버퍼 포트; 상기 보관부의 상단에 슬라이딩 이동 가능하도록 설치되며 보관부의 풉과 결합하여 풉을 상하이동 가능하도록 하는 버퍼 이송장치;를 포함한다.
상기 버퍼 이송장치는 상기 보관부의 상단에 설치되며 버퍼 이송장치를 좌우방향으로 설치되는 좌우 이송 레일; 상기 좌우 이송레일과 결합되며 보관부의 외부로 인출 및 내부로 인입될 수 있는 슬라이딩부; 상기 보관함에 적재된 풉과 결합할 수 있도록 하는 풉 결합부; 상기 슬라이딩부와 결합되며 슬라이딩부를 따라 보관부 외부로 인출되어 풉 결합부를 승강 및 하강 가능하도록 하는 상하 이동부를 포함한다.
상기 버퍼 포트는 일렬방향으로 로드 포트와 대응되도록 다수개 설치 가능한 것을 특징으로 한다.
상기 버퍼부는 보관부의 크기에 따라 다수의 단으로 형성 가능한 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 버퍼링을 이용한 이송 방법은 풉을 로드 포트에 적재하여 프로세싱을 시작하는 단계; 프로세싱이 끝나면 OHT로 신호를 보내어 풉을 반송시키는 단계; 풉이 반송되면 버퍼부의 버퍼 이송장치를 통하여 보관부에 적재되어 있는 풉을 이송시키는 단계; 상기 이송된 풉을 로드 포트에 적재시킨 후 프로세싱을 시작하는 단계; 상기 프로세싱 중에 OHT가 새로운 풉을 이송해오는 단계; 버퍼부의 버퍼 포트가 외부로 인출되는 단계; 상기 인출된 버퍼 포트에 새로운 풉을 적재시키는 단계; 풉이 적재된 버퍼 포트를 보관부 내부로 인입시키는 단계; 프로세싱이 완료된 로드 포트의 풉을 OHT를 통해 외부로 반송시키는 단계;를 포함한다.
한편, 2단 보관부에 있는 버퍼 포트 및 버퍼 이송장치가 외부로 인출되는 단계; 버퍼 이송장치가 인출된 버퍼 포트의 풉과 결합하는 단계; 외부로 인출된 버퍼 포트가 보관부로 인입되고 버퍼 이송장치를 하강시켜 로드 포트에 적재시켜 프로세싱을 시작하는 단계; OHT가 새로운 풉을 이송해 오면 2단 보관부의 버퍼 포트를 외부로 인출하는 단계; 상기 인출된 버퍼 포트에 새로운 풉을 적재시키는 단계; 프로세싱이 끝난 풉을 외부로 반송시키는 단계;를 더 포함할 수 있다.
이와 같이 본 발명에 따르면, 프로세스 머신에 의하여 풉의 공정처리가 완료된 후 OHT가 풉을 반송하는 동안 비어있는 로드 포트에 버퍼부에 적재되어 있는 풉을 로드함으로써 OHT가 처리 완료된 풉을 이송하는 동안의 시간을 효율적으로 활용하으로써 OHT의 이동시간에 따르는 프로세싱 대기시간을 줄일 수 있고, OHT를 효율적으로 활용할 수 있어 생산성을 증가시킬 수 있는 이점이 있다.
도 1 은 본 발명인 버퍼링을 이용한 이송 장치의 전체 구성을 나타낸 측면도이다.
도 2 는 본 발명에서 버퍼부와 로드 포트를 나타내는 정면도이다.
도 3 은 도 2 의 A 부분을 확대해서 나타낸 확대도이다.
도 4 는 본 발명인 버퍼링을 이용한 이송 장치의 동작 중 버퍼부에서 풉을 로드 포트로 로드하는 단계 까지를 나타내는 동작 순서도이다.
도 5 는 본 발명인 버퍼링을 이용한 이송 장치의 동작 중 새로운 풉을 버퍼부에 적재한 후 처리 완료된 풉을 이송하는 단계 까지를 나타내는 동작 순서도이다.
도 6 은 본 발명인 버퍼링을 이용한 이송 장치의 동작 중 버퍼부의 2단 보관함의 풉을 로드하고 적재하는 단계 까지를 나타내는 동작 순서도이다.
