KR102430477B1 - 반도체 소자 수납용 가변 버퍼 트레이 - Google Patents
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Abstract
반도체 소자들을 수납하기 위한 가변 버퍼 트레이가 개시된다. 가변 버퍼 트레이는, 복수의 반도체 소자가 어레이 형태로 배치되어 안착되고 반도체 소자들의 위치를 가이드 하기 위한 복수의 고정 가이드를 구비하는 베이스 보드, 반도체 소자들의 위치를 가이드 하기 위해 X축 방향으로 이동 가능한 복수의 X축 가이드를 구비하며 베이스 보드에 로드된 반도체 소자들의 X축 위치를 조절하기 위한 제1 가이드 유닛, 및 반도체 소자들의 위치를 가이드 하기 위해 Y축 방향으로 이동 가능한 복수의 Y축 가이드를 구비하며 베이스 보드에 로드된 반도체 소자들의 Y축 위치를 조절하기 위한 제2 가이드 유닛을 구비한다. 각각 반도체 소자를 수납하는 복수의 포켓은 고정 가이드들과 X축 가이드들 및 Y축 가이드들에 의해 정의되며, 고정 가이드와 X축 가이드 및 Y축 가이드는 반도체 소자의 4개의 변을 가이드하되 서로 다른 변을 가이드할 수 있다. 이와 같이, 가변 버퍼 트레이는 X축 가이드들과 Y축 가이드들을 이동시켜 반도체 소자의 크기에 따라 포켓의 크기를 조절할 수 있으므로, 다양한 크기의 반도체 소자들을 수납할 수 있다.
Description
본 발명의 실시예들은 버퍼 트레이에 관한 것이다. 보다 상세하게는 복수의 반도체 소자들을 임시 수납하기 위한 반도체 소자 수납용 가변 버퍼 트레이에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자들은 일련의 제조 공정들을 반복적으로 수행함으로써 반도체 기판으로 사용되는 실리콘 웨이퍼 상에 형성될 수 있으며, 이렇게 형성된 반도체 소자들은 다이싱 공정과 본딩 공정 및 패키징 공정 등을 통하여 완성될 수 있다.
반도체 소자들은 전기적 특성 검사를 통하여 양품 또는 불량품으로 판정될 수 있다. 전기적 특성 검사에는 반도체 소자들을 핸들링하는 테스트 핸들러와 반도체 소자들을 검사하기 위한 테스터가 사용될 수 있다.
반도체 소자들은 외부 접속용 단자들을 가질 수 있으며, 외부 접속용 단자들과 테스터를 전기적으로 연결한 상태에서 전기적인 검사 공정을 수행할 수 있다. 테스트 핸들러는 반도체 소자들의 외부 접속용 단자들과 전기적으로 접속되는 콘택핀들을 구비하는 복수의 테스트 소켓들을 구비할 수 있다.
테스트 핸들러는 일반적인 메모리 소자들에 대한 검사 공정을 수행하기 위한 테스트 핸들러와 LSI(Large scale integrated circuit) 소자들에 대한 검사 공정을 수행하기 위한 테스트 핸들러로 구분될 수 있다. LSI 소자들에 대한 검사 공정을 수행하기 위한 테스트 핸들러의 예는 대한민국등록특허 제10-1177746호 및 제10-1169406호 등에 개시되어 있다.
일반적으로, 테스트 핸들러는 반도체 소자들에 대한 검사 공정이 수행되는 테스트 모듈을 사이에 두고 반도체 소자들의 로드를 위한 로드 모듈과 반도체 소자들의 언로드를 위한 언로드 모듈이 양측에 각각 배치될 수 있다.
로드 모듈은 테스트 모듈에 제공될 반도체 소자들을 임시 수납하기 위한 로드 버퍼 트레이를 구비할 수 있다. 언로드 모듈은 테스트 모듈에서 검사가 완료된 반도체 소자들을 임시 수납하기 위한 언로드 버퍼 트레이를 구비할 수 있다.
로드 버퍼 트레이와 언로드 버퍼 트레이와 같이 반도체 소자들을 임시 수납하는 버퍼 트레이는 반도체 소자들이 수납되는 복수의 포켓을 구비할 수 있다. 포켓들은 어레이 형태로 배치되며, 각 포켓에는 하나의 반도체 소자가 수납된다.
