KR20230028876A - 장비 전단부 모듈 툴버퍼 제어 시스템 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 양상에 따르는 툴버퍼 제어 시스템은 장비 전단부 모듈의 로드 포트에 로드할 웨이퍼 캐리어를 수용하거나 장비 전단부 모듈의 로드 포트로부터 언로드된 웨이퍼 캐리어를 수용하는 복수의 버퍼 포트와 버퍼 포트와 로드 포트 사이의 웨이퍼 캐리어 반송을 수행하는 호이스트 모듈을 포함하는 툴버퍼와, 버퍼 포트 또는 로드 포트의 웨이퍼 캐리어 수용 가능 여부를 판단하여 호이스트 모듈의 웨이퍼 캐리어 반송을 제어하고 버퍼 포트를 툴버퍼 운용 모드에 따라 각각 양방향 반송용도, 하향 반송용도, 상향 반송용도, 임시 반송용도 중 하나의 용도로 설정하는 제어기를 포함하여 웨이퍼 캐리어의 반송을 제어한다.

Description

장비 전단부 모듈 툴버퍼 제어 시스템 { EFEM TOOL BUFFER CONTROL SYSTEM}
본 발명은 공정 장비 사이에서 웨이퍼를 반송하는 기술에 관한 것이다
반도체의 원재료인 웨이퍼(Wafer)는 완제품이 되기까지 수백 개의 제조공정을 거친다. 이 과정에서 많은 물류 이동이 발생하게 된다. 또한, 최근 반도체 제조 공정은 이러한 물류 이동에 FOUP(Front Opening Unified Pod)와 같은 웨이퍼 캐리어를 사용하며, 내부에 웨이퍼를 수납한 FOUP 등의 웨이퍼 캐리어가 OHT(Overhead Hoist Transport)에 의해 각 공정장비의 EFEM(Equipment Front End Module) 사이에서 운반된다. OHT는 사람의 개입 없이 수많은 공정 장비 사이를 천장에 설치된 레일을 따라 이동하며 FOUP 등의 웨이퍼 캐리어를 이송한다.
EFEM은 공정장비와 FOUP 등의 웨이퍼 캐리어와 공정장비 사이에서 웨이퍼를 전달하는 모듈로 일측에 웨이퍼 캐리어가 결합되는 로드 포트(Load Port)가 접속하고, 타측에 반도체 공정장비가 접속된다.
반도체 제조공정은 공정장비 사이에 FOUP 등의 웨이퍼 캐리어의 반송 시간을 단축하면 생산성이 향상된다. 그러나, 종래의 EFEM은 로드 포트의 확장이 용이하지 않으며, 웨이퍼 캐리어를 사전 반송할 수 없어 공정 개선에 어려움이 있다.
본 발명은 웨이퍼 캐리어를 사전 반송할 수 있는 버퍼 공간의 사용과, 기존 웨이퍼 이송 시스템과 연계하여 버퍼 공간을 효율적으로 운용하는 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일 양상에 따르는 툴버퍼 제어 시스템은 툴버퍼와, 제어기를 포함하여 웨이퍼 캐리어의 반송을 제어하며, 장비 전단부 모듈의 상부에 설치된다.
툴버퍼는 복수의 버퍼 포트와, 호이스트 모듈을 포함하며, 버퍼 포트는 버퍼 포트의 수가 로드 포트의 수보다 적어도 하나 이상 크도록 설치되며, 장비 전단부 모듈의 로드 포트에 로드할 웨이퍼 캐리어를 수용하거나, 장비 전단부 모듈의 로드 포트로부터 언로드된 웨이퍼 캐리어를 수용한다.
호이스트(hoist) 모듈은 버퍼 포트와 로드 포트 사이의 웨이퍼 캐리어 반송을 수행하는 로봇이다.
제어기는 버퍼 포트 또는 로드 포트의 웨이퍼 캐리어 수용 가능 여부를 판단하여 호이스트 모듈의 웨이퍼 캐리어 반송을 제어하고, 버퍼 포트를 툴버퍼의 운용 모드에 따라 각각 양방향 반송용도, 하향 반송용도, 상향 반송용도, 임시 반송용도 중 하나의 용도로 설정한다.
