KR102362250B1 - 교체용 트레이 이송 장치 - Google Patents

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Abstract

교체용 트레이 이송 장치는 적재부, 제1 트레이 이송부 및 제2 트레이 이송부를 포함한다. 상기 적재부는 테스트 핸들러에 배치되며, 서로 다른 종류의 반도체 소자들이 탑재되는 제1 및 제2 트레이들이 다수 적재되는 제1 및 제2 적재 공간들을 갖는다. 상기 제1 트레이 이송부는 상기 제1 적재 공간과 상기 테스트 핸들러 사이에 배치되며, 상기 제1 적재 공간에 적재된 제1 트레이를 상기 테스트 핸들러에 인입시키거나, 상기 테스트 핸들러로부터 상기 제1 트레이를 상기 제1 적재 공간에 적재시킨다. 상기 제2 트레이 이송부는 상기 제2 적재 공간과 상기 테스트 핸들러 사이에 배치되며, 상기 제2 적재 공간에 적재된 제2 트레이를 상기 테스트 핸들러에 인입시키거나, 상기 테스트 핸들러로부터 상기 제2 트레이를 상기 제2 적재 공간에 적재시킨다.

Description

교체용 트레이 이송 장치{APPARATUS FOR TRANSFERRING A TRAY CHANGING }
본 발명은 트레이 이송 장치에 관한 것으로써, 더욱 상세하게는 반도체 소자의 전기적인 성능을 테스트하기 위한 테스트 공정에서 상기 반도체 소자를 트레이에 탑재된 상태로 핸들링하는 테스트 핸들러에서 상기 트레이의 교체를 위한 이송 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 소자는 칩이 기판 상에 연결된 구조를 갖는 전자 부품 중의 하나이다. 상기 반도체 소자는 일 예로, 디램(DRAM), 에스램(SRAM) 등과 같은 메모리 소자를 포함할 수 있다.
상기 반도체 소자는 실리콘 재질의 얇은 단결정 기판으로 이루어진 웨이퍼(wafer)를 기초로 하여 제조된다. 구체적으로, 상기 반도체 소자는 상기 웨이퍼 상에 회로 패턴이 패터닝된 다수의 칩들을 형성하는 팹 공정과, 상기 팹 공정에서 형성된 칩들 각각을 기판들 각각에 전기적으로 연결시키는 본딩 공정, 상기 기판에 연결된 칩을 외부로부터 보호하기 위한 몰딩 공정 등을 수행하여 제조된다. 이렇게 제조된 반도체 소자들은 별도의 테스트 공정을 거쳐 그 전기적인 기능을 검사하게 된다.
이때, 상기 테스트 공정은 실질적으로 상기 반도체 소자들을 대상으로 테스트를 수행하는 테스트 장치와 상기 테스트 장치에 상기 반도체 소자들을 접속시키면서 이송시키기 위해 상기 반도체 소자들을 핸들링하는 테스트 핸들러를 통해 진행된다. 구체적으로, 상기 테스트 핸들러에서는 상기 반도체 소자들을 테스트 트레이에 탑재시킨 상태로 이송하면서 상기 테스트 공정을 수행한다. 이에 대해서는 대한민국 특허공개 제10-2015-0010040(공개일; 2015.01.25., 인라인 테스트 핸들러 및 인라인 테스트 핸들러에서 테스트 트레이 이송 제어 방법)에 유사하게 개시되어 있다.
하지만, 상기와 같은 테스트 공정에서 대상이 되는 반도체 소자들의 종류를 변경하고자 할 경우에는 상기 테스트 핸들러를 정지시킨 상태에서 상기 변경되는 반도체 소자들에 따라 상기 테스트 트레이를 작업자가 직접 교체하여야 하는 번거로움이 있다.
본 발명의 목적은 테스트 공정이 진행되는 반도체 소자들의 종류가 변경될 경우에도 상기 반도체 소자들이 탑재되는 테스트 트레이를 테스트 핸들러의 정지 없이 연속적으로 교체할 수 있는 트레이 이송 장치를 제공하는 것이다.
상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 일 특징에 따른 교체용 트레이 이송 장치는 적재부, 제1 트레이 이송부 및 제2 트레이 이송부를 포함한다.
상기 적재부는 테스트 핸들러에 배치되며, 서로 다른 종류의 반도체 소자들이 탑재되는 제1 및 제2 트레이들이 다수 적재되는 제1 및 제2 적재 공간들을 갖는다. 상기 제1 트레이 이송부는 상기 제1 적재 공간과 상기 테스트 핸들러 사이에 배치되며, 상기 제1 적재 공간에 적재된 제1 트레이를 상기 테스트 핸들러에 인입시키거나, 상기 테스트 핸들러로부터 상기 제1 트레이를 상기 제1 적재 공간에 적재시킨다. 상기 제2 트레이 이송부는 상기 제2 적재 공간과 상기 테스트 핸들러 사이에 배치되며, 상기 제2 적재 공간에 적재된 제2 트레이를 상기 테스트 핸들러에 인입시키거나, 상기 테스트 핸들러로부터 상기 제2 트레이를 상기 제2 적재 공간에 적재시킨다.
