CN116960040B - 空中运输车控制方法、系统、电子设备及存储介质 - Google Patents
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Abstract
本申请属于控制空中运输车技术领域,公开了一种空中运输车控制方法、系统、电子设备及存储介质,该方法包括:获取空中运输车所接收的搬送任务的任务信息,根据任务信息中的目的地与空中运输车的距离,确定空中运输车的第一速度阈值,以S型速度曲线方程为依据,控制空中运输车进入速度运行模式后进行加速,并在加速至第一速度阈值后以第一速度阈值匀速运行,当检测到预停止标签时,以S型速度曲线方程为依据,控制空中运输车执行预停止标签对应的停车操作,以使空中运输车停在目的地,通过空中运输车控制系统和S型速度曲线方程,对空中运输车进行控制,提高了空中运输车的运输效率。
Description
技术领域
本申请涉及控制空中运输车技术领域,具体而言,涉及一种空中运输车控制方法、系统、电子设备及存储介质。
背景技术
空中运输车(Overhead Hoist Transport,OHT)是一种高度智能化的,可以自由运行于搬送轨道上的搬送车,为半导体物料传输系统(Automatic Material HandlingSystem, AMHS)的搬送执行主体,其自身的配置和参数决定了AMHS系统的速度、安全性能、稳定性、可靠性和使用寿命等,是衡量AMHS系统先进性的关键因子。其主要功能为接收上层物料管控系统(Material Control System, MCS)的指令控制,在半导体工厂连接生产机台的异常复杂的搬送轨道上运行,实现晶圆盒(Front Opening Unified Pod, FOUP)的准确、高效的搬送。
OHT通过行走机构驱动行走轮在生产机台的搬送轨道上运行,为保证芯片良率,减少晶圆在搬送过程中的损坏,要求OHT在行走过程中启停无明显抖动,升降过程中无晃动、摆动,这对控制具有较高的要求,要做到既快又稳,并且精准到达预定位置。现有OHT中,为了平稳的进行晶圆盒搬送,采用较低的运行速度,造成整个搬送周期加长,从而影响生产效率。
因此,为了解决现有的空中运输车为了平稳搬送而采用较低的运行速度导致搬送周期加长的技术问题,亟需一种空中运输车控制方法、系统、电子设备及存储介质。
发明内容
本申请的目的在于提供一种空中运输车控制方法、系统、电子设备及存储介质,通过空中运输车控制系统,以S型速度曲线方程为依据,对空中运输车进行控制,解决现有的空中运输车为了平稳搬送而采用较低的运行速度导致搬送周期加长的技术问题,使得空中运输车能够即快又稳地将晶圆盒搬送到指定位置,提高了空中运输车的运输效率。
第一方面,本申请提供了一种空中运输车控制系统,用于对空中运输车进行控制,所述空中运输车控制系统包括可编程逻辑控制器、伺服驱动器、伺服电机、行星减速机、行走轮、射频识别技术数据读写器和光电传感器;
所述可编程逻辑控制器用于控制所述空中运输车控制系统;
所述伺服驱动器用于驱动所述伺服电机;
所述伺服电机用于以S型速度曲线方程为依据,控制所述空中运输车的速度;
所述行星减速机用于驱动所述行走轮;
所述行走轮用于带动所述空中运输车沿搬送轨道运行;
所述射频识别技术数据读写器用于识别预设的指令标签;
所述光电传感器用于识别预设的检知片。
本申请提供的空中运输车控制系统可以实现对空中运输车进行控制,通过可编程逻辑控制器、伺服驱动器、伺服电机、行星减速机、行走轮、射频识别技术数据读写器和光电传感器,以S型速度曲线方程为依据,对空中运输车进行控制,解决现有的空中运输车为了平稳搬送而采用较低的运行速度导致搬送周期加长的技术问题,使得空中运输车能够即快又稳地将晶圆盒搬送到指定位置,提高了空中运输车的运输效率。
可选地,所述预设的指令标签和所述预设的检知片安装在所述搬送轨道上。
可选地,所述预设的指令标签包括预停止标签和转弯标签;
所述可编程逻辑控制器还用于在所述射频识别技术数据读写器检测到所述预停止标签时,控制所述空中运输车执行所述预停止标签对应的停车操作,以使空中运输车停在目的地;