본 발명의 일 양상에 따르는 제어기는 매핑 모드로 툴버퍼를 운용할 수 있다. 매핑모드는 로드 포트의 위치에 대응되는 버퍼 포트들을 하향 반송용도로 설정하고, 나머지 버퍼 포트는 상향 반송용도로 설정하되 로드 포트에 로드되는 웨이퍼 캐리어는 해당 로드 포트의 위치에 대응되는 버퍼 포트에서만 반송되도록 설정하는 운용 모드이다.
제어기는 OHT가 전 공정 장비로부터 웨이퍼 캐리어를 하향 반송용도로 설정된 버퍼 포트에 반송하고, 상향 반송용도로 설정된 버퍼 포트로부터 다음 공정 장비로 웨이퍼 캐리어를 반송하도록 OHT 제어시스템에 툴버퍼의 운용 모드 설정 정보를 전달한다.
본 발명의 일 양상에 따르는 제어기는 비매핑 모드로 툴버퍼를 운용할 수 있다. 비매핑모드는 로드 포트의 위치에 대응되는 버퍼 포트들을 양방향 반송용도로 설정하고, 나머지 버퍼 포트는 임시 반송용도로 설정하는 운용 모드이다.
제어기는 OHT가 전 공정 장비로부터 웨이퍼 캐리어를 양방향 반송용도로 설정된 버퍼 포트에 반송하고, 양방향 반송용도로 설정된 버퍼 포트로부터 다음 공정 장비로 웨이퍼 캐리어를 반송하도록 OHT 제어시스템에 툴버퍼의 운용 모드 설정 정보를 전달한다.
비매핑 모드에서, 제어기는 웨이퍼 캐리어를 로드 포트로부터 버퍼 포트로 반송 시 빈 버퍼 포트가 없는 경우 임시 반송용도로 설정된 버퍼 포트로 반송하고, OHT가 다음 공정 장비로 웨이퍼 캐리어를 반송하면 임시 반송용도로 설정된 버퍼 포트에서 빈 버퍼 포트로 웨이퍼 캐리어를 반송하도록 제어한다.
부가적으로, 제어기는 바이패스 모드로 툴버퍼를 운용할 수 있다. 바이패스 모드는 OHT가 전 공정 장비로부터 웨이퍼 캐리어를 직접 로드 포트에 반송하고, OHT가 로드 포트로부터 다음 공정 장비로 웨이퍼 캐리어를 반송하는 운용 모드이며, 제어기는 바이패스 운용 모드 설정 정보를 OHT 제어시스템에 전달한다. 이때, 제어기는 호이스트 모듈을 설정된 회피 지역으로 이동시킬 수 있다.
본 발명의 툴버퍼 제어 시스템에 의하면 웨이퍼 캐리어를 사전 반송할 수 있어 공정이 끝난 장비에 즉시 웨이퍼를 공급하여 공정 대기시간을 줄여 생산효율을 높일 수 있고, 기존 웨이퍼 이송 시스템과 연계하여 버퍼 공간을 효율적으로 운용할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 양상에 따른 툴버퍼 제어 시스템이 제어하는 툴버퍼의 예를 도시한 것이다.
도 2는 본 발명의 일 양상에 따른 툴버퍼 제어 시스템의 블록도이다.
도 3은 본 발명의 일 양상에 따른 툴버퍼 제어 시스템이 툴버퍼를 매핑 모드로 운용하는 개념을 도시한 것이다.
도 4는 본 발명의 일 양상에 따른 툴버퍼 제어 시스템이 툴버퍼를 비매핑 모드로 운용하는 개념을 도시한 것이다.
도 5는 본 발명의 일 양상에 따른 툴버터 제어 시스템이 툴버퍼를 바이패스 모드로 운용하는 개념을 도시한 것이다.