이렇게 포켓들은 반도체 소자들을 개별적으로 수납하기 때문에, 포켓의 크기는 수납할 반도체 패키지의 크기에 따라 결정된다. 또한, 버퍼 트레이에 수납된 반도체 소자의 정렬 상태는 버퍼 트레이로부터 반도체 소자들을 언로딩하는 이송 피커의 픽업 동작에 영향을 주기 때문에, 포켓의 크기가 반도체 소자의 크기에 맞아야 한다.
그러나 버퍼 트레이는 한번 제작되면 포켓의 크기를 변경할 수 없기 때문에, 반도체 소자들의 크기별로 전용 버퍼 트레이들 제작해야는 문제점이 있다. 또한, 테스트하기 위한 반도체 소자들의 품종이 달라질 때마다 테스트 핸들러의 버퍼 트레이를 교체해하는 번거로움이 있다.
본 발명의 실시예들은 수납할 반도체 소자들의 크기에 따라 포켓들의 크기를 조절할 수 있는 반도체 소자 수납용 가변 버퍼 트레이를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예들에 따른 반도체 소자 수납용 가변 버퍼 트레이는, 복수의 반도체 소자가 어레이 형태로 배치되어 안착되고 상기 반도체 소자들의 위치를 가이드 하기 위한 복수의 고정 가이드를 구비하는 베이스 보드, 상기 베이스 보드의 상측에 배치되고 상기 반도체 소자들의 위치를 가이드 하기 위해 X축 방향으로 이동 가능한 복수의 X축 가이드를 구비하며 상기 베이스 보드에 로드된 상기 반도체 소자들의 X축 위치를 조절하기 위한 제1 가이드 유닛, 및 상기 베이스 보드의 상측에 배치되고 상기 반도체 소자들의 위치를 가이드 하기 위해 Y축 방향으로 이동 가능한 복수의 Y축 가이드를 구비하며 상기 베이스 보드에 로드된 상기 반도체 소자들의 Y축 위치를 조절하기 위한 제2 가이드 유닛을 포함할 수 있다. 여기서, 상기 고정 가이드들과 상기 X축 가이드들 및 상기 Y축 가이드들에 의해 각각 상기 반도체 소자를 수납하는 복수의 포켓이 정의될 수 있다. 또한, 상기 고정 가이드와 상기 X축 가이드 및 상기 Y축 가이드는 상기 반도체 소자의 4개의 변을 가이드하되 서로 다른 변을 가이드할 수 있으며, 상기 포켓의 크기는 상기 X축 가이드와 상기 Y축 가이드에 의해 조절 가능할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 고정 가이드들은 어레이 형태로 배치되고, 각각 하나의 반도체 소자를 가이드하되 상기 반도체 소자의 4개의 변 중에서 서로 인접한 2개의 변을 가이드할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 X축 가이드는 Y축 방향으로 연장된 상기 반도체 소자의 2개의 변 중에서 상기 고정 가이드에 의해 가이드되는 변을 제외한 나머지 변을 가이드할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 Y축 가이드는 X축 방향으로 연장된 상기 반도체 소자의 2개의 변 중에서 상기 고정 가이드에 의해 가이드되는 변을 제외한 나머지 변을 가이드 할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 제1 가이드 유닛은, X축 방향으로 연장되고 상기 X축 가이드들을 사이에 두고 Y축 방향으로 서로 이격되어 배치된 한 쌍의 사이드 바를 더 포함할 수 있다. 또한, 상기 X축 가이드들은 Y축 방향으로 연장되고 상기 X축 방향으로 서로 이격되어 배치되며 양 단부들이 상기 사이드 바들에 결합되고 상기 고정 가이드들의 열들에 대응하여 위치할 수 있다. 더불어, 상기 X축 가이드는 대응하는 열에 배치된 반도체 소자들의 Y축 방향으로 연장된 두 변 중에서 상기 고정 가이드들에 의해 가이드되는 변을 제외한 나머지 변을 가이드할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 제2 가이드 유닛은, 상기 베이스 보드와 마주하도록 배치되고 상기 베이스 보드에서 상기 반도체 소자들이 적재될 수 있는 부분들을 노출시키기 위해 X축 방향으로 길게 형성되어 Y축 방향으로 서로 이격된 복수의 개구부를 갖는 가이드 플레이트를 더 구비할 수 있다. 또한, 상기 개구부는 상기 고정 가이드들의 행들 중 어느 하나의 행에 대응하여 위치할 수 있다. 