所述可编程逻辑控制器还用于在所述射频识别技术数据读写器检测到所述转弯标签时,控制所述空中运输车执行所述转弯标签对应的转弯操作。
第二方面,本申请提供了一种空中运输车控制方法,应用于前文所述的空中运输车控制系统以对空中运输车进行控制,包括步骤:
获取所述空中运输车所接收的搬送任务的任务信息;
根据所述任务信息中的目的地与所述空中运输车的距离,确定所述空中运输车的第一速度阈值;
以S型速度曲线方程为依据,控制所述空中运输车进入速度运行模式后进行加速,并在加速至所述第一速度阈值后以所述第一速度阈值匀速运行;
当检测到预停止标签时,以所述S型速度曲线方程为依据,控制所述空中运输车执行所述预停止标签对应的停车操作,以使所述空中运输车停在目的地。
本申请提供的空中运输车控制方法可以实现对空中运输车进行控制,通过空中运输车控制系统,以S型速度曲线方程为依据,对空中运输车进行控制,解决现有的空中运输车为了平稳搬送而采用较低的运行速度导致搬送周期加长的技术问题,使得空中运输车能够即快又稳地将晶圆盒搬送到指定位置,提高了空中运输车的运输效率。
可选地,所述S型速度曲线方程具体为:
Vcurrent=Vstart+(Vend-Vstart)/(1+exp(-(Flexible/Num)*i+Flexible));
其中,Vcurrent为空中运输车的当前速度值;Vstart为空中运输车的起始速度值,Vend为空中运输车的目标速度值,即第一速度阈值及后面的第二速度阈值和第三速度阈值,Flexible代表S型速度曲线方程的平滑程度,Flexible越大说明加速度越大,即S型速度曲线方程的曲线越陡,Flexible越小说明S型速度曲线方程的曲线越平滑;Num为当前加速或减速过程中的速度变化总次数的一半;exp为以自然常数e为底的指数函数,exp(-(Flexible/Num)*i+Flexible)表示自然常数e的(-(Flexible/Num)*i+Flexible)次方,i为S型速度曲线方程循环计算过程中的索引,i表示空中运输车在当前加速或减速过程中第i次发生的速度变化,i的取值从0开始到速度变化总次数结束。
本申请提供的空中运输车控制方法可以实现对空中运输车进行控制,通过S型速度曲线方程,对空中运输车的速度进行控制,使得空中运输车能够即快又稳地将晶圆盒搬送到指定位置,有利于提高空中运输车的运输效率。
可选地,以S型速度曲线方程为依据,控制所述空中运输车进入速度运行模式后进行加速,并在加速至所述第一速度阈值后以所述第一速度阈值匀速运行之后,还包括:
当检测到转弯标签时,以所述S型速度曲线方程为依据,控制所述空中运输车减速至第二速度阈值后匀速运行;
在所述空中运输车减速的同时,控制所述空中运输车的导向轮进行转向,以使所述空中运输车以第二速度阈值匀速转弯;
当所述空中运输车转弯完成后,以所述S型速度曲线方程为依据,控制所述空中运输车加速至所述第一速度阈值后匀速运行。
可选地,当所述空中运输车转弯完成后,以所述S型速度曲线方程为依据,控制所述空中运输车加速至所述第一速度阈值后匀速运行,包括:
当所述空中运输车转弯完成后,以所述S型速度曲线方程为依据,以所述第一速度阈值为目标速度值,控制所述空中运输车进行加速;
判断在所述空中运输车转弯后的加速过程中是否检测到预停止标签或转弯标签;若是,则控制所述空中运输车停止加速并立刻执行所述预停止标签或所述转弯标签对应的操作;若否,则控制所述空中运输车加速至所述第一速度阈值后匀速运行。
可选地,当检测到预停止标签时,以所述S型速度曲线方程为依据,控制所述空中运输车执行所述预停止标签对应的停车操作,以使所述空中运输车停在目的地,包括:
当检测到所述预停止标签时,以所述S型速度曲线方程为依据,控制所述空中运输车减速至第三速度阈值后匀速运行;
在检测到检知片后,将所述空中运输车从所述速度运行模式切换为位置运行模式并控制所述空中运输车向前行进预设距离后停止,以使所述空中运输车到达目的地。
第三方面,本申请提供了一种电子设备,包括处理器和存储器,所述存储器存储有所述处理器可执行的计算机程序,所述处理器执行所述计算机程序时,运行如前文所述空中运输车控制方法中的步骤。
第四方面,本申请提供了一种计算机可读存储介质,其上存储有计算机程序,所述计算机程序被处理器执行时运行如前文所述空中运输车控制方法中的步骤。