전술한, 그리고 추가적인 양상들은 첨부된 도면을 참조하여 설명하는 실시 예들을 통해 구체화된다. 각 실시 예들의 구성 요소들은 다른 언급이나 상호간에 모순이 없는 한 실시 예 내에서 다양한 조합이 가능한 것으로 이해된다. 블록도의 각 블록은 어느 경우에 있어서 물리적인 부품을 표현할 수 있으나 또 다른 경우에 있어서 하나의 물리적인 부품의 기능의 일부 혹은 복수의 물리적인 부품에 걸친 기능의 논리적인 표현일 수 있다. 때로는 블록 혹은 그 일부의 실체는 프로그램 명령어들의 집합(set)일 수 있다. 이러한 블록들은 전부 혹은 일부가 하드웨어, 소프트웨어 혹은 이들의 결합에 의해 구현될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 양상에 따른 툴버퍼 제어 시스템이 제어하는 툴버퍼의 예를 도시한 것이고, 도 2는 본 발명의 일 양상에 따른 툴버퍼 제어 시스템의 블록도를 도시한 것이다.
본 발명의 일 양상에 따르는 툴버퍼 제어 시스템(10)은 툴버퍼(100), 제어기(120)를 포함하여 웨이퍼 캐리어의 반송을 제어하며, 장비 전단부 모듈(EFEM)의 상부에 설치된다.
툴버퍼(100)는 복수의 버퍼 포트(101_1, 101_2. …, 101-N)와, 호이스트 모듈(102)을 포함하며, 제어기(120)를 비롯한 타 장치들과 통신하기 위한 통신부(미도시)를 더 포함한다.
도 1의 예에 도시된 툴버퍼(100)는 웨이퍼 캐리어(예, FOUP)를 수용할 수 있는 4개의 버퍼 포트(101)를 가지며 호이스트 모듈(102)을 통해 장비 전단부 모듈(EFEM)의 로드 포트로 웨이퍼 캐리어를 반송하거나 로드 포트로부터 웨이퍼 캐리어를 버퍼 포트(101)로 반송할 수 있다.
OHT로부터 이전 공정장비에서 반송된 웨이퍼 캐리어를 장비 전단부 모듈(EFEM)의 로드 포트에 운반하는 것을 로드(load)라고 하며, 공정이 끝난 웨이퍼 캐리어를 OHT가 다음 공정장비로 반송하는 것을 언로드(unload)라고 한다.
웨이퍼 캐리어는 웨이퍼를 담아 공정장비 사이에 이동하는 FOUP(Front Opening Unified Pod)일 수 있다.
버퍼 포트(101)는 효율적인 툴버퍼 제어 시스템(10)의 운용을 위하여 버퍼 포트(101) 개수가 장비 전단부 모듈(EFEM)의 로드 포트 개수보다 적어도 하나 이상 많도록 설치된다. 운용자는 OHT 제어시스템에 툴버퍼(100)의 버퍼 포트(101)들의 기준정보(위치정보)를 추가하여 OHT가 FOUP과 같은 웨이퍼 캐리어를 버퍼 포트(101)로 반송하거나, 버퍼 포트(101)로부터 다음 공정장비로 반송할 수 있도록 하여야 한다. OHT가 반송하는 이전 공정장비로부터 FOUP과 같은 웨이퍼 캐리어는 장비 전단부 모듈(EFEM)의 로드 포트에 로드되기 전 툴버퍼(100)의 버퍼 포트(101)에 먼저 수용된다. 즉, OHT는 추가된 툴버퍼의 기준정보를 이용하여 FOUP과 같은 웨이퍼 캐리어를 툴버퍼(100)의 버퍼 포트(101)로 반송한다. OHT는 또한 추가된 툴버퍼의 기준정보를 이용하여 장비 전단부 모듈(EFEM)의 로드 포트로부터 언로드된 FOUP과 같은 웨이퍼 캐리어를 수용하는 버퍼 포트(101)로부터 해당 웨이퍼 캐리어를 다음 공정으로 반송한다. 툴버퍼(100)의 버퍼 포트(101)를 활용하여 OHT가 장비 전단부 모듈(EFEM)에 사전 반송할 수 있어 공정이 완료되면 다음 FOUP과 같은 웨이퍼 캐리어가 반송될 때까지 공정장비가 대기하지 않고 바로 툴버퍼(100)로부터 웨이퍼 캐리어를 공급받아 공정을 진행할 수 있다. 버퍼 포트(101)는 웨이퍼 캐리어가 OHT로부터 반송되거나 OHT에 의해 반송될 때 장치 전면으로 돌출 이동되고, 호이스트 모듈(102)에 의해 웨이퍼 캐리어가 로드 포트로 반송되거나 로드 포트로부터 반송될 때 장치 전면으로 돌출 이동되어 OHT 또는 호이스트 모듈(102)이 웨이퍼 캐리어를 들어올리거나 내려놓을 수 있도록 한다.