도 7 은 본 발명인 버퍼링을 이용한 이송 장치의 동작에 따른 신호의 흐름을 나타내는 흐름도이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다.
일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명한다.
도 1 내지 도 3 은 본 발명인 버퍼링을 이용한 이송 장치의 전체 구성을 나타낸다.
도 1 을 참조하면 본 발명에 의한 이송 장치는 반도체 공장(FAB) 내에 설치되어 있는 프로세스 머신(100)과, 풉 이송장치(Overhead Hoist Transport: 이하 OHT, 200)와, 버퍼부(300) 및 중앙제어서버(도면 미도시)를 포함할 수 있다.
상기 프로세스 머신(100)은 OHT 이송레일(210)의 원형 바깥쪽 측을 따라 일렬로 배치되며 풉이 적재되는 다수개의 로드 포트(110)를 구비한다. 상기 로드 포트(110)에는 풉(10)이 적재되며, 적재된 풉(10)의 내부에 수납되어 있는 웨이퍼를 프로세스 머신(100)이 공정 처리하는 프로세싱 작업을 진행하게 된다.
상기 로드 포트(110)들은 지면에 대해 수평 방향으로 설치되며, OHT 이송레일을 따라 일렬로 배치된다. 로드 포트(110)의 상면에는 풉(10)을 고정시킬 수 있는 고정부를 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 로드 포트(110)의 상면에는 고정돌기가 형성되어 있어 상기 고정돌기가 풉의 하면과 결합되어 풉이 좌우로 이동하지 않도록 고정시킬 수 있다. 또한, 상기 고정부는 상기 로드 포트에 적재된 풉과 결합하여 풉을 로드 포트에 고정시킨다.
상기 프로세스 머신(100)은 로드 포트(110)에 적재된 풉(10)으로부터 미처리된 웨이퍼를 인출하여 처리 공정이 이루어질 수 있도록 하며, 처리된 웨이퍼들은 다시 풉으로 삽입되어 공정을 완료한다.
상기 OHT(200)는 반도체 공장(FAB)의 천장에 설치되어 있는 OHT 이송 레일(210)과 결합하는 이동부(220)를 포함한다. 한편, 상기 OHT(200)는 풉(10)과 결합하여 풉(10)을 이송시킬 수 있도록 하는 풉 결합부(230)를 포함하고 있으며, 상기 풉 결합부(230)를 상하로 승하강 시킬 수 있도록 하는 승하강부(240)를 포함한다.
상기 OHT 이송 레일(210)은 프로세스 머신(100)이 설치되는 반도체 처리 라인을 따라 설치되며, OHT는 이동부(220)가 상기 OHT 이송 레일(210)을 따라 이동하여 외부로부터 풉(10)을 반입하여 프로세스 머신(100)의 로드 포트(110)에 적재한다. 또한, 상기 OHT(200)는 로드 포트(110)에 적재된 풉(10)들 중에서 프로세싱이 완료된 풉을 픽업하여 외부로 반출시킨다.
상기 승하강부(240)는 일단에 풉 결합부(230)가 결합되어 있고 타단은 상기 이동부(220)와 결합된다. 상기 승하강부(240)는 길이 조절이 가능한 와이어(241)를 포함하며 와이어의 길이를 조절하여 풉 결합부(230)를 승강 및 하강시킨다.
즉 상기 풉 결합부(230)가 로드 포트(110)의 상부에 위치하면 상기 승하강부(240)는 와이어를 풀어 풉 결합부(230)가 하강할 수 있도록 하여 로드 포트(110)의 상면에 적재시킨다. 상기 풉(10)이 로드 포트(110)의 상면에 적재되면 상기 승하강부(240)가 와이어를 감아올려 풉 결합부(230)를 승강시켜 버퍼부(300)에 적재된 풉들과 간섭되지 않도록 한다.
상기 버퍼부(300)는 OHT 이송 레일(210)을 중심으로 프로세서 머신(100)의 반대측에 위치하며, 내부에 풉을 보관할 수 있는 보관부(310)와, 상기 보관부(310) 하단에 설치되는 버퍼 포트(320)와, 상기 보관부(310) 상단에 설치되는 버퍼 이송장치(330)를 포함한다.