有益效果:本申请提供的空中运输车控制方法、系统、电子设备及存储介质,通过空中运输车控制系统,以S型速度曲线方程为依据,对空中运输车进行控制,解决现有的空中运输车为了平稳搬送而采用较低的运行速度导致搬送周期加长的技术问题,使得空中运输车能够即快又稳地将晶圆盒搬送到指定位置,提高了空中运输车的运输效率。
附图说明
图1为本申请实施例提供的空中运输车控制系统的结构示意图。
图2为本申请实施例提供的空中运输车控制方法的流程图。
图3为本申请实施例提供的电子设备的结构示意图。
图4为空中运输车的直线运行速度示意图。
图5为空中运输车的转弯运行速度示意图。
标号说明:1、可编程逻辑控制器;2、伺服驱动器;3、伺服电机;4、行星减速机;5、行走轮;6、射频识别技术数据读写器;7、光电传感器;8、导向轮;301、处理器;302、存储器;303、通信总线。
具体实施方式
下面将结合本申请实施例中附图,对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例,而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此,以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围,而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请的实施例,本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例,都属于本申请保护的范围。
应注意到:相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项,因此,一旦某一项在一个附图中被定义,则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。同时,在本申请的描述中,术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
参考图1,本申请提供了一种空中运输车控制系统,用于对空中运输车进行控制,包括可编程逻辑控制器1、伺服驱动器2、伺服电机3、行星减速机4、行走轮5、射频识别技术数据读写器6和光电传感器7;可编程逻辑控制器1、伺服驱动器2、射频识别技术数据读写器6和光电传感器7安装在空中运输车的下部;伺服电机3、行星减速机4和行走轮5安装在空中运输车上;
可编程逻辑控制器1用于控制空中运输车控制系统;
伺服驱动器2用于驱动伺服电机3;
伺服电机3用于以S型速度曲线方程为依据,控制空中运输车的速度;
行星减速机4用于驱动行走轮5;
行走轮5用于带动空中运输车沿搬送轨道运行;
射频识别技术数据读写器6用于识别预设的指令标签;
光电传感器7用于识别预设的检知片。
该空中运输车控制系统,通过可编程逻辑控制器1、伺服驱动器2、伺服电机3、行星减速机4、行走轮5、射频识别技术数据读写器6和光电传感器7,对空中运输车进行控制,解决现有的空中运输车为了平稳搬送而采用较低的运行速度导致搬送周期加长的技术问题,使得空中运输车能够即快又稳地将晶圆盒搬送到指定位置,提高了空中运输车的运输效率。
具体应用中,伺服电机3在PLC1(可编程逻辑控制器1)和伺服驱动器2的控制下通过行星减速机4驱动行走轮5,从而使OHT(空中运输车)在生产机台上方的搬送轨道上运行。其中,可编程逻辑控制器1和伺服驱动器2可以安装在空中运输车下部的同一边,也可以安装在不同边。而空中运输车的导向轮8位于空中运输车的顶部,导向轮8用于控制空中运输车在执行转弯操作时的转向。
具体地,预设的指令标签和预设的检知片安装在搬送轨道上,当控制系统检测到预设的指令标签时,控制空中运输车执行预设的指令标签对应的操作,当控制系统检测到检知片时,控制空中运输车进入位置运行模式并向前行进预设距离后停止,以使空中运输车到达目的地。预设距离可根据实际情况设置。位置运行模式即空中运输车以S型速度曲线方程为依据进行减速并向前行进预设距离后停止。
具体地,预设的指令标签包括预停止标签和转弯标签;
