JP7407067B2 - 搬送装置、搬送方法および搬送システム - Google Patents
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Images
Description
5 搬送装置
10 ロボット
10-1 第1ロボット
10-2 第2ロボット
10-3 第3ロボット
10-4 第4ロボット
10A RθZロボット
10B 多自由度ロボット
10C 双腕ロボット
10D 双腕ロボット
10rt 旋回領域
11 アーム
11a 第1アーム
11b 第2アーム
12 ハンド
15 昇降機構
20 コントローラ
21 制御部
21a 取得部
21b 動作制御部
22 記憶部
22a 教示情報
100 搬送室
100c 上壁
100ci 上面
100f 床壁
100fi 床面
100sw 側壁
100sw1 第1側壁
100sw2 第2側壁
100sw3 第3側壁
100sw4 第4側壁
101 開口
110 固定式バッファ
111 支柱
112 保持部(バッファ)
112a パッド
AH1 第1回転軸
AH2 第2回転軸
AH3 第3回転軸
AV 昇降軸
B ベース部
CL 中心線
CW 載置中心
F フランジ
LL ロードロック室
PC 処理室
S センサ
W 基板
WA 基板授受位置(載置領域)
Claims (15)
- 搬送室の室内に固定され、基板が載置されるハンドと、少なくとも旋回動作によって前記ハンドを移動させるアームとをそれぞれ有する少なくとも4台のロボットと、
前記搬送室の室内に固定され、前記基板を少なくとも2枚載置可能であって前記少なくとも4台のロボットすべてが前記基板を授受可能な固定式バッファと
を備え、
前記少なくとも4台のロボットは、
上面視において、互いの前記旋回動作の旋回領域が重ならず、かつ、前記固定式バッファの周囲において前記基板を前記固定式バッファと授受可能な位置にそれぞれ配置されること
を特徴とする搬送装置。 - 前記少なくとも4台のロボットは、
上面視において、時計回りに第1ロボット、第2ロボット、第3ロボットおよび第4ロボットの4台であり、
前記搬送室は、
上面視において矩形状であり、時計回りに第1側壁、第2側壁、第3側壁および第4側壁を有し、前記第1側壁の外側に前記第1ロボットおよび前記第2ロボットそれぞれの基板授受位置が、前記第2側壁の外側に前記第2ロボットおよび前記第3ロボットそれぞれの基板授受位置が、前記第3側壁の外側に前記第3ロボットおよび前記第4ロボットそれぞれの基板授受位置が、前記第4側壁の外側に前記第4ロボットおよび前記第1ロボットそれぞれの基板授受位置が、設けられること
を特徴とする請求項1に記載の搬送装置。 - 前記基板授受位置は、
前記第4側壁の外側ではロードロック室の室内にあり、前記第1側壁、前記第2側壁および前記第3側壁の外側では前記基板の処理室の室内にそれぞれあること
を特徴とする請求項2に記載の搬送装置。 - 前記固定式バッファは、
前記基板の載置中心が前記4台のロボットの各旋回領域で囲まれる領域の中心位置にあること
を特徴とする請求項2に記載の搬送装置。 - 前記4台のロボットは、
前記旋回領域の大きさが同じであること
を特徴とする請求項2に記載の搬送装置。 - 前記4台のロボットは、
鉛直向きに1自由度で水平向きに2自由度の3自由度のロボットであること
を特徴とする請求項2に記載の搬送装置。 - 前記4台のロボットは、
水平向きに2自由度の2自由度のロボットであり、
前記固定式バッファは、
前記基板の載置位置を昇降させる昇降機構を有すること
を特徴とする請求項2に記載の搬送装置。 - 前記固定式バッファは、
前記基板の載置領域が前記4台のロボットの各旋回領域の外側にあること
を特徴とする請求項2に記載の搬送装置。 - 前記固定式バッファは、
前記基板の載置領域の中心と前記4台のロボットの各旋回中心とをそれぞれ結ぶ線に沿って前記ハンドによって搬送される前記基板の移動軌跡の外側にバッファを支持する支柱を有すること
を特徴とする請求項2に記載の搬送装置。 - 前記固定式バッファは、
前記基板の載置領域および前記4台のロボットの各旋回領域の外側にバッファを支持する支柱を有すること
を特徴とする請求項2に記載の搬送装置。 - 前記固定式バッファは、
バッファにおける前記基板の載置領域と前記4台のロボットのうち隣り合うロボットの各旋回領域とに囲まれた外部領域にバッファを支持する支柱を有すること
を特徴とする請求項2に記載の搬送装置。 - 前記固定式バッファに載置される前記基板の有無を検出するセンサが対向する2つの側壁にそれぞれ設けられること
を特徴とする請求項1に記載の搬送装置。 - 前記固定式バッファは、
前記基板の載置領域の一部が、少なくともいずれか一つの前記ロボットの前記旋回領域と重なるように前記搬送室の上面に固定され、
前記ロボットは、
前記固定式バッファへの干渉を回避する非干渉動作を行うこと
を特徴とする請求項1に記載の搬送装置。 - 搬送室の室内に固定され、基板が載置されるハンドと、少なくとも旋回動作によって前記ハンドを移動させるアームとをそれぞれ有する少なくとも4台のロボットと、
前記搬送室の室内に固定され、前記基板を少なくとも2枚載置可能であって前記少なくとも4台のロボットすべてが前記基板を授受可能な固定式バッファと
を用い、
前記少なくとも4台のロボットは、
上面視において、互いの前記旋回動作の旋回領域が重ならず、かつ、前記固定式バッファの周囲において前記基板を前記固定式バッファと授受可能な位置にそれぞれ配置されており、
前記固定式バッファとの前記基板の授受をすべての前記ロボットに行わせること
を特徴とする搬送方法。 - 搬送室と、
前記搬送室の室内に固定され、基板が載置されるハンドと、少なくとも旋回動作によって前記ハンドを移動させるアームとをそれぞれ有する少なくとも4台のロボットと、
前記搬送室の室内に固定され、前記基板を少なくとも2枚載置可能であって前記少なくとも4台のロボットすべてが前記基板を授受可能な固定式バッファと
を備え、
前記少なくとも4台のロボットは、
上面視において、互いの前記旋回動作の旋回領域が重ならず、かつ、前記固定式バッファの周囲において前記基板を前記固定式バッファと授受可能な位置にそれぞれ配置されること
を特徴とする搬送システム。
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JP2020089231A JP7407067B2 (ja) | 2020-05-21 | 2020-05-21 | 搬送装置、搬送方法および搬送システム |
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2020
- 2020-05-21 JP JP2020089231A patent/JP7407067B2/ja active Active
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