상기 각 버퍼 포트(320)는 수평 이동하여 상기 보관부 내부로 인입 및 인출 가능하다. 예를들면, 상기 각 버퍼 포트(320)는 상기 보관함 내부에 구비된 가이드 레일(321)과 결합되며, 상기 가이드 레일(321)은 상기 보관부(310) 내부 하단의 양측 내측벽에 설치된다.
상기 가이드 레일(321)과 버퍼 포트(320)가 결합되어 슬라이딩 이동하여 보관부(310)의 외부로 인출 및 내부로 인입될 수 있도록 한다. 예를 들면, 상기 버퍼 포트(320)는 상기 가이드 레일(321)을 따라 수평 이동하여 보관부의 내부로 인입 및 인출된다. 상기 보관부(310)는 각 버퍼 포트(320)에 대응하여 다수의 출입구가 형성된다. 각 출입구는 하나의 버퍼 포트(320)에 대응하여 위치하고, 풉(10)과 함께 버퍼 포트(320)가 출입할 수 있을 정도의 크기로 형성된다. 상기 버퍼 포트(320)는 수평 이동시 출입구를 통해 보관부(310)의 내부로 인입 및 인출된다.
한편, 버퍼 포트(320)는 상면에 적재된 풉(10)의 하단과 결합하여 풉을 고정시키기 위한 다수의 고정부(도면 미도시)를 더 구비할 수 있다. 예를 들면, 상기 고정부는 로드 포트(110)에 형성된 고정부(111)와 같이 고정 돌기로 형성되어 풉(10)의 하면에 형성되어 있는 홀에 삽입되어 풉(10)이 좌우로 움직이지 않도록 결합시킨다.
상기 버퍼 이송장치(330)는 상기 보관부(310)의 상단의 내면에 설치되며, 보관함에 보관되어 있는 풉을 보관함 외부로 인출시켜 로드 포트로 적재 시키는 것이 가능하다. 예를 들면, 상기 버퍼 이송장치(330)는 보관부의 상단면에 좌우방향으로 설치되어 있는 좌우 이송 레일(331)과 결합하여 좌우로 이동할 수 있도록 되어 있다. 한편, 상기 버퍼 이송장치(330)를 보관부의 외부로 인출될 수 있도록 하는 슬라이딩부(332) 및 상기 슬라이딩부(332)에 의해 외부로 인출된 후 풉을 하강시킬 수 있는 상하 이동부(333)를 포함한다. 또한, 상기 버퍼 이송장치(330)는 풉(10)과 결합하여 풉(10)을 이송시킬 수 있는 풉 결합부(334)를 포함한다.
상기 중앙제어서버(400)는 프로세스 머신(100)의 프로세싱 완료 신호를 받아 OHT(200)로 신호를 보내어 처리 완료된 풉(10)을 외부로 반송시키도록 하고, 버퍼부(300)에 신호를 보내어 보관부(310) 내에 적재되어 있는 풉(10)을 로드 포트(110)에 적재할 수 있도록 한다. 예를 들면, 프로세스 머신(100)에서 프로세싱 완료 신호가 들어오면 중앙제어서버(400)는 OHT(200)에 신호를 보내어 처리 완료된 풉(10)을 반송하도록 한다. OHT(200)가 처리 완료된 풉(10)을 반송시켜 로드 포트(110)에서 이동하게 되면 버퍼부(300)에 신호를 보내어 보관부(310) 내에 적재되어 있는 풉(10)을 이동시켜 로드 포트(110)에 적재할 수 있도록 한다.
한편, 상기와 같이 버퍼부(300)로부터 풉(10)이 적재되어 프로세싱이 시작된 이후에 OHT(200)에 신호를 보내어 새로운 풉(10)을 이송시켜 버퍼부(300)의 보관부(310)로 적재할 수 있도록 한다. 즉, OHT(200)가 처리 완료된 풉(10)을 외부로 반송시키고 새로운 풉을 이송시켰을 경우 로드 포트(100)에 풉이 존재하면 공간이 있는 버퍼부(300)의 보관부(310)로 풉(10)을 적재할 수 있도록 하는 것이다.
