CN103979245A - 一种晶盒仓储柜搁架的配置方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 25
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title abstract description 18
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 claims description 9
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 4
- 238000011084 recovery Methods 0.000 claims description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
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Abstract
本发明公开了一种晶盒仓储柜搁架的配置方法，包括以下步骤：步骤S1、检测单元获取晶盒类型，检测单元将信号反馈至控制单元；步骤S2、控制单元判断仓储柜搁架上同类型的晶盒位是否已存满；步骤S3、控制单元控制机械手取放晶盒，如同类型的晶盒位未存满，则机械手将晶盒配置到同类型的晶盒位上；如同类型的晶盒位已存满，则机械手将晶盒配置到仓储柜搁架上其他已预设优先级的晶盒位上，配置晶盒顺序按晶盒位的优先级的顺序排列。本发明通过检测单元获取晶盒类型，同时控制单元判断同类型的晶盒位是否已存满，通过机械手可将晶盒配置到其他已预设优先级的晶盒位上，提高了仓储柜搁架的利用率，使仓储柜搁架的使用更加灵活。
Description
技术领域
本发明涉及半导体技术领域，特别涉及半导体晶盒仓储柜搁架的配置方法。
背景技术
由于集成电路的发展速度快，晶圆厂建设成本高，同时半导体制造设备价格昂贵，所以晶盒厂对半导体设备的有效利用率的要求也不断提高，其中，半导体设备包括立式氧化炉、低温退火炉、高温退火炉等批处理设备，而半导体晶圆被放在FOUP(晶圆传送盒，简称晶盒)中，每个FOUP能够携带25个300毫米直径的晶圆。
现有仓储柜搁架一般设有16个晶盒位，每个晶盒位配置一晶盒，晶盒及晶盒位通常包括4种类型，分别为Product、Dummy、Extra Dummy和Monitor。通常仓储柜搁架的16个晶盒位对应配置的晶盒位的类型为：8个Product+1个Dummy+5个Extra Dummy+2个Monitor，即4种类型晶盒位，共16个晶盒位。
如图1所示，图1为现有晶盒仓储柜搁架的配置方法步骤流程图。现有技术中，将晶盒配置在仓储柜搁架上的步骤为：步骤S1、检测单元获取晶盒类型，检测单元将信号反馈至控制单元；其中，晶盒包括4种类型，即Product、Dummy、Extra Dummy和Monitor中的任意一种；步骤S2，所述控制单元判断仓储柜搁架上同类型的晶盒位是否已存满；步骤S3，所述控制单元发出命令控制机械手取放晶盒，如同类型的晶盒位空置，则机械手将该晶盒配置在该仓储柜搁架上的相应同类型的晶盒位上，如同类型的晶盒位存满，该仓储柜将不能再存放该类型的晶盒。
但现有晶盒仓储柜搁架的配置方法存在一定缺陷，例如：当晶盒其中一种类型在该仓储柜搁架上相应类型的晶盒位已经存储满时，则该仓储柜将不能再存放该类型的晶盒，即便该仓储柜搁架上其他类型的晶盒位处于空置状态，因此，仓储柜搁架的利用率未能得到充分利用，提供一种晶盒仓储柜搁架的配置方法称为本领域技术人员亟待解决的问题。
发明内容
本发明所要解决的技术是提供一种晶盒仓储柜搁架的配置方法，提高了仓储柜搁架的利用率，使仓储柜搁架的使用更加灵活。
本发明提供的一种晶盒仓储柜搁架的配置方法，仓储柜搁架上设有固定数量的不同类型的晶盒位，包括以下步骤：
步骤S1、检测单元获取晶盒类型，检测单元将信号反馈至控制单元；
步骤S2、所述控制单元判断仓储柜搁架上同类型的晶盒位是否已存满；
步骤S3、所述控制单元发出命令控制机械手取放晶盒，如同类型的晶盒位未存满，则机械手将晶盒配置到同类型的晶盒位上；如同类型的晶盒位已存满，则机械手将晶盒配置到仓储柜搁架上其他已预设优先级的晶盒位上，配置晶盒顺序按晶盒位的优先级的顺序排列，直至将待置晶盒配置完毕。
优选的，若仓储柜搁架上的晶盒被运出，则所述控制单元将该晶盒位恢复到默认配置的类型。
优选的，所述控制单元对仓储柜搁架上同类型的晶盒位进行编号，所述编号由小到大排序。
优选的，所述机械手配置晶盒按晶盒位由小到大的编号顺序配置。
优选的，步骤S3中，如同类型的晶盒位已存满，晶盒需配置到其他已预设优先级的晶盒位上时，则先改变待配置的晶盒位的类型，使待配置的晶盒位类型和晶盒类型保持一致，然后将晶盒配置到仓储柜搁架上。
优选的，当仓储柜搁架上的晶盒位全部存满时，提示所述机械手不再进行晶盒运送。
优选的，所述仓储柜搁架上设有16个晶盒位。