일 실시예에 따른 상기 트레이 이송 장치는 상기 제1 및 제2 트레이 이송부들과 연결되며 상기 제1 및 제2 트레이 이송부들 중 어느 하나가 상기 제1 또는 제2 트레이를 상기 테스트 핸들러에 인입할 때, 다른 하나는 상기 테스트 핸들러로부터 상기 제1 또는 제2 트레이를 상기 제1 또는 제2 적재 공간에 적재하도록 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 따른 상기 트레이 적재부는 상기 제1 및 제2 적재 공간들 각각에 상기 제1 및 제2 트레이들 각각이 수평 상태로 적재되도록 구성될 수 있다.
일 실시예에 따른 상기 제1 또는 제2 트레이는 상기 테스트 핸들러에서 수평 상태를 유지하면서 핸들링될 수 있다.
이러한 교체용 트레이 이송 장치에 따르면, 테스트 핸들러에 서로 다른 종류의 반도체 소자들이 탑재되는 제1 및 제2 트레이들이 다수 적재될 수 있는 제1 및 제2 적재 공간들을 갖는 트레이 적재부를 배치시킨 상태에서, 상기 제1 트레이를 이송하는 제1 트레이 이송부와 상기 제2 트레이를 이송하는 제2 트레이 이송부를 통해 상기 테스트 핸들러에서 상기 제1 또는 제2 트레이가 공정에 연속적으로 교체되도록 함으로써, 다른 종류의 반도체 소자들을 대상으로 테스트 공정이 진행될 경우에도 이들이 탑재되는 테스트 트레이를 상기 제1 또는 제2 트레이의 교체 방식을 통해 상기 테스트 핸들러의 정지 없이 교체할 수 있다. 이에 따라, 서로 다른 종류의 반도체 소자들을 테스트하기 위한 공정 시간을 단축할 수 있으므로, 이에 따른 공정 비용을 획기적으로 절감할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 트레이 이송 장치를 개략적으로 나타낸 구성도이다.
도 2 및 도 3들은 도 1에 도시된 트레이 이송 장치에서 제어부에 의해 제1 또는 제2 트레이가 교체되는 상태를 나타낸 도면들이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 교체용 트레이 이송 장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
한편, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 트레이 이송 장치를 개략적으로 나타낸 구성도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 트레이 이송 장치(100)는 트레이 적재부(200), 제1 트레이 이송부(300), 제2 트레이 이송부(400) 및 제어부(500)를 포함한다.
상기 트레이 적재부(200)는 테스트 핸들러(10)에 배치된다. 여기서, 상기 테스트 핸들러(10)는 반도체 소자들의 전기적인 기능을 검사하는 테스트 공정을 수행하기 위하여 상기 테스트 공정을 실질적으로 수행하는 테스트 장치와의 사이에서 상기 반도체 소자들을 핸들링한다. 이에, 상기 테스트 핸들러(10)에서는 상기 반도체 소자들의 일괄적인 핸들링을 위하여 상기 반도체 소자들이 탑재되는 다수의 테스트 트레이(20)들이 사용된다.
상기 트레이 적재부(200)는 서로 다른 반도체 소자들이 탑재되는 제1 및 제2 트레이(30, 40)들이 다수 적재되는 제1 및 제2 적재 공간(210, 220)들을 갖는다. 본 발명에서는 상기 테스트 트레이(20)와 상기 제1 및 제2 트레이(30, 40)들을 서로 구분하여 명칭하고 있지만, 이들은 서로 동일한 기능을 수행하는 동일한 구성으로서, 상기에서와 같이 명칭을 구분하는 이유는 단지, 본 발명의 특징을 보다 분명하게 설명하기 위해서이다. 즉, 상기 테스트 핸들러(10)에서 사용되는 테스트 트레이(20)는 상기 제1 및 제2 트레이(30, 40)들 중 어느 하나일 수 있다.
한편, 상기 테스트 핸들러(10)에서는 상기 반도체 소자들을 대상으로 하는 테스트 공정의 속도를 증가시키기 위하여 상기 테스트 트레이(20)를 2열로 이송하면서 상기 반도체 소자들을 핸들링한다. 또한, 상기 테스트 핸들러(10)에서는 상기 2열의 테스트 트레이(20)를 수평한 상태 그대로 이송하면서 상기 테스트 공정이 진행되도록 하여 더욱 신속한 공정이 진행되도록 할 수 있다. 이때, 상기 2열의 테스트 트레이(20)들은 어느 한 위치에서 서로 상호 교대될 수 있는 구조를 가질 수 있다.