이하, 도면을 참조하여 풉(10)이 프로세스 머신(100)으로 이송되는 과정과 공정 완료된 풉(10)을 외부로 이송하는 과정을 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
도 4 내지 도 6 은 반도체 처리 공정에서 풉을 이송하는 과정을 나타내는 공정도이다.
도 4 를 참조하면, 버퍼부(300)의 보관부(310)에는 공정 대기중인 풉(10)이 적재되어 있다. OHT(200)는 외부로부터 공정 대기중인 풉(10)을 반입하여 유휴상태인 로드 포트(110)에 적재한다.
로드 포트(110)에 적재되면 프로세스 머신은 적재된 풉에 대하여 프로세싱을 시작하게 되고, 프로세싱이 끝나면 중앙제어서버(400)가 OHT(200)에 신호를 보내어 처리가 끝난 풉을 외부로 이송시키도록 한다.(S100)
상기 프로세싱이 끝나면 프로세스 머신은 프로세싱이 끝났음을 알리게 되고, OHT는 처리가 끝난 풉을 외부로 이송시킨다.(S110)
이때, OHT(200)가 풉을 결합하여 들어올리고 외부로 반출시킨 후 새로운 풉을 다시 가져오기까지는 시간이 걸리게 된다. 따라서, 로드 포트(110)에서 처리 완료된 풉이 OHT(200)에 의하여 반출되면 버퍼부(300)의 보관부(310)에 적재되어 있는 풉을 로드 포트(110)에 적재한다.(S200)
예를 들면, 버퍼부(300)의 보관부(310)에 적재되어 있는 풉(10)을 이송하는 방법은 풉이 적재되어 있는 보관부(310)의 버퍼 이송장치(320)가 풉과 결합하여 풉을 들어올린 후 슬라이딩부(332)의 슬라이딩 동작을 통하여 버퍼 이송장치(320)를 외부로 인출시킨다. 인출된 버퍼 이송장치(320)는 상하 이동부(333)를 통하여 풉 결합부(334)를 하강시켜 로드 포트에 적재시키게 된다.(S120)
상기와 같이 로드 포트(110)에 풉이 적재 완료되면 프로세스 머신(100)은 풉에 수납되어 있는 웨이퍼를 처리하는 프로세싱을 시작한다.
한편, 도 5 를 참고하면, 보관함(310)에 있는 풉이 프로세싱 되고 있는 중에 OHT(200)가 새로운 풉을 가지고 로드 포트(110)의 상부로 도착하게 된다. 하지만, 로드 포트에는 풉이 적재되어 있기 때문에 새로운 풉을 보관함으로 적재해야 한다.(S210)
상기와 같이 로드 포트에 풉이 적재되어 프로세싱 되고 있는 도중에 OHT가 새로운 풉을 가져오는 경우에는 보관부(310)의 버퍼 포트(320)가 외부로 인출된다. OHT는 외부로 인출된 버퍼 포트(320)에 풉을 하강시켜 적재시키게 되고(S220), 풉이 버퍼 포트(320)에 적재되어 고정이 완료되면 버퍼 포트(320)를 인입시켜 보관부(310) 내부로 인입되어 보관한다.(S230)
이후, 로드 포트(110)에 적재되어 있는 풉의 프로세싱이 완료되게 되면 OHT는 처리 완료됨 풉을 외부로 이송시키게 된다.(S240)
OHT(200)가 처리 완료된 풉(10)을 외부로 이송시키는 동안 보관부(310)에서 다시 풉을 로드 포트(110)로 적재하여 프로세싱이 이루어질 수 있도록 함으로써(S120, S200) OHT(200)의 이송시간동안 빠르게 새로운 풉을 적재시켜 프로세싱 시킬 수 있도록 하는 것이다.
한편, 상기 보관부(310)가 다단으로 구성되어 더 많은 양의 풉을 보관할 수 있는데, 2단으로 구성되어 있는 예를 통하여 하단부의 풉을 로드 포트(110)로 이송시키는 경우를 도 6 을 참고하여 살펴보면 다음과 같다.