더불어, 상기 Y축 가이드들은 상기 가이드 플레이트의 하면에 구비되고 상기 고정 가이드들에 대응하여 어레이 형태로 배치될 수 있다. 여기서, 상기 Y축 가이드들 각각은 X축 방향으로 연장된 상기 반도체 소자의 2개의 변 중에서 상기 고정 가이드에 의해 가이드되는 변을 제외하는 나머지 변을 가이드할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 제1 가이드 유닛은 상기 베이스 보드의 상면에 배치되고, 상기 가이드 플레이트는 상기 X축 가이드들의 상면에 배치될 수 있다. 또한, 상기 X축 가이드들의 이동 영역들과 상기 Y축 가이드들의 이동 영역들은 서로 다를 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 가변 버퍼 트레이는, 상기 베이스 보드 상에 구비되고, X축 방향으로 연장되며 상기 사이드 바들이 결합되는 한 쌍의 X축 LM 가이드, 상기 제1 가이드 유닛에 결합되고 상기 제1 가이드 유닛을 상기 X축 LM 가이드들을 따라 이동시키기 위한 X축 구동부, 상기 베이스 보드 상에 구비되고 Y축 방향으로 연장되며 상기 가이드 플레이트가 결합되는 한 쌍의 Y축 LM 가이드, 및 상기 제2 가이드 유닛에 결합되고 상기 제2 가이드 유닛을 상기 Y축 LM 가이드들을 따라 이동시키기 위한 Y축 구동부를 더 포함할 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 가변 버퍼 트레이는 X축 방향으로 이동 가능한 X축 가이드들과 Y축 방향으로 이동 가능한 Y축 가이드들을 구비함으로써, X축 가이드들과 Y축 가이드들을 이동시켜 반도체 소자의 크기에 따라 포켓의 크기를 조절할 수 있다. 이에 따라, 가변 버퍼 트레이는 다양한 크기의 반도체 소자들을 수납할 수 있으므로, 제조 원가를 절감하고 공정 시간을 단축시킬 수 있다.
또한, 가변 버퍼 트레이는 X축 LM 가이드들, X축 구동부, Y축 LM 가이드들, 및 Y축 구동부를 구비함으로써, 제1 및 제2 가이드 유닛을 보다 정밀하고 편리하게 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 가변 버퍼 트레이는 작업 효율을 향상시키고, 공정 시간을 단축시키며, 생산성을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 소자 수납용 가변 버퍼 트레이를 설명하기 위한 개략적인 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 가변 버퍼 트레이를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 가변 버퍼 트레이를 설명하기 위한 개략적인 분해 사시도이다.
도 4는 반도체 소자가 도 1에 도시된 고정 가이드와 X축 가이드 및 Y축 가이드에 의해 가이드된 상태를 설명하기 위한 개략적인 부분 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 가변 버퍼 트레이를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 가변 버퍼 트레이를 설명하기 위한 개략적인 분해 사시도이다.
도 4는 반도체 소자가 도 1에 도시된 고정 가이드와 X축 가이드 및 Y축 가이드에 의해 가이드된 상태를 설명하기 위한 개략적인 부분 평면도이다.
이하, 본 발명은 본 발명의 실시예들을 보여주는 첨부 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.
하나의 요소가 다른 하나의 요소 또는 층 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로서 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접적으로 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들 또는 층들이 이들 사이에 게재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접적으로 배치되거나 연결되는 것으로서 설명되는 경우, 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.