可编程逻辑控制器1还用于在射频识别技术数据读写器6检测到预停止标签时,控制空中运输车执行预停止标签对应的停车操作,以使空中运输车停在目的地;
可编程逻辑控制器1还用于在射频识别技术数据读写器6检测到转弯标签时,控制空中运输车执行转弯标签对应的转弯操作。
具体应用中,如图4所示,图4为空中运输车的直线运行速度示意图,其中,a为启动阶段,b为加速阶段,c为第一速度阈值的匀速阶段,d为检测到预停止标签,e为预停止减速阶段,f为第三速度阈值的匀速阶段,g为检测到检知片后的位置运行模式,h为到达目的地,横坐标为时间,纵坐标为速度,由图4可知,当控制系统检测到预停止标签时,以S型速度曲线方程为依据,控制空中运输车减速至第三速度阈值后匀速运行,在空中运输车以第三速度阈值进行匀速运行时,控制系统会检测到检知片,在检测到检知片后,控制系统将空中运输车从速度运行模式切换为位置运行模式,控制空中运输车以S型速度曲线方程为依据进行减速并使空中运输车向前行进预设距离后停止,以使空中运输车到达目的地。
如图5所示,图5为空中运输车的转弯运行速度示意图,其中,A为第一速度阈值的匀速阶段,B为转弯减速阶段,C为匀速转弯阶段,D为加速阶段,E为第一速度阈值的匀速阶段,横坐标为时间,纵坐标为速度,由图5可知,当控制系统检测到转弯标签时,以S型速度曲线方程为依据,控制空中运输车减速至第二速度阈值后匀速运行,在空中运输车减速的同时,控制空中运输车的导向轮进行转向,以使空中运输车以第二速度阈值匀速转弯,当空中运输车转弯完成后,以S型速度曲线方程为依据,控制空中运输车加速至第一速度阈值后匀速运行。
请参照图2,图2是本申请一些实施例中的一种空中运输车控制方法,应用于前文的空中运输车控制系统以对空中运输车进行控制,包括:
步骤S101,获取空中运输车所接收的搬送任务的任务信息;
步骤S102,根据任务信息中的目的地与空中运输车的距离,确定空中运输车的第一速度阈值;
步骤S103,以S型速度曲线方程为依据,控制空中运输车进入速度运行模式后进行加速,并在加速至第一速度阈值后以第一速度阈值匀速运行;
步骤S104,当检测到预停止标签时,以S型速度曲线方程为依据,控制空中运输车执行预停止标签对应的停车操作,以使空中运输车停在目的地。
该空中运输车控制方法,通过空中运输车控制系统,以S型速度曲线方程为依据,对空中运输车进行控制,解决现有的空中运输车为了平稳搬送而采用较低的运行速度导致搬送周期加长的技术问题,使得空中运输车能够即快又稳地将晶圆盒搬送到指定位置,提高了空中运输车的运输效率。
具体地,在步骤S101中,当空中运输车接收到搬送任务时,获取空中运输车所接收的搬送任务的任务信息,任务信息包括晶圆盒的ID号、搬送目的地的地点、搬送轨道的路径。
具体地,在步骤S102中,根据任务信息中的目的地与空中运输车的距离,确定空中运输车在此次搬送任务中的第一速度阈值。
例如,以图4的搬运过程为例,获取搬送任务的任务信息后,确定了搬送路径和搬送距离,搬送距离S=Sa+Sb+Sc+Se+Sf+Sg,其中,Sa为图4所示的启动阶段a的运行距离,Sb为图4所示的加速阶段b的运行距离,Sc为图4所示的第一速度阈值的匀速阶段c的运行距离,Se为图4所示的预停止减速阶段e的运行距离,Sf为图4所示的第三速度阈值的匀速阶段f的运行距离,Sg为图4所示的位置运行模式阶段g的运行距离,对各阶段的运行距离进行微积分计算,进而计算出第一速度阈值,而后面的第二速度阈值和第三速度阈值需在实际运行中根据实际需要调试所得。
具体地,在步骤S103中,以S型速度曲线方程为依据,以第一速度阈值为目标速度值,控制空中运输车进入速度运行模式后进行加速,并在加速至第一速度阈值后匀速运行。速度运行模式即以S型速度曲线方程为依据,控制空中运输车加速或减速至目标速度值后以目标速度值匀速运行。
S型速度曲线方程具体为:
Vcurrent=Vstart+(Vend-Vstart)/(1+exp(-(Flexible/Num)*i+Flexible));