이에, 상기 트레이 적재부(200)는 상기 2열의 테스트 트레이(20)들의 각각의 열을 따라 상기 제1 및 제2 적재 공간(210, 220)들이 나란하게 배치된다. 구체적으로, 상기 제1 적재 공간(210)에 적재된 제1 트레이(30)는 상기 2열 중 어느 한 열에 마주하여 배치되고, 상기 제2 적재 공간(220)에 적재된 제2 트레이(40)는 다른 열에 마주하여 배치될 수 있다. 또한, 상기 트레이 적재부(200)는 제1 및 제2 적재 공간(210, 220)들 각각에 상기 제1 또는 제2 트레이(30, 40)가 수평 상태로 적재되도록 구성될 수 있다.
상기 제1 트레이 이송부(300)는 상기 제1 적재 공간(210)과 상기 테스트 핸들러(10) 사이에 배치된다. 구체적으로, 상기 제1 트레이 이송부(300)는 상기 제1 적재 공간(210)과 상기 테스트 트레이(20)의 어느 한 열 사이에 배치될 수 있다. 상기 제1 트레이 이송부(300)는 상기 제1 적재 공간(210)에 적재된 제1 트레이(30)를 상기 테스트 핸들러(10)의 어느 한 열에 따른 테스트 트레이(20) 위치로 이송하거나, 상기 어느 한 열에 위치하는 테스트 트레이(20)를 그대로 상기 제1 적재 공간(210)에 적재할 수 있다. 이때, 상기 테스트 트레이(20)가 상기 테스트 핸들러(10)에서 수평 상태 그대로 이송되고, 상기 제1 적재 공간(210)에 상기 제1 트레이(30)가 수평 상태로 적재되므로, 상기 제1 트레이 이송부(300)는 상기 제1 트레이(30) 또는 상기 테스트 트레이(20)를 수평 상태 그대로 안정하게 이송할 수 있다.
상기 제2 트레이 이송부(400)는 상기 제2 적재 공간(220)과 상기 테스트 핸들러(10) 사이에배치된다. 구체적으로, 상기 제2 트레이 이송부(400)는 상기 제2 적재 공간(220)과 상기 테스트 트레이(20)의 다른 열 사이에 배치될 수 있다. 상기 제2 트레이 이송부(400)는 상기 제2 적재 공간(220)에 적재된 제2 트레이(40)를 상기 테스트 핸들러(10)의 다른 열에 따른 테스트 트레이(20) 위치로 이송하거나, 상기 다른 열에 위치하는 테스트 트레이(20)를 그대로 상기 제2 적재 공간(220)에 적재할 수 있다. 또한, 상기 제2 트레이 이송부(400)도 상기 제1 트레이 이송부(300)와 마찬가지로, 상기 제2 트레이(40) 또는 상기 테스트 트레이(20)를 수평 상태 그대로 안정하게 이송할 수 있다.
상기 제어부(500)는 상기 제1 및 제2 트레이(30, 40) 이송부들과 연결된다. 상기 제어부(500)는 상기 제1 및 제2 트레이(30, 40)들 중 어느 하나가 상기 제1 또는 제2 트레이(30, 40)를 상기 테스트 트레이(20)로 이송하여 인입할 때, 다른 하나는 상기 테스트 핸들러(10)로부터 상기 테스트 핸들러(10)를 그에 해당하는 제1 또는 제2 적재 공간(210, 220)으로 이송하여 적재하도록 제어한다. 즉, 상기 제어부(500)는 상기 테스트 핸들러(10)에서 상기 제1 또는 제2 트레이(30, 40)가 서로 교체될 수 있도록 상기 제1 및 제2 트레이(30, 40)들을 제어한다. 이에 대해서는 도 2 및 도 3들을 추가적으로 참조하여 보다 상세하게 설명하고자 한다.
도 2 및 도 3들은 도 1에 도시된 트레이 이송 장치에서 제어부에 의해 제1 또는 제2 트레이가 교체되는 상태를 나타낸 도면들이다.
도 2를 추가적으로 참조하면, 상기 테스트 핸들러(10)에서 상기 제2 트레이(40)에 해당하는 테스트 트레이(20)를 통해 상기 테스트 공정이 진행되는 동안, 상기 제2 트레이(40)로부터 상기 제1 트레이(30)로 교체하고자 할 경우, 상기 제어부(500)는 상기 제2 트레이 이송부(400)를 통해서는 상기 테스트 트레이(20)를 상기 제2 적재 공간(220)으로 적재하도록 제어하고, 상기 제1 트레이 이송부(300)를 통해 상기 제1 트레이(30)를 상기 테스트 핸들러(10)에 인입하도록 제어할 수 있다.