优选的，所述晶盒和晶盒位均设有4种不同类型。其中，所述晶盒和晶盒位的4种类型包括Product、Dummy、Extra Dummy和Monitor。
与现有技术相比，本发明提供的晶盒仓储柜搁架的配置方法，通过检测单元获取晶盒类型，同时控制单元判断同类型的晶盒位是否已存满，通过机械手可将晶盒配置到其他已预设优先级的晶盒位上，提高了仓储柜搁架的利用率，使仓储柜搁架的使用更加灵活。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为现有晶盒仓储柜搁架的配置方法步骤流程图；
图2为本发明提供的晶盒仓储柜搁架的配置方法步骤流程图。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明的实施方式作进一步地详细描述。本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点与功效。本发明还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本发明的精神下进行各种修饰或改变。
图2为本发明提供的晶盒仓储柜搁架的配置方法步骤流程图。
如图2所示，本具体实施方式提供一种晶盒仓储柜搁架的配置方法，仓储柜搁架上设有固定数量的不同类型的晶盒位，包括以下步骤：
步骤S1、检测单元获取晶盒类型，检测单元将信号反馈至控制单元；
步骤S2、控制单元判断仓储柜搁架上同类型的晶盒位是否已存满；
步骤S3、控制单元发出命令控制机械手取放晶盒，如同类型的晶盒位未存满，则机械手将晶盒配置到同类型的晶盒位上；如同类型的晶盒位已存满，则机械手将晶盒配置到仓储柜搁架上其他已预设优先级的晶盒位上，配置晶盒顺序按晶盒位的优先级的顺序排列，直至将待置晶盒配置完毕。
作为本发明一实施例，若仓储柜搁架上的晶盒被运出，则控制单元将该晶盒位恢复到默认配置的类型。当机械手将晶盒配置在所述仓储柜搁架上后，应使晶盒的类型与晶盒位的类型保持一致，尤其是如同类型的晶盒位已存满，晶盒需配置到其他已预设优先级的晶盒位上时，则先改变待配置的晶盒位的类型，使待配置的晶盒位类型和晶盒类型保持一致，然后将晶盒配置到仓储柜搁架上。当仓储柜搁架上的晶盒位全部存满时，可提示机械手不再进行晶盒运送。
本发明所提供的实施例中，仓储柜搁架上设有16个晶盒位，晶盒和晶盒位设有4种不同类型。其中，所述晶盒和晶盒位的4种类型包括Product、Dummy、Extra Dummy和Monitor。
本实施例中，控制单元可对仓储柜搁架上的同类型的晶盒位进行编号，所述编号由小到大排序，即晶盒位编号由小到大：shelf1，shelf2，…，shelf16。较佳的，机械手配置同类型的晶盒，按仓储柜搁架上同类型晶盒位的编号由小到大的顺序配置。
本实施例中，如图2所示，首先，检测单元获取晶盒类型，检测单元将信号反馈至控制单元；其次，控制单元判断仓储柜搁架上同类型的晶盒位是否已存满；最后，所述控制单元同时控制机械手取放晶盒，如同类型的晶盒位未存满，则将晶盒配置到该同类型的晶盒位上；较佳的，机械手配置同类型的晶盒按同类型晶盒位编号由小到大的顺序配置，即按晶盒位编号为：shelf1，shelf2，…，shelf16；如同类型的晶盒位已存满，则机械手将晶盒配置到仓储柜搁架上其他已预设优先级的晶盒位上，配置晶盒顺序按晶盒位的优先级顺序排列，直至将待置晶盒配置完毕。
本实施例中，晶盒位包括4种类型，可预设优先级，包括第一优先级、第二优先级及第三优先级，当同类型的晶盒位已存满时，则将晶盒配置到仓储柜搁架上第一优先级的晶盒位上，当第一优先级的晶盒置满时，所述机械手将晶盒配置到第二优先级的晶盒位上，依次类推，直至将待置晶盒配置完毕。值得说明的是，同类型的同一优先级中晶盒位的编号可以由小到大配置，配置晶盒按照晶盒位的编号由小到大的顺序排列。
本发明提供的晶盒仓储柜搁架的配置方法，通过检测单元获取晶盒类型，同时控制单元判断同类型的晶盒位是否已存满，通过机械手可将晶盒配置到其他已预设优先级的晶盒位上，提高了仓储柜搁架的利用率，使仓储柜搁架的使用更加灵活。
上述说明示出并描述了本发明的若干优选实施例，但如前所述，应当理解本发明并非局限于本文所披露的形式，不应看作是对其他实施例的排除，而可用于各种其他组合、修改和环境，并能够在本文所述发明构想范围内，通过上述教导或相关领域的技术或知识进行改动。而本领域人员所进行的改动和变化不脱离本发明的精神和范围，则都应在本发明所附权利要求的保护范围内。
Claims (8)
1.一种晶盒仓储柜搁架的配置方法，仓储柜搁架上设有固定数量的不同类型的晶盒位，其特征在于，包括以下步骤：
步骤S1、检测单元获取晶盒类型，检测单元将信号反馈至控制单元；
步骤S2、所述控制单元判断仓储柜搁架上同类型的晶盒位是否已存满；
步骤S3、所述控制单元发出命令控制机械手取放晶盒，如同类型的晶盒位未存满，则机械手将晶盒配置到同类型的晶盒位上；如同类型的晶盒位已存满，则机械手将晶盒配置到仓储柜搁架上其他已预设优先级的晶盒位上，配置晶盒顺序按晶盒位的优先级的顺序排列，直至将待置晶盒配置完毕。