其中,Vcurrent为空中运输车的当前速度值;Vstart为空中运输车的起始速度值,Vend为空中运输车的目标速度值,即第一速度阈值、第二速度阈值(下文记载)或第三速度阈值(下文记载),Flexible代表S型速度曲线方程的平滑程度,Flexible越大说明加速度越大,即S型速度曲线方程的曲线越陡,Flexible越小说明S型速度曲线方程的曲线越平滑;Num为当前加速或减速过程中的速度变化总次数的一半,即S型速度曲线(S型速度曲线方程的曲线)中心对称(以当前加速或减速过程中的速度变化总次数的一半的点为中心点进行中心对称),Num即为该S型速度曲线的中心点对应的速度变化次数,比如在以目标速度值进行加速的过程中,空中运输车的速度变化总次数为n,那么Num就是n的一半,即n/2;exp为以自然常数e为底的指数函数,exp(-(Flexible/Num)*i+Flexible)表示自然常数e的(-(Flexible/Num)*i+Flexible)次方,i为S型速度曲线方程循环计算过程中的索引,i表示空中运输车在当前加速或减速过程中(空中运输车由当前速度值变为目标速度值的过程中)第i次发生的速度变化,i的取值从0开始到速度变化总次数结束。
采取S型曲线(S型速度曲线方程)进行加减速的优点是OHT启动和停止均较为平稳,但启动和停止的时间较长,这在一定的程度上会影响晶圆盒搬送效率。一般情况下,S型曲线采用对称形式,即只需要计算加速曲线,在减速时作反向操作即可,但OHT在搬送轨道上实际运行时,启动阶段需克服摩擦力,但在减速阶段,摩擦力转化为减速的动力,若继续采取对称形式,则需降低伺服电机的输出扭矩,这在一定程度上造成电机的性能浪费。因此,综合实际情况,OHT在减速阶段的平均加速度大于加速阶段的平均加速度,这在一定程度上,提高了晶圆盒的搬送效率。
具体地,以S型速度曲线方程为依据,控制空中运输车进入速度运行模式后进行加速,并在加速至第一速度阈值后以第一速度阈值匀速运行之后,还包括:
当检测到转弯标签时,以S型速度曲线方程为依据,控制空中运输车减速至第二速度阈值后匀速运行;
在空中运输车减速的同时,控制空中运输车的导向轮进行转向,以使空中运输车以第二速度阈值匀速转弯;
当空中运输车转弯完成后,以S型速度曲线方程为依据,控制空中运输车加速至第一速度阈值后匀速运行。
在空中运输车匀速运行过程中,当空中运输车控制系统检测到转弯标签时,以S型速度曲线方程为依据,控制空中运输车进行转弯,如图5所示,图5为空中运输车的转弯运行速度示意图,其中,A为第一速度阈值的匀速阶段,B为转弯减速阶段,C为匀速转弯阶段,D为加速阶段,E为第一速度阈值的匀速阶段,横坐标为时间,纵坐标为速度,由图5可知,当空中运输车控制系统检测到转弯标签时,控制空中运输车减速至第二速度阈值后匀速运行,在空中运输车减速的同时,控制空中运输车的导向轮进行转向,以使空中运输车以第二速度阈值匀速转弯,当空中运输车转弯完成后,以S型速度曲线方程为依据,控制空中运输车加速至第一速度阈值后匀速运行。
具体地,当空中运输车转弯完成后,以S型速度曲线方程为依据,控制空中运输车加速至第一速度阈值后匀速运行,包括:
当空中运输车转弯完成后,以S型速度曲线方程为依据,以第一速度阈值为目标速度值,控制空中运输车进行加速;
判断在空中运输车转弯后的加速过程中是否检测到预停止标签或转弯标签;若是,则控制空中运输车停止加速并立刻执行预停止标签或转弯标签对应的操作;若否,则控制空中运输车加速至第一速度阈值后匀速运行。
在空中运输车转弯后,以S型速度曲线方程为依据,以第一速度阈值为目标速度值,控制空中运输车进行加速,在空中运输车转弯后的加速过程中,当检测到预停止标签或转弯标签时,则控制空中运输车停止加速并立刻执行预停止标签或转弯标签对应的操作,否则,则正常控制空中运输车,使得空中运输车加速至第一速度阈值后匀速运行。
具体地,在步骤S104中,当检测到预停止标签时,以S型速度曲线方程为依据,控制空中运输车执行预停止标签对应的停车操作,以使空中运输车停在目的地,包括:
当检测到预停止标签时,以S型速度曲线方程为依据,控制空中运输车减速至第三速度阈值后匀速运行;
在检测到检知片后,将空中运输车从速度运行模式切换为位置运行模式并控制空中运输车向前行进预设距离后停止,以使空中运输车到达目的地。