호이스트(hoist) 모듈(102)은 버퍼 포트(101)와 로드 포트 사이의 웨이퍼 캐리어 반송을 수행하는 로봇이다. 호이스트 모듈(102)은 웨이퍼 캐리어를 상, 하로 실어 나르는 장치이나 경우에 따라서는 좌, 우로 웨이퍼 캐리어를 실어 나를 수도 있다. 즉, 호이스트 모듈(102)은 명령에 따라 버퍼 포트(101)에 수용된 웨이퍼 캐리어를 들어 올려 로드 포트에 로드하거나, 로드 포트의 웨이퍼 캐리어를 들어 올려 버퍼 포트(101)에 언로드할 수 있다.
제어기(120)는 프로세서와 메모리를 포함하며, 적어도 기능의 일부가 프로세서에서 실행되는 프로그램 명령어 세트로 구성되며, 해당 프로그램 명령어 세트는 툴버퍼의 운용을 제어하는 소프트웨어 모듈인 EAP(Equipment Application Program)의 일부를 구성한다. 제어기(120)는 툴버퍼(100)의 운용 모드를 설정하고, 운용 모드에 따라 호이스트 모듈(102)을 제어하여 웨이퍼 캐리어를 운반시킨다. 또한, 제어기(120)는 웨이퍼 이송과 관련한 시스템(예, OHT 제어시스템 등)과 연동하여 툴버퍼(100)의 운용 모드에 대한 정보를 통지한다. 제어기(120)는 버퍼 포트(101) 또는 로드 포트의 웨이퍼 캐리어 수용 가능 여부를 판단한다. 즉, 제어기(120)는 툴버퍼(100)와 통신하여 버퍼 포트(101)에 웨이퍼 캐리어가 수용되어 있는지 판단하고, 장비 전단부 모듈을 제어하는 EAP와 통신하여 로드 포트에 웨이퍼 캐리어를 로드하여야 하는지 언로드하여야 하는지 결정할 수 있다. 제어기(120)는 판단결과에 따라 호이스트 모듈(102)이 버퍼 포트(101)에 수용된 웨이퍼 캐리어를 로드 포트에 반송하도록 제어하거나 로드 포트의 웨이퍼 캐리어를 언로드하여 버퍼 포트(101)로 반송하도록 제어한다. 이때, 제어기(120)는 버퍼 포트(101)를 툴버퍼(100)의 운용 모드에 따라 각각 양방향 반송용도, 하향 반송용도, 상향 반송용도, 임시 반송용도 중 하나의 용도로 설정한다. 제어기(120)가 버퍼 포트(101)를 양방향 반송용도로 설정하면 OHT가 이전 공정이 완료된 웨이퍼 캐리어를 해당 버퍼 포트(101)에 반송하거나 해당 버퍼 포트(101)로부터 웨이퍼 캐리어를 다음 공정장비로 반송할 수 있고, 버퍼 포트(101)를 하향 반송용도로 설정하면 OHT가 이전 공정이 완료된 웨이퍼 캐이러를 해당 버퍼 포트(101)에 반송만할 수 있고, 버퍼 포트(101)를 상향 반송용도로 설정하면 OHT가 이전 공정이 완료된 웨이퍼 캐리어를 해당 버퍼 포트(101)에 반송할 수 없고 다음 공정장비로 반송할 웨이퍼 캐리어를 해당 버퍼 포트(101)에서 반송할 수 있다. 또한, 제어기(120)의 제어에 따라 호이스트 모듈(102)은 양방향 반송용도로 설정된 버퍼 포트(101)의 웨이퍼 캐리어를 로드 포트에 로드하거나 로드 포트의 웨이퍼 캐리어를 해당 버퍼 포트(102)에 언로드할 수 있다. 버퍼 포트(101)가 하향 반송용도로 설정되면 호이스트 모듈(102)은 해당 버퍼 포트(101)에서 로드 포트로 로드만 할 수 있고, 버퍼 포트(101)가 상향 반송용도로 설정되면 호이스트 모듈(102)은 로드 포트에서 해당 버퍼 포트(101)로 언로드만 할 수 있다.