보관부(310)의 하단에 적재되어 있는 풉은 버퍼 이송장치(330)가 보관부(310) 내부에서 결합이 안 되기 때문에 다른 방법을 통하여 풉과 결합한 후 로드 포트(110)에 적재시키게 된다.
우선, 버퍼 이송장치(330)와 버퍼 포트(320)를 보관부(310)의 외부로 인출시킨다. 상기와 같이 버퍼 이송장치(330)와 버퍼 포트(320)를 외부로 인출한 후 버퍼 이송장치(330)를 하강시켜 풉과 결합한다.(S250)
상기와 같이 풉과 결합한 후 버퍼 포트(320)만 보관부(310) 내부로 인입시켜 풉을 하강시킬 공간을 만든 후 풉을 하강시켜 로드 포트(110)에 적재할 수 있도록 한다.(S300)
이후, OHT가 새로운 풉(10)을 가지고 올 경우 보관부 하단의 버퍼 포트(320)가 외부로 인출되게 되고(S310), 새로운 풉을 하강시켜 버퍼 포트(320)와 결합시킨 후 버퍼 포트(320)를 보관부(310) 내부로 인입시켜 풉을 적재시키게 된다.(S320)
이후, 로드 포트(110)에 적재되어 있는 풉의 프로세싱이 완료되면 OHT는 완료된 풉을 외부로 이송시키게 된다.(S330)
상기와 같이 다단의 보관부(310)가 형성되어 있는 경우 OHT(200)가 이동하는 시간을 활용하여 보다 빠르고 많은 프로세싱을 행할 수 있기 때문에 생산 효율이 높아지고, OHT의 활용을 극대화 할 수 있는 효과가 있는 것이다.
도 7 은 프로세스 머신(100)과 OHT(200), 버퍼부(300), 중앙제어서버(400)간의 신호의 흐름을 나타낸 것이다.
상기 도면에서 보면 프로세스 머신(100)에서 프로세싱이 끝났다는 신호가 발생하면 프로세스 머신(100)은 중앙제어서버(400)로 풉을 언로드(Unlaod)하라는 신호를 보내게 된다.
상기 신호를 받은 중앙제어서버(400)는 OHT(200)에 처리 완료된 풉을 언로드 하라는 신호를 보내게 되고, OHT(200)는 상기 신호를 받아 처리가 끝난 풉이 있는 곳으로 이동하여 풉을 언로드시킨다.
언로드가 완료되면 프로세스 머신(100)은 다른 풉을 로드(Load)하라는 신호를 중앙제어서버(400)로 보내게 된다.
이때, 중앙제어서버는 풉의 로드 신호를 버퍼부(300)로 전송하여 보관부에 있는 풉을 로드할 수 있도록 한다.
상기 중앙제어서버로부터 로드 신호를 받은 버퍼부는 보관부에 있는 풉을 이동시켜 로드 포트에 로드시키게 되고, 로드가 완료되면 로드 완료신호를 프로세스 머신으로 전송하여 프로세싱을 시작하게 된다.
이때 버퍼부는 보관부에 풉이 없는 경우 중앙제어서버로 보관부에 풉을 로드하도록 하는 신호를 보내고 중앙제어서버는 보관부 로드 신호를 OHT로 전송하여 새로운 풉을 버퍼부의 보관부로 로드할 수 있도록 하는 신호를 보내게 된다.
상기와 같이 버퍼부에 적재되어 있는 풉을 사용하여 OHT가 처리 완료된 풉을 이송하는 동안 새로운 풉을 빠르게 로드할 수 있도록 함으로써 OHT의 이동시간에 따르는 프로세싱 대기시간을 줄일 수 있고, OHT를 효율적으로 활용할 수 있어 생산성을 증가시킬 수 있다.
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이다. 따라서, 전술한 설명 및 아래의 도면은 본 발명의 기술사상을 한정하는 것이 아닌 본 발명을 예시하는 것으로 해석되어야 한다.