2.根据权利要求1所述的晶盒仓储柜搁架的配置方法，其特征在于，若仓储柜搁架上的晶盒被运出，则所述控制单元将该晶盒位恢复到默认配置的类型。
3.根据权利要求1所述的晶盒仓储柜搁架的配置方法，其特征在于，所述控制单元对仓储柜搁架上同类型的晶盒位进行编号，所述编号由小到大排序。
4.根据权利要求3所述的晶盒仓储柜搁架的配置方法，其特征在于，所述机械手配置晶盒按晶盒位由小到大的编号顺序配置。
5.根据权利要求1～4任一所述的晶盒仓储柜搁架的配置方法，其特征在于，步骤S3中，如同类型的晶盒位已存满，晶盒需配置到其他已预设优先级的晶盒位上时，则先改变待配置的晶盒位的类型，使待配置的晶盒位类型和晶盒类型保持一致，然后将晶盒配置到仓储柜搁架上。
6.根据权利要求1～4任一所述的晶盒仓储柜搁架的配置方法，其特征在于，当仓储柜搁架上的晶盒位全部存满时，提示所述机械手不再进行晶盒运送。
7.根据权利要求6所述的晶盒仓储柜搁架的配置方法，其特征在于，所述仓储柜搁架上设有16个晶盒位。
8.根据权利要求7所述的晶盒仓储柜搁架的配置方法，其特征在于，所述晶盒和晶盒位均设有4种不同类型。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201410200319.9A CN103979245B (zh) | 2014-05-13 | 2014-05-13 | 一种晶盒仓储柜搁架的配置方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201410200319.9A CN103979245B (zh) | 2014-05-13 | 2014-05-13 | 一种晶盒仓储柜搁架的配置方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN103979245A true CN103979245A (zh) | 2014-08-13 |
| CN103979245B CN103979245B (zh) | 2016-01-27 |
Family
ID=51271465
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201410200319.9A Active CN103979245B (zh) | 2014-05-13 | 2014-05-13 | 一种晶盒仓储柜搁架的配置方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN103979245B (zh) |
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|---|---|
| CN103979245B (zh) | 2016-01-27 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CP03 | Change of name, title or address |
Address after: 100015 No. 1 East Jiuxianqiao Road, Beijing, Chaoyang District Patentee after: North China Science and technology group Limited by Share Ltd. Address before: 100016 Jiuxianqiao East Road, Beijing, No. 1, No. Patentee before: BEIJING SEVENSTAR ELECTRONIC Co.,Ltd. |
|
| CP03 | Change of name, title or address | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20180123 Address after: 100176 No. 8, Wenchang Avenue, Beijing economic and Technological Development Zone Patentee after: BEIJING NAURA MICROELECTRONICS EQUIPMENT Co.,Ltd. Address before: 100015 No. 1 East Jiuxianqiao Road, Beijing, Chaoyang District Patentee before: North China Science and technology group Limited by Share Ltd. |
|
| TR01 | Transfer of patent right |