하기에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 영역은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 영역의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 소자 수납용 가변 버퍼 트레이를 설명하기 위한 개략적인 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 버퍼 트레이를 설명하기 위한 개략적인 평면도이며, 도 3은 도 1에 도시된 버퍼 트레이를 설명하기 위한 개략적인 분해 사시도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 가변 버퍼 트레이(100)는 복수의 반도체 소자를 수납하기 위한 트레이로서, 반도체 소자들을 검사하기 위한 검사 장치, 예를 들어, 테스트 핸들러 등에 구비되어 이용될 수 있다. 특히, 상기 가변 버퍼 트레이(100)는 상기 반도체 소자들이 수납되는 복수의 포켓(PK)을 구비할 수 있으며, 수납할 반도체 소자들의 크기에 따라 상기 포켓들(PK)의 크기를 조절할 수 있다.
상기 버퍼 트레이(100)는 상기 반도체 소자들이 어레이 형태로 배치될 수 있는 베이스 보드(110), 상기 베이스 보드(110)에 로드된 상기 반도체 소자들의 X축 위치를 조절하기 위한 제1 가이드 유닛(120), 및 상기 베이스 보드(110)에 로드된 상기 반도체 소자들의 Y축 위치를 조절하기 위한 제2 가이드 유닛(130)을 포함할 수 있다.
구체적으로, 상기 베이스 보드(110)는 대체로 사각형의 플레이트 형상을 가질 수 있으며, 상기 반도체 소자들의 위치를 가이드하기 위한 복수의 고정 가이드(112)를 구비할 수 있다. 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 고정 가이드들(112)은 어레이 형태로 배치될 수 있으며, 각각 하나의 반도체 소자를 가이드할 수 있다.
상기 베이스 보드(110)의 상면에는 상기 제1 가이드 유닛(120)이 배치될 수 있다. 상기 제1 가이드 유닛(120)은 상기 베이스 보드(110) 상에 로드된 반도체 소자들의 위치를 조절하기 위해 X축 방향으로 이동 가능하게 구비될 수 있으며, 상기 베이스 보드(110)보다 작은 크기를 가질 수 있다.
특히, 상기 제1 가이드 유닛(120)은 상기 베이스 보드(110)에 로드된 반도체 소자들의 위치를 가이드하기 위해 X축 방향으로 이동 가능한 복수의 X축 가이드(122)를 구비할 수 있다. 상기 X축 가이드들(122)은 Y축 방향으로 연장되며, 상기 X축 방향으로 서로 이격되어 배치될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 X축 가이드(122)는 막대 형상을 가질 수 있다.
또한, 상기 제1 가이드 유닛(120)은 X축 방향으로 연장된 한 쌍의 사이드 바(124, 126)를 더 구비할 수 있다. 상기 사이드 바들(124, 126)은 상기 X축 가이드들(122)을 사이에 두고 Y축 방향으로 서로 이격되어 배치되며, 막대 형상을 가질 수 있다. 상기 X축 가이드들(122)은 양 단부들이 상기 사이드 바들(124, 126)에 결합되어 상기 사이드 바들(124, 126)에 고정될 수 있다.
상기 제1 가이드 유닛(120)의 상면에는 상기 제2 가이드 유닛(130)이 배치될 수 있다. 상기 제2 가이드 유닛(130)은 상기 베이스 보드(110) 상에 로드된 반도체 소자들의 위치를 조절하기 위해 Y축 방향으로 이동 가능하게 구비될 수 있고, 대체로 사각형의 플레이트 형상을 가질 수 있으며, 상기 베이스 보드(110) 보다 작은 크기를 가질 수 있다.
특히, 상기 제2 가이드 유닛(130)은 상기 베이스 보드(110)에 로드된 반도체 소자들의 위치를 가이드하기 위해 Y축 방향으로 이동 가능한 복수의 X축 가이드(132)를 구비할 수 있다. 상기 Y축 가이드들(132)은 상기 고정 가이드들(112)에 대응하여 어레이 형태로 배치될 수 있다.
또한, 상기 제2 가이드 유닛(130)은 상기 베이스 보드(110)와 마주하도록 배치된 가이드 플레이트(134)를 더 구비할 수 있다. 상기 가이드 플레이트(134)는 상기 베이스 보드(110)에서 상기 반도체 소자들이 적재될 수 있는 부분들을 노출시키기 위한 복수의 개구부(134A)를 구비할 수 있다. 상기 개구부들(134A)은 X축 장향으로 길게 형성되며, Y축 방향으로 서로 이격되어 구비될 수 있다. 상기 개구부(134A)는 상기 고정 가이드들(112)의 행들 중 어느 하나의 행에 대응하여 위치할 수 있으며, 대응하는 행에 위치하는 반도체 소자들을 노출시킨다. 상기 가이드 플레이트(134)의 하면에는 상기 Y축 가이드들(132)이 구비될 수 있다.