10: 풉 100: 프로세스 머신
110: 로드 포트 111: 고정부
200: OHT(Overhead Hoist Transport) 210: OHT 이송 레일
220: 이동부 230: 풉 결합부
240: 승하강부 300: 버퍼부
310: 보관부 320: 버퍼 포트
321: 가이드 레일 330: 버퍼 이송장치
331: 좌우 이송 레일 332: 슬라이딩부
333: 상하 이동부 334: 풉 결합부
400: 중앙제어서버

Claims (7)

  1. 하나의 사이클을 이루도록 하는 원형으로 형성되며, 반도체 공장(FAB)의 천정에 설치되어 있는 이송레일;
    상기 이송 레일과 결합하여 풉을 이송할 수 있도록 하는 OHT;
    상기 이송레일의 한 측을 따라 일렬로 배치되며 풉이 적재되는 로드 포트를 구비하며 웨이퍼를 처리하는 프로세스 머신;
    상기 이송레일을 중심으로 프로세스 머신의 반대측에 일렬로 배치되어 풉을 저장할 수 있도록 하는 버퍼부; 및
    프로세스 머신의 프로세싱의 시작과 끝을 체크하여 풉을 이송시킬 수 있도록 하는 중앙제어서버를 포함하는 버퍼링을 이용한 이송 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 버퍼부는 내부에 공간이 형성되어 풉을 적재할 수 있도록 하는 보관부;
    상기 보관부의 하단에 설치되며 보관부의 내부 및 외부로 슬라이딩 이동이 가능한 버퍼 포트;
    상기 보관부의 상단에 슬라이딩 이동 가능하도록 설치되며 보관부의 풉과 결합하여 풉을 상하이동 가능하도록 하는 버퍼 이송장치를 포함하는 버퍼링을 이용한 이송 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 버퍼 이송장치는 상기 보관부의 상단에 설치되며 버퍼 이송장치를 좌우방향으로 설치되는 좌우 이송 레일;
    상기 좌우 이송레일과 결합되며 보관부의 외부로 인출 및 내부로 인입될 수 있는 슬라이딩부;
    상기 보관함에 적재된 풉과 결합할 수 있도록 하는 풉 결합부;
    상기 슬라이딩부와 결합되며 슬라이딩부를 따라 보관부 외부로 인출되어 풉 결합부를 승강 및 하강 가능하도록 하는 상하 이동부를 포함하는 버퍼링을 이용한 이송 장치.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 버퍼 포트는 일렬방향으로 로드 포트와 대응되도록 다수개 설치 가능한 것을 특징으로 하는 버퍼링을 이용한 이송 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 버퍼부는 보관부의 크기에 따라 다수의 단으로 형성 가능한 것을 특징으로 하는 버퍼링을 이용한 이송 장치.
  6. 풉을 로드 포트에 적재하여 프로세싱을 시작하는 단계;
    프로세싱이 끝나면 OHT로 신호를 보내어 풉을 반송시키는 단계;
    풉이 반송되면 버퍼부의 버퍼 이송장치를 통하여 보관부에 적재되어 있는 풉을 이송시키는 단계;
    상기 이송된 풉을 로드 포트에 적재시킨 후 프로세싱을 시작하는 단계;
    상기 프로세싱 중에 OHT가 새로운 풉을 이송해오는 단계; 버퍼부의 버퍼 포트가 외부로 인출되는 단계;
    상기 인출된 버퍼 포트에 새로운 풉을 적재시키는 단계; 풉이 적재된 버퍼 포트를 보관부 내부로 인입시키는 단계;
    프로세싱이 완료된 로드 포트의 풉을 OHT를 통해 외부로 반송시키는 단계;를 포함하는 버퍼링을 이용한 이송 방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    보관부가 다단으로 형성되는 경우
    2단 보관부에 있는 버퍼 포트 및 버퍼 이송장치가 외부로 인출되는 단계;
    버퍼 이송장치가 인출된 버퍼 포트의 풉과 결합하는 단계;
    외부로 인출된 버퍼 포트가 보관부로 인입되고 버퍼 이송장치를 하강시켜 로드 포트에 적재시켜 프로세싱을 시작하는 단계;
    OHT가 새로운 풉을 이송해 오면 2단 보관부의 버퍼 포트를 외부로 인출하는 단계; 상기 인출된 버퍼 포트에 새로운 풉을 적재시키는 단계;
    프로세싱이 끝난 풉을 외부로 반송시키는 단계를 더 포함하는 버퍼링을 이용한 이송 방법.
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