在步骤S104中,在空中运输车运行过程中,当空中运输车控制系统检测到预停止标签时,以S型速度曲线方程为依据,控制空中运输车执行预停止标签对应的停车操作,以使空中运输车停在目的地,如图4所示,图4为空中运输车的直线运行速度示意图,其中,a为启动阶段,b为加速阶段,c为第一速度阈值的匀速阶段,d为检测到预停止标签,e为预停止减速阶段,f为第三速度阈值的匀速阶段,g为检测到检知片后的位置运行模式,h为到达目的地,横坐标为时间,纵坐标为速度,由图4可知,当控制系统检测到预停止标签时,以S型速度曲线方程为依据,控制空中运输车减速至第三速度阈值后匀速运行,在空中运输车以第三速度阈值进行匀速运行时,控制系统会检测到检知片,在检测到检知片后,控制系统将空中运输车从速度运行模式切换为位置运行模式,控制空中运输车以S型速度曲线方程为依据进行减速并使空中运输车向前行进预设距离后停止,以使空中运输车到达目的地。
由上可知,该空中运输车控制方法,通过获取空中运输车所接收的搬送任务的任务信息,根据任务信息中的目的地与空中运输车的距离,确定空中运输车的第一速度阈值,以S型速度曲线方程为依据,控制空中运输车进入速度运行模式后进行加速,并在加速至第一速度阈值后以第一速度阈值匀速运行,当检测到预停止标签时,以S型速度曲线方程为依据,控制空中运输车执行预停止标签对应的停车操作,以使空中运输车停在目的地;从而,通过空中运输车控制系统,以S型速度曲线方程为依据,对空中运输车进行控制,解决现有的空中运输车为了平稳搬送而采用较低的运行速度导致搬送周期加长的技术问题,使得空中运输车能够即快又稳地将晶圆盒搬送到指定位置,提高了空中运输车的运输效率。
请参照图3,图3为本申请实施例提供的一种电子设备的结构示意图,本申请提供一种电子设备,包括:处理器301和存储器302,处理器301和存储器302通过通信总线303和/或其他形式的连接机构(未标出)互连并相互通讯,存储器302存储有处理器301可执行的计算机程序,当电子设备运行时,处理器301执行该计算机程序,以执行上述实施例的任一可选的实现方式中的空中运输车控制方法,以实现以下功能:获取空中运输车所接收的搬送任务的任务信息,根据任务信息中的目的地与空中运输车的距离,确定空中运输车的第一速度阈值,以S型速度曲线方程为依据,控制空中运输车进入速度运行模式后进行加速,并在加速至第一速度阈值后以第一速度阈值匀速运行,当检测到预停止标签时,以S型速度曲线方程为依据,控制空中运输车执行预停止标签对应的停车操作,以使空中运输车停在目的地。
本申请实施例提供一种计算机可读存储介质,其上存储有计算机程序,计算机程序被处理器执行时,执行上述实施例的任一可选的实现方式中的空中运输车控制方法,以实现以下功能:获取空中运输车所接收的搬送任务的任务信息,根据任务信息中的目的地与空中运输车的距离,确定空中运输车的第一速度阈值,以S型速度曲线方程为依据,控制空中运输车进入速度运行模式后进行加速,并在加速至第一速度阈值后以第一速度阈值匀速运行,当检测到预停止标签时,以S型速度曲线方程为依据,控制空中运输车执行预停止标签对应的停车操作,以使空中运输车停在目的地。其中,存储介质可以由任何类型的易失性或非易失性存储设备或者它们的组合实现,如静态随机存取存储器(Static RandomAccess Memory, 简称SRAM),电可擦除可编程只读存储器(Electrically ErasableProgrammable Read-Only Memory, 简称EEPROM),可擦除可编程只读存储器(ErasableProgrammable Read Only Memory, 简称EPROM),可编程只读存储器(Programmable Red-Only Memory, 简称PROM),只读存储器(Read-Only Memory, 简称ROM),磁存储器,快闪存储器,磁盘或光盘。
在本申请所提供的实施例中,应该理解到,所揭露装置和方法,可以通过其它的方式实现。以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的,例如,所述单元的划分,仅仅为一种逻辑功能划分,实际实现时可以有另外的划分方式,又例如,多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个系统,或一些特征可以忽略,或不执行。另一点,所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些通信接口,装置或单元的间接耦合或通信连接,可以是电性,机械或其它的形式。