도 4는 반도체 소자가 도 1에 도시된 고정 가이드와 X축 가이드 및 Y축 가이드에 의해 가이드된 상태를 설명하기 위한 개략적인 부분 평면도이다.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 상기 포켓들(PK)은 상기 고정 가이드들(112)과 상기 X축 가이드들(122) 및 상기 Y축 가이드들(132)에 의해 정의될 수 있으며, 이에 따라, 상기 포켓들(PK)은 어레이 형태로 배치될 수 있다.
상기 반도체 소자의 4개의 변은 상기 고정 가이드(112)와 상기 X축 가이드(122) 및 상기 Y축 가이드(132)에 의해 가이드되며, 도 4에 도시된 바와 같이 상기 고정 가이드(112)와 상기 X축 가이드(122) 및 상기 Y축 가이드(132)는 상기 반도체 소자(10)의 서로 다른 변을 가이드한다.
구체적으로, 상기 고정 가이드(112)는 상기 반도체 소자(10)의 4개의 변 중에서 서로 인접한 2개의 변을 가이드한다. 본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 고정 가이드(112)는 좌우 반전된 'ㄱ'자 형상을 가질 수 있다. 상기 X축 가이드(122)는 Y축 방향으로 연장된 상기 반도체 소자(10)의 2개의 변 중에서 상기 고정 가이드(112)에 의해 가이드되는 변을 제외한 나머지 변을 가이드 한다. 상기 Y축 가이드(132)는 X축 방향으로 연장된 상기 반도체 소자(10)의 2개의 변 중에서 상기 고정 가이드(112)에 의해 가이드되는 변을 제외한 나머지 변을 가이드 한다. 여기서, 상기 X축 가이드들(122)은 상기 고정 가이드들(112)의 열들에 대응하여 위치하며, 하나의 X축 가이드(122)는 대응하는 열에 위치하는 반도체 소자들을 가이드할 수 있다. 이와 달리, 하나의 고정 가이드(112)와 하나의 Y축 가이드(132)는 하나의 반도체 소자(10)를 가이드할 수 있다.
특히, 상기 포켓들(PK)의 크기는 상기 X축 가이드들(122)과 상기 Y축 가이드들(132)에 의해 결정될 수 있다. 즉, 상기 X축 가이드들(122)은 상기 베이스 보드(110)에 로드된 반도체 소자(10)를 X축 방향으로 이동시켜 대응하는 고정 가이드(112) 측으로 가이드할 수 있으며, 이에 따라, 상기 반도체 소자(10)의 X축 위치가 조절된다. 상기 Y축 가이드들(132)은 상기 베이스 보드(110)에 로드된 반도체 소자(10)를 Y축 방향으로 이동시켜 대응하는 고정 가이드(112) 측으로 가이드할 수 있으며, 이에 따라, 상기 반도체 소자(10)의 Y축 위치가 조절된다. 이때, 상기 고정 가이드들(112)은 이동 불가능하게 구비되어 상기 반도체 소자들의 스토퍼 역할을 하며, 상기 X축 가이드들(122)과 상기 Y축 가이드들(132)은 서로 간섭을 피하기 위해 상기 X축 가이드들(122)의 이동 영역들과 상기 Y축 가이드들(132)의 이동 영역들이 서로 다르다.
이와 같이, 상기 가변 버퍼 트레이(100)는 이동 가능한 상기 X축 가이드들(122)과 상기 Y축 가이드들(132)을 구비함으로써, 상기 X축 가이드들(122)과 상기 Y축 가이드들(132)을 이동시켜 상기 반도체 소자(10)의 크기에 따라 상기 포켓(PK)의 크기를 조절할 수 있다. 이에 따라, 상기 가변 버퍼 트레이(100)는 다양한 크기의 반도체 소자들을 수납할 수 있으므로, 제조 원가를 절감하고 공정 시간을 단축시킬 수 있다.