버퍼 포트(101)가 임시 반송용도로 설정되면 호이스트 모듈(102)은 제어기(120)의 제어에 따라 로드 포트로부터 웨이퍼 캐리어를 언로드만 할 수 있다. 다만, 추가적으로 제어기(120)의 제어에 따라 해당 버퍼 포트(101)로부터 비어 있는 다른 버퍼 포트(101)로 웨이퍼 캐리어를 이동시킬 수도 있다.
도 3은 본 발명의 일 양상에 따른 툴버퍼 제어 시스템이 툴버퍼를 매핑 모드로 운용하는 개념을 도시한 것이다. 본 발명의 일 양상에 따르면, 제어기(120)는 툴버퍼(100)를 매핑 모드로 설정하여 운용할 수 있다. 매핑모드는 버퍼 포트(101)와 장비 전단부 모듈(20)의 로드 포트를 일대일로 매핑시켜 사용하되 매핑된 버퍼 포트(101) 즉, 장비 전단부 모듈(20)의 로드 포트 위치에 대응되는 버퍼 포트(101)들은 하향 반송용도로 설정하여 로드 전용으로 사용하고, 나머지 버퍼 포트(101)는 상향 반송용도로 설정하여 언로드 전용으로 사용하는 모드이다. 따라서, 장비 전단부 모듈(20)의 로드 포트에 로드되는 웨이퍼 캐리어는 해당 로드 포트의 위치에 대응되는 버퍼 포트(101)에서만 반송될 수 있다.
도 3의 예시를 참조하여 설명하면, 제어기(120)는 버퍼 포트#1(101_1), 버퍼 포트#2(101_2)를 하향 반송용도로 설정하고 버퍼 포트#3(101_3)을 상향 반송용도로 설정한다. 제어기(120)는 OHT로부터 반송되어 버퍼 포트#1(101_1)에 수용된 웨이퍼 캐리어는 장비 전단부 모듈(20)의 로드 포트#1에만 반송되도록 호이스트 모듈(102)을 제어하고, OHT로부터 반송되어 버퍼 포트#2(101_2)에 수용된 웨이퍼 캐리어는 장비 전단부 모듈(20)의 로드 포트#2에만 반송되도록 호이스트 모듈(102)을 제어하며 장비 전단부 모듈(20)의 로드 포드#1 또는 로드 포트#2로부터 언로드되는 웨이퍼 캐리어는 버퍼 포트#3(101_3)으로 반송되도록 호이스트 모듈(102)을 제어한다. 이때, OHT는 버퍼 포트#3(101_3)에서 웨이퍼 캐리어를 반송하여 다음 공정장비로 이송한다.
툴버퍼(100)가 매핑 모드로 운용되면 버퍼 포트(101)에 수용된 웨이퍼 캐리어가 툴버퍼가 결합된 공정장비의 공정 전 웨이퍼 캐리어인지 공정 후 웨이퍼 캐리어인지 직관적으로 알 수 있게 된다. 예를 들어, 도 3에서 버퍼 포트#1(101_1) 및 버퍼 포트#2(101_2)에 각각 수용된 웨이퍼 캐리어는 공전 전 웨이퍼 캐리어이며, 버퍼 포트#3(101_3)에 수용된 웨이퍼 캐리어는 공정 후 웨이퍼 캐리어이다.