另外,作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的,作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元,既可以位于一个地方,或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施例方案的目的。
再者,在本申请各个实施例中的各功能模块可以集成在一起形成一个独立的部分,也可以是各个模块单独存在,也可以两个或两个以上模块集成形成一个独立的部分。
在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。
以上所述仅为本申请的实施例而已,并不用于限制本申请的保护范围,对于本领域的技术人员来说,本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本申请的保护范围之内。
Claims (9)
1.一种空中运输车控制系统,用于对空中运输车进行控制,其特征在于,所述空中运输车控制系统包括可编程逻辑控制器(1)、伺服驱动器(2)、伺服电机(3)、行星减速机(4)、行走轮(5)、射频识别技术数据读写器(6)和光电传感器(7);可编程逻辑控制器(1)、伺服驱动器(2)、射频识别技术数据读写器(6)和光电传感器(7)安装在空中运输车的下部;伺服电机(3)、行星减速机(4)和行走轮(5)安装在空中运输车上;
所述可编程逻辑控制器(1)用于控制所述空中运输车控制系统;
所述伺服驱动器(2)用于驱动所述伺服电机(3);
所述伺服电机(3)用于以S型速度曲线方程为依据,控制所述空中运输车的速度;
所述行星减速机(4)用于驱动所述行走轮(5);
所述行走轮(5)用于带动所述空中运输车沿搬送轨道运行;
所述射频识别技术数据读写器(6)用于识别预设的指令标签;
所述光电传感器(7)用于识别预设的检知片;
所述S型速度曲线方程具体为:
Vcurrent=Vstart+(Vend-Vstart)/(1+exp(-(Flexible/Num)*i+Flexible));
其中,Vcurrent为空中运输车的当前速度值;Vstart为空中运输车的起始速度值,Vend为空中运输车的目标速度值,Flexible代表S型速度曲线方程的平滑程度,Flexible越大说明加速度越大,即S型速度曲线方程的曲线越陡,Flexible越小说明S型速度曲线方程的曲线越平滑;Num为当前加速或减速过程中的速度变化总次数的一半;exp为以自然常数e为底的指数函数,exp(-(Flexible/Num)*i+Flexible)表示自然常数e的(-(Flexible/Num)*i+Flexible)次方,i为S型速度曲线方程循环计算过程中的索引,i表示空中运输车在当前加速或减速过程中第i次发生的速度变化,i的取值从0开始到速度变化总次数结束。
2.根据权利要求1所述的空中运输车控制系统,其特征在于,所述预设的指令标签和所述预设的检知片安装在所述搬送轨道上。
3.根据权利要求1所述的空中运输车控制系统,其特征在于,所述预设的指令标签包括预停止标签和转弯标签;
所述可编程逻辑控制器(1)还用于在所述射频识别技术数据读写器(6)检测到所述预停止标签时,控制所述空中运输车执行所述预停止标签对应的停车操作,以使空中运输车停在目的地;
所述可编程逻辑控制器(1)还用于在所述射频识别技术数据读写器(6)检测到所述转弯标签时,控制所述空中运输车执行所述转弯标签对应的转弯操作。
4.一种空中运输车控制方法,其特征在于,应用于权利要求3所述的空中运输车控制系统以对空中运输车进行控制,包括步骤:
获取所述空中运输车所接收的搬送任务的任务信息;
根据所述任务信息中的目的地与所述空中运输车的距离,确定所述空中运输车的第一速度阈值;