한편, 상기 가변 버퍼 트레이(100)는 상기 제1 가이드 유닛(120)을 X축 방향으로 이동시키기 위한 한 쌍의 X축 LM 가이드(142, 144)와 X축 구동부(160), 및 상기 제2 가이드 유닛(130)을 Y축 방향으로 이동시키기 위한 한 쌍의 Y축 LM 가이드(152, 154)와 Y축 구동부(170)를 더 포함할 수 있다.
상기 X축 LM 가이드들(142, 144)은 상기 베이스 보드(110) 상에 구비되고, X축 방향으로 연장되며, 상기 제1 가이드 유닛(120)의 상기 사이드 바들(124, 126)에 결합된다.
상기 X축 구동부(160)는 상기 제1 가이드 유닛(120)에 결합되고, 상기 제1 가이드 유닛(12)을 상기 X축 LM 가이드들(142, 144)을 따라 이동시킨다.
상기 Y축 LM 가이드들(152, 154)은 상기 베이스 보드(110) 상에 구비되고, Y축 방향으로 연장되며, 상기 제2 가이드 유닛(130)의 상기 가이드 플레이트(134)에 결합된다.
상기 Y축 구동부(170)는 상기 가이드 플레이트(134)에 결합되고, 상기 제2 가이드 유닛(130)을 상기 Y축 LM 가이드들(152, 154)을 따라 이동시킨다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 X축 구동부(160)와 상기 Y축 구동부(170)는 각각 2개씩 구비되나, 상기 X축 구동부(160)와 상기 Y축 구동부(170)의 개수는 이에 제한되지 않는다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 2개의 X축 구동부(160)는 상기 사이드 바들(124, 126)에 각각 결합될 수 있다.
이와 같이, 상기 가변 버퍼 트레이(100)는 상기 X축 LM 가이드들(142, 144), 상기 X축 구동부(160), 상기 Y축 LM 가이드들(152, 154), 및 상기 Y축 구동부(170)를 구비함으로써, 상기 제1 및 제2 가이드 유닛(120, 130)을 보다 정밀하고 편리하게 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 가변 버퍼 트레이(100)는 작업 효율을 향상시키고, 공정 시간을 단축시킬 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 가변 버퍼 트레이 110 : 베이스 보드
112 : 고정 가이드 120 : 제1 가이드 유닛
122 : X축 가이드 124, 126 : 사이드 바
130 : 제2 가이드 유닛 132 : Y축 가이드
134 : 가이드 플레이트 142, 144 : X축 LM 가이드
152, 154 : Y축 LM 가이드 160 : X축 구동부
170 : Y축 구동부
112 : 고정 가이드 120 : 제1 가이드 유닛
122 : X축 가이드 124, 126 : 사이드 바
130 : 제2 가이드 유닛 132 : Y축 가이드
134 : 가이드 플레이트 142, 144 : X축 LM 가이드
152, 154 : Y축 LM 가이드 160 : X축 구동부
170 : Y축 구동부
Claims (8)
- 복수의 반도체 소자가 어레이 형태로 배치되어 안착되고, 상기 반도체 소자들의 위치를 가이드 하기 위한 복수의 고정 가이드를 구비하는 베이스 보드;
상기 베이스 보드의 상측에 배치되고, 상기 반도체 소자들의 위치를 가이드 하기 위해 X축 방향으로 이동 가능한 복수의 X축 가이드를 구비하며, 상기 베이스 보드에 로드된 상기 반도체 소자들의 X축 위치를 조절하기 위한 제1 가이드 유닛; 및
상기 베이스 보드의 상측에 배치되고, 상기 반도체 소자들의 위치를 가이드 하기 위해 Y축 방향으로 이동 가능한 복수의 Y축 가이드를 구비하며, 상기 베이스 보드에 로드된 상기 반도체 소자들의 Y축 위치를 조절하기 위한 제2 가이드 유닛를 포함하고,
상기 고정 가이드들과 상기 X축 가이드들 및 상기 Y축 가이드들에 의해 각각 상기 반도체 소자를 수납하는 복수의 포켓이 정의되며,