제어기(120)는 툴버퍼(100)의 운용 모드(매핑 모드)와 관련한 설정정보를 웨이퍼 이송과 관련한 시스템 예를 들어 OHT 제어시스템에 통지한다. 통지를 받은 OHT 제어시스템은 OHT가 전 공정 장비로부터 웨이퍼 캐리어를 하향 반송용도로 설정된 버퍼 포트(101)에 반송하고, 상향 반송용도로 설정된 버퍼 포트(101)로부터 다음 공정 장비로 웨이퍼 캐리어를 반송하도록 OHT를 제어한다.
도 4는 본 발명의 일 양상에 따른 툴버퍼 제어 시스템이 툴버퍼를 비매핑 모드로 운용하는 개념을 도시한 것이다. 본 발명의 일 양상에 따르면, 제어기(120)는 툴버퍼(100)를 비매핑 모드로 설정하여 운용할 수 있다. 비매핑모드는 장비 전단부 모듈(20)의 로드 포트 위치에 대응되는 버퍼 포트(101)들을 양방향 반송용도로 설정하고, 나머지 버퍼 포트(101)는 임시 반송용도로 설정하여 사용하는 운용 모드이다. 비매핑 모드에서는 장비 전단부 모듈(20)의 로드 포트에 반송되는 웨이퍼 캐리어는 양방향 반송용도로 설정된 모든 버퍼 포트(101)에서 반송될 수 있다.
도 4 의 예시를 참조하여 설명하면, 제어기(120)는 버퍼 포트#1(101_1) 또는 버퍼 포트#2(101_2)에 수용된 웨이퍼 캐리어를 장비 전단부 모듈(20)의 비어 있는 로드 포트(로드 포트#1 또는 로드 포트#2)에 로드할 수 있고, 공정이 끝난 로드 포트의 웨어퍼 캐리어를 버퍼 포트#1(101_1) 또는 버퍼 포트#2(101_2) 중 비어있는 버퍼 포트로 언로드할 수 있다. 제어기(120)는 양방향 반송용도로 설정된 버퍼 포트(101_1, 101_2) 중 빈 버퍼 포트가 없는 경우에만 임시 반송용도로 설정된 버퍼 포트#3(101_3)으로 언로드할 수 있다. OHT는 양방향 반송용도로 설정된 버퍼 포트 즉, 버퍼 포트#1(101_1)과 버퍼 포트#2(101_2)에만 이전 공정이 완료된 웨이퍼 캐리어를 반송할 수 있고, 해당 버퍼 포트(101_1, 101_2)에서 공정이 끝난 웨이퍼 캐리어를 가져와 다음 공정장비로 이송할 수 있다. 즉, OHT는 비매핑 모드에서 임시 반송용도로 설정된 버퍼 포트#3(101_3)에 직접 웨이퍼 캐리어를 반송할 수 없다.
OHT가 웨이퍼 캐리어를 다음 공정장비로 반송하여 버퍼 포트가 비게 되고 임시 반송용도의 버퍼 포트에 웨이퍼 캐리어가 수용되어 있는 경우 제어기는 호이스트 모듈(102)을 제어하여 임시 반송용도의 버퍼 포트에서 비어 있는 양방향 반송용도로 설정된 버퍼 포트로 웨이퍼 캐리어를 이동시킨다. 도 4에 도시된 예를 참조하여 설명하면, 제어기(120)는 버퍼 포트#1(101_1)과 버퍼 포트#2(101_2)를 양방향 반송용도로 설정하고 버퍼 포트#3(101_3)을 임시 반송용도로 설정하였고, 제어기(120)는 OHT로부터 반송되어 버퍼 포트#1(101_1) 또는 버퍼 포트#2(101_2)에 수용된 웨이퍼 캐리어를 장비 전단부 모듈(20)의 로드 포트#1 또는 로드 포트#2에 반송하도록 호이스트 모듈(102)을 제어하고, 장비 전단부 모듈(20)의 로드 포드#1 또는 로드 포트#2로부터 언로드되는 웨이퍼 캐리어를 버퍼 포트#1(101_1) 또는 버퍼 포트#2(101_2)로 반송되도록 호이스트 모듈(120)을 제어하되 버퍼 포트#1(101_1)과 버퍼 포트#2(101_2) 모두 비어있지 않은 경우 버퍼 포트#3(101_3)으로 언로드하도록 제어한다. 도 4의 예시에서 양방향 반송용도로 설정된 모든 버퍼 포트(101_1, 101_2)에 웨이퍼 캐리어가 수용된 상태에서 OHT가 버퍼 포트#1(101_1)에서 웨이퍼 캐리어를 반송하여 다음 공정장비로 이송하면 제어기(120)는 호이스트 모듈(102)을 제어하여 버퍼 포트#3(101_3)에서 버퍼 포트#1(101_1)로 웨이퍼 캐리어를 이송한다.