以S型速度曲线方程为依据,控制所述空中运输车进入速度运行模式后进行加速,并在加速至所述第一速度阈值后以所述第一速度阈值匀速运行;
当检测到预停止标签时,以所述S型速度曲线方程为依据,控制所述空中运输车执行所述预停止标签对应的停车操作,以使所述空中运输车停在目的地。
5.根据权利要求4所述空中运输车控制方法,其特征在于,以S型速度曲线方程为依据,控制所述空中运输车进入速度运行模式后进行加速,并在加速至所述第一速度阈值后以所述第一速度阈值匀速运行之后,还包括:
当检测到转弯标签时,以所述S型速度曲线方程为依据,控制所述空中运输车减速至第二速度阈值后匀速运行;
在所述空中运输车减速的同时,控制所述空中运输车的导向轮进行转向,以使所述空中运输车以第二速度阈值匀速转弯;
当所述空中运输车转弯完成后,以所述S型速度曲线方程为依据,控制所述空中运输车加速至所述第一速度阈值后匀速运行。
6.根据权利要求5所述空中运输车控制方法,其特征在于,当所述空中运输车转弯完成后,以所述S型速度曲线方程为依据,控制所述空中运输车加速至所述第一速度阈值后匀速运行,包括:
当所述空中运输车转弯完成后,以所述S型速度曲线方程为依据,以所述第一速度阈值为目标速度值,控制所述空中运输车进行加速;
判断在所述空中运输车转弯后的加速过程中是否检测到预停止标签或转弯标签;若是,则控制所述空中运输车停止加速并立刻执行所述预停止标签或所述转弯标签对应的操作;若否,则控制所述空中运输车加速至所述第一速度阈值后匀速运行。
7.根据权利要求4所述空中运输车控制方法,其特征在于,当检测到预停止标签时,以所述S型速度曲线方程为依据,控制所述空中运输车执行所述预停止标签对应的停车操作,以使所述空中运输车停在目的地,包括:
当检测到所述预停止标签时,以所述S型速度曲线方程为依据,控制所述空中运输车减速至第三速度阈值后匀速运行;
在检测到检知片后,将所述空中运输车从所述速度运行模式切换为位置运行模式并控制所述空中运输车向前行进预设距离后停止,以使所述空中运输车到达目的地。
8.一种电子设备,其特征在于,包括处理器和存储器,所述存储器存储有所述处理器可执行的计算机程序,所述处理器执行所述计算机程序时,运行如权利要求4-7任一项所述空中运输车控制方法中的步骤。
9.一种计算机可读存储介质,其上存储有计算机程序,其特征在于,所述计算机程序被处理器执行时运行如权利要求4-7任一项所述空中运输车控制方法中的步骤。
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110101511B (zh) * | 2019-06-17 | 2020-06-02 | 青岛安捷医疗科技有限公司 | 人员转运车的智能辅助控制系统 |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110101511B (zh) * | 2019-06-17 | 2020-06-02 | 青岛安捷医疗科技有限公司 | 人员转运车的智能辅助控制系统 |
KR20220056394A (ko) * | 2020-10-28 | 2022-05-06 | 세메스 주식회사 | 이송 장치 및 그 제어 방법 |
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Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
《Minimum-time S-curve commands for vibration-free transportation of an overhead crane with actuator limits》;Ho Duc Tho等;《Control Engineering Practice》(第98期);第1页左栏第5行-第12页左栏第9行 * |
《基于 PLC 和机器人技术的锂电池拆解自动控制系统研究》;方国平等;《工业控制计算机》;第32卷(第3期);第81页左栏第5行-第82页右栏第3行 * |
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