상기 고정 가이드와 상기 X축 가이드 및 상기 Y축 가이드는 상기 반도체 소자의 4개의 변을 가이드하되 서로 다른 변을 가이드하고,
상기 포켓의 크기는 상기 X축 가이드와 상기 Y축 가이드에 의해 조절 가능한 것을 특징으로 하는 반도체 소자 수납용 가변 버퍼 트레이. - 제1항에 있어서,
상기 고정 가이드들은 어레이 형태로 배치되고, 각각 하나의 반도체 소자를 가이드하되 상기 반도체 소자의 4개의 변 중에서 서로 인접한 2개의 변을 가이드하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 수납용 가변 버퍼 트레이. - 제2항에 있어서,
상기 X축 가이드는 Y축 방향으로 연장된 상기 반도체 소자의 2개의 변 중에서 상기 고정 가이드에 의해 가이드되는 변을 제외한 나머지 변을 가이드 하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 수납용 가변 버퍼 트레이. - 제3항에 있어서,
상기 Y축 가이드는 X축 방향으로 연장된 상기 반도체 소자의 2개의 변 중에서 상기 고정 가이드에 의해 가이드되는 변을 제외한 나머지 변을 가이드 하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 수납용 가변 버퍼 트레이. - 제2항에 있어서,
상기 제1 가이드 유닛은, X축 방향으로 연장되고 상기 X축 가이드들을 사이에 두고 Y축 방향으로 서로 이격되어 배치된 한 쌍의 사이드 바를 더 포함하고,
상기 X축 가이드들은 Y축 방향으로 연장되고 상기 X축 방향으로 서로 이격되어 배치되며 양 단부들이 상기 사이드 바들에 결합되고 상기 고정 가이드들의 열들에 대응하여 위치하며,
상기 X축 가이드는 대응하는 열에 배치된 반도체 소자들의 Y축 방향으로 연장된 두 변 중에서 상기 고정 가이드들에 의해 가이드되는 변을 제외한 나머지 변을 가이드 하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 수납용 가변 버퍼 트레이. - 제5항에 있어서,
상기 제2 가이드 유닛은, 상기 베이스 보드와 마주하도록 배치되고 상기 베이스 보드에서 상기 반도체 소자들이 적재될 수 있는 부분들을 노출시키기 위해 X축 방향으로 길게 형성되어 Y축 방향으로 서로 이격된 복수의 개구부를 갖는 가이드 플레이트를 더 구비하며,
상기 개구부는 상기 고정 가이드들의 행들 중 어느 하나의 행에 대응하여 위치하고,
상기 Y축 가이드들은 상기 가이드 플레이트의 하면에 구비되고 상기 고정 가이드들에 대응하여 어레이 형태로 배치되며,
상기 Y축 가이드들 각각은 X축 방향으로 연장된 상기 반도체 소자의 2개의 변 중에서 상기 고정 가이드에 의해 가이드되는 변을 제외하는 나머지 변을 가이드 하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 수납용 가변 버퍼 트레이. - 제6항에 있어서,
상기 제1 가이드 유닛은 상기 베이스 보드의 상면에 배치되고,
상기 가이드 플레이트는 상기 X축 가이드들의 상면에 배치되며,
상기 X축 가이드들의 이동 영역들과 상기 Y축 가이드들의 이동 영역들은 서로 다른 것을 특징으로 하는 반도체 소자 수납용 가변 버퍼 트레이. - 제6항에 있어서,
상기 베이스 보드 상에 구비되고, X축 방향으로 연장되며, 상기 사이드 바들이 결합되는 한 쌍의 X축 LM 가이드;
상기 제1 가이드 유닛에 결합되고, 상기 제1 가이드 유닛을 상기 X축 LM 가이드들을 따라 이동시키기 위한 X축 구동부;
상기 베이스 보드 상에 구비되고, Y축 방향으로 연장되며, 상기 가이드 플레이트가 결합되는 한 쌍의 Y축 LM 가이드; 및
상기 제2 가이드 유닛에 결합되고, 상기 제2 가이드 유닛을 상기 Y축 LM 가이드들을 따라 이동시키기 위한 Y축 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 수납용 가변 버퍼 트레이.
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