제어기(120)는 툴버퍼(100)의 운용 모드(비매핑 모드)와 관련한 설정정보를 웨이퍼 이송과 관련한 시스템 예를 들어 OHT 제어시스템에 통지한다. 통지를 받은 OHT 제어시스템은 OHT가 전 공정 장비로부터 웨이퍼 캐리어를 양방향 반송용도로 설정된 버퍼 포트에 반송하고, 양방향 반송용도로 설정된 버퍼 포트로부터 다음 공정 장비로 웨이퍼 캐리어를 반송하도록 OHT를 제어한다.
도 5는 본 발명의 일 양상에 따른 툴버터 제어 시스템이 툴버퍼를 바이패스 모드로 운용하는 개념을 도시한 것이다. 본 발명의 부가적 양상에 따르면, 제어기(120)는 바이패스 모드로 툴버퍼(100)를 운용할 수 있다.
툴버퍼(100)에 장애가 발생하는 경우에 대비한 모드로 제어기(120)는 툴버퍼(100)가 정상적으로 작동하지 않는 경우 운용 모드를 바이패스 모드를 설정하고, 도 5에 도시된 것과 같이 바이패스 모드에 대한 운용 모드 설정 정보를 OHT 제어시스템 등에 통지하여 OHT가 툴버퍼(100)를 거치지 않고 직접 장비 전단부 모듈(20)의 로드 포트로 웨이퍼 캐리어를 반송할 수 있도록 한다. 즉, 바이패스 모드는 OHT가 전 공정 장비로부터 웨이퍼 캐리어를 직접 장비 전단부 모듈(20)의 로드 포트에 반송하고, OHT가 장비 전단부 모듈(20)의 로드 포트로부터 다음 공정 장비로 웨이퍼 캐리어를 반송하는 운용 모드이다.
이때, 제어기(120)는 호이스트 모듈(102)을 설정된 회피 지역으로 이동시킬 수 있다. 호이스트 모듈(102)이 OHT가 로드 포트로 웨이퍼 캐리어를 로드하거나 언로드할 때 방해가 될 수 있어 방해가 되지 않는 위치로 이동시키기 위한 것으로 도 5의 예에서 호이스트 모듈(102)을 버퍼 포트#3(101_3)의 위치로 이동시킬 수 있다. 만약, 장애로 인하여 호이스트 모듈(102)이 설정된 회피 지역으로 이동되지 않으면 제어기(120)은 운용자에게 알람 등을 통해 이를 통지하여 운용자가 수동으로 호이스트 모듈(102)을 이동시킬 수 있도록 한다.
이상에서 본 발명을 첨부된 도면을 참조하는 실시 예들을 통해 설명하였지만 이에 한정되는 것은 아니며, 이들로부터 당업자라면 자명하게 도출할 수 있는 다양한 변형 예들을 포괄하도록 해석되어야 한다. 특허청구범위는 이러한 변형 예들을 포괄하도록 의도되었다.