도 3을 추가적으로 참조하면, 반대로 상기 테스트 핸들러(10)에서 상기 제1 트레이(30)에 해당하는 테스트 트레이(20)를 통해 상기 테스트 공정이 진행되는 동안, 상기 제1 트레이(30)로부터 상기 제2 트레이(40)로 교체하고자 할 경우, 상기 제어부(500)는 상기 제1 트레이 이송부(300)를 통해서는 상기 테스트 트레이(20)를 상기 제1 적재 공간(210)으로 적재하도록 제어하고, 상기 제2 트레이 이송부(400)를 통해 상기 제2 트레이(40)를 상기 테스트 핸들러(10)에 인입하도록 제어할 수 있다.
이와 같이, 상기 테스트 핸들러(10)에 서로 다른 종류의 반도체 소자들이 탑재되는 제1 및 제2 트레이(30, 40)들이 다수 적재될 수 있는 제1 및 제2 적재 공간(210, 220)들을 갖는 트레이 적재부(200)를 배치시킨 상태에서, 상기 제1 트레이(30)를 이송하는 제1 트레이 이송부(300)와 상기 제2 트레이(40)를 이송하는 제2 트레이 이송부(400)를 통해 상기 테스트 핸들러(10)에서 상기 제1 또는 제2 트레이(30, 40)가 공정에 연속적으로 교체되도록 함으로써, 다른 종류의 반도체 소자들을 대상으로 테스트 공정이 진행될 경우에도 이들이 탑재되는 테스트 트레이(20)를 상기 제1 또는 제2 트레이(30, 40)의 교체 방식을 통해 상기 테스트 핸들러(10)의 정지 없이 교체할 수 있다. 이에 따라, 서로 다른 종류의 반도체 소자들을 테스트하기 위한 공정 시간을 단축할 수 있으므로, 이에 따른 공정 비용을 획기적으로 절감할 수 있다.
한편, 상기에서와 같은 도 2 및 도 3을 참조하여 설명한 경우, 상기 제1 또는 제2 트레이(30, 40)로 교체하여 어느 하나가 적재된 제1 또는 제2 적재 공간(210, 220)에는 또 다른 종류의 제3 트레이(미도시)로 교체하여 적재해 둔 다음, 상기 테스트 핸들러(10)에 자동적으로 인입하여 교체할 수도 있다.
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 테스트 핸들러 20 : 테스트 트레이
30 : 제1 트레이 40 : 제2 트레이
100 : 트레이 이송 장치 200 : 트레이 적재부
210 : 제1 적재 공간 220 : 제2 적재 공간
300 : 제1 트레이 이송부 400 : 제2 트레이 이송부
500 : 제어부

Claims (4)

  1. 테스트 핸들러에 배치되며, 서로 다른 종류의 반도체 소자들이 탑재되는 제1 및 제2 테스트 트레이들이 다수 적재되는 제1 및 제2 적재 공간들을 갖는 트레이 적재부;
    상기 제1 적재 공간과 상기 테스트 핸들러 사이에 배치되며, 상기 제1 적재 공간에 적재된 제1 테스트 트레이들을 상기 테스트 핸들러에 인입시키거나, 상기 테스트 핸들러로부터 상기 제1 테스트 트레이들을 상기 제1 적재 공간에 적재시키는 제1 트레이 이송부;
    상기 제2 적재 공간과 상기 테스트 핸들러 사이에 배치되며, 상기 제2 적재 공간에 적재된 제2 테스트 트레이들을 상기 테스트 핸들러에 인입시키거나, 상기 테스트 핸들러로부터 상기 제2 테스트 트레이들을 상기 제2 적재 공간에 적재시키는 제2 트레이 이송부; 및
    상기 반도체 소자들의 종류가 변경되어 상기 제1 테스트 트레이들을 상기 제2 테스트 트레이들로 교체할 필요가 있는 경우 상기 제2 테스트 트레이들을 상기 제2 적재 공간으로부터 하나씩 상기 테스트 핸들러에 인입하고 동시에 상기 제1 테스트 트레이들을 상기 테스트 핸들러로부터 하나씩 상기 제1 적재 공간에 적재하도록 상기 제1 및 제2 트레이 이송부들의 동작을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 교체용 트레이 이송 장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 트레이 적재부는 상기 제1 및 제2 적재 공간들 각각에 상기 제1 및 제2 테스트 트레이들 각각이 수평 상태로 적재되도록 구성된 것을 특징으로 하는 교체용 트레이 이송 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 제1 또는 제2 테스트 트레이들은 상기 테스트 핸들러에서 수평 상태를 유지하면서 핸들링되는 것을 특징으로 하는 교체용 트레이 이송 장치.
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