10 : 툴버퍼 제어 시스템
100 : 툴버퍼
111 : 버퍼 포트
112 : 호이스트 모듈
120 : 제어기
20 : 장비 전단부 모듈(EFEM)
30 : OHT

Claims (7)

  1. 장비 전단부 모듈(EFEM) 상부에 설치되어 웨이퍼 캐리어의 반송을 중계하는 툴버퍼를 제어하는 시스템에 있어서,
    장비 전단부 모듈의 로드 포트에 로드할 웨이퍼 캐리어를 수용하거나, 장비 전단부 모듈의 로드 포트로부터 언로드된 웨이퍼 캐리어를 수용하는 복수의 버퍼 포트와, 버퍼 포트와 로드 포트 사이의 웨이퍼 캐리어 반송을 수행하는 호이스트(hoist) 모듈을 포함하는 툴버퍼; 및
    버퍼 포트 또는 로드 포트의 웨이퍼 캐리어 수용 가능 여부를 판단하여 호이스트 모듈의 웨이퍼 캐리어 반송을 제어하고, 버퍼 포트를 툴버퍼 운용 모드에 따라 각각 양방향 반송용도, 하향 반송용도, 상향 반송용도, 임시 반송용도 중 하나의 용도로 설정하는 제어기;
    를 포함하되,
    툴버퍼는 버퍼 포트의 수가 로드 포트의 수보다 적어도 하나 이상 크게 설치되는 툴버퍼 제어 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    제어기는 로드 포트의 위치에 대응되는 버퍼 포트를 하향 반송용도로 설정하고, 나머지 버퍼 포트는 상향 반송용도로 설정하되 로드 포트에 로드되는 웨이퍼 캐리어는 해당 로드 포트의 위치에 대응되는 버퍼 포트에서만 반송되는 매핑 모드로 툴버퍼를 운용하는 툴버퍼 제어 시스템.
  3. 제 2 항에 있어서,
    제어기는 OHT(Overhead Hoist Transfer)가 전 공정 장비로부터 웨이퍼 캐리어를 하향 반송용도로 설정된 버퍼 포트에 반송하고, 상향 반송용도로 설정된 버퍼 포트로부터 다음 공정 장비로 웨이퍼 캐리어를 반송하도록 OHT 제어시스템에 툴버퍼의 운용 모드 설정 정보를 전달하는 툴버퍼 제어 시스템.
  4. 제 1 항에 있어서,
    제어기는 로드 포트의 위치에 대응되는 버퍼 포트들을 양방향 반송용도로 설정하고, 나머지 버퍼 포트는 임시 반송용도로 설정하는 비매핑 모드로 툴버퍼를 운용하는 툴버퍼 제어 시스템.
  5. 제 4 항에 있어서,
    제어기는 OHT가 전 공정 장비로부터 웨이퍼 캐리어를 양방향 반송용도로 설정된 버퍼 포트에 반송하고, 양방향 반송용도로 설정된 버퍼 포트로부터 다음 공정 장비로 웨이퍼 캐리어를 반송하도록 OHT 제어시스템에 툴버퍼의 운용 모드 설정 정보를 전달하는 툴버퍼 제어 시스템.
  6. 제 5 항에 있어서,
    제어기는 웨이퍼 캐리어를 로드 포트로부터 버퍼 포트로 반송 시 빈 버퍼 포트가 없는 경우 임시 반송용도로 설정된 버퍼 포트로 반송하고, OHT가 다음 공정 장비로 웨이퍼 캐리어를 반송하면 임시 반송용도로 설정된 버퍼 포트에서 빈 버퍼 포트로 웨이퍼 캐리어를 반송하도록 툴버퍼를 제어하는 툴버퍼 제어 시스템.
  7. 제 2 항 또는 제 4 항에 있어서, 제어기는 :
    OHT가 전 공정 장비로부터 웨이퍼 캐리어를 직접 로드 포트에 반송하고, OHT가 로드 포트로부터 다음 공정 장비로 웨이퍼 캐리어를 반송하는 바이패스 모드로 툴버퍼를 운용하고, 해당 운용 모드 설정 정보를 OHT 제어시스템에 전달하되,
    제어기는 호이스트 모듈을 설정된 회피 지역으로 이동시키는 툴버퍼 제어